JP2011173673A - 搬送車システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送車システムは、複数の処理装置2間で物品を搬送するための搬送車システムであって、軌道と、搬送車5と、バッファ9とを備えている。軌道は、複数の処理装置2に隣接する複数のループ11を有する。搬送車5は、複数のループ(例えば、第1ループ11,第2ループ,第3ループ)を一方走行で走行することで物品を搬送する。バッファ9は、ループの内側においてループの両側部分に近接して配置され、ループの長手方向に一列に並んだ第1載置台85および第2載置台86を有している。第1載置台85および第2載置台86は、ループの両側部分の片側に向かって開いた第1開口部85aおよびループの両側部分の反対側に向かって開いた第2開口部86aをそれぞれ有する。
【選択図】図4
Description
このシステムでは、載置台がループ内において両側の軌道に向かってそれぞれ開いた第1開口部および第2開口部を有しているので、物品の仮置き時に、目的とする処理装置の近傍にありしかも当該処理装置に向かって開いた開口部を有する載置台を選択できる。以上の結果、物品の搬送効率が向上する。
このシステムでは、ループの幅を最小限に設定できる。
このシステムでは、複数のループの間で、物品を自動倉庫に保管することができる。したがって、例えば、生産スケジュールを外れた物品を載置台に置く必要が無くなる。また、自動倉庫は経路異常時の迂回路として機能する。
このシステムでは、軌道が床面より上方に突出していないので、作業者が軌道を越えて移動する際に軌道が障害になりにくい。
このシステムでは、保護カバーによって床面が平坦になっているので、作業車が軌道を越えて移動する際に軌道を破損するおそれがない。
このシステムでは、物品は、入口側ループにある搬送車から第1処理装置に移動させられ、さらに第2処理装置に直接移動させられる。最後に、物品は、第2処理装置から出口側ループにある搬送車に移動させられる。このように複数の処理装置同士を接続することで、搬送車システム全体における搬送回数が少なくなる。
このシステムでは、複数の第1のループの第2端部間を連結するループが設けられていないので、複数の第1のループ間に装置を搬入することまたは複数の第1のループ間から装置を搬出することが容易になる。
このシステムでは、第3のループを構成する軌道が床面より上方に突出していないので、作業者が軌道を越えて移動する際に軌道が障害になりにくい。
このシステムでは、保護カバーによって床面が平坦になっているので、複数の第1のループ間に装置を搬入することまたは複数の第1のループ間から装置を搬出することが容易になる。
図1を用いて、本発明に係る搬送車システム1を説明する。図1は、本発明の一実施形態が採用された搬送車システムの模式平面図である。この実施形態では、搬送車システム1は、大型の液晶を製造する液晶製造工場に採用されている。液晶製造工場には、複数の処理装置2および検査装置4が配置されている。
なお、この実施形態では、複数の検査装置4は、自動倉庫7に接続される形態で自動倉庫7の周囲に配置されている。ただし、検査装置の位置は特に限定されない。
図4を用いて、第1バッファ9Aと第2バッファ9Bの配置および構造について詳細に説明する。図4は、図1の部分拡大図である。各小ループ内では、第1バッファ9Aと第2バッファ9Bとが交互に配置されている。第1バッファ9Aと第2バッファ9Bは、基本的な構造は同じであるが、開口部の向きが逆になっている。図4に示すように、第1小ループ11a内において、第1バッファ9Aは、3台の第1の単位バッファ85を有している。第1の単位バッファ85は、隣接する軌道、具体的には第1小ループ11aの一方の直線部分を向いた第1開口部85aを有している。第2バッファ9Bは、3台の第2の単位バッファ86を有している。第2の単位バッファ86は、隣接する軌道、具体的には第1小ループ11aの他方の直線部分に向いた第2開口部86aを有している。以上より、第1バッファ9Aの第1開口部85aと第2バッファ9Bの第2開口部86aは、第1小ループ11a内で反対側を向いている。以上の結果、第1バッファ9Aに対しては第1小ループ11aの第1サイドからのアクセスが可能であり、第2バッファ9Bに対しては第1小ループ11aの第2サイドからのアクセスが可能になっている。このように小ループのいずれのサイドからもアクセス可能なバッファが1つの小ループ内に確保されているので、搬送車5とバッファ9との間での移載が短時間で実行可能である。
図5では、処理装置2の一部が取り除かれて、その箇所に、第7小ループ15aから延びるバイパス89が配置されている。バイパス89は、両端が第7小ループ15aに接続されており、その中間部が所定長さの直線状になって第7小ループ15aの直線部分に対して平行になっている。バイパス89には、複数台の搬送車5が停止可能になっている。なお、バイパス89の配置位置、形状は、この実施形態に限定されない。また、バイパス89の停車可能台数は一台でもよい。
点検またはメンテナンスが必要な搬送車5は、バイパス89に入って、直線部分で停止する。その状態で作業者が搬送車5を点検またはメンテナンスする。以上より、点検又はメンテナンス作業によって、処理装置2間を搬送する搬送車5の作業を停止させることがない。つまり、搬送車システム1におけるダウンタイムを低減または無くすことができる。
図2および図3を用いて、搬送車5の構造について説明する。図2は、本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図である。図3は、搬送車の模式平面図である。
図2においては紙面直交方向が搬送車5の搬送方向であり、紙面左右方向が物品の移載方向である。図3においては紙面上下方向が搬送車5の搬送方向であり、紙面左右方向が物品の移載方向である。
図2には、床面32と天井面34が示され、さらに、搬送車5、バッファ9、処理装置2のステーション2aが示されている。搬送車5、バッファ9、処理装置2のステーション2aの上面は、概ね同じ高さであり、天井面34に近接している。
本体35は、概ね箱形形状を有している。
走行部37は、本体35の左右前後に設けられた車輪45と、車輪45に接続された走行モータ131(図7)と、走行モータ131に設けられたエンコーダ139(図7)を有している。車輪45が走行するレール47は、図2から明らかなように、床面32に形成された凹部32a内に配置されており、床面32より下方に配置されている。
フック部材53は、アーム機構51の最上段のアームからさらに左右方向両側に延びる第1部分53aと、第1部分53bの端部から上方に延びる第2部分53bとを有している。第2部分53b同士の左右方向距離は、物品の左右方向長さよりわずかに長くなっている。
図2を用いて、バッファ9(図4の第1の単位バッファ85、第2の単位バッファ86に相当)の構造を説明する。
バッファ9は、例えば、第1小ループ11aの内側において両側部分に近接して配置されている。バッファ9は、載置台61と、ローラコンベア63と、ミニエンバイロメント機構65とを有している。
図2を用いて、処理装置2のステーション2aについて説明する。ステーション2aは、載置台71と、ローラコンベア73とを有している。
図6を用いて、搬送車システム1の制御系120を説明する。図6は、搬送車システムの制御系を示すブロック図である。
図2および図8〜図13を用いて、搬送車システム1における動作を説明する。図8〜図13は、本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図である。図2の状態では、搬送車5は、物品C1を載置した状態で、バッファ9と処理装置2のステーション2aとの間に停止している。ステーション2aには、物品C2が載置されている。この状態から、搬送車5は、物品C1をバッファ9に降ろして、次に物品C2をステーション2aから積み込む。以下、その動作を詳細に説明する。
以上により、一連の移載動作が終了する。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
バッファは、ループ内において、ループの両側部分に向かってそれぞれ開いた第1開口部および第2開口部を有していれば、どのような構造であってもよい。例えば、一方の種類のバッファが連続して配置されていてもよい。さらには、開口部を1つだけ有しているバッファが用いられていてもよい。つまり、バッファの形状、それぞれのバッファの連続数については特に限定されない。
以上の構造によって、バッファがループ内においてループの両側部分に向かってそれぞれ開いた第1開口部および第2開口部を有している。したがって、物品をバッファ9に搬入するときに、目的とする処理装置2の近傍にありしかも当該処理装置2に向かって開いた開口部を有するバッファを選択できる。以上の結果、物品の搬送効率が向上する。
第1〜第5ループ11,13,15,17、77のレールは、前記実施形態で説明したように床面32の凹部32a内に収納されている。この実施形態では、例えば通常時には、第5ループ77のレールの上に保護カバーをかけておく。保護カバーを配置することで床面32が平坦になるので、第1〜第4ループ11,13,15,17間に装置を搬入することまたはそれらの間から装置を搬出することが容易になる。また、作業者が第5ループ77を越えて移動する際にレールを破損するおそれがない。そして、例えば非常時には、保護カバーを外して搬送車5を第5ループ77上で走行させるようにできる。
ローラコンベア93は、前記実施形態と同様であるが、各ローラ93a間には所定の隙間が確保されている。ローラコンベア93は、ローラ93aを支持する支持部93b、支柱93c、および支持棒93dをさらに有している。支持部93bは、ローラ93aを直接支持する部分であり、ローラ93aが並べられた方向に延びている。支持部93bは、ローラ93aの他のローラ列に対向する側の端部を回転自在に支持している。支柱93cは、支持部93bを所定高さに維持している。支持棒93dは、支柱93cから斜めに延びてローラ93aの他のローラ列と反対側の端部を回転自在に支持している。つまり、ローラ93aの他のローラ列と反対側には支柱は設けられていない。
なお、物品を持ち上げるための支持部材の形状は前記実施形態に限定されない。支持部材は例えば梯子形状であってもよい。
(E)本体35のローラコンベア39とバッファ9のローラコンベア63は、物品Cの移載時に同一高さであればよい。つまり、いずれか又は両方の面が高さを変更可能であり、搬送車5の走行中または停止中には両方の面の高さが異なっていてもよい。
2 処理装置
2a ステーション
3 軌道
4 検査装置
5 搬送車
7 自動倉庫
9 バッファ
9A 第1バッファ
9B 第2バッファ
11 第1ループ(第1のループ)
11a 第1小ループ
11b 第2小ループ
11c 第3小ループ(入口側ループ)
13 第2ループ(第2のループ)
13a 第4小ループ
13b 第5小ループ
13c 第6小ループ(出口側ループ)
15 第3ループ(第1のループ)
15a 第7小ループ
15b 第8小ループ
15c 第9小ループ
17 第4ループ(第2のループ)
17a 第10小ループ
17b 第11小ループ
19 第1ショートカット用連結部
21 第2ショートカット用連結部
23 第3ショートカット用連結部
25 第4ショートカット用連結部
27 連結部
28 連結部
29 連続処理装置
29a 第1処理装置
29b 第2処理装置
31 第1ステーション
32 床面
32a 凹部
33 第2ステーション
34 天井面
35 本体
37 走行部
39 ローラコンベア
39a ローラ
41 プッシュプル移載装置
43 ミニエンバイロメント機構
45 車輪
47 レール
51 アーム機構
53 フック部材
53a 第1部分
53b 第2部分
55 筐体
57 シャッタ
59 FFU
61 載置台
63 ローラコンベア
65 ミニエンバイロメント機構
67 カバー
67a 開口部
69 FFU
70 保護カバー
71 載置台
73 ローラコンベア
77 第5ループ(第3のループ)
77a 第12小ループ
77b 第13小ループ
79 第5ショートカット用連結部
81 連結部
83 連結部
120 制御系
121 製造コントローラ
123 物流コントローラ
125 自動倉庫コントローラ
127 搬送車コントローラ
129 搬送車内コントローラ
131 走行モータ
133 プッシュプル駆動機構
135 シャッタ駆動モータ
137 FFU駆動モータ
139 エンコーダ
Claims (9)
- 複数の処理装置間で物品を搬送するための搬送車システムであって、
前記複数の処理装置に隣接する複数のループを有する軌道と、
前記複数のループを一方通行で走行することで前記物品を搬送する搬送車と、
前記ループの内側において前記ループの両側部分に近接して配置され、前記ループの長手方向に一列に並んで配置された第1載置台および第2載置台を有しており、前記第1載置台および前記第2載置台は、前記ループの前記両側部分の片側に向かって開いた第1開口部および前記ループの前記両側部分の反対側に向かって開いた第2開口部をそれぞれ有する、載置台と、
を備えた搬送車システム。 - 前記第1載置台および前記第2載置台は前記ループ内で直線状に配置されている、請求項1に記載の搬送車システム。
- 前記複数のループに接続され、前記複数のループ間で前記物品の移動を中継できる自動倉庫をさらに備える、請求項1または2に記載の搬送車システム。
- 前記軌道は床面より下方に配置されている、請求項1〜3のいずれかに記載の搬送車システム。
- 前記軌道を覆い、前記床面と平行に配置される保護カバーをさらに備えている、請求項4に記載の搬送車システム。
- 前記処理装置は、前記物品を直接移動可能に配置された第1処理装置および第2処理装置を含んでおり、
前記複数のループは、前記第1処理装置の入口および前記第2処理装置の出口にそれぞれ配置された入口側ループおよび出口側ループを含んでいる、請求項1〜5のいずれかに記載の搬送車システム。 - 前記複数のループは、平行に並んだ複数の第1のループと、前記複数の第1のループの第1端部間を連結するように配置された第2のループとを有しており、
前記複数の第1のループの第2端部側には、ループは設けられていない、請求項1に記載の搬送車システム。 - 前記複数のループは、平行に並んだ複数の第1のループと、前記複数の第1のループの第1端部間を連結するように配置された第2のループと、前記複数の第1のループの第2端部間を連結するように配置された第3のループとを有しており、
前記3のループを構成する軌道は、床面より下方に配置されている、請求項1に記載の搬送車システム。 - 前記第3のループを構成する軌道を覆い、前記床面と平行に配置される保護カバーをさらに備えている、請求項8に記載の搬送車システム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010038082A JP4973747B2 (ja) | 2010-02-24 | 2010-02-24 | 搬送車システム |
CN201010547578.0A CN102161417B (zh) | 2010-02-24 | 2010-11-12 | 输送车系统 |
KR1020100112589A KR101414530B1 (ko) | 2010-02-24 | 2010-11-12 | 반송차 시스템 |
TW100102077A TWI466809B (zh) | 2010-02-24 | 2011-01-20 | Transport system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010038082A JP4973747B2 (ja) | 2010-02-24 | 2010-02-24 | 搬送車システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011173673A true JP2011173673A (ja) | 2011-09-08 |
JP4973747B2 JP4973747B2 (ja) | 2012-07-11 |
Family
ID=44462933
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010038082A Expired - Fee Related JP4973747B2 (ja) | 2010-02-24 | 2010-02-24 | 搬送車システム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4973747B2 (ja) |
KR (1) | KR101414530B1 (ja) |
CN (1) | CN102161417B (ja) |
TW (1) | TWI466809B (ja) |
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- 2010-02-24 JP JP2010038082A patent/JP4973747B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-11-12 CN CN201010547578.0A patent/CN102161417B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-11-12 KR KR1020100112589A patent/KR101414530B1/ko not_active IP Right Cessation
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4973747B2 (ja) | 2012-07-11 |
CN102161417B (zh) | 2015-04-01 |
CN102161417A (zh) | 2011-08-24 |
TW201139252A (en) | 2011-11-16 |
KR101414530B1 (ko) | 2014-07-03 |
KR20110097599A (ko) | 2011-08-31 |
TWI466809B (zh) | 2015-01-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111222 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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A711 | Notification of change in applicant |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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A072 | Dismissal of procedure |
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R250 | Receipt of annual fees |
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