CN1224237A

CN1224237A - 工件传送方法及系统

Info

Publication number: CN1224237A
Application number: CN 99100235
Authority: CN
Inventors: 近藤浩
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1998-01-23
Filing date: 1999-01-22
Publication date: 1999-07-28

Abstract

在一种工件传送方法中,在分别为相应于处理条件的多个处理单元组设置的多个储存架中临时存放被传送工件。当储存架中存放的工件数量超出储存架的容量时,在另一个可用的储存架中存放从相应储存架中溢出的工件。把存放在储存架中的工件传送到相应于处理条件的处理单元组中。本发明也公开了一种工件传送系统。

Description

工件传送方法及系统

本发明涉及一种工件传送方法及系统，更具体的说，是一种用于把装有半导体晶片的盒子传送到各个处理单元的工件传送方法及系统。

晶片处理工艺通常包括诸如离子注入，光刻及蚀刻之类的各种方法。目前，采用这些方法的处理单元基本上由机器人自动控制。

下面参照图4和图5说明常规的湿法蚀刻单元。

图4显示了在一常规洁净室中的工件传送系统。如图4所示，多个处理单元组3a平行布置在洁净室中，用于每一制造过程的每一处理单元组3a排列成直线。每一处理单元组3a由多个处理单元3组成，如一系列用于光刻或湿法处理的处理单元3。每一处理单元3进行预定的处理过程。

导轨7安装在洁净室的天花板上。在导轨7上设置了一可移动的主传送机6。用于存放装有半导体晶片的盒子(工件)的储存架2被放在导轨7一侧的每一处理单元组3a的一端。例如，装有光刻过的半导体晶片的盒子由主传送机6传送到用于湿法蚀刻的处理单元组3a，并且临时存放在储存架2中。

图5显示了图4中所示的处理单元组3a的常规布置。图5和图4中相同的参考数字表明为同样的零件。

存放在储存架2中的盒子由主传送机6通过装载机10传送到移位器11。移位器11从装有晶片的盒子中抽出品片并把它移到用作抗蚀容器的一船形器皿中。已抽出晶片的盒子由输送机14移动到移位器12。船形器皿中的晶片由机械手4装入预定的处理池30,32,34,和36，快速倾倒冲洗(QDR)池31,33,35和37，以及旋转干燥池38。完成这些处理后，船形器皿被传送到移位器12。

移位器12从传送过来的船形器皿中抽出晶片并把它存放在预先由输送机14移来的盒子里。装有晶片的盒子通过一卸载机13被装入传送车5中，再传送到储存架2中，并保存在储存架2中。如有必要，储存架2中的盒子由主传送机6传送并装入处理单元组3a以进行下一次处理。应当指出，输送机14能够双向移动并可在移位器11和12之间输送空的盒子和船形器皿。

下面参照图6说明在常规湿法处理中盒子装载的过程。图6与图5和图4中相同的参考数字表明为同样的零件。此时，假设有四个与处理单元组3a同样的处理单元组A到D。

储存架2(以下称为储存架A到D)。每个处理单元组A到D由多个处理单元3构成。即，处理单元组A由处理单元A1到A4构成，处理单元组B由处理单元B1到B4构成，处理单元组C由处理单元C1到C4构成，处理单元组D由处理单元D1到D4构成。

由主传送机6(见图5)传送到储存架A的盒子根据处理条件被依次放置在相应的区域，并且由处理条件和装载次序进行控制。换句话说，盒子由处理单元A1到A4根据装载次序进行装载和处理。已处理的盒子A’被存放在储存架A中并由主传送机6移送到进行下一次处理的处理单元组中。在剩下的处理单元组B,C和D中重复同样的过程。

图7示意地显示了储存架A的内部。如图7所示，储存架A的内部根据处理条件的不同被划分成多个区域。就是说，储存架A的内部被预先划分成五个区域，即四个分配给处理条件A1到A4的区域，以及能够存放不考虑处理条件的盒子的共用储存区域Ac。

装入储存架A的处理条件A1的盒子被存放在区域A1中。如果区域A1是满的，则处理条件A1的盒子被存放在共用储存区域Ac。例如，在图7中，三个盒子A1被存放在区域A1中，六个盒子A2被存放在区域A2中，六个盒子A3被存放在区域A3中，六个盒子A4被存放在区域A4中。由于区域A4是满的，所以从区域4中溢出的盒子A4被存放在共用储存区域Ac中。

但是，如图7所示，能装入储存架2的盒子的数量是受到限制的。如果用于预定处理条件A1到A4的区域A1到A4及共用储存区域Ac中的至少一个是满的，则相应于处理条件的工件不能装入储存架A。因此，在常规系统中，很难对大量工件进行处理。

另外，对于更多种的处理条件A1到A4，储存架A被划分成更小的区域以致于减少了每一区域的最大储存量。这使得更难处理大量的同样处理条件的工件。

本发明的目的是提供一种用于防止储存架溢出的工件传送方法及系统。

为了达到上述目的，本发明提供了一种工件传送方法，它包括如下步骤：在分别为相应于处理条件的多个处理单元组设置的多个储存架中临时存放被传送工件，当储存架中存放的工件数量超出储存架的容量时，在另一个可用的储存架中存放从相应储存架中溢出的工件，以及把存放在储存架中的工件传送到相应于处理条件的处理单元组中。

图1是本发明一实施例的工件传送系统的布置的方框图；

图2A和图2B是图1中所示的储存架A和B中工件存放的例子的示意图；

图3是本发明的另一实施例的工件传送系统的布置的方框图；

图4是在一普通洁净室中的工件传送系统的布置的透视图；

图5是在一常规工件传送系统处理单元组的方框图；

图6是一常规工件传送系统的布置的方框图；以及

图7是图6中所示的储存架A中工件存放的例子的示意图。

下面结合附图详细描述本发明。

图1显示了本发明一实施例的工件传送系统的大略布置。本实施例中工件传送系统的整个布置及处理单元组的布置与图4和图5中的布置相同，此出省略对它们的描述。

在图1中，多个处理单元组3a(也称为处理单元组A,B,C和D)通过相应的储存架2(也称为储存架A,B,C和D)连接到导轨7上。一主传送机6在导轨7上移动以便把不同处理条件的大量工件装入储存架A到D。一传送控制器15包括一用于计数装入储存架A到D中每一储存架的工件的数量的计数器16以及一用于存储装入储存架A到D中的工件的处理条件和存放位置的存储器17。传送控制器15根据计数器16和存储器17的内容控制工件的传送。

在每一个储存架A到D中，工件储存区域并不根据处理条件划分。只要储存架A到D可用，相应于处理条件的盒子便被依次存放。此时，工件存放在处理条件的单元中。

更具体地说，处理条件A1到A4的盒子A1到A4优先存放在储存架A中。如果储存架A是满的，溢出的盒子A1到A4被传送并存放在储存架B，C和D中的任何一个之中。考虑减少传送的时间，最好选择最近的储存架B。

下面结合图2A和图2B详细描述把溢出的储存架A传送到储存架B的过程。

如图2A所示，只要储存架A可用，传送控制器15就在储存架A中存放被传送的盒子A1到A4。结果，三个盒子A1，六个盒子A2，和六个盒子A3被存放在储存架2中，并且剩下的区域填满了盒子A4。

每当盒子A1到A4被存放在储存架A中时，传送控制器15使相应于储存架A的计数器16加1。当计数器16达到一代表储存架A充满的计数值时，它输出一充满信号。传送控制器15识别从计数器16输出的代表储存架A充满的充满信号。每当盒子被存放时，传送控制器15在存储器17中保存存放在储存架A中的盒子A1到A4及其相互间的位置。这使得能够参照存储器17从储存架A中抽出预定的盒子A1到A4并把它们传送到相应的处理单元A1到A4。

识别出储存架A充满的传送控制器15控制主传送机6以便在邻近的储存架B的可用区域中存放从储存架A中溢出的盒子A1到A4。例如，如图2B所示，九个从储存架A中溢出的盒子A4被存放在邻近的储存架B中。因此，即使当传送超出储存架A的容量的盒子A1到A4时，它们也可以被存放在另一个可用的储存架中，从而实现了大量盒子的处理。

即使剩下的储存架B到D充满了，相应的盒子同样被分配到另一可用的储存架中。例如，两个从储存架D中溢出的盒子D1也被存放在储存架B中。

下面结合图3说明本发明的另一个实施例的工件传送系统。

该实施例新采用了一用于储存架2和处理单元组3a之间的连接点的传送路线8。更具体地说，一传送车5(见图4)能够在相应的储存架2和处理单元组3a之间传送盒子，并且还能把由处理单元组3a处理过的盒子传送到任意的储存架2和处理单元组3a。

下面说明图3中所示的工件传送系统的操作过程。

存放在储存架A中的盒子由传送车5(见图4)传送到所要求的处理单元A1到A4并由它们处理。已处理过的盒子由传送车5通过传送路线8传送到储存架B到D或处理单元组B到D而不是储存架A。因此，已处理过的盒子可以在较短的时间内装载进行下一次处理，从而增加了生产量。

上述实施例举了湿法处理的例子，但是事实上本发明可在另外的晶片处理工艺中使用。不仅仅存放在盒子中的晶片，而且每一晶片都可作为一工件处理。

如上所述，按照本发明，当传送到储存架的工件的数量超出了储存架的最大工件保存量时，溢出的工件被保存在另一个储存架中。由此，大量的工件，即使是临时装载的工件，也能得到处理。

Claims

1．一种工件传送方法，其特征在于，它包括如下步骤：

在分别为相应于处理条件的多个处理单元组(3a)设置的多个储存架(2)中临时存放被传送工件；

当储存架中存放的工件数量超出储存架的容量时，在另一个可用的储存架中存放从相应储存架中溢出的工件；以及

把存放在储存架中的工件传送到相应于处理条件的处理单元组中。

2．按照权利要求1所述的方法，其特征在于在另一储存架中存放工件的步骤包括在邻近容量已满的储存架的储存架中存放相应于容量已满的储存架的工件的步骤。

3．按照权利要求1所述的方法，其特征在于还包括一步骤：把由处理单元组处理过的工件传送到一个进行下一次处理的一处理单元组以及相应于进行下一次处理的处理单元组的储存架，而不是把工件存放在相应的储存架中。

4．按照权利要求1所述的方法，其特征在于在另一储存架中存放工件的步骤还包括如下步骤：

每当一工件被存放在储存架中时计算在相应的储存架中存放的工件的数量；以及

当代表工件存放数量的计数值达到储存架的容量时，在另一可用储存架中存放溢出的工件。

5．一种工件传送系统，其特征在于，它包括：

用于传送不同处理条件的工件的传送装置(6)；

相应于多种处理设置并且由相互不同的处理条件的多个处理单元构成的多个处理单元组(3a)；

为处理单元组的单元设置的用于临时存放相应于处理条件的被传送工件的多个储存架(2)；以及

当存放在储存架中的工件的数量超出所述储存架的容量时，控制所述传送装置在另一可用的储存架中存放从所述相应的储存架中溢出的工件的传送控制装置(15)。

6．按照权利要求5所述的系统，其特征在于所述传送控制装置把存放在所述储存架中的工件传送到相应于处理条件的处理单元组。

7．按照权利要求6所述的系统，其特征在于系统还包括用于存储在所述储存架中存放的工件的处理条件和处理位置间的关系的存储装置(17)，并且

所述传送控制装置参照所述存储装置控制在所述储存架中存放的工件的传送。

8．按照权利要求5所述的系统，其特征在于系统还包括用于计算在每一储存架中存放的工件的数量的计数装置(16)，以及

当所述计数装置的计数值超出相应的储存架的容量时，所述传送控制装置控制把将要存放在容量已满的所述储存架中的工件传送到另一储存架中。

9．按照权利要求5所述的系统，其特征在于系统还包括：

用于连接所述储存架的工件装载侧的第一传送路径(7)；以及

用于连接所述储存架和处理单元组之间连接点的第二传送路径(8)，并且

所述传送控制装置控制所述传送装置以通过第二传送路径把由处理单元组处理的工件传送到进行下一次处理的一处理单元组及相应于进行下一次处理的所述处理单元组的储存架。