TW202325638A - 高架搬運車 - Google Patents

Abstract

高架搬運車係具備行走部、升降部、夾持單元、加速度計及控制裝置，行走部係沿著行走軌道行走，升降部係設置於行走部，夾持單元係藉由升降部讓其升降且用於把持物品，加速度計係設置於夾持單元，控制裝置，係辨識夾持單元的升降動作狀態，並根據該升降動作狀態和加速度計的偵測結果來判別在夾持單元有無異常。

Description

高架搬運車

本揭示是關於高架搬運車。

沿著行走軌道行走並搬運容器的高架搬運車是已知的。專利文獻1所記載的高架搬運車係具備：沿著行走軌道行走之行走部、設置於行走部之升降部、及藉由升降部讓其升降之保持部，保持部是用於保持容器所具有的凸緣部。在保持部設置作為定位部之中心錐，中心錐是用於與形成於凸緣部之凹部嵌合。中心錐是相對於保持部可升降自如，藉由偵測部來偵測對於保持部之中心錐之相對的上升動作。控制部，是根據中心錐之相對的上升動作(或上升量)，來辨識保持部到達了應進行把持動作之高度位置。控制部，是在該高度位置讓保持部的下降停止而使保持部的把持動作實行。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]國際公開第2018/179931號

[發明所欲解決之問題]

然而，例如有可能在載置面上容器未被載置在適切的位置。如圖9(a)所示般，若相對於下降的夾持單元(保持部)6之容器90的位置發生偏移，中心錐8有可能無法嵌合於凹部91a而與凸緣部91之其他部分接觸(參照圖9(b))。縱使是在這樣的情況，仍有可能偵測到對於夾持單元6之中心錐8之相對的上升動作而開始進行把持動作(參照圖9(c))。在此情況，夾持單元6的爪構件6a無法進入凸緣部91的下側。因此，迄夾持單元6上升為止可能發生各種錯誤，期望在開始進行把持動作之前能夠偵測到如此般夾持單元6的異常。

本揭示是說明可確實地偵測在夾持單元之把持動作開始時等的異常之高架搬運車。 [解決問題之技術手段]

本揭示的一態樣之高架搬運車，係具備行走部、升降部、夾持單元、加速度計及控制裝置，行走部係沿著行走軌道行走，升降部係設置於行走部，夾持單元係藉由升降部讓其升降且用於把持物品，加速度計係搭載於夾持單元，控制裝置，係辨識夾持單元的升降動作狀態，並根據升降動作狀態和加速度計的偵測結果來判別在夾持單元有無異常。

依據該高架搬運車，加速度計偵測在夾持單元中產生之加速度等。控制裝置是根據夾持單元的升降動作狀態和加速度計的偵測結果來判別在夾持單元有無異常。當僅使用加速度計的偵測結果的情況，有可能雖然夾持單元進行正常的動作但仍判別為發生了異常，藉由考慮夾持單元的升降動作狀態，可確實地偵測在夾持單元有無異常。

可構成為，控制裝置係依據在夾持單元停止於把持位置的狀態下加速度計的偵測值是否超過事先設定的第1設定值，來判別在夾持單元有無異常。在此情況，可確實地偵測即使開始進行把持動作是否也沒有問題。例如，可防止夾持單元欲把持物品時使物品受到過度的撞擊等。

亦可構成為，控制裝置係依據在夾持單元的升降動作中加速度計的偵測值是否超過事先設定的第2設定值，來判別在夾持單元有無異常。在此情況，可確實地偵測即使繼續進行升降動作是否也沒有問題。例如，可防止當夾持單元上升或下降時使物品受到過度的撞擊等。

亦可構成為，加速度計可偵測在至少鉛直方向之夾持單元的加速度。在此情況，可偵測夾持單元之鉛直方向的搖晃或撞擊等。

亦可構成為，加速度計可偵測在分別與鉛直方向正交且互相正交之第1水平方向及第2水平方向之夾持單元的加速度。在此情況，還能夠偵測夾持單元之水平方向的搖晃或撞擊等。還能夠偵測在夾持單元的停止狀態下之夾持單元的傾斜。 [發明之效果]

依據本揭示的高架搬運車，能夠確實地偵測在夾持單元的異常。

以下，針對本揭示的實施形態，參照圖式做說明。又在圖式的說明中，對於同一要素賦予同一符號而省略重複的說明。

如圖1所示般，高架搬運車1是沿著鋪設於製造半導體元件(device)之無塵室的頂棚附近之行走軌道101行走。高架搬運車1是搬運收容有複數片半導體晶圓的容器即FOUP(物品)90。高架搬運車1是對裝載埠(移載目的地)102進行FOUP90的移載，裝載埠102設置在對半導體晶圓實施各種處理之處理裝置。亦即，高架搬運車1是將配置於裝載埠102的載置面102a之FOUP90回收，或在裝載埠102的載置面102a配置FOUP90。

高架搬運車1係具備：行走部2、橫移部3、轉動部4、升降部5、夾持單元6、控制裝置7。行走部2，例如從沿著行走軌道101鋪設之高頻電流線以非接觸方式接受電力的供給，藉此沿著行走軌道101行走。橫移部3，是朝相對於行走軌道101所延伸的方向之橫方向，讓轉動部4、升降部5及夾持單元6移動。轉動部4是讓升降部5及夾持單元6在水平面內轉動。升降部5具有複數條的皮帶(吊持構件)5a，並在皮帶5a的下端部安裝夾持單元6。升降部5是藉由將複數條的皮帶(吊持構件)5a退繞或捲繞來讓夾持單元6升降。夾持單元6是藉由將一對的爪構件6a閉合來把持FOUP90所具有的凸緣部91。夾持單元6是藉由將一對的爪構件6a打開來解除凸緣部91的把持狀態。控制裝置7是由CPU(處理器)、ROM及RAM等所構成的電子控制單元。控制裝置7是控制高架搬運車1之各部的動作。

在圖1將XYZ軸一起記載。圖中的Y方向是高架搬運車1的行走方向，圖中的X方向是藉由橫移部3讓夾持單元6等移動之橫向移動方向。圖中的Z方向是鉛直方向。高架搬運車1是沿著Z方向讓夾持單元6下降，又沿著Z方向讓夾持單元6上升。高架搬運車1的行走方向(Y方向；第1水平方向)及基於橫移部3的橫向移動方向(X方向；第2水平方向)，是分別與鉛直方向(Z方向)正交且互相正交。又在後述說明中所參照的圖3、圖5及圖7，也是同樣地將XYZ軸一起記載。

高架搬運車1進一步具備例如中心錐(定位部)8、擋塊(dog)10、凸緣偵測部20。在FOUP90之凸緣部91的中央形成有朝上方開放之凹部91a。中心錐8是為了對於FOUP90進行夾持單元6之定位而與凸緣部91之凹部91a嵌合的構件。中心錐8、擋塊10及凸緣偵測部20設置在夾持單元6。中心錐8、擋塊10及凸緣偵測部20安裝在夾持單元6的基座部(未圖示)。中心錐8是藉由安裝在基座部的彈簧(未圖示)往下方施力，且相對於夾持單元6可上下移動自如。

當進行在裝載埠102上所載置的FOUP90之裝貨時，藉由控制裝置7將夾持單元6實施下降控制，使中心錐8嵌合於凸緣部91的凹部91a。若夾持單元6進一步藉由本身重量而下降，對於夾持單元6使中心錐8相對上升。利用由凸緣偵測部20之投光部及受光部所構成的光遮斷器(photointerrupter)、和通過其光軸上之擋塊10的遮光板部，控制裝置7辨識夾持單元6到達了把持位置P1(參照圖3)。控制裝置7讓夾持單元6的下降停止並讓夾持單元6之一對的爪構件6a閉合。藉由使爪構件6a閉合，使爪構件6a進入凸緣部91的下側。然後，控制裝置7讓基於升降部5之夾持單元6的上升開始進行。當保持有FOUP90之夾持單元6要在裝載埠102的載置面102a配置FOUP90時，亦即卸貨時的動作，是與裝貨時的動作相反。

使用中心錐8、擋塊10及凸緣偵測部20之夾持單元6的位置之辨識及基於夾持單元6之FOUP90的把持狀態之辨識，是藉由例如上述專利文獻1(國際公開第2018/179931號)所記載的構成及方法來實現。然而，藉由除此以外之公知的構成及方法來實現夾持單元6的位置之辨識及基於夾持單元6之FOUP90的把持狀態之辨識亦可。

升降部5具有升降馬達(未圖示)，藉由用升降馬達將皮帶5a退繞而使夾持單元6下降，藉由用升降馬達將皮帶5a捲繞而使夾持單元6上升。升降馬達是藉由控制裝置7進行驅動控制。控制裝置7可藉由接收來自升降馬達之與旋轉有關的信號來偵知皮帶5a的退繞量(皮帶長)。控制裝置7可根據皮帶5a的退繞量(皮帶長)來偵知夾持單元6的位置(高度位置)。

如圖5所示般，高架搬運車1係具備：偵知夾持單元6的搖晃之搖晃偵測部40。搖晃偵測部40安裝於例如升降部5。搖晃偵測部40具有例如投光部及受光部，且使該等投光部及受光部朝向下方露出。另一方面，在夾持單元6的上表面安裝反射板41。以夾持單元6筆直垂下的狀態(亦即皮帶5a朝鉛直方向延伸的狀態)為基準，搖晃偵測部40朝向下方出射光並偵測在反射板41所反射的反射光，藉此可偵測夾持單元6是否搖晃。換言之，搖晃偵測部40當未偵測到反射光(偵測不到反射光)時，可偵測出夾持單元6搖晃了既定量以上。搖晃偵測部40將夾持單元6之搖晃的偵測結果往控制裝置7輸出(發送)。

接下來說明，用於偵測在夾持單元6的異常(例如，在夾持單元6產生的傾斜、搖晃或撞擊等)之構成。在本實施形態的夾持單元6，搭載有加速度計9(參照圖1)。加速度計9安裝在例如夾持單元6的基座部。加速度計9是例如可偵測在Z方向、X方向及Y方向各個的加速度之3軸加速度感測器。加速度計9的型式沒有特別的限定。作為加速度計9，可運用例如靜電容式的感測器，亦可運用壓阻式的感測器。又亦可在夾持單元6搭載分別可偵測Z方向、X方向及Y方向的加速度之3個單軸加速度感測器。

控制裝置7判別在夾持單元6有無異常。參照圖2來說明控制裝置7所具備的各功能。圖2是高架搬運車1的控制裝置7之功能方塊圖。控制裝置7具有：位置取得部31、搖晃取得部32、加速度取得部33、記憶部34、異常判別部36。對於位置取得部31，將從皮帶5a之升降馬達及凸緣偵測部20輸出的信號輸入，根據所輸入的信號來取得夾持單元6的位置(高度位置)。位置取得部31，藉由取得夾持單元6的位置來辨識夾持單元6的升降動作狀態。夾持單元6的升降動作狀態包含：夾持單元6正在把持位置P1(參照圖3)等停止的狀態、夾持單元6正在上升的狀態、及夾持單元6正在下降的狀態。位置取得部31，在夾持單元6上升的期間，監視夾持單元6到達上升時的減速開始位置P2(參照圖5)等。又位置取得部31，在夾持單元6下降的期間，監視夾持單元6到達下降時的減速開始位置P3(參照圖7)等。對於搖晃取得部32，將從搖晃偵測部40輸出的信號輸入，藉此取得夾持單元6的搖晃(搖晃量)。對於加速度取得部33，將從夾持單元6內的加速度計9輸出之偵測信號輸入，藉此取得在夾持單元6產生的加速度。

異常判別部36，是根據夾持單元6的升降動作狀態和加速度計9的偵測結果來判別在夾持單元6有無異常。記憶部34儲存有在異常判別部36所使用之各種閾值。更詳細的說，記憶部34儲存有第1設定值，第1設定值是夾持單元6在把持位置P1(參照圖3)停止的狀態下用於判別在夾持單元6有無異常的閾值。第1設定值是例如與夾持單元6之Z方向的加速度(相對於Z方向的傾斜)有關的閾值。又記憶部34儲存有第2設定值，第2設定值是在夾持單元6的升降動作中(升降狀態)用於判別在夾持單元6有無異常的閾值。第2設定值是例如與夾持單元6之Z方向的加速度有關的閾值。第2設定值是例如與夾持單元6之X方向及/或Y方向的加速度有關的閾值亦可。

控制裝置7進一步具有升降控制部37、把持控制部38、報知控制部39。升降控制部37，是藉由控制升降部5的升降馬達，來使夾持單元6下降、停止、或上升。把持控制部38，當藉由位置取得部31辨識夾持單元6位於把持位置P1時，將夾持單元6的爪構件6a進行開閉控制。報知控制部39，當藉由異常判別部36判別為在夾持單元6發生了異常時，讓設置於例如上位控制器等之警報器等的報知裝置動作而發出錯誤警報。

接下來，參照圖3以下，針對在高架搬運車1之各種升降動作狀態下在夾持單元6有無異常的判別方法做說明。圖3係顯示在夾持單元6的把持控制有無異常之偵測狀態。圖4係顯示該把持控制的處理程序之流程圖。如圖3及圖4所示般，升降控制部37將把持(保持)有FOUP90的狀態之夾持單元6實施下降控制(步驟S11)。接著，位置取得部31根據從凸緣偵測部20輸出的信號，辨識夾持單元6位於把持位置P1(步驟S12)。升降控制部37將夾持單元6的下降實施停止控制(步驟S13)。在夾持單元6於把持位置P1停止的狀態下，加速度取得部33取得從加速度計9輸出之加速度的偵測值(步驟S14)。異常判別部36判斷加速度計9的偵測值是否超過事先設定的第1設定值(步驟S15)。

當夾持單元6位於FOUP90的正上方且中心錐8適切地嵌合於凸緣部91之凹部91a的情況，夾持單元6保持大致水平的姿勢(參照圖3)。在這樣的情況，加速度計9的偵測值成為第1設定值以下，異常判別部36判斷為無異常(步驟S15；否)。接著，把持控制部38進行對於夾持單元6的把持控制，讓爪構件6a閉合而使把持動作實行(步驟S16)。在把持動作中，夾持單元6之爪構件6a進入凸緣部91的下側。另一方面，例如發生了如圖9(b)所示般之嵌合不良的情況，加速度計9的偵測值成為超過第1設定值，異常判別部36判斷為有異常(步驟S15；是)。接著，報知控制部39控制報知裝置而發出錯誤警報(步驟S17)。

藉由以上所說明之一系列的控制，來實行夾持單元6的把持控制。當起因於FOUP90的位置偏移等而無法適切地進行把持控制的情況，夾持單元6會傾斜，而加速度計9會偵測到該傾斜，因此使把持動作不被實行(亦即使爪構件6a不閉合)，並發出錯誤警報。第1設定值設定成，相當於比在中心錐8適切嵌合的狀態下所可能產生之夾持單元6的最大傾斜更大的傾斜之值。

依據本實施形態的高架搬運車1，加速度計9偵測在夾持單元6產生的加速度等。控制裝置7根據夾持單元6的升降動作狀態和加速度計9的偵測結果來判別在夾持單元6有無異常。當僅使用加速度計9的偵測結果的情況，有可能縱使夾持單元6進行正常的動作仍判別為產生了異常，藉由考慮夾持單元6的升降動作狀態(在上述的例子，停止狀態)，可確實地偵測在夾持單元6有無異常。

控制裝置7，依據在夾持單元6停止於把持位置P1的狀態下加速度計9的偵測值是否超過事先設定的第1設定值，來判別在夾持單元6有無異常。如此，可確實地偵測即使開始進行把持動作是否也沒有問題。例如，可防止夾持單元6欲把持FOUP90時使FOUP90受到過度的撞擊等。

加速度計9可偵測在Z方向、X方向及Y方向之夾持單元6的加速度。如此，可在夾持單元6的停止狀態下偵測夾持單元6的傾斜。

接下來，參照圖5及圖6，針對在夾持單元6的上升狀態下夾持單元6有無異常的判別方法做說明。圖5係顯示夾持單元6之裝貨時的上升控制有無異常的偵測狀態。圖6係顯示在該上升控制的處理程序之流程圖。如圖5及圖6所示般，升降控制部37是將把持(保持)有FOUP90的狀態之夾持單元6進行上升控制(步驟S21)。在夾持單元6的上升開始後，實行基於搖晃取得部32之搖晃的取得及監視(步驟S22)，又開始進行基於加速度取得部33及異常判別部36之撞擊偵知的監視(步驟S23)。在搖晃偵測部40及反射板41之投光受光的關係成立的期間，不會依據搖晃取得部32而發出錯誤警報。然而縱使在如此般的搖晃在容許範圍內的狀態下，仍會有使上升中的夾持單元6受到撞擊或振動等的情況。若在步驟S23由加速度取得部33取得從加速度計9輸出之加速度的偵測值，異常判別部36判斷加速度計9的偵測值是否超過事先設定的第2設定值(步驟S24)。

若異常判別部36判斷加速度計9的偵測值為第2設定值以下(步驟S24；否)，則繼續進行夾持單元6的上升控制，位置取得部31辨識夾持單元6位於上升時的減速開始位置P2(步驟S25)。該上升時的減速開始位置P2，如圖5之假想線所示般，可藉由感測器(未圖示)來辨識，該感測器是用於偵知夾持單元6上升到升降部5附近。當夾持單元6到達了上升時的減速開始位置P2時，異常判別部36結束撞擊偵知的監視(步驟S26)。然後，藉由升降控制部37使夾持單元6以減速後的升降速度進一步上升，而使夾持單元6抵達原點位置(上升端)(步驟S27)。

當上升中的夾持單元6受到撞擊或振動等的情況，在步驟S24中，異常判別部36判斷加速度計9的偵測值超過第2設定值(步驟S24；是)，報知控制部39控制報知裝置而發出錯誤警報(步驟S28)。

接下來，參照圖7及圖8，針對在夾持單元6的下降狀態下夾持單元6有無異常的判別方法做說明。圖7係顯示在夾持單元6的卸貨時之下降控制有無異常的偵測狀態。圖8係顯示在該下降控制的處理程序之流程圖。如圖7及圖8所示般，升降控制部37是將把持(保持)有FOUP90的狀態之夾持單元6進行下降控制(步驟S31)。在夾持單元6的下降開始後，實行基於搖晃取得部32之搖晃的取得及監視(步驟S32)，又開始進行基於加速度取得部33及異常判別部36之撞擊偵知的監視(步驟S33)。在搖晃偵測部40及反射板41之投光受光的關係成立的期間，不會依據搖晃取得部32而發出錯誤警報。然而縱使在如此般的搖晃在容許範圍內的狀態下，仍會有使下降中的夾持單元6受到撞擊或振動等的情況。若在步驟S33由加速度取得部33取得從加速度計9輸出之加速度的偵測值，異常判別部36判斷加速度計9的偵測值是否超過事先設定的第2設定值(步驟S34)。

又在下降控制(卸貨時的控制)之第2設定值，雖是與在上述的上升控制(裝貨時的控制)之第2設定值相同，但兩者不同亦可。在下降控制的第2設定值可比在上升控制的第2設定值小。在下降控制的第2設定值可比在上升控制的第2設定值大。第2設定值設定成，超過在夾持單元6之通常的上升控制或通常的下降控制中所可能產生之夾持單元6的既定加速度的範圍之值。

若異常判別部36判斷加速度計9的偵測值為第2設定值以下(步驟S34；否)，則繼續進行夾持單元6的下降控制，位置取得部31辨識夾持單元6位於下降時的減速開始位置P3(步驟S35)。該下降時的減速開始位置P3，如圖7中的假想線所示般，是開始往自動教導(auto teaching)或蠕動控制(creep control)轉移的位置，而在比上述把持位置P1高一點的位置。當夾持單元6到達了下降時的減速開始位置P3時，異常判別部36結束撞擊偵知的監視(步驟S36)。然後，藉由升降控制部37使夾持單元6以減速後的下降速度進一步下降，位置取得部31辨識夾持單元6位於把持位置P1(步驟S37)。接著，把持控制部38對夾持單元6進行解除控制，使爪構件6a打開而解除基於夾持單元6的把持狀態(步驟S38)。

當下降中的夾持單元6受到撞擊或振動等的情況，在步驟S34中，異常判別部36判斷加速度計9的偵測值超過第2設定值(步驟S34；是)，報知控制部39控制報知裝置而發出錯誤警報(步驟S39)。

依據本實施形態的高架搬運車1，加速度計9偵測在夾持單元6產生的加速度等。控制裝置7根據夾持單元6的升降動作狀態和加速度計9的偵測結果來判別在夾持單元6有無異常。當僅使用加速度計9的偵測結果的情況，有可能縱使夾持單元6進行正常的動作仍判別為產生了異常，藉由考慮夾持單元6的升降動作狀態(在上述的例子，上升狀態或下降狀態)，可確實地偵測在夾持單元6有無異常。

控制裝置7依據在夾持單元6的升降動作中加速度計9的偵測值是否超過事先設定的第2設定值來判別在夾持單元6有無異常。如此，可確實地偵測即使繼續進行升降動作是否也沒有問題。例如，可防止當夾持單元6上升或下降時使FOUP90受到過度的撞擊等。

加速度計9可偵測在Z方向、X方向及Y方向之夾持單元6的加速度。如此，還能偵測夾持單元6之水平方向的搖晃或撞擊等。

以上是針對本揭示的實施形態做說明，但本發明並不限定於上述實施形態。例如，加速度計9的構成並不限定於上述實施形態的3軸加速度感測器。將可偵測Z方向的加速度之1個單軸加速度感測器搭載於夾持單元6亦可。在此情況也是，可偵測在夾持單元6中於Z方向產生的異常(搖晃或撞擊等)。

作為凸緣偵測部20也能採用與上述實施形態不同型式的偵測部。對於夾持單元6之中心錐8之相對的上升動作是由與凸緣偵測部20不同的構成來偵測亦可。又只要可與形成在FOUP90的凸緣部91之某些凹部嵌合，也能運用中心錐8以外的定位部。藉由高架搬運車1搬運的物品也可以是FOUP90以外的容器等。

參照圖7及圖8所說明之夾持單元6的下降控制，並不限定於卸貨控制，也能運用在進行自動教導時。

本揭示的一態樣之構成要件是如以下般記載。 [1] 一種高架搬運車，係具備行走部、升降部、夾持單元、加速度計及控制裝置， 前述行走部係沿著行走軌道行走， 前述升降部係設置於前述行走部， 前述夾持單元係藉由前述升降部讓其升降且用於把持物品， 前述加速度計係搭載於前述夾持單元， 前述控制裝置，係辨識前述夾持單元的升降動作狀態，並根據前述升降動作狀態和前述加速度計的偵測結果來判別在前述夾持單元有無異常。 [2] 如[1]所記載的高架搬運車，其中， 前述控制裝置，係依據在前述夾持單元停止於把持位置的狀態下前述加速度計的偵測值是否超過事先設定的第1設定值，來判別在前述夾持單元有無異常。 [3] 如[1]或[2]所記載的高架搬運車，其中， 前述控制裝置，係依據在前述夾持單元的升降動作中前述加速度計的偵測值是否超過事先設定的第2設定值，來判別在前述夾持單元有無異常。 [4] 如[1]~[3]之任一者所記載的高架搬運車，其中， 前述加速度計可偵測在至少鉛直方向之前述夾持單元的加速度。 [5] 如[4]所記載的高架搬運車，其中， 前述加速度計可偵測在分別與前述鉛直方向正交且互相正交之第1水平方向及第2水平方向之前述夾持單元的加速度。

1:高架搬運車 2:行走部 5:升降部 6:夾持單元 6a:爪構件 7:控制裝置 8:中心錐 9:加速度計 20:凸緣偵測部 36:異常判別部 37:升降控制部 38:把持控制部 40:搖晃偵測部 90:FOUP(物品) 101:行走軌道 P1:把持位置 P2:上升時的減速開始位置 P3:下降時的減速開始位置

[圖1]係本揭示的一實施形態之高架搬運車的側視圖。 [圖2]係高架搬運車之控制裝置的功能方塊圖。 [圖3]係顯示在夾持單元的把持控制有無異常之偵測狀態。 [圖4]係顯示在夾持單元的把持控制之處理程序的流程圖。 [圖5]係顯示在夾持單元之裝貨時的上升控制有無異常之偵測狀態。 [圖6]係顯示在夾持單元之裝貨時的上升控制之處理程序的流程圖。 [圖7]係顯示在夾持單元之卸貨時的下降控制有無異常之偵測狀態。 [圖8]係顯示在夾持單元之卸貨時的下降控制之處理程序的流程圖。 [圖9(a)]~[圖9(c)]係顯示起因於物品之位置偏移等而使把持控制無法適切進行的情況之一例。

1:高架搬運車

2:行走部

3:橫移部

4:轉動部

5:升降部

5a:皮帶(吊持構件)

6:夾持單元

6a:爪構件

7:控制裝置

8:中心錐

9:加速度計

10:擋塊

20:凸緣偵測部

90:FOUP(物品)

91:凸緣部

91a:凹部

101:行走軌道

102:裝載埠(移載目的地)

102a:載置面

Claims (5)

1. 一種高架搬運車，係具備行走部、升降部、夾持單元、加速度計及控制裝置， 前述行走部係沿著行走軌道行走， 前述升降部係設置於前述行走部， 前述夾持單元係藉由前述升降部讓其升降且用於把持物品， 前述加速度計係搭載於前述夾持單元， 前述控制裝置，係辨識前述夾持單元的升降動作狀態，並根據前述升降動作狀態和前述加速度計的偵測結果來判別在前述夾持單元有無異常。
2. 如請求項1所述之高架搬運車，其中， 前述控制裝置，係依據在前述夾持單元停止於把持位置的狀態下前述加速度計的偵測值是否超過事先設定的第1設定值，來判別在前述夾持單元有無異常。
3. 如請求項1或2所述之高架搬運車，其中， 前述控制裝置，係依據在前述夾持單元的升降動作中前述加速度計的偵測值是否超過事先設定的第2設定值，來判別在前述夾持單元有無異常。
4. 如請求項1或2所述之高架搬運車，其中， 前述加速度計可偵測在至少鉛直方向之前述夾持單元的加速度。
5. 如請求項4所述之高架搬運車，其中， 前述加速度計可偵測在分別與前述鉛直方向正交且互相正交之第1水平方向及第2水平方向之前述夾持單元的加速度。

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