CN104787530B - 物品输送台车 - Google Patents

物品输送台车 Download PDF

Info

Publication number
CN104787530B
CN104787530B CN201510021768.1A CN201510021768A CN104787530B CN 104787530 B CN104787530 B CN 104787530B CN 201510021768 A CN201510021768 A CN 201510021768A CN 104787530 B CN104787530 B CN 104787530B
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
article
interval
height
support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201510021768.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104787530A (zh
Inventor
衣川知孝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Publication of CN104787530A publication Critical patent/CN104787530A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104787530B publication Critical patent/CN104787530B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/0457Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67775Docking arrangements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G35/06Mechanical conveyors not otherwise provided for comprising a load-carrier moving along a path, e.g. a closed path, and adapted to be engaged by any one of a series of traction elements spaced along the path
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G37/00Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735Closed carriers
    • H01L21/67379Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733Overhead conveying
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736Loading to or unloading from a conveyor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769Storage means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Special Conveying (AREA)
  • Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)

Abstract

本发明提供一种物品输送台车。物品输送台车具备:台车主体,沿着行进路径行进;支承部,从下方支承物品的底面;进退用驱动部,使支承部沿着水平方向在突出位置与引退位置之间进退移动;推压部,位于被引退位置的支承部支承的物品的正上方;间隔切换用驱动部,将支承部与推压部的上下方向上的间隔在推压间隔与离开间隔之间切换。

Description

物品输送台车
技术领域
本发明涉及物品输送台车,所述物品输送台车具备:台车主体,沿着行进路径行进;支承部,从下方支承物品的底面;和进退用驱动部,使上述支承部沿着水平方向在突出位置和引退位置之间进退移动,所述突出位置是朝向相对于上述台车主体位于横侧方的移载对象部位突出的位置,所述引退位置是从该突出位置引退到上述台车主体侧的位置。
背景技术
在特开平6-321316号公报(专利文献1)中记载有上述那样的物品输送台车的一例。在专利文献1的物品输送台车中,在将物品向移载对象部位输送的情况下,在由支承部支承着物品的状态下使台车主体行进到与移载对象部位对应的停止位置后,用进退用驱动部使支承部在突出位置与引退位置之间进退移动,将物品向移载对象部位输送。此外,在将物品从移载对象部位输送的情况下,在没有由支承部支承着物品的状态下使台车主体行进到与移载对象部位对应的停止位置后,由进退用驱动部使支承部在突出位置与引退位置之间进退移动,从移载对象部位接受物品,然后,在由支承部支承着物品的状态下使台车主体从停止位置行进。
在专利文献1的物品输送台车中,被支承部支承的物品只是该物品的底面被支承部从下方支承,所以例如当台车主体在行进轨道的阶差上行进时或加速及减速时等,物品有可能从支承部浮起或倾倒。并且,在使物品和支承部在上下方向上嵌合而防止物品的落下的情况下,也有通过物品的浮起或倾倒而其嵌合脱离、物品从支承部落下的可能,或在物品由多个货物构成的情况下有通过物品的浮起或倾倒而该货物崩塌的可能。
发明内容
所以,想要当在使物品支承于在引退位置和突出位置之间进退的支承部上的状态下使台车主体行进时能够将物品由支承部以稳定的状态支承的物品输送台车。
有关本发明的物品输送台车具备:台车主体,沿着行进路径行进;支承部,从下方支承物品的底面;进退用驱动部,使上述支承部沿着水平方向在突出位置与引退位置之间进退移动,所述突出位置是朝向相对于上述台车主体位于横侧方的移载对象部位突出的位置,所述引退位置是从该突出位置引退到上述台车主体侧的位置;推压部,位于被上述引退位置的上述支承部支承的物品的正上方;和间隔切换用驱动部,将对象间隔切换,所述对象间隔是上述支承部与上述推压部的上下方向上的间隔;这里,上述间隔切换用驱动部使上述引退位置的上述支承部与上述推压部在上下方向上接近,将上述对象间隔切换为推压间隔,并且使上述引退位置的上述支承部与上述推压部在上下方向上离开,将上述对象间隔切换为离开间隔,所述推压间隔是上述推压部将被上述支承部支承的物品从上方推压的间隔,所述离开间隔是容许上述支承部的进退移动的间隔。
根据该结构,通过由间隔切换用驱动部将支承部与推压部的间隔切换为离开间隔,被支承部支承的物品不会与推压部干涉,能够使支承部在突出位置与引退位置之间进退移动而将物品在与移载对象部位之间移载。
此外,在使支承着物品的支承部位于引退位置的状态下,推压部位于物品的正上方,所以通过由间隔切换用驱动部将支承部与推压部的间隔切换为推压间隔,能够使推压部对被支承部支承的物品从上方推压。
这样,通过在使支承着物品的支承部位于引退位置且使支承部与推压部的间隔为推压间隔的状态下使台车主体沿着行进路径行进,被支承部支承的物品被推压部推压,由此能够防止物品的浮起及倾倒,当在使支承部支承物品的状态下使台车主体行进时,能够将物品用支承部以稳定的状态支承。
以下,对本发明的优选的实施方式的例子进行说明。
在有关本发明的物品输送台车的实施方式中,优选的是,具备移载用升降驱动部,所述移载用升降驱动部当在与上述移载对象部位之间移载物品时,在上述突出位置使上述支承部在抄取高度与比该抄取高度低的卸下高度之间升降。
根据该结构,在从物品存在于移载对象部位且没有用支承部支承着物品的状态使卸下高度的支承部从引退位置突出到突出位置后,通过使支承部从卸下高度上升到抄取高度、然后使支承部从突出位置引退到引退位置,能够用支承部将移载对象部位的物品抄取。
此外,在从物品不存在于移载对象部位且由支承部支承着物品的状态使抄取高度的支承部从引退位置突出到突出位置后,通过使支承部从抄取高度下降到卸下高度、然后使支承部从突出位置引退到引退位置,能够将被支承部支承的物品卸下到移载对象部位。
这样,通过支承部的进退移动及升降移动能够在与移载对象部位之间移载物品,所以不需要在移载对象部位设置将物品相对于支承部载置卸下的装置,能够实现移载对象部位的结构的简单化。
在有关本发明的物品输送台车的实施方式中,优选的是,作为上述支承部的高度,设定推压高度,所述推压高度是比上述抄取高度高且上述对象间隔为上述推压间隔的高度;上述抄取高度被设定在上述对象间隔为上述离开间隔的高度;上述移载用升降驱动部构成为,能够将上述支承部的高度变更为上述抄取高度、上述卸下高度及上述推压高度的任一种高度,兼作为上述间隔切换用驱动部。
根据该结构,在支承部升降到抄取高度的状态下,支承部与推压部的间隔为离开间隔,在支承部上升到推压高度的状态下,支承部与推压部的间隔为推压间隔。因此,移载用升降驱动部通过使支承部在抄取高度与推压高度之间升降,能够作为将支承部与推压部的间隔在离开间隔与推压间隔之间切换的间隔切换用驱动部发挥功能。
由此,除了移载用升降驱动部以外,不需要设置将支承部与推压部的间隔在离开间隔与推压间隔之间切换的专用的驱动部,能够实现使支承部进退移动及升降移动的结构的简单化。
在有关本发明的物品输送台车的实施方式中,优选的是,上述推压部具有弹性部件,随着上述对象间隔从上述离开间隔切换为上述推压间隔,上述推压部接触在被上述支承部支承的物品上,由此所述弹性部件弹性变形。
根据该结构,通过将支承部与推压部的间隔从离开间隔切换为推压间隔,推压部相对于被支承部支承的物品从上方接触,通过该接触,推压部的弹性部件弹性变形。
即,在将支承部与推压部的间隔切换为推压间隔时弹性部件弹性变形,由此推压部通过与物品接触而能够相对于物品相对地向上方退避,所以能够将因物品被推压部推压造成的推压部或物品的损坏防止于未然。
此外,在将支承部与推压部的间隔切换为推压间隔的状态下,由于通过弹性部件的作用力将推压部推压在物品上,所以能够将物品由支承部以更稳定的状态支承。
在有关本发明的物品输送台车的实施方式中,优选的是,上述台车主体构成为,在被行进轨道导引支承的状态下沿着上述行进路径行进自如,所述行进轨道配设在顶棚侧。
根据该结构,由于台车主体被配设在顶棚侧的行进轨道导引支承,所以与使配设在地面上的行进轨道导引支承台车主体的情况相比,台车主体在较高的高度行进。当这样台车主体在较高的高度行进时,由推压部推压被支承部支承的物品而防止物品从支承部落下,由此能够避免物品落下到在地面上作业的作业者或设置在地面上的设备上。
附图说明
图1是输送设备的侧视图。
图2是输送设备的主视图。
图3是表示输送支承体位于引退位置且卸下高度的状态的图。
图4是表示输送支承体位于突出位置且卸下高度的状态的图。
图5是表示输送支承体位于突出位置且抄取高度的状态的图。
图6是表示输送支承体位于引退位置且抄取高度的状态的图。
图7是表示输送支承体位于引退位置且推压高度的状态的图。
图8是表示物品的上部和推压部的图。
图9是输送设备的俯视图。
图10是控制框图。
具体实施方式
以下,基于附图说明具备有关本发明的物品输送台车的输送设备的实施方式。
如图1及图2所示,在输送设备中,设有沿着行进路径配设在顶棚侧的行进轨道1、被该行进轨道1导引支承而沿着行进路径行进自如的作为物品输送台车的顶棚输送车2、和设置在行进路径的横侧方而保管物品W的保管搁板3。顶棚输送车2构成为,将从其他部位输送来的物品W向保管搁板3输送,将保管在保管搁板3上的物品W向其他部位输送。
另外,将沿着顶棚输送车2的行进方向的方向称作前后方向,将与该前后方向在俯视观察下正交的方向(这里是沿着水平面的方向)称作横宽方向。此外,有将横宽方向的一方称作横侧方说明的情况。
〔物品〕
图8是表示物品W的上部和后述的推压部15的图,如图8所示,在物品W上,具备收容多片基板的收容部5、和连结在该收容部5的上表面上并位于物品W的上端部的凸缘部7。顺便说一下,本实施方式的顶棚输送车2是在将收容部5(物品W)的底面支承的状态下将物品W输送的载置支承式的输送车。虽然图示省略,但也有在将凸缘部7的下表面从下方支承的状态下输送物品W的悬挂式的输送车,物品W能够在被这样的悬挂式的输送车悬挂支承的状态下输送。另外,在悬挂式的输送车中,有为了将当对于凸缘部7的支承脱离时要向地面落下的物品W从下方承接住,在悬挂支承的物品W的下方设有在水平方向上移动自如的落下防止体的情况。相对于此,载置支承式的输送车由于将物品W的底面载置支承而将物品W在从下方承接住的状态下支承,所以为不需要另外设置落下防止体的结构。
如图3~图7所示,在收容部5的底面(物品W的底面)上,具备形成为向上方凹入的形状的底面凹部6。如图9所示,该底面凹部6对应于保管用突起或输送用突起而形成在3处,以使设在保管搁板3上的保管突起部11或装备在顶棚输送车2上的输送突起部26卡合。
如图8所示,在凸缘部7的上表面(物品W的上表面)上,具备形成为向下方凹入的形状的上表面凹部8。该上表面凹部8形成在凸缘部7的前后方向的中心且横宽方向的中心,以使顶棚输送车2的推压部15嵌合。
另外,在本实施方式中,物品W是作为基板而收容半导体晶片的FOUP(FrontOpening Unified Pod;前开式标准箱)。
〔保管搁板〕
如图2及图9所示,保管搁板3在顶棚输送车2行进的行进路径的横侧方沿着该行进路径设有多个。该保管搁板3设在与在行进路径中行进的顶棚输送车2相同的高度。
另外,该多个保管搁板3分别相当于相对于顶棚输送车2的台车主体13位于横侧方的物品移载部位。
在保管搁板3上,具备将物品W的底面从下方支承的保管支承体10。该保管支承体10形成为从俯视矩形状的板状体将一部分切掉的C字状,构成为,支承物品W的底面的外周部分。
此外,在保管支承体10上,在3个部位具备与物品W的底面凹部6卡合的保管突起部11。保管支承体10构成为,通过在使3个部位的保管突起部11卡合在物品W的底面凹部6中的状态下支承物品W,能够将物品W在定位在保管支承体10上的预先设定的保管位置的状态下支承。
〔顶棚输送车〕
如图1及图2所示,顶棚输送车2具备在被配设在顶棚侧的行进轨道1导引支承的状态下沿着行进路径行进的台车主体13、在保管搁板3与自己之间移载物品W的移载装置14、和对被移载装置14支承的物品W从上方推压的推压部15。
台车主体13具备行进部17和主体部18而构成,所述行进部17在行进轨道1上沿着行进路径行进,所述主体部18以位于行进轨道1的下方的方式被行进部17悬挂支承且支承移载装置14及推压部15。
在行进部17上,设有被行进用马达19旋转驱动而在行进轨道1的上表面上滚动的驱动轮20、和与行进轨道1的侧面抵接的旋转自如的导引轮21。并且,行进部17构成为,通过用行进用马达19将驱动轮20旋转驱动、将导引轮21用行进轨道1接触导引,行进部17被行进轨道1导引而沿着行进路径行进。
如图1所示,主体部18形成为在横宽方向上贯通的筒状,将移载装置14以位于该主体部18的内部空间的下部的方式支承,将推压部15以位于主体部18的内部空间的上部的方式支承。即,主体部18以推压部15位于比移载装置14靠上方的方式支承移载装置14及推压部15。
如图4~图8所示,在移载装置14中,具备将物品W的底面从下方支承的作为支承部的输送支承体23、使输送支承体23在突出位置(参照图4及图5)与引退位置(参照图3、图6及图7)之间沿着横宽方向进退移动的作为进退用驱动部的进退用马达24(参照图10)、和使输送支承体23升降移动的作为移载用升降驱动部的升降用马达25(参照图10)。升降用马达25构成为,能够将输送支承体23的高度变更为卸下高度H1(参照图3及图4)、抄取高度H2(参照图5及图6)及推压高度H3(参照图7)的任一种高度。升降马达25当在顶棚输送车2与保管搁板3之间移载物品时,在突出位置使输送支承体23在抄取高度H2与卸下高度H1之间升降。
如图9所示,输送支承体23形成为能够在上下方向上穿过保管支承体10的缺口部分的形状,构成为,支承物品W的底面的中央部分(不被保管支承体10支承的部分)。
此外,在输送支承体23上,在3个部位具备与物品W的底面凹部6卡合的输送突起部26。输送支承体23构成为,通过在使3个部位的输送突起部26卡合在物品W的底面凹部6中的状态下支承物品W,能够将物品W在定位在输送支承体23上的预先设定的保管位置的状态下支承。
如图3~图7所示,在移载装置14中,具备与台车主体13连结的基部27、相对于该基部27沿着横宽方向滑动移动的中继部28、和相对于该中继部28沿着横宽方向滑动移动的前端部29。此外,前端部29具备连结在中继部28上的滑动体30、和相对于该滑动体30升降移动的上述的输送支承体23。
基部27、中继部28及前端部29通过联系机构(未图示)相互联系,移载装置14构成为,如果通过联系机构的联系而中继部28相对于基部27向突出侧(横侧方侧)滑动移动,则前端部29相对于中继部28向突出侧滑动移动,如果中继部28相对于基部27向引退侧滑动移动,则前端部29相对于中继部28向引退侧滑动移动。
并且,移载装置14构成为,通过由进退用马达24的驱动使中继部28相对于基部27滑动移动,使前端部29沿着横宽方向进退移动,使输送支承体23在突出位置与引退位置之间进退移动。
突出位置是朝向相对于主体部18位于横侧方的保管支承体10突出的位置,突出位置的输送支承体23(在本例中是输送支承体23的整体)相对于主体部18位于横侧方的外部。此外,引退位置是从突出位置引退到台车主体13侧的位置,引退位置的输送支承体23(在本例中是输送支承体23的整体)位于主体部18的内部空间中。
在滑动体30与输送支承体23之间夹设着由X连杆构成的连杆机构31,移载装置14构成为,通过升降用马达25的驱动使连杆机构31的姿势变更,使输送支承体23升降移动。
作为输送支承体23的高度(变更目标的高度),设定有卸下高度H1、比该卸下高度H1高的抄取高度H2和比该抄取高度H2高的推压高度H3。通过升降用马达25的驱动,输送支承体23升降移动到从卸下高度H1、抄取高度H2及推压高度H3中选择的高度。当将物品W在与保管搁板3之间移载的移载时,在从卸下高度H1到抄取高度H2的移载用升降范围之间使输送支承体23升降移动,在使行进部17行进移动的行进时,使输送支承体23上升到从移载用升降范围向上方偏离的推压高度H3。另外,图3及图4表示输送支承体23位于卸下高度H1的状态。图5及图6表示输送支承体23位于抄取高度H2的状态。此外,图7将输送支承体23位于推压高度H3的状态用实线表示,将输送支承体23位于卸下高度H1及抄取高度H2的状态用假想线表示。
卸下高度H1的输送支承体23的上表面位于比保管支承体10的上表面靠下方,抄取高度H2的输送支承体23的上表面位于比保管支承体10的上表面靠上方。此外,在输送支承体23位于引退位置的状态下,当输送支承体23位于抄取高度H2时,被该输送支承体23支承的物品W的上端位于比推压部15的下端靠下方,当输送支承体23位于推压高度H3时,推压部15的接触部34嵌入到上表面凹部8中,被输送支承体23支承的物品W的上端位于比推压部15的下端靠上方。
因此,当输送支承体23位于抄取高度H2时,能够不使被输送支承体23支承的物品W与推压部15接触而使输送支承体23在引退位置与突出位置之间进退移动。此外,在输送支承体23位于引退位置的状态下,通过使输送支承体23从抄取高度H2上升到推压高度H3,推压部15与被输送支承体23支承的物品W接触,将物品W用推压部15从上方推压。
并且,在通过升降用马达25的驱动使输送支承体23上升到推压高度H3的状态下,通过引退位置的输送支承体23与推压部15在上下方向上接近,输送支承体23与推压部15的上下方向上的间隔即对象间隔成为推压部15将被输送支承体23支承的物品W从上方推压的推压间隔。此外,在通过升降用马达25的驱动使输送支承体23下降到抄取高度H2的状态下,通过引退位置的输送支承体23和推压部15在上下方向上离开,对象间隔成为容许输送支承体23的进退移动的离开间隔。
即,升降用马达25兼作为将引退位置的输送支承体23与推压部15的上下方向上的间隔(对象间隔)在推压间隔与离开间隔之间切换的间隔切换用驱动部32。
推压部15具备与物品W接触的接触部34和将该接触部34朝向下方施力的弹簧35。
如图8所示,接触部34其从图8(a)所示的基本位置向下方的移动被限制部件(未图示)限制,构成为,从该限制位置向上方的移动如图8(b)所示,能够克服弹簧35的作用力而移动。
推压部15设在位于被引退位置的输送支承体23支承的物品W的正上方的部位,接触部34位于被引退位置的输送支承体23支承的物品W的上表面凹部8的正上方。即,推压部15在上下方向观察,设在相对于被引退位置的输送支承体23支承的物品W在上侧重复的位置,接触部34在上下方向观察,设在相对于被引退位置的输送支承体23支承的物品W的上表面凹部8在上侧重复的位置。
接触部34形成为将越靠下方侧越为小径的圆锥形状的下端切掉的形状。上表面凹部8也同样,凹入形成为将越靠下方侧越为小径的圆锥形状的下端切掉的形状,接触部34形成为与上表面凹部8嵌合的形状。
并且,通过使输送支承体23从抄取高度H2朝向推压高度H3上升,在输送支承体23上升到推压高度H3之前接触部34嵌合到上表面凹部8中,进而通过输送支承体23上升,随着物品W的上升,接触部34克服弹簧35的作用力而向上方移动。在输送支承体23上升到推压高度H3的状态下,输送支承体23和推压部15的上下方向上的间隔(对象间隔)为推压间隔,物品W成为通过弹簧35的作用力被推压部15从上方推压的状态。
顺便说一下,弹簧35相当于弹性部件,随着对象间隔从离开间隔切换为推压间隔,推压部15与被输送支承体23支承的物品W接触,由此所述弹性部件弹性变形。
在顶棚输送车2上,具备控制该顶棚输送车2的动作的控制装置H。
控制装置H构成为,控制台车主体13(行进用马达19)的动作,以使顶棚输送车2行进移动到相对于输送对象的保管搁板3预先设定的行进停止位置。此外,控制装置H构成为,控制移载装置14(进退用马达24及升降用马达25)的动作,以将物品W在顶棚输送车2与保管搁板3之间移载。
控制装置H构成为,基于来自上位的控制器(未图示)的输送信息控制顶棚输送车2的动作,以执行将物品W向保管搁板3移交的移交处理和从保管搁板3接受物品W的接受处理。
在接受处理中,首先,执行接受行进控制,所述接受行进控制指基于输送信息控制行进移动部12的动作,以使其停止到相对于保管着取出对象的物品W的保管搁板3设定的行进停止位置。另外,在执行接受行进控制时,输送支承体23没有支承物品W,引退到引退位置且下降到卸下高度H1。
并且,在接受处理中,在如上述那样执行接受行进控制后,执行控制移载装置14的动作以将保管支承体10上的物品W向输送支承体23上移载的接受移载控制。在该接受移载控制中,在顶棚输送车2停止在行进停止位置的状态下,首先,在使输送支承体23突出到突出位置后上升到抄取高度H2,将物品W载置到输送支承体23上,然后使输送支承体23引退移动到引退位置。接着,使输送支承体23上升到推压高度H3,以用推压部15推压物品W。
因此,被输送支承体23支承的物品W被推压部15从上方推压,然后在使顶棚输送车2行进移动时,能够在由推压部15将物品W从上方推压的状态下使顶棚输送车2行进移动,能够防止物品W从输送支承体23浮起。
在移交处理中,首先,执行移交行进控制,所述移交行进控制指基于输送信息控制行进移动部12的动作,以使其停止到相对于保管保管对象的物品W的保管搁板3设定的行进停止位置。另外,在执行移交行进控制时,输送支承体23支承着物品W,引退到引退位置且上升到推压高度H3。因此,被输送支承体23支承的物品W被推压部15从上方推压。
并且,在移交处理中,在如上述那样执行移交行进控制后,执行控制移载装置14的动作以将输送支承体23上的物品W向保管支承体10上移载的移交移载控制。在该移交移载控制中,在顶棚输送车2停止在行进停止位置的状态下,首先,使输送支承体23下降到抄取高度H2,以使物品W从推压部15向下方离开。接着,在使输送支承体23突出到突出位置后下降到卸下高度H1,将物品W载置到保管支承体10上,然后使输送支承体23引退移动到引退位置。
〔其他实施方式〕
(1)在上述实施方式中,例示了移载用升降驱动部使输送支承体23相对于滑动体30升降移动的结构,但并不限定于此,也可以是移载用升降驱动部使移载装置14相对于台车主体13升降移动的结构。
(2)在上述实施方式中,将升降用马达25兼用作移载用升降驱动部和间隔切换用驱动部,但也可以将移载用升降驱动部和间隔切换用驱动部用分别的致动器构成。
具体而言,例如也可以是,将移载用升降驱动部构成为,通过使移载装置14相对于台车主体13升降移动而输送支承体23在卸下高度H1与抄取高度H2之间升降,将间隔切换用驱动部32构成为,通过使输送支承体23相对于滑动体30升降移动而将输送支承体23与推压部15的间隔在推压间隔与离开间隔之间切换。
(3)在上述实施方式中,例示了间隔切换用驱动部32使输送支承体23升降移动的结构,但并不限定于此,也可以是间隔切换用驱动部32使推压部15升降移动的结构、或使输送支承体23和推压部15的两者升降移动的结构。
(4)在上述实施方式中,在推压部15中具备与物品W接触的接触部34和将该接触部34向下方施力的弹簧35,使推压部15的不与物品W接触的一部分为弹性部件,但也可以将推压部15的与物品W接触的一部分用弹性部件构成、或将推压部15的整体用弹性部件构成。
另外,作为弹性部件,除了弹簧35以外,也可以是橡胶或发泡聚氨酯等。
(5)在上述实施方式中,例示了主体部18以位于行进轨道1的下方的方式被行进部17悬挂支承的结构,但主体部18也可以以位于行进轨道1的上方的方式被行进部17支承。
此外,使物品输送台车为被配设在顶棚侧的行进轨道1导引支承的顶棚输送车2,但也可以使物品输送台车为被配设在地面上的行进轨道导引支承的地面输送车。
附图标记说明
1行进轨道
2顶棚输送车(物品输送台车)
3保管搁板(移载对象部位)
13台车主体
15推压部
23输送支承体(支承部)
24进退用马达(进退用驱动部)
25升降用马达(移载用升降驱动部)
32间隔切换用驱动部
35弹簧(弹性部件)
H1卸下高度
H2抄取高度
H3推压高度
W物品。

Claims (3)

1.一种物品输送台车,具备:
台车主体,沿着行进路径行进;
支承部,从下方支承物品的底面;和
进退用驱动部,使上述支承部沿着水平方向在突出位置与引退位置之间进退移动,所述突出位置是朝向相对于上述台车主体位于横侧方的移载对象部位突出的位置,所述引退位置是从该突出位置引退到上述台车主体侧的位置;
所述物品输送台车的特征在于,
具备:
推压部,位于被上述引退位置的上述支承部支承的物品的正上方;和
间隔切换用驱动部,将对象间隔切换,所述对象间隔是上述支承部与上述推压部的上下方向上的间隔;
移载用升降驱动部,当在与上述移载对象部位之间移载物品时,在上述突出位置使上述支承部在抄取高度与比该抄取高度低的卸下高度之间升降;
这里,上述间隔切换用驱动部使上述引退位置的上述支承部与上述推压部在上下方向上接近,将上述对象间隔切换为推压间隔,并且使上述引退位置的上述支承部与上述推压部在上下方向上离开,将上述对象间隔切换为离开间隔,所述推压间隔是上述推压部将被上述支承部支承的物品从上方推压的间隔,所述离开间隔是容许上述支承部的进退移动的间隔;
作为上述支承部的高度,设定推压高度,所述推压高度是比上述抄取高度高且上述对象间隔为上述推压间隔的高度;
上述抄取高度被设定在上述对象间隔为上述离开间隔的高度;
上述移载用升降驱动部构成为,能够将上述支承部的高度变更为上述抄取高度、上述卸下高度及上述推压高度的任一种高度,兼作为上述间隔切换用驱动部。
2.如权利要求1所述的物品输送台车,其特征在于,
上述推压部具有弹性部件,随着上述对象间隔从上述离开间隔切换为上述推压间隔,上述推压部接触在被上述支承部支承的物品上,由此所述弹性部件弹性变形。
3.如权利要求1或2所述的物品输送台车,其特征在于,
上述台车主体构成为,在被行进轨道导引支承的状态下沿着上述行进路径行进自如,所述行进轨道配设在顶棚侧。
CN201510021768.1A 2014-01-16 2015-01-16 物品输送台车 Active CN104787530B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014-006065 2014-01-16
JP2014006065A JP6102759B2 (ja) 2014-01-16 2014-01-16 物品搬送台車

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104787530A CN104787530A (zh) 2015-07-22
CN104787530B true CN104787530B (zh) 2017-08-08

Family

ID=53520733

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510021768.1A Active CN104787530B (zh) 2014-01-16 2015-01-16 物品输送台车

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9536766B2 (zh)
JP (1) JP6102759B2 (zh)
KR (1) KR102319927B1 (zh)
CN (1) CN104787530B (zh)
SG (1) SG10201500011QA (zh)
TW (1) TWI634066B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107161703A (zh) * 2016-03-07 2017-09-15 株式会社大福 容器搬运设备

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6102759B2 (ja) * 2014-01-16 2017-03-29 株式会社ダイフク 物品搬送台車
JP6048686B2 (ja) * 2014-09-25 2016-12-21 村田機械株式会社 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
JP6435795B2 (ja) * 2014-11-12 2018-12-12 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6702106B2 (ja) * 2016-09-09 2020-05-27 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP6809062B2 (ja) * 2016-09-09 2021-01-06 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6586936B2 (ja) * 2016-09-21 2019-10-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6794946B2 (ja) * 2017-07-11 2020-12-02 株式会社ダイフク 物品搬送車
JP6987017B2 (ja) * 2018-05-14 2021-12-22 東京エレクトロン株式会社 反応管ユニットの搬送方法
CN109605423A (zh) * 2019-01-30 2019-04-12 上海钛米机器人科技有限公司 升降装置及机器人
CN111824690B (zh) * 2019-04-20 2023-07-18 青岛经济技术开发区海尔热水器有限公司 悬挂输送装置
US11295973B2 (en) * 2020-02-11 2022-04-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Apparatus and method for automated wafer carrier handling
KR102330983B1 (ko) * 2020-02-14 2021-11-25 (주)랩투마켓 화물 이송 비히클
JP7310713B2 (ja) * 2020-05-25 2023-07-19 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR20220060028A (ko) * 2020-11-02 2022-05-11 삼성디스플레이 주식회사 적재부 및 그것을 포함하는 윈도우 제조 시스템
CN115265623A (zh) * 2022-08-08 2022-11-01 上海泽丰半导体科技有限公司 一种存储针卡定位装置及定位系统

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2627191B2 (ja) * 1989-06-26 1997-07-02 株式会社新川 リードフレーム分離装置
JPH06156628A (ja) * 1992-11-17 1994-06-03 Toyota Autom Loom Works Ltd スタッカクレーン
JPH06321316A (ja) * 1993-03-19 1994-11-22 Yamaha Motor Co Ltd 搬送システム
US20070092359A1 (en) * 2002-10-11 2007-04-26 Brooks Automation, Inc. Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position
JP2007246272A (ja) * 2006-03-20 2007-09-27 Murata Mach Ltd 操作装置及び搬送システム
KR100743194B1 (ko) * 2006-03-22 2007-07-27 삼성전자주식회사 이송시스템
JP2008179427A (ja) * 2007-01-23 2008-08-07 Ihi Corp 搬送装置
TWI324133B (en) * 2007-10-09 2010-05-01 Au Optronics Corp A transporting holding apparatus and a depot system incorporating the same
JP5674041B2 (ja) * 2011-08-11 2015-02-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5598729B2 (ja) * 2011-12-26 2014-10-01 株式会社ダイフク 物品保管設備
JP5709011B2 (ja) * 2011-12-26 2015-04-30 株式会社ダイフク 物品保管設備
JP5716968B2 (ja) * 2012-01-04 2015-05-13 株式会社ダイフク 物品保管設備
JP5527624B2 (ja) * 2012-01-05 2014-06-18 株式会社ダイフク 保管棚用の不活性ガス注入装置
JP5598734B2 (ja) * 2012-01-06 2014-10-01 株式会社ダイフク 物品保管設備
JP6044467B2 (ja) * 2013-06-26 2016-12-14 株式会社ダイフク 保管システム
JP5884779B2 (ja) * 2013-06-26 2016-03-15 株式会社ダイフク 物品保管設備
JP6102759B2 (ja) * 2014-01-16 2017-03-29 株式会社ダイフク 物品搬送台車

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107161703A (zh) * 2016-03-07 2017-09-15 株式会社大福 容器搬运设备
CN107161703B (zh) * 2016-03-07 2020-06-09 株式会社大福 容器搬运设备

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015134659A (ja) 2015-07-27
SG10201500011QA (en) 2015-08-28
US20150197400A1 (en) 2015-07-16
CN104787530A (zh) 2015-07-22
KR102319927B1 (ko) 2021-10-29
KR20150085780A (ko) 2015-07-24
JP6102759B2 (ja) 2017-03-29
US9536766B2 (en) 2017-01-03
TW201532942A (zh) 2015-09-01
TWI634066B (zh) 2018-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104787530B (zh) 物品输送台车
CN105584767B (zh) 物品输送设备
CN111032536B (zh) 运送车以及运送设备
CN110891882B (zh) 运送车以及运送设备
CN110891881B (zh) 运送车以及运送设备
US10053302B2 (en) Container raising/lowering conveyance apparatus
US10053339B2 (en) Container raising/lowering conveyance apparatus
US10053301B2 (en) Container raising/lowering conveyance apparatus
CN101920834B (zh) 自动仓库
US10040643B2 (en) Container raising/lowering conveyance apparatus
US9938090B2 (en) Container raising/lowering conveyance apparatus
US9899247B2 (en) Container transport facility
JP2008030913A (ja) 荷位置決め装置
US20100070108A1 (en) Transfer means for a freeze drying plant
JP2018039659A (ja) 物品搬送装置
KR20190070263A (ko) 이송 설비, 이송 방법
JP2019119600A (ja) 物品搬送装置
US901949A (en) Unloading apparatus.
JP6507728B2 (ja) 昇降搬送装置
CN111942246B (zh) 掉落物体拾取辅助装置、包括其的车辆及相应的方法
JP6191824B2 (ja) 搬送装置
CN212739519U (zh) 搬运机构及系统
CN117238813A (zh) 解键合装置和解键合系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
EXSB Decision made by sipo to initiate substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant