KR102656725B1 - 층간 반송 장치 및 이를 포함하는 물류 반송 시스템 - Google Patents

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Abstract

복수의 반송물을 층간 반송하는 층간 반송 장치 및 이를 포함하는 물류 반송 시스템을 제공한다. 상기 물류 반송 시스템은, 반도체 소자가 제조되는 공간 내에서 설치되며, 서로 다른 층에 설치되는 복수의 스테이지를 포함하는 스테이지 모듈; 복수의 스테이지에 교차하는 방향을 길이 방향을 하여 설치되는 프레임 모듈; 및 프레임 모듈을 따라 이동하며, 각각의 스테이지에 반송물을 반송하는 층간 반송 장치를 포함하며, 층간 반송 장치는, 반송물을 반송하는 제1 탑재부; 제1 탑재부의 하부에 배치되며, 반송물을 반송하는 제2 탑재부; 제1 탑재부 및 제2 탑재부를 이동시키는 구동부; 및 구동부의 작동을 제어하는 제어부를 포함하고, 층간 반송 장치는 복수의 반송물을 동시 반송한다.

Description

층간 반송 장치 및 이를 포함하는 물류 반송 시스템 {Interlayer transfer apparatus and physical distribution system including the same}
본 발명은 층간 반송 장치 및 이를 포함하는 물류 반송 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 제조 공장에 설치되는 층간 반송 장치 및 이를 포함하는 물류 반송 시스템에 관한 것이다.
반도체 소자 제조 공정은 웨이퍼(Wafer) 상에 회로 패턴을 형성하여 칩(Chip)을 완성하는 전공정 및 상기 전공정을 통해 완성된 제품의 성능을 평가하는 후공정으로 구분될 수 있으며, 반도체 제조 설비 내에서 연속적으로 수행될 수 있다.
반도체 제조 설비는 반도체 소자를 제조하기 위해 팹(Fab)으로 정의되는 반도체 제조 공장(예를 들어 클린 룸(Clean Room)) 내에 설치될 수 있다. 타워 리프터(Tower Lifter)는 이러한 반도체 제조 공장 내에서 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 반송물을 층간 반송할 수 있다.
타워 리프터는 일반적으로 단수의 반송물을 층간 반송한다. 그런데 반송물이 많으면, 타워 리프터가 이 반송물들을 목적지까지 반송하는 데에 많은 시간이 소요될 수 있다. 이 경우, 반도체 소자를 제조하기 위한 전체적인 프로세스가 지연될 수 있으며, 이로 인해 생산성이 저하되는 문제가 발생할 수 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제는, 복수의 반송물을 층간 반송하는 층간 반송 장치 및 이를 포함하는 물류 반송 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 물류 반송 시스템의 일 면(Aspect)은, 반도체 소자가 제조되는 공간 내에서 설치되며, 서로 다른 층에 설치되는 복수의 스테이지를 포함하는 스테이지 모듈; 상기 복수의 스테이지에 교차하는 방향을 길이 방향을 하여 설치되는 프레임 모듈; 및 상기 프레임 모듈을 따라 이동하며, 각각의 스테이지에 반송물을 반송하는 층간 반송 장치를 포함하며, 상기 층간 반송 장치는, 상기 반송물을 반송하는 제1 탑재부; 상기 제1 탑재부의 하부에 배치되며, 상기 반송물을 반송하는 제2 탑재부; 상기 제1 탑재부 및 상기 제2 탑재부를 이동시키는 구동부; 및 상기 구동부의 작동을 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 층간 반송 장치는 복수의 반송물을 동시 반송한다.
상기 제1 탑재부는 제1 유형의 반송물을 반송하며, 상기 제2 탑재부는 상기 제1 유형을 포함한 복수 유형의 반송물을 반송할 수 있다.
상기 층간 반송 장치는 상기 제2 탑재부에 탑재되는 반송물의 크기 또는 무게에 따라 이동 속도가 가변될 수 있다.
상기 제1 탑재부와 상기 제2 탑재부는 유형에 따라 구분되는 반송물을 반송할 수 있다.
상기 제1 탑재부는 제1 유형의 반송물을 반송하며, 상기 제2 탑재부는 상기 제1 유형을 제외한 복수 유형의 반송물을 반송할 수 있다.
상기 제1 탑재부와 상기 제2 탑재부는 크기, 무게 및 부피 중 적어도 하나의 성분에 따라 구분되는 반송물을 반송할 수 있다.
상기 제1 탑재부의 내부 공간과 상기 제2 탑재부의 내부 공간은 높이가 다를 수 있다.
상기 제2 탑재부의 내부 공간 높이는 가변될 수 있다.
상기 제2 탑재부의 내부 공간은 탑재되는 반송물에 따라 그 높이가 가변될 수 있다.
상기 제1 탑재부와 상기 제2 탑재부는 사용 빈도에 따라 구분되는 반송물을 반송할 수 있다.
상기 제1 탑재부와 상기 제2 탑재부는 형상이 다를 수 있다.
상기 제1 탑재부는 상부 덮개가 없는 구조물로 형성되거나, 또는 상부 덮개가 있는 구조물로 형성될 수 있다.
상기 제1 탑재부와 상기 제2 탑재부는 분리 구동될 수 있다.
상기 제1 탑재부에 탑재된 반송물의 반송 위치와 상기 제2 탑재부에 탑재된 반송물의 반송 위치가 상반된 경우, 상기 제1 탑재부와 상기 제2 탑재부는 분리 구동될 수 있다.
각각의 층에 설치되는 상기 스테이지 모듈은, 상부에 레일을 포함하는 스테이지; 상기 프레임 모듈에 인접하는 상기 스테이지의 일측에 설치되며, 상기 반송물을 상기 층간 반송 장치에서 상기 스테이지 상으로 운반하는 운반 유닛; 및 상기 스테이지의 타측에 설치되며, 상기 레일을 따라 이동하는 상기 반송물을 보관하는 저장 유닛을 포함할 수 있다.
또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 물류 반송 시스템의 다른 면은, 반도체 소자가 제조되는 공간 내에서 설치되며, 서로 다른 층에 설치되는 복수의 스테이지를 포함하는 스테이지 모듈; 상기 복수의 스테이지에 교차하는 방향을 길이 방향을 하여 설치되는 프레임 모듈; 및 상기 프레임 모듈을 따라 이동하며, 각각의 스테이지에 반송물을 반송하는 층간 반송 장치를 포함하되, 각각의 층에 설치되는 상기 스테이지 모듈은, 상부에 레일을 포함하는 스테이지; 상기 프레임 모듈에 인접하는 상기 스테이지의 일측에 설치되며, 상기 반송물을 상기 층간 반송 장치에서 상기 스테이지 상으로 운반하는 운반 유닛; 및 상기 스테이지의 타측에 설치되며, 상기 레일을 따라 이동하는 상기 반송물을 보관하는 저장 유닛을 포함하고, 상기 층간 반송 장치는, 상기 반송물을 반송하는 제1 탑재부; 상기 제1 탑재부의 하부에 배치되며, 상기 반송물을 반송하는 제2 탑재부; 상기 제1 탑재부 및 상기 제2 탑재부를 이동시키는 구동부; 및 상기 구동부의 작동을 제어하는 제어부를 포함하여 복수의 반송물을 동시 반송하며, 상기 제1 탑재부는 제1 유형의 반송물을 반송하고, 상기 제2 탑재부는 상기 제1 유형을 포함한 복수 유형의 반송물을 반송하며, 상기 층간 반송 장치는 상기 제2 탑재부에 탑재되는 반송물의 크기 또는 무게에 따라 이동 속도가 가변된다.
또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 층간 반송 장치의 일 면은, 반도체 소자가 제조되는 공간 내에서 반송물을 층간 반송하는 것으로서, 상기 반송물을 반송하는 제1 탑재부; 상기 제1 탑재부의 하부에 배치되며, 상기 반송물을 반송하는 제2 탑재부; 상기 제1 탑재부 및 상기 제2 탑재부를 이동시키는 구동부; 및 상기 구동부의 작동을 제어하는 제어부를 포함하고, 복수의 반송물을 동시 반송한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 반송 시스템의 전체적인 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 반송 시스템을 구성하는 층간 반송 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 제1 예시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 반송 시스템을 구성하는 층간 반송 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 제2 예시도이다.
도 4는 도 2의 층간 반송 장치를 구성하는 제1 탑재부와 제2 탑재부를 비교 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 5는 도 2의 층간 반송 장치를 구성하는 제1 탑재부와 제2 탑재부를 비교 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 반송 시스템을 구성하는 층간 반송 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 제3 예시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 반송 시스템을 구성하는 층간 반송 장치의 다양한 작동 원리를 설명하기 위한 예시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징 및 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 발명은 복수의 반송물을 층간 반송하는 층간 반송 장치 및 이를 포함하는 물류 반송 시스템에 관한 것이다. 이하에서는 도면 등을 참조하여 본 발명에 대해 자세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 반송 시스템의 전체적인 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 1에 따르면, 물류 반송 시스템(100)은 스테이지 모듈(110), 프레임 모듈(120) 및 층간 반송 장치(130)를 포함하여 구성될 수 있다.
물류 반송 시스템(100)은 반도체 제조 설비가 구축된 반도체 제조 공장 내에서 반송물(200)을 반송하는 설비이다. 이러한 물류 반송 시스템(100)은 반송물(200)을 층간 반송하기 위해 층간 반송 장치(130)를 포함할 수 있으며, 예를 들어 타워 리프터(Tower Lifter)를 갖춘 시스템으로 마련될 수 있다.
물류 반송 시스템(100)에서 반송되는 반송물(200)은 물품 자체이거나, 그러한 물품이 수납된 용기일 수 있다. 물품은 예를 들어, 웨이퍼(Wafer), 유리 기판, 레티클(Reticle) 등일 수 있다. 물품이 수납된 용기는 예를 들어, 풉(FOUP; Front Opening Unified Pod), 포드(Pod), 복수 개의 인쇄 회로 기판을 수납하기 위한 매거진(Magazine), 복수 개의 반도체 패키지를 수납하기 위한 트레이(Tray) 등일 수 있다.
물류 반송 시스템(100)은 복층 구조를 가지도록 마련될 수 있다. 물류 반송 시스템(100)은 예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이 제1 층, 제2 층, …, 제n 층 등 n개의 계층을 포함하도록 마련될 수 있다. 여기서, n은 2 이상의 자연수이다. 물류 반송 시스템(100)이 가지는 복층 구조는 반도체 제조 공장 내 제조 환경에 따라 적절한 개수의 계층을 포함하도록 다양하게 변형될 수 있다.
물류 반송 시스템(100)이 복층 구조를 가지도록 마련되는 경우, 스테이지 모듈(110)은 물류 반송 시스템(100)의 각 층에 마련될 수 있다. 물류 반송 시스템(100)이 예를 들어, 제1 층부터 제n 층까지 포함하도록 마련되는 경우, 스테이지 모듈(110)은 제1 층에 설치되는 제1 스테이지(110a), 제2 층에 설치되는 제2 스테이지(110b), …, 제n 층에 설치되는 제n 스테이지(110n) 등을 포함할 수 있다.
제1 스테이지(110a), 제2 스테이지(110b), …, 제n 스테이지(110n) 등 n개의 스테이지(110a, 110b, …, 110n)는 반도체 제조 공장 내에서 상하 방향(제3 방향(30))으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 제2 스테이지(110b)는 제1 스테이지(110a)보다 상위의 층에 설치되고, 제3 스테이지는 제2 스테이지(110b)보다 상위의 층에 설치되며, 제n 스테이지(110n)은 제n-1 스테이지보다 상위의 층에 설치될 수 있다. 한편, 각각의 스테이지(110a, 110b, …, 110n)는 반도체 제조 공장 내에서 좌우 방향(제1 방향(10))을 길이 방향으로 하여 설치될 수 있다.
스테이지 모듈(110)은 그 상부에 반송물(200)이 안착되면, 반송물(200)을 목적지까지 안내할 수 있다. 도 1에는 도시되어 있지 않지만, 이를 위해 스테이지 모듈(110)의 상부에는 그 길이 방향(제1 방향(10))을 따라 레일이 설치될 수 있으며, 레일을 따라 이동하는 이동 유닛도 구축될 수 있다. 또한, 프레임 모듈(120)에 인접한 스테이지 모듈(110)의 일측에는 운반 유닛(111)이 설치되고, 스테이지 모듈(110)의 타측에는 저장 유닛(112)이 설치될 수 있다. 상기에서, 운반 유닛(111)은 반송물(200)을 층간 반송 장치(130)에서 스테이지 모듈(110) 상으로 운반하는 유닛을 말하며, 저장 유닛(112)은 레일을 따라 이동된 반송물(200)을 저장하는 유닛을 말한다.
프레임 모듈(120)은 층간 반송 장치(130)의 이동 경로를 가이드할 수 있도록 제공되는 것이다. 프레임 모듈(120)은 프로파일(Profile) 구조를 가질 수 있으며, 물류 반송 시스템(100) 내에서 각 층에 마련되는 스테이지 모듈(110)과 교차하도록 제공될 수 있다.
프레임 모듈(120)은 물류 반송 시스템(100) 내에 높이 방향(제3 방향(30))으로 적어도 하나 배치될 수 있다. 도 1에는 도시되어 있지 않지만, 프레임 모듈(120)은 그 표면을 따라 설치되는 레일을 통해 층간 반송 장치(130)의 이동 경로를 가이드할 수 있다.
층간 반송 장치(130)는 반송물(200)을 층간 반송하는 것이다. 이러한 층간 반송 장치(130)는 반도체 제조 공장 내에서 풉(FOUP), 포드(Pod) 등을 운반하는 타워 리프터(Tower Lifter) 로봇으로 마련될 수 있으며, 물류 반송 시스템(100)의 각 층에 마련되는 스테이지 모듈(110)로 반송물(200)을 반송할 수 있다.
층간 반송 장치(130)는 적재 유닛(Load Unit)을 포함하여 반송물(200)을 적재한 후 반송물(200)을 층간 반송할 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 층간 반송 장치(130)는 파지 유닛(Gripping Unit)이나 포크 유닛(Fork Unit)을 포함하여 반송물(200)을 파지한 후 반송물(200)을 층간 반송하는 것도 가능하다. 본 실시예에서 층간 반송 장치(130)는 이 외에도 다양한 방식으로 반송물(200)을 층간 반송할 수 있음은 물론이다.
층간 반송 장치(130)는 접촉식 구조로 마련되어 프레임 모듈(120) 상에서 층간 이동할 수 있다. 예를 들어, 층간 반송 장치(130)는 타이밍 벨트(Timing Belt) 및 풀리(Pulley) 구조물을 이용하여 프레임 모듈(120) 상에서 층간 이동할 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 층간 반송 장치(130)는 비접촉식 구조로 마련되어 프레임 모듈(120) 상에서 층간 이동하는 것도 가능하다. 예를 들어, 층간 반송 장치(130)는 리니어 모터 코일(Linear Motor Coil) 및 리니어 모터 마그넷(Linear Motor Magnet)을 이용한 자기 부상 방식으로 프레임 모듈(120) 상에서 층간 이동할 수 있다.
층간 반송 장치(130)는 각각의 프레임 모듈(120) 상에 적어도 하나 배치될 수 있다. 각각의 프레임 모듈(120) 상에 배치되는 층간 반송 장치(130)의 개수는 물류 반송 시스템(100) 내에서 처리되어야 할 반송 물량에 따라 가변될 수 있다.
층간 반송 장치(130)는 프레임 모듈(120) 상에 복수 개 배치되는 경우, 프레임 모듈(120) 상에서 독립적으로 동작할 수 있으며, 병렬적으로 이동할 수 있다. 층간 반송 장치(130)는 예를 들어, 리니어 모터(Linear Motor)를 이용하여 작동할 수 있으며, 피니언 기어(Pinion Gear)를 이용하여 작동할 수도 있다.
또한, 층간 반송 장치(130)는 비접촉 상태로 동력 전달 및 통신과 같은 상호작용을 수행할 수 있으며, 저진동 및 저소음 조건으로 프레임 모듈(120)을 따라 이동할 수 있다. 층간 반송 장치(130)는 이를 통해 반송물(200)의 이송 환경을 최적화할 수 있으며, 고품질의 제품을 생산하는 데에 기여할 수 있다.
층간 반송 장치(130)는 한번에 복수의 반송물(200)을 반송할 수 있다. 층간 반송 장치(130)는 예를 들어, 한번에 두 개의 반송물(200)을 반송할 수 있다. 이하 설명에서는 층간 반송 장치(130)가 한번에 두 개의 반송물(200)을 반송하는 경우를 예로 들어 설명할 것이나, 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 층간 반송 장치(130)의 일회시 반송량은 반도체 제조 공장 내 반송 필요 수량에 따라 자유롭게 변경될 수 있으며, 필요시 설치 이후에도 그 반송량을 상황에 적합하게 변경 가능함은 물론이다.
한번에 복수의 반송물(200)을 반송하는 경우, 층간 반송 장치(130)는 이를 위해 적재 유닛을 복수 개 포함할 수 있다. 또는, 층간 반송 장치(130)는 파지 유닛이나 포크 유닛을 복수 개 포함할 수 있다. 이하에서는 한번에 복수의 반송물(200)을 반송하는 경우, 층간 반송 장치(130)가 적재 유닛을 복수 개 포함하는 경우에 대하여 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 반송 시스템을 구성하는 층간 반송 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 제1 예시도이다. 도 2에 따르면, 층간 반송 장치(130)는 제1 탑재부(310), 제2 탑재부(320), 구동부(330) 및 제어부(340)를 포함하여 구성될 수 있다.
제1 탑재부(310)는 반송물(200)을 탑재할 수 있게 제공되는 것이다. 이러한 제1 탑재부(310)는 제2 탑재부(320)의 상부에 배치될 수 있으며, 반송물(200)이 안착되는 안착면을 적어도 하나 가질 수 있다. 제1 탑재부(310)는 도 2에 도시된 바와 같이 상부 덮개가 없는 니은자 형태의 구조물로 형성될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 탑재부(310)는 도 3에 도시된 바와 같이 상부 덮개가 있는 디귿자 형태의 구조물로 형성되는 것도 가능하다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 반송 시스템을 구성하는 층간 반송 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 제2 예시도이다.
제2 탑재부(320)는 제1 탑재부(310)와 마찬가지로 반송물(200)을 탑재할 수 있게 제공되는 것이다. 제2 탑재부(320)는 제1 탑재부(310)의 하부에 배치될 수 있으며, 반송물(200)이 안착되는 안착면을 적어도 하나 가질 수 있다. 제2 탑재부(320)도 도 2에 도시된 바와 같이 상부 덮개가 없는 니은자 형태의 구조물로 형성될 수 있으며, 도 3에 도시된 바와 같이 상부 덮개가 있는 디귿자 형태의 구조물로 형성될 수도 있다.
한편, 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 상하로 배치되지 않고(즉, 수직 방향(제3 방향(30))으로 배치되지 않고), 수평 방향(제1 방향(10))으로 나란하게 배치되는 것도 가능하다.
다시 도 2를 참조하여 설명한다.
제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 동일한 형상을 가지도록 제공될 수 있다. 예를 들어, 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320) 모두 상부 덮개가 없는 구조물로 형성되거나, 상부 덮개가 있는 구조물로 형성될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 서로 다른 형상을 가지도록 제공되는 것도 가능하다. 예를 들어, 제1 탑재부(310)는 상부 덮개가 없는 구조물로 형성되고, 제2 탑재부(320)는 상부 덮개가 있는 구조물로 형성될 수 있다. 또는, 제1 탑재부(310)는 상부 덮개가 있는 구조물로 형성되고, 제2 탑재부(320)는 상부 덮개가 없는 구조물로 형성될 수도 있다.
제1 탑재부(310)가 제2 탑재부(320)의 상부에 배치되고, 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)가 서로 다른 형상을 가지도록 제공되는 경우, 제1 탑재부(310)는 상부 덮개가 있는 구조물로 형성되고, 제2 탑재부(320)는 상부 덮개가 없는 구조물로 형성될 수 있다. 이 경우, 제1 탑재부(310)가 제2 탑재부(320)의 상부 덮개 역할을 할 수 있으며, 이에 따라 층간 반송 장치(130)의 크기를 감축시킬 수 있으며, 제1 탑재부(310) 및 제2 탑재부(320)에 탑재된 반송물(200)이 낙하하는 물건 등에 의해 파손되는 것을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 서로 다른 유형의 반송물(200)을 반송할 수 있다. 예를 들어, 제1 탑재부(310)는 제1류 물품(FOUP)이나 제2류 물품(Pod) 등을 반송할 수 있으며, 제2 탑재부(320)는 제3류 물품(Magazine)이나 제4류 물품(Tray) 등을 반송할 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 동일한 유형의 반송물(200)을 반송하는 것도 가능하다.
제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)가 서로 다른 유형의 반송물(200)을 반송하는 경우, 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320) 중 어느 하나의 탑재부는 특정 유형의 반송물(200)을 반송하고, 다른 하나의 탑재부는 특정 유형의 반송물(200)을 포함한 다양한 유형의 반송물(200)을 반송할 수 있다. 예를 들어, 제1 탑재부(310)는 제1류 물품(FOUP)을 반송하고, 제2 탑재부(320)는 제1류 물품(FOUP), 제2류 물품(Pod), 제3류 물품(Magazine), 제4류 물품(Tray) 등을 반송할 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 어느 하나의 탑재부는 특정 유형의 반송물(200)을 반송하고, 상기 다른 하나의 탑재부는 특정 유형의 반송물(200)을 제외한 다양한 유형의 반송물(200)을 반송하는 것도 가능하다. 예를 들어, 제1 탑재부(310)는 제1류 물품(FOUP)을 반송하고, 제2 탑재부(320)는 제2류 물품(Pod), 제3류 물품(Magazine), 제4류 물품(Tray) 등을 반송할 수 있다.
제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 크기나 부피가 다른 반송물(200)을 반송할 수 있다. 예를 들어, 제1 탑재부(310)는 크기나 부피가 상대적으로 작은 반송물(200)을 반송하고, 제2 탑재부(320)는 크기가 부피가 상대적으로 큰 반송물(200)을 반송할 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 크기나 부피가 동일한 반송물(200)을 반송하는 것도 가능하다.
제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 앞서 설명한 바와 같이 반송물(200)이 안착되는 안착면을 가진다. 크기나 부피가 다른 반송물(200)을 반송하는 경우, 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 이를 위해 그 내부 공간의 높이가 다를 수 있다.
예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)가 상부 덮개가 없는 구조물로 형성되는 경우, 제1 탑재부(310)의 내부 공간(311)의 높이(H1)는 제2 탑재부(320)의 내부 공간(321)의 높이(H2)와 다를 수 있다(H1 ≠ H2). 구체적으로, 제1 탑재부(310)의 내부 공간(311)의 높이(H1)는 제2 탑재부(320)의 내부 공간(321)의 높이(H2)보다 낮을 수 있다(H1 < H2). 또는, 제1 탑재부(310)의 내부 공간(311)의 높이(H1)는 제2 탑재부(320)의 내부 공간(321)의 높이(H2) 보다 높을 수 있다(H1 > H2).
제1 탑재부(310)가 상부 덮개가 없는 구조물로 형성되는 경우, 제1 탑재부(310)는 반송물(200)에 안착면을 제공하는 제1 부분(312)과, 측벽으로 제공되는 제2 부분(313)을 포함할 수 있다. 이 경우, 제1 탑재부(310)의 내부 공간(311)의 높이(H1)는 상기 제1 부분(312)의 상부 표면으로부터 상기 제2 부분(313)의 최상위까지의 거리로 정의될 수 있다.
마찬가지로, 제2 탑재부(320)가 상부 덮개가 없는 구조물로 형성되는 경우, 제2 탑재부(320)는 반송물(200)에 안착면을 제공하는 제1 부분(322)과, 측벽으로 제공되는 제2 부분(323)을 포함할 수 있다. 이 경우, 제2 탑재부(320)의 내부 공간(321)의 높이(H2)는 상기 제1 부분(322)의 상부 표면으로부터 상기 제2 부분(323)의 최상위까지의 거리로 정의될 수 있다. 도 4는 도 2의 층간 반송 장치를 구성하는 제1 탑재부와 제2 탑재부를 비교 설명하기 위한 제1 예시도이다.
그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 크기나 부피가 다른 반송물(200)을 반송하는 경우에도, 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 그 내부 공간의 높이가 같을 수도 있다.
한편, 도 5에 도시된 바와 같이 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)가 상부 덮개가 있는 구조물로 형성되는 경우에도, 제1 탑재부(310)의 내부 공간(311)의 높이(H1)는 제2 탑재부(320)의 내부 공간(321)의 높이(H2)와 다를 수 있다(H1 ≠ H2). 구체적으로, 제1 탑재부(310)의 내부 공간(311)의 높이(H1)는 제2 탑재부(320)의 내부 공간(321)의 높이(H2)보다 낮을 수 있다(H1 < H2). 또는, 제1 탑재부(310)의 내부 공간(311)의 높이(H1)는 제2 탑재부(320)의 내부 공간(321)의 높이(H2) 보다 높을 수 있다(H1 > H2).
제1 탑재부(310)가 상부 덮개가 있는 구조물로 형성되는 경우, 제1 탑재부(310)는 반송물(200)에 안착면을 제공하는 제1 부분(312)과, 상기 제1 부분(312)에 상하로 대향하는 위치에 배치되는 제3 부분(314)과, 측벽으로 제공되어 상기 제1 부분(312)과 상기 제3 부분(314)에 각각 결합되는 제2 부분(313)을 포함할 수 있다. 이 경우, 제1 탑재부(310)의 내부 공간(311)의 높이(H1)는 상기 제1 부분(312)의 상부 표면으로부터 상기 제3 부분(314)의 저부 표면까지의 거리로 정의될 수 있다.
마찬가지로, 제2 탑재부(320)가 상부 덮개가 있는 구조물로 형성되는 경우, 제2 탑재부(320)는 반송물(200)에 안착면을 제공하는 제1 부분(322)과, 상기 제1 부분(322)에 상하로 대향하는 위치에 배치되는 제3 부분(324)과, 측벽으로 제공되어 상기 제1 부분(322)과 상기 제3 부분(324)에 각각 결합되는 제2 부분(323)을 포함할 수 있다. 이 경우, 제2 탑재부(320)의 내부 공간(321)의 높이(H2)는 상기 제1 부분(322)의 상부 표면으로부터 상기 제3 부분(324)의 저부 표면까지의 거리로 정의될 수 있다. 도 5는 도 2의 층간 반송 장치를 구성하는 제1 탑재부와 제2 탑재부를 비교 설명하기 위한 제2 예시도이다.
한편, 제1 탑재부(310)의 내부 공간(311)의 높이(H1)와 제2 탑재부(320)의 내부 공간(321)의 높이(H2)는 가변될 수 있다. 구체적으로, 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 내부에 탑재되는 반송물(200)의 크기에 따라 그 내부 공간(311, 321)의 높이(H1, H2)가 가변될 수 있다.
제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 사용 빈도가 다른 반송물(200)을 반송할 수 있다. 예를 들어, 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320) 중 어느 하나의 탑재부는 사용 빈도가 높은 반송물(200)을 반송하고, 다른 하나의 탑재부는 사용 빈도가 낮은 반송물(200)을 반송할 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 어느 하나의 탑재부는 사용 빈도가 높은 반송물(200)을 반송하고, 상기 다른 하나의 탑재부는 사용 빈도가 높은 반송물(200)과 사용 빈도가 낮은 반송물(200)을 모두 반송하는 것도 가능하다.
제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 서로 다른 방법으로 반송물(200)을 반송할 수 있다. 예를 들어, 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320) 중 어느 하나의 탑재부는 핀(Pin)을 이용하여 반송물(200)을 반송하고, 다른 하나의 탑재부는 플랜지(Flange)를 이용하여 반송물(200)을 반송할 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 동일한 방법으로 반송물(200)을 반송하는 것도 가능하다.
다시 도 2를 참조하여 설명한다.
구동부(330)는 층간 반송 장치(130)의 층간 이동을 위해 제공되는 것이다. 구동부(330)는 이를 위해 모터(Motor), 차륜(Wheel) 등을 포함하여 마련될 수 있으며, 예를 들어 리니어 모터(Linear Motor)를 포함하는 LM 가이드 시스템(Linear Motor Guide System)으로 마련될 수 있다.
구동부(330)는 단수개 구비되고, 제1 탑재부(310)의 측면 및 제2 탑재부(320)의 측면에 일체로 결합될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 구동부(330)는 복수개 구비되고, 제1 탑재부(310)의 측면 및 제2 탑재부(320)의 측면에 각각 별개로 결합되는 것도 가능하다. 예를 들어, 구동부(330)는 도 6에 도시된 바와 같이 제1 탑재부(310)의 측면에 결합되는 제1 구동부(330a)와 제2 탑재부(320)의 측면에 결합되는 제2 구동부(330b)로 구성되는 것도 가능하다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 반송 시스템을 구성하는 층간 반송 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 제3 예시도이다.
제어부(340)는 구동부(330)의 작동을 제어하는 것이다. 도면에는 도시되어 있지 않지만, 구동부(330)가 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)에 별개로 결합되는 경우, 제어부(340) 역시 구동부(330)와 마찬가지로 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)에 별개로 결합될 수 있음은 물론이다.
앞서 설명하였지만, 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320) 중 어느 하나의 탑재부는 특정 유형의 반송물(200)을 반송하고, 다른 하나의 탑재부는 특정 유형의 반송물(200)을 포함한 다양한 유형의 반송물(200)을 반송할 수 있다. 또는, 상기 어느 하나의 탑재부는 특정 유형의 반송물(200)을 반송하고, 다른 하나의 탑재부는 특정 유형의 반송물(200)을 제외한 다양한 유형의 반송물(200)을 반송할 수 있다. 이하에서는 상기 어느 하나의 탑재부가 제1 탑재부(310)이고, 상기 다른 하나의 탑재부가 제2 탑재부(320)인 경우를 예로 들어 설명하기로 한다.
층간 반송 장치(130)는 제2 탑재부(320)에 탑재되는 반송물(200)의 크기나 부피, 무게 등에 따라 이동 속도가 가변될 수 있다. 반송물(200)의 크기에 따라 이동 속도가 가변되는 경우, 반송물(200)의 크기가 작을수록 진동에 불리한 점을 참작하여 반송물(200)의 크기가 크면 층간 반송 장치(130)의 이동 속도는 증가되고, 반송물(200)의 크기가 작으면 층간 반송 장치(130)의 이동 속도는 감소될 수 있다.
마찬가지로, 반송물(200)의 무게에 따라 이동 속도가 가변되는 경우, 반송물(200)의 무게가 가벼우면 층간 반송 장치(130)의 이동 속도는 감소되고, 반송물(200)의 무게가 무거우면 층간 반송 장치(130)의 이동 속도는 증가될 수 있다. 또한, 반송물(200)의 부피에 따라 이동 속도가 가변되는 경우, 반송물(200)의 부피가 크면 층간 반송 장치(130)의 이동 속도는 증가되고, 반송물(200)의 부피가 작으면 층간 반송 장치(130)의 이동 속도는 감소될 수 있다.
한편, 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 필요에 따라 분리 구동될 수도 있다. 이하에서는 이에 대해 설명한다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 반송 시스템을 구성하는 층간 반송 장치의 다양한 작동 원리를 설명하기 위한 예시도이다.
먼저, 층간 반송 장치(130)가 제k 스테이지(110k)에서 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)에 각각 반송물(200)을 탑재한 다음, 어느 하나의 탑재부에 탑재된 반송물(200)을 제k 스테이지(110k) 상위의 스테이지로 운반하고, 다른 하나의 탑재부에 탑재된 반송물(200)을 제k 스테이지(110k) 하위의 스테이지로 운반해야 하는 경우를 가정한다.
상기와 같은 경우, 층간 반송 장치(130)는 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)에 탑재된 반송물(200)을 모두 운반하기 위해 제k 스테이지(110k) 상위의 스테이지와 하위의 스테이지 중 어느 하나의 스테이지로 먼저 이동한 후에 다른 하나의 스테이지로 이동해야 한다. 이 경우, 층간 반송 장치(130)의 이동 거리가 증가하게 되며, 물류 반송을 완료하는 데에 걸리는 시간이 지연될 수 있다.
본 실시예에서는 이와 같은 경우, 층간 반송 장치(130)를 다음과 같이 작동시킬 수 있다.
첫째, 층간 반송 장치(130)는 상위의 스테이지로 운반해야 하는 반송물(200)을 제1 탑재부(310)에 탑재하고, 하위의 스테이지로 운반해야 하는 반송물(200)을 제2 탑재부(320)에 탑재한다.
둘째, 제1 탑재부(310)와 제2 탑재부(320)는 분리되며, 제1 탑재부(310)는 상위의 스테이지로 이동하고, 제2 탑재부(320)는 하위의 스테이지로 이동한다.
이상 도 1 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 다양한 실시예에 따른 층간 반송 장치(130) 및 이를 포함하는 물류 반송 시스템(100)에 대하여 설명하였다. 본 발명은 크기가 다른 반도체 용기를 이송할 수 있는 타워 리프터 로봇에 관한 것이다. 본 발명의 타워 리프터 로봇은 제1 이송 탑재 장치와 상기 제1 이송 탑재 장치보다 하방에 설치된 제2 이송 탑재 장치로 구성될 수 있으며, 제1 이송 탑재 장치는 반송량이 많은 제1류 물품만 이송하고, 제2 이송 탑재 장치는 제1류 물품 및 제2류 물품을 모두 이송할 수 있다.
본 발명에서는 제1류 물품 및 제2류 물품을 동시 이적재 가능한 제2 이송 탑재 장치가 하부에 위치하게 된다. 따라서 층간 설비 1F의 사용자 포트와 직접적으로 인터페이스할 수 있는 높이 구성이 가능하며, 사용자 포트에서 제2류 물품을 사용자에게 전달하는 경우에도 별도의 리프팅 유닛(Lifting Unit)이 없어도 되는 효과를 얻을 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 물류 반송 시스템 110: 스테이지 모듈
111: 운반 유닛 112: 저장 유닛
120: 프레임 모듈 130: 층간 반송 장치
200: 반송물 310: 제1 탑재부
311: 제1 탑재부의 내부 공간 312: 제1 탑재부의 제1 부분
313: 제1 탑재부의 제2 부분 314: 제1 탑재부의 제3 부분
320: 제2 탑재부 321: 제2 탑재부의 내부 공간
322: 제2 탑재부의 제1 부분 323: 제2 탑재부의 제2 부분
324: 제2 탑재부의 제3 부분 330: 구동부
340: 제어부

Claims (20)

  1. 반도체 소자가 제조되는 공간 내에서 설치되며, 서로 다른 층에 설치되는 복수의 스테이지를 포함하는 스테이지 모듈;
    상기 복수의 스테이지에 교차하는 방향을 길이 방향을 하여 설치되는 프레임 모듈; 및
    상기 프레임 모듈을 따라 이동하며, 각각의 스테이지에 반송물을 반송하는 층간 반송 장치를 포함하며,
    상기 층간 반송 장치는,
    상기 반송물을 반송하는 제1 탑재부;
    상기 제1 탑재부의 하부에 배치되며, 상기 반송물을 반송하는 제2 탑재부;
    상기 제1 탑재부 및 상기 제2 탑재부를 이동시키는 구동부; 및
    상기 구동부의 작동을 제어하는 제어부를 포함하고,
    상기 층간 반송 장치는 복수의 반송물을 동시 반송하고,
    상기 제1 탑재부 및 상기 제2 탑재부는 각각의 반송물이 운반되는 곳의 위치에 따라 반송물을 선택하여 탑재하며, 선택적으로 분리 구동을 하는 물류 반송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 탑재부는 제1 유형의 반송물을 반송하며,
    상기 제2 탑재부는 상기 제1 유형을 포함한 복수 유형의 반송물을 반송하는 물류 반송 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 층간 반송 장치는 상기 제2 탑재부에 탑재되는 반송물의 크기 또는 무게에 따라 이동 속도가 가변되는 물류 반송 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 탑재부와 상기 제2 탑재부는 유형에 따라 구분되는 반송물을 반송하는 물류 반송 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1 탑재부는 제1 유형의 반송물을 반송하며,
    상기 제2 탑재부는 상기 제1 유형을 제외한 복수 유형의 반송물을 반송하는 물류 반송 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 탑재부와 상기 제2 탑재부는 크기, 무게 및 부피 중 적어도 하나의 성분에 따라 구분되는 반송물을 반송하는 물류 반송 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 탑재부의 내부 공간과 상기 제2 탑재부의 내부 공간은 높이가 다른 물류 반송 시스템.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 탑재부의 내부 공간 높이는 가변되는 물류 반송 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제2 탑재부의 내부 공간은 탑재되는 반송물에 따라 그 높이가 가변되는 물류 반송 시스템.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 탑재부와 상기 제2 탑재부는 사용 빈도에 따라 구분되는 반송물을 반송하는 물류 반송 시스템.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 탑재부와 상기 제2 탑재부는 형상이 다른 물류 반송 시스템.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 탑재부는 상부 덮개가 없는 구조물로 형성되거나, 또는 상부 덮개가 있는 구조물로 형성되는 물류 반송 시스템.
  13. 삭제
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 탑재부에 탑재된 반송물의 반송 위치와 상기 제2 탑재부에 탑재된 반송물의 반송 위치가 상반된 경우, 상기 제1 탑재부와 상기 제2 탑재부는 분리 구동되는 물류 반송 시스템.
  15. 제 1 항에 있어서,
    각각의 층에 설치되는 상기 스테이지 모듈은,
    상부에 레일을 포함하는 스테이지;
    상기 프레임 모듈에 인접하는 상기 스테이지의 일측에 설치되며, 상기 반송물을 상기 층간 반송 장치에서 상기 스테이지 상으로 운반하는 운반 유닛; 및
    상기 스테이지의 타측에 설치되며, 상기 레일을 따라 이동하는 상기 반송물을 보관하는 저장 유닛을 포함하는 물류 반송 시스템.
  16. 반도체 소자가 제조되는 공간 내에서 설치되며, 서로 다른 층에 설치되는 복수의 스테이지를 포함하는 스테이지 모듈;
    상기 복수의 스테이지에 교차하는 방향을 길이 방향을 하여 설치되는 프레임 모듈; 및
    상기 프레임 모듈을 따라 이동하며, 각각의 스테이지에 반송물을 반송하는 층간 반송 장치를 포함하되,
    각각의 층에 설치되는 상기 스테이지 모듈은,
    상부에 레일을 포함하는 스테이지;
    상기 프레임 모듈에 인접하는 상기 스테이지의 일측에 설치되며, 상기 반송물을 상기 층간 반송 장치에서 상기 스테이지 상으로 운반하는 운반 유닛; 및
    상기 스테이지의 타측에 설치되며, 상기 레일을 따라 이동하는 상기 반송물을 보관하는 저장 유닛을 포함하고,
    상기 층간 반송 장치는,
    상기 반송물을 반송하는 제1 탑재부;
    상기 제1 탑재부의 하부에 배치되며, 상기 반송물을 반송하는 제2 탑재부;
    상기 제1 탑재부 및 상기 제2 탑재부를 이동시키는 구동부; 및
    상기 구동부의 작동을 제어하는 제어부를 포함하여 복수의 반송물을 동시 반송하며,
    상기 제1 탑재부는 제1 유형의 반송물을 반송하고,
    상기 제2 탑재부는 상기 제1 유형을 포함한 복수 유형의 반송물을 반송하며,
    상기 층간 반송 장치는 상기 제2 탑재부에 탑재되는 반송물의 크기 또는 무게에 따라 이동 속도가 가변되고,
    상기 제1 탑재부 및 상기 제2 탑재부는 각각의 반송물이 운반되는 곳의 위치에 따라 반송물을 선택하여 탑재하며, 선택적으로 분리 구동을 하는 물류 반송 시스템.
  17. 반도체 소자가 제조되는 공간 내에서 반송물을 층간 반송하는 것으로서,
    상기 반송물을 반송하는 제1 탑재부;
    상기 제1 탑재부의 하부에 배치되며, 상기 반송물을 반송하는 제2 탑재부;
    상기 제1 탑재부 및 상기 제2 탑재부를 이동시키는 구동부; 및
    상기 구동부의 작동을 제어하는 제어부를 포함하고,
    복수의 반송물을 동시 반송하고,
    상기 제1 탑재부 및 상기 제2 탑재부는 각각의 반송물이 운반되는 곳의 위치에 따라 반송물을 선택하여 탑재하며, 선택적으로 분리 구동을 하는 층간 반송 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 제1 탑재부는 제1 유형의 반송물을 반송하며,
    상기 제2 탑재부는 상기 제1 유형을 포함한 복수 유형의 반송물을 반송하는 층간 반송 장치.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 층간 반송 장치는 상기 제2 탑재부에 탑재되는 반송물의 크기 또는 무게에 따라 이동 속도가 가변되는 층간 반송 장치.
  20. 제 17 항에 있어서,
    상기 제1 탑재부에 탑재된 반송물의 반송 위치와 상기 제2 탑재부에 탑재된 반송물의 반송 위치가 상반된 경우, 상기 제1 탑재부와 상기 제2 탑재부는 분리 구동되는 층간 반송 장치.
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