WO2023084940A1 - 天井搬送車 - Google Patents

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WO2023084940A1
WO2023084940A1 PCT/JP2022/036749 JP2022036749W WO2023084940A1 WO 2023084940 A1 WO2023084940 A1 WO 2023084940A1 JP 2022036749 W JP2022036749 W JP 2022036749W WO 2023084940 A1 WO2023084940 A1 WO 2023084940A1
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WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
gripper unit
unit
accelerometer
gripper
abnormality
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/036749
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
誠 小林
和也 青本
Original Assignee
村田機械株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 村田機械株式会社 filed Critical 村田機械株式会社
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Priority to CN202280056622.9A priority patent/CN117916175A/zh
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B13/00—Other railway systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
    • B61B3/02—Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/07—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for semiconductor wafers Not used, see H01L21/677
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Definitions

  • This disclosure relates to an overhead transport vehicle.
  • the overhead transport vehicle described in Patent Document 1 includes a traveling portion that travels along a traveling rail, an elevating portion provided in the traveling portion, and a holding portion that is raised and lowered by the elevating portion and holds a flange portion of a container.
  • the holding portion is provided with a center cone as a positioning portion that fits into the concave portion formed in the flange portion.
  • the center cone can move up and down with respect to the holding portion, and the detection portion detects the relative upward motion of the center cone with respect to the holding portion.
  • the control unit recognizes that the holding unit has reached the height position at which the gripping operation should be performed based on the relative upward movement (or the amount of upward movement) of the center cone.
  • the control section stops the lowering of the holding section at the height position, and causes the holding section to perform a gripping operation.
  • the container may not be placed at an appropriate position on the placement surface.
  • FIG. 9A when the container 90 is out of position with respect to the descending gripper unit (holding portion) 6, the center cone 8 does not fit into the concave portion 91a and the other portion of the flange portion 91 does not fit. (see FIG. 9(b)). Even in such a case, there is a possibility that the relative upward motion of the center cone 8 with respect to the gripper unit 6 will be detected and the gripping motion will start (see FIG. 9(c)). In this case, the claw member 6 a of the gripper unit 6 does not enter the lower side of the flange portion 91 . Therefore, various errors may occur before the gripper unit 6 is lifted, and it is desirable to be able to detect such an abnormality in the gripper unit 6 before starting the gripping operation.
  • the present disclosure describes an overhead transport vehicle that can reliably detect an abnormality such as when a gripping operation is started in a gripper unit.
  • An overhead guided vehicle includes a traveling section that travels along a traveling rail, an elevating section provided in the traveling section, a gripper unit that is raised and lowered by the elevating section to grip an article, and a gripper unit. and an accelerometer mounted on the gripper unit, and a control device that recognizes the up-and-down operation state of the gripper unit and determines whether there is an abnormality in the gripper unit based on the up-and-down operation state and the detection result of the accelerometer.
  • the accelerometer detects acceleration and the like generated in the gripper unit.
  • the control device determines whether or not there is an abnormality in the gripper unit based on the lifting operation state of the gripper unit and the detection result of the accelerometer. If only the detection result of the accelerometer is used, it may be determined that an abnormality has occurred even though the gripper unit is operating normally. Therefore, the presence or absence of an abnormality in the gripper unit can be reliably detected.
  • the control device may determine whether there is an abnormality in the gripper unit based on whether the detected value of the accelerometer when the gripper unit is stopped at the gripping position exceeds a preset first set value. In this case, it is possible to reliably detect whether or not there is no problem even if the gripping motion is started. For example, when the gripper unit tries to grip an article, it is possible to prevent excessive impact from being applied to the article.
  • the control device may determine whether there is an abnormality in the gripper unit based on whether or not the detected value of the accelerometer during the lifting operation of the gripper unit exceeds a preset second set value. In this case, it is possible to reliably detect whether or not there is no problem even if the lifting operation is continued. For example, when the gripper unit ascends or descends, it is possible to prevent excessive impact from being applied to the article.
  • the accelerometer may be capable of detecting acceleration of the gripper unit at least in the vertical direction. In this case, it is possible to detect vertical swings or impacts in the gripper unit.
  • the accelerometer may be capable of detecting acceleration of the gripper unit in a first horizontal direction and a second horizontal direction, each perpendicular to the vertical direction and perpendicular to each other. In this case it is also possible to detect horizontal swings or impacts etc. in the gripper unit. A tilt of the gripper unit can also be detected when the gripper unit is stationary.
  • the ceiling transport vehicle of the present disclosure it is possible to reliably detect an abnormality in the gripper unit.
  • FIG. 1 is a side view of an overhead transport vehicle according to an embodiment of the present disclosure
  • FIG. FIG. 2 is a functional block diagram of a control device in the overhead transport vehicle.
  • FIG. 3 is a diagram showing a detection state of presence/absence of an abnormality in gripping control of the gripper unit.
  • FIG. 4 is a flowchart showing a processing procedure in gripping control of the gripper unit.
  • FIG. 5 is a diagram showing a detection state of the presence or absence of an abnormality in lift control when the gripper unit grabs a load.
  • FIG. 6 is a flow chart showing a processing procedure in lift control when the gripper unit grabs a load.
  • FIG. 7 is a diagram showing the detection state of the presence or absence of an abnormality in the lowering control during unloading of the gripper unit.
  • FIG. 8 is a flow chart showing a processing procedure in lowering control when the gripper unit is unloaded.
  • FIGS. 9(a) to 9(c) are diagrams showing an example of a case in which gripping control is not properly performed due to misalignment of an article or the like.
  • the ceiling carrier 1 runs along a running rail 101 laid near the ceiling of a clean room where semiconductor devices are manufactured.
  • the overhead transport vehicle 1 transports a FOUP (goods) 90, which is a container containing a plurality of semiconductor wafers.
  • the overhead transport vehicle 1 transfers the FOUP 90 to a load port (transfer destination) 102 provided in a processing apparatus that performs various types of processing on semiconductor wafers. That is, the overhead guided vehicle 1 collects the FOUP 90 arranged on the mounting surface 102 a of the load port 102 and arranges the FOUP 90 on the mounting surface 102 a of the load port 102 .
  • the overhead transport vehicle 1 includes a traveling section 2, a lateral feeding section 3, a rotating section 4, an elevating section 5, a gripper unit 6, and a control device 7.
  • the traveling unit 2 travels along the traveling rail 101 by being supplied with electric power in a non-contact manner from, for example, a high-frequency current line laid along the traveling rail 101 .
  • the lateral feeder 3 moves the rotating part 4, the lifting part 5, and the gripper unit 6 laterally with respect to the direction in which the running rail 101 extends.
  • the rotating section 4 rotates the lifting section 5 and the gripper unit 6 in the horizontal plane.
  • the lifting section 5 has a plurality of belts (suspension members) 5a, and a gripper unit 6 is attached to the lower end of the belts 5a.
  • the lifting section 5 lifts and lowers the gripper unit 6 by drawing out or winding up a plurality of belts (hanging members) 5a.
  • the gripper unit 6 grips the flange portion 91 of the FOUP 90 by closing the pair of claw members 6a.
  • the gripper unit 6 releases the gripping state of the flange portion 91 by opening the pair of claw members 6a.
  • the control device 7 is an electronic control unit including a CPU (processor), ROM, RAM, and the like. The control device 7 controls the operation of each section of the overhead transport vehicle 1 .
  • the XYZ axes are also written.
  • the Y direction in the drawing is the running direction of the overhead transport vehicle 1
  • the X direction in the drawing is the lateral movement direction in which the gripper unit 6 and the like are moved by the lateral feeding section 3.
  • the Z direction in the drawing is the vertical direction.
  • the overhead carrier 1 lowers the gripper unit 6 along the Z direction and raises the gripper unit 6 along the Z direction.
  • the traveling direction (Y direction; first horizontal direction) of the overhead transport vehicle 1 and the lateral movement direction (X direction; second horizontal direction) of the traversing unit 3 are orthogonal to the vertical direction (Z direction) and are orthogonal to each other.
  • do. 3, 5, and 7, which will be referred to in the description below, also include the XYZ axes.
  • the ceiling transport vehicle 1 further includes, for example, a center cone (positioning portion) 8, a dog 10, and a flange detection portion 20.
  • a center cone (positioning portion) 8 At the center of the flange portion 91 of the FOUP 90, a concave portion 91a opened upward is formed.
  • the center cone 8 is a member that fits into the concave portion 91 a of the flange portion 91 for positioning the gripper unit 6 with respect to the FOUP 90 .
  • the center cone 8 , dog 10 and flange detector 20 are provided in the gripper unit 6 .
  • Center cone 8 , dog 10 and flange detector 20 are attached to a base (not shown) of gripper unit 6 .
  • the center cone 8 is biased downward by a spring (not shown) attached to the base portion and is vertically movable with respect to the gripper unit 6 .
  • the gripper unit 6 When gripping the FOUP 90 placed on the load port 102 , the gripper unit 6 is controlled to descend by the control device 7 and the center cone 8 fits into the concave portion 91 a of the flange portion 91 . When the gripper unit 6 further descends due to its own weight, the center cone 8 rises relative to the gripper unit 6 .
  • the control device 7 controls the gripper unit 6 to reach the gripping position P1 (see FIG. 3) by means of a photointerrupter consisting of a light-projecting portion and a light-receiving portion of the flange detection portion 20 and a light-shielding plate portion of the dog 10 passing on the optical axis of the photointerrupter.
  • the control device 7 stops the descent of the gripper unit 6 and causes the gripper unit 6 to close the pair of claw members 6a. By closing the claw member 6 a , the claw member 6 a enters the lower side of the flange portion 91 . After that, the control device 7 starts lifting the gripper unit 6 by the lifting section 5 .
  • the gripper unit 6 holding the FOUP 90 places the FOUP 90 on the mounting surface 102a of the load port 102, that is, when unloading, the operation is the reverse of the gripping operation.
  • the elevating section 5 has an elevating motor (not shown).
  • the elevating motor draws out the belt 5a to lower the gripper unit 6, and the elevating motor winds up the belt 5a to raise the gripper unit 6.
  • the lifting motor is driven and controlled by the control device 7 .
  • the control device 7 can detect the feed amount (belt length) of the belt 5a by receiving a signal related to rotation from the lifting motor.
  • the control device 7 can detect the position (height position) of the gripper unit 6 based on the amount of feed (belt length) of the belt 5a.
  • the ceiling guided vehicle 1 includes a shake detector 40 that detects shake of the gripper unit 6.
  • the shake detection unit 40 is attached to the elevating unit 5, for example.
  • the shake detection section 40 has, for example, a light projecting section and a light receiving section, and these light projecting section and light receiving section are exposed downward.
  • a reflector 41 is attached to the upper surface of the gripper unit 6 . With the state in which the gripper unit 6 hangs down straight (that is, the state in which the belt 5a extends in the vertical direction) as a reference, the shake detector 40 emits light downward, and the reflected light reflected by the reflector 41 is By detecting, it can be detected that the gripper unit 6 is not shaking.
  • the shake detection section 40 can detect that the gripper unit 6 is shaken by a predetermined amount or more by not detecting reflected light (reflected light cannot be detected).
  • the shake detection unit 40 outputs (transmits) the detection result of the shake of the gripper unit 6 to the control device 7 .
  • An accelerometer 9 (see FIG. 1) is mounted on the gripper unit 6 of this embodiment.
  • the accelerometer 9 is attached to the base of the gripper unit 6, for example.
  • the accelerometer 9 is, for example, a triaxial acceleration sensor capable of detecting acceleration in each of the Z direction, X direction and Y direction.
  • the type of accelerometer 9 is not particularly limited.
  • the gripper unit 6 may be equipped with three single-axis acceleration sensors capable of detecting acceleration in the Z, X, and Y directions, respectively.
  • the control device 7 determines whether there is an abnormality in the gripper unit 6. Each function provided in the control device 7 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a functional block diagram of the control device 7 in the overhead transport vehicle 1. As shown in FIG. The control device 7 has a position acquisition section 31 , a shake acquisition section 32 , an acceleration acquisition section 33 , a storage section 34 and an abnormality determination section 36 .
  • the position acquisition unit 31 receives signals output from the lifting motor of the belt 5a and the flange detection unit 20, and acquires the position (height position) of the gripper unit 6 based on the input signals.
  • the position acquisition unit 31 acquires the position of the gripper unit 6 to recognize the lifting operation state of the gripper unit 6 .
  • the lifting operation state of the gripper unit 6 includes a state in which the gripper unit 6 is stopped at a gripping position P1 (see FIG. 3) or the like, a state in which the gripper unit 6 is raised, and a state in which the gripper unit 6 is lowered. including. While the gripper unit 6 is ascending, the position acquisition unit 31 monitors whether the gripper unit 6 reaches the deceleration start position P2 (see FIG. 5) or the like when the gripper unit 6 is ascending. Further, while the gripper unit 6 is being lowered, the position acquisition section 31 monitors whether the gripper unit 6 reaches the deceleration start position P3 (see FIG. 7) or the like when the gripper unit 6 is lowered.
  • the shake acquisition unit 32 receives a signal output from the shake detection unit 40 and acquires the shake (amount of shake) of the gripper unit 6 .
  • the acceleration acquisition unit 33 receives the detection signal output from the accelerometer 9 in the gripper unit 6 and acquires the acceleration generated in the gripper unit 6 .
  • the abnormality determination unit 36 determines whether there is an abnormality in the gripper unit 6 based on the lifting operation state of the gripper unit 6 and the detection result of the accelerometer 9 .
  • the storage unit 34 stores various thresholds used in the abnormality determination unit 36 . More specifically, the storage unit 34 stores a first set value that is a threshold value for determining whether or not there is an abnormality in the gripper unit 6 while the gripper unit 6 is stopped at the gripping position P1 (see FIG. 3). ing.
  • the first set value is, for example, a threshold value related to acceleration of the gripper unit 6 in the Z direction (inclination with respect to the Z direction).
  • the storage unit 34 also stores a second set value that is a threshold value for determining whether or not there is an abnormality in the gripper unit 6 during the up/down operation of the gripper unit 6 (up/down state).
  • the second set value is, for example, a threshold for acceleration of the gripper unit 6 in the Z direction.
  • the second setpoint may for example be a threshold for the acceleration of the gripper unit 6 in the X and/or Y direction.
  • the control device 7 further includes an elevation control section 37, a grip control section 38, and a notification control section 39.
  • the elevation control section 37 lowers, stops, or raises the gripper unit 6 by controlling the elevation motor of the elevation section 5 .
  • the grip control unit 38 controls opening and closing of the claw members 6a of the gripper unit 6.
  • the notification control unit 39 operates a notification device such as an alarm installed in, for example, a host controller to issue an error notification. .
  • FIG. 3 is a diagram showing a detection state of whether or not there is an abnormality in gripping control of the gripper unit 6.
  • FIG. 4 is a flow chart showing a processing procedure in the gripping control.
  • the elevation control unit 37 lowers the gripper unit 6 that grips (holds) the FOUP 90 (step S11).
  • the position acquisition section 31 recognizes that the gripper unit 6 is positioned at the gripping position P1 based on the signal output from the flange detection section 20 (step S12).
  • the elevation control unit 37 stops and controls the lowering of the gripper unit 6 (step S13). With the gripper unit 6 stopped at the gripping position P1, the acceleration acquisition unit 33 acquires the acceleration detection value output from the accelerometer 9 (step S14). The abnormality determination unit 36 determines whether or not the detected value of the accelerometer 9 exceeds a preset first set value (step S15).
  • the gripper unit 6 When the gripper unit 6 is positioned directly above the FOUP 90 and the center cone 8 is properly fitted into the concave portion 91a of the flange portion 91, the gripper unit 6 maintains a substantially horizontal posture (see FIG. 3). In such a case, the detected value of the accelerometer 9 becomes equal to or less than the first set value, and the abnormality determining section 36 determines that there is no abnormality (step S15; NO). Then, the gripping control section 38 performs gripping control for the gripper unit 6, closes the claw members 6a, and executes the gripping operation (step S16). In the gripping operation, the claw members 6 a of the gripper unit 6 enter the lower side of the flange portion 91 .
  • Step S15 when a fitting failure as shown in FIG. 9B occurs, the detected value of the accelerometer 9 exceeds the first set value, and the abnormality determination unit 36 determines that there is an abnormality ( Step S15; YES). Then, the notification control unit 39 controls the notification device to issue an error notification (step S17).
  • the gripping control in the gripper unit 6 is executed by the series of controls described above. If the gripping control cannot be properly performed due to positional deviation of the FOUP 90, etc., the gripper unit 6 is tilted, and this is detected by the accelerometer 9. Therefore, the gripping operation is not executed (that is, the claw members 6a are closed) and an error is raised.
  • the first set value is set to a value that corresponds to a tilt that is greater than the maximum tilt of the gripper unit 6 that can occur when the center cone 8 is properly fitted.
  • the accelerometer 9 detects acceleration and the like generated in the gripper unit 6 .
  • the control device 7 determines whether or not there is an abnormality in the gripper unit 6 based on the lifting operation state of the gripper unit 6 and the detection result of the accelerometer 9 . If only the detection result of the accelerometer 9 is used, it may be determined that an abnormality has occurred even though the gripper unit 6 is operating normally. In the above example, it is possible to reliably detect the presence or absence of an abnormality in the gripper unit 6 by taking into consideration the stopped state.
  • the control device 7 determines whether or not there is an abnormality in the gripper unit 6 based on whether or not the detected value of the accelerometer 9 when the gripper unit 6 is stopped at the gripping position P1 exceeds a preset first set value. . Therefore, it is possible to reliably detect whether or not there is no problem even if the gripping motion is started. For example, when the gripper unit 6 tries to grip the FOUP 90, it is possible to prevent the FOUP 90 from being subjected to an excessive impact.
  • the accelerometer 9 can detect the acceleration of the gripper unit 6 in the Z, X and Y directions. Therefore, the inclination of the gripper unit 6 can be detected when the gripper unit 6 is stopped.
  • FIG. 5 is a diagram showing a detection state of the presence or absence of an abnormality in the lift control when the gripper unit 6 grabs a load.
  • FIG. 6 is a flow chart showing a processing procedure in the ascending control.
  • the elevation control section 37 raises and controls the gripper unit 6 that grips (holds) the FOUP 90 (step S21).
  • the vibration acquisition unit 32 acquires and monitors the vibration (step S22), and the acceleration acquisition unit 33 and the abnormality determination unit 36 start monitoring impact detection (step S23). .
  • the vibration acquisition unit 32 While the vibration detection unit 40 and the reflection plate 41 are transmitting and receiving light, the vibration acquisition unit 32 does not issue an error notification. However, even when such swinging is within the permissible range, the gripper unit 6 may be subject to impact, vibration, or the like while it is ascending.
  • the acceleration acquisition unit 33 acquires the acceleration detection value output from the accelerometer 9 in step S23
  • the abnormality determination unit 36 determines whether the detection value of the accelerometer 9 exceeds a preset second set value. (step S24).
  • the gripper unit 6 When the abnormality determination unit 36 determines that the detected value of the accelerometer 9 is equal to or less than the second set value (step S24; NO), the gripper unit 6 continues to be controlled to rise, and the position acquisition unit 31 determines that the gripper unit 6 is It is recognized that the vehicle is positioned at the deceleration start position P2 for ascent (step S25).
  • the deceleration start position P2 during the ascent may be recognized by a sensor (not shown) that detects when the gripper unit 6 has ascended to the vicinity of the elevator 5, as indicated by the phantom line in FIG.
  • the abnormality determination section 36 terminates monitoring of impact detection (step S26). After that, the gripper unit 6 is further lifted at the reduced lifting speed by the lifting control section 37, and the gripper unit 6 reaches the origin position (lifting end) (step S27).
  • step S24 When an impact or vibration is applied to the rising gripper unit 6, in step S24, the abnormality determination unit 36 determines that the detected value of the accelerometer 9 exceeds the second set value (step S24; YES ), the notification control unit 39 controls the notification device to issue an error notification (step S28).
  • FIG. 7 is a diagram showing a detection state of the presence or absence of an abnormality in lowering control during unloading of the gripper unit 6.
  • FIG. 8 is a flow chart showing a processing procedure in the descent control.
  • the elevation control unit 37 lowers the gripper unit 6 while gripping (holding) the FOUP 90 (step S31).
  • the vibration acquisition section 32 acquires and monitors the vibration (step S32), and the acceleration acquisition section 33 and the abnormality determination section 36 start monitoring impact detection (step S33). .
  • the vibration acquisition unit 32 While the vibration detection unit 40 and the reflection plate 41 are transmitting and receiving light, the vibration acquisition unit 32 does not issue an error notification. However, even when such swinging is within the permissible range, the gripper unit 6 may be subjected to shock, vibration, or the like during its descent.
  • the acceleration acquisition unit 33 acquires the acceleration detection value output from the accelerometer 9 in step S33
  • the abnormality determination unit 36 determines whether the detection value of the accelerometer 9 exceeds a preset second set value. is determined (step S34).
  • the second set value in the descent control (control when unloading cargo) is the same as the second set value in the above-described rise control (control when grabbing cargo), they may be different.
  • the second set value for the downward control may be smaller than the second set value for the upward control.
  • the second set value for the downward control may be greater than the second set value for the upward control.
  • the second set value is set to a value exceeding a predetermined range of acceleration of the gripper unit 6 that can occur during normal upward control or normal downward control of the gripper unit 6 .
  • step S34 determines that the detected value of the accelerometer 9 is equal to or less than the second set value (step S34; NO)
  • the downward control of the gripper unit 6 is continued, and the position acquisition unit 31 determines that the gripper unit 6 is It recognizes that it is positioned at the deceleration start position P3 for descent (step S35).
  • the deceleration start position P3 during the descent is the transition start position to auto-teaching or creep control, as indicated by the phantom line in FIG. 7, and is set at a position somewhat higher than the gripping position P1. .
  • the abnormality determination section 36 terminates monitoring of impact detection (step S36).
  • the gripper unit 6 is further lowered at a reduced lowering speed by the elevation control section 37, and the position acquisition section 31 recognizes that the gripper unit 6 is positioned at the gripping position P1 (step S37). Then, the grip control unit 38 performs release control on the gripper unit 6 to open the claw members 6a to release the gripping state of the gripper unit 6 (step S38).
  • step S34 When an impact, vibration, or the like is applied to the lowering gripper unit 6, in step S34, the abnormality determination section 36 determines that the detected value of the accelerometer 9 exceeds the second set value (step S34; YES), the notification control unit 39 controls the notification device to issue an error notification (step S39).
  • the accelerometer 9 detects acceleration and the like generated in the gripper unit 6 .
  • the control device 7 determines whether or not there is an abnormality in the gripper unit 6 based on the lifting operation state of the gripper unit 6 and the detection result of the accelerometer 9 . If only the detection result of the accelerometer 9 is used, it may be determined that an abnormality has occurred even though the gripper unit 6 is operating normally. In the above example, the rising state or the falling state) is taken into consideration, so that the presence or absence of an abnormality in the gripper unit 6 can be reliably detected.
  • the control device 7 determines whether or not there is an abnormality in the gripper unit 6 based on whether the detected value of the accelerometer 9 during the lifting operation of the gripper unit 6 exceeds a preset second set value. Therefore, it is possible to reliably detect whether or not there is no problem even if the lifting operation is continued. For example, when the gripper unit 6 ascends or descends, it is possible to prevent the FOUP 90 from being subjected to excessive impact.
  • the accelerometer 9 can detect the acceleration of the gripper unit 6 in the Z, X and Y directions. Therefore, it is possible to detect even horizontal swings or shocks in the gripper unit 6 .
  • the present invention is not limited to the above embodiments.
  • the configuration of the accelerometer 9 is not limited to the triaxial acceleration sensor in the above embodiment.
  • a single-axis acceleration sensor capable of detecting acceleration in the Z direction may be mounted on the gripper unit 6 . Even in this case, an abnormality (shaking, impact, etc.) occurring in the gripper unit 6 in the Z direction can be detected.
  • a detection section of a type different from that of the above embodiment may be employed.
  • the relative upward movement of the center cone 8 with respect to the gripper unit 6 may be detected by a configuration different from the flange detection section 20 .
  • a positioning portion other than the center cone 8 may be applied as long as it can be fitted into some kind of concave portion formed in the flange portion 91 of the FOUP 90 .
  • Articles transported by the overhead transport vehicle 1 may be containers other than the FOUP 90 .
  • the lowering control of the gripper unit 6 described with reference to FIGS. 7 and 8 is not limited to unloading control, and may be applied when performing auto-teaching.
  • a running portion that runs along the running rail; an elevating unit provided in the traveling unit; a gripper unit that is raised and lowered by the raising and lowering part and grips an article; an accelerometer mounted on the gripper unit; and a control device that recognizes a lifting operation state of the gripper unit and determines whether or not there is an abnormality in the gripper unit based on the lifting operation state and the detection result of the accelerometer.
  • the control device determines whether or not there is an abnormality in the gripper unit based on whether or not the detected value of the accelerometer when the gripper unit is stopped at the gripping position exceeds a preset first set value.

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Abstract

天井搬送車は、走行レールに沿って走行する走行部と、走行部に設けられた昇降部と、昇降部によって昇降させられ、物品を把持するグリッパユニットと、グリッパユニットに設けられた加速度計と、グリッパユニットの昇降動作状態を認識し、当該昇降動作状態と加速度計の検出結果とに基づいて、グリッパユニットにおける異常の有無を判別する制御装置と、を備える。

Description

天井搬送車
　本開示は、天井搬送車に関する。
　走行レールに沿って走行し、容器を搬送する天井搬送車が知られている。特許文献１に記載された天井搬送車は、走行レールに沿って走行する走行部と、走行部に設けられた昇降部と、昇降部によって昇降させられ、容器が有するフランジ部を保持する保持部とを備える。保持部には、フランジ部に形成された凹部に嵌合する位置決め部としてのセンターコーンが設けられている。センターコーンは、保持部に対して昇降自在であり、検出部によって、保持部に対するセンターコーンの相対的な上昇動作が検出される。制御部は、センターコーンの相対的な上昇動作（又は上昇量）に基づいて、保持部が把持動作を行うべき高さ位置に到達したことを認識する。制御部は、その高さ位置にて保持部の下降を停止させ、保持部における把持動作を実行させる。
国際公開第２０１８／１７９９３１号
　ところで、例えば、載置面において容器が適切な位置に載置されていない可能性がある。図９（ａ）に示されるように、下降するグリッパユニット（保持部）６に対して容器９０の位置がずれていると、センターコーン８は凹部９１ａに嵌合せずフランジ部９１の他の部分に接触する可能性がある（図９（ｂ）参照）。そのような場合であっても、グリッパユニット６に対するセンターコーン８の相対的な上昇動作が検出され、把持動作を開始してしまう可能性がある（図９（ｃ）参照）。この場合、フランジ部９１の下側にグリッパユニット６の爪部材６ａが入り込まない。従ってグリッパユニット６が上昇するまでに各種のエラーが発生し得るが、把持動作を開始する前に、このようなグリッパユニット６における異常を検出できることが望ましい。
　本開示は、グリッパユニットにおける把持動作開始時等の異常を確実に検出することができる天井搬送車を説明する。
　本開示の一態様に係る天井搬送車は、走行レールに沿って走行する走行部と、走行部に設けられた昇降部と、昇降部によって昇降させられ、物品を把持するグリッパユニットと、グリッパユニットに搭載された加速度計と、グリッパユニットの昇降動作状態を認識し、昇降動作状態と加速度計の検出結果とに基づいて、グリッパユニットにおける異常の有無を判別する制御装置と、を備える。
　この天井搬送車によれば、加速度計は、グリッパユニットにおいて生じる加速度等を検出する。制御装置は、グリッパユニットの昇降動作状態と、加速度計の検出結果とに基づいて、グリッパユニットにおける異常の有無を判別する。加速度計の検出結果のみを用いた場合、グリッパユニットが正常な動作を行っているにも関わらず異常が発生したと判別してしまう可能性があるが、グリッパユニットの昇降動作状態を加味することで、グリッパユニットにおける異常の有無を確実に検出することができる。
　制御装置は、グリッパユニットが把持位置にて停止した状態における加速度計の検出値が予め設定された第１設定値を超えているか否かによってグリッパユニットにおける異常の有無を判別してもよい。この場合、把持動作を開始しても問題がないか否かを確実に検出することができる。例えば、グリッパユニットが物品を把持しようとする際、物品に過剰な衝撃が加わること等を防止することができる。
　制御装置は、グリッパユニットの昇降動作中における加速度計の検出値が予め設定された第２設定値を超えているか否かによってグリッパユニットにおける異常の有無を判別してもよい。この場合、昇降動作を継続しても問題がないか否かを確実に検出することができる。例えば、グリッパユニットが上昇又は下降する際、物品に過剰な衝撃が加わること等を防止することができる。
　加速度計は、少なくとも鉛直方向におけるグリッパユニットの加速度を検出可能であってもよい。この場合、グリッパユニットにおける鉛直方向の揺れ又は衝撃等を検出することができる。
　加速度計は、鉛直方向にそれぞれ直交すると共に互いに直交する第１水平方向及び第２水平方向におけるグリッパユニットの加速度を検出可能であってもよい。この場合、グリッパユニットにおける水平方向の揺れ又は衝撃等をも検出することができる。グリッパユニットの停止状態において、グリッパユニットの傾きを検出することもできる。
　本開示の天井搬送車によれば、グリッパユニットにおける異常を確実に検出することができる。
図１は、本開示の一実施形態に係る天井搬送車の側面図である。 図２は、天井搬送車における制御装置の機能ブロック図である。 図３は、グリッパユニットの把持制御における異常の有無の検出状態を示す図である。 図４は、グリッパユニットの把持制御における処理手順を示すフロー図である。 図５は、グリッパユニットの荷掴み時の上昇制御における異常の有無の検出状態を示す図である。 図６は、グリッパユニットの荷掴み時の上昇制御における処理手順を示すフロー図である。 図７は、グリッパユニットの荷降ろし時の下降制御における異常の有無の検出状態を示す図である。 図８は、グリッパユニットの荷降ろし時の下降制御における処理手順を示すフロー図である。 図９（ａ）～図９（ｃ）は、物品の位置ずれ等に起因して把持制御が適正に行われなかった場合の一例を示す図である。
　以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
　図１に示されるように、天井搬送車１は、半導体デバイスが製造されるクリーンルームの天井付近に敷設された走行レール１０１に沿って走行する。天井搬送車１は、複数枚の半導体ウェハが収容された容器であるＦＯＵＰ（物品）９０を搬送する。天井搬送車１は、半導体ウェハに各種処理を施す処理装置に設けられたロードポート（移載先）１０２に対してＦＯＵＰ９０の移載を行う。すなわち、天井搬送車１は、ロードポート１０２の載置面１０２ａに配置されているＦＯＵＰ９０を回収したり、ロードポート１０２の載置面１０２ａにＦＯＵＰ９０を配置したりする。
　天井搬送車１は、走行部２と、横送り部３と、回動部４と、昇降部５と、グリッパユニット６と、制御装置７と、を備えている。走行部２は、例えば、走行レール１０１に沿って敷設された高周波電流線から無接触で電力の供給を受けることにより、走行レール１０１に沿って走行する。横送り部３は、走行レール１０１が延在する方向に対して横方向に、回動部４、昇降部５及びグリッパユニット６を移動させる。回動部４は、昇降部５及びグリッパユニット６を水平面内において回動させる。昇降部５は、複数本のベルト（吊持部材）５ａを有しており、ベルト５ａの下端部に、グリッパユニット６が取り付けられている。昇降部５は、複数本のベルト（吊持部材）５ａを繰り出し又は巻き取ることにより、グリッパユニット６を昇降させる。グリッパユニット６は、一対の爪部材６ａを閉じることにより、ＦＯＵＰ９０が有するフランジ部９１を把持する。グリッパユニット６は、一対の爪部材６ａを開くことにより、フランジ部９１の把持状態を解除する。制御装置７は、ＣＰＵ（プロセッサ）、ＲＯＭ及びＲＡＭ等によって構成された電子制御ユニットである。制御装置７は、天井搬送車１の各部の動作を制御する。
　図１には、ＸＹＺ軸が併記されている。図中のＹ方向は天井搬送車１の走行方向であり、図中のＸ方向は、横送り部３によってグリッパユニット６等が移動させられる横移動方向である。図中のＺ方向は鉛直方向である。天井搬送車１は、Ｚ方向に沿ってグリッパユニット６を下降させ、また、Ｚ方向に沿ってグリッパユニット６を上昇させる。天井搬送車１の走行方向（Ｙ方向；第１水平方向）及び横送り部３による横移動方向（Ｘ方向；第２水平方向）は、鉛直方向（Ｚ方向）にそれぞれ直交すると共に、互いに直交する。なお、後述の説明において参照される図３、図５及び図７にも、同様に、ＸＹＺ軸が併記されている。
　天井搬送車１は、例えば、センターコーン（位置決め部）８と、ドグ１０と、フランジ検出部２０と、を更に備えている。ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１の中央には、上方に開放された凹部９１ａが形成されている。センターコーン８は、ＦＯＵＰ９０に対するグリッパユニット６の位置決めのために、フランジ部９１の凹部９１ａに嵌合する部材である。センターコーン８、ドグ１０及びフランジ検出部２０は、グリッパユニット６に設けられている。センターコーン８、ドグ１０及びフランジ検出部２０は、グリッパユニット６のベース部（図示せず）に取り付けられている。センターコーン８は、ベース部に取り付けられたスプリング（図示せず）によって下方に付勢されると共に、グリッパユニット６に対して上下動自在である。
　ロードポート１０２に載置されたＦＯＵＰ９０の荷掴みを行う際、制御装置７によってグリッパユニット６が下降制御され、センターコーン８がフランジ部９１の凹部９１ａに嵌合する。グリッパユニット６が更に自重によって下降すると、グリッパユニット６に対してセンターコーン８が相対的に上昇する。フランジ検出部２０の投光部及び受光部からなるフォトインタラプタと、その光軸上を通過するドグ１０の遮光板部とによって、制御装置７は、グリッパユニット６が把持位置Ｐ１（図３参照）に到達したことを認識する。制御装置７は、グリッパユニット６の下降を停止させて、グリッパユニット６に一対の爪部材６ａを閉じさせる。爪部材６ａが閉じることで、フランジ部９１の下側に爪部材６ａが入り込む。その後、制御装置７は、昇降部５によるグリッパユニット６の上昇を開始させる。ＦＯＵＰ９０を保持したグリッパユニット６がロードポート１０２の載置面１０２ａにＦＯＵＰ９０を配置する際、すなわち荷降ろしの際の動作は、荷掴みの際の動作とは逆である。
　センターコーン８、ドグ１０及びフランジ検出部２０を用いたグリッパユニット６の位置の認識及びグリッパユニット６によるＦＯＵＰ９０の把持状態の認識は、例えば、上記特許文献１（国際公開第２０１８／１７９９３１号）に記載された構成及び方法によって実現される。しかしながら、それ以外の公知の構成及び方法によって、グリッパユニット６の位置の認識及びグリッパユニット６によるＦＯＵＰ９０の把持状態の認識がなされてもよい。
　昇降部５は、昇降モータ（図示せず）を有しており、昇降モータがベルト５ａを繰り出すことによってグリッパユニット６を下降させ、昇降モータがベルト５ａを巻き上げることによってグリッパユニット６を上昇させる。昇降モータは、制御装置７によって駆動制御される。制御装置７は、昇降モータからの回転に関わる信号を受け取ることで、ベルト５ａの繰出し量（ベルト長）を検知可能である。制御装置７は、ベルト５ａの繰出し量（ベルト長）に基づき、グリッパユニット６の位置（高さ位置）を検知可能である。
　図５に示されるように、天井搬送車１は、グリッパユニット６の揺れを検知する揺れ検出部４０を備えている。揺れ検出部４０は、例えば昇降部５に取り付けられている。揺れ検出部４０は、例えば投光部及び受光部を有しており、これらの投光部及び受光部が下方に向けて露出している。一方、グリッパユニット６の上面には反射板４１が取り付けられている。グリッパユニット６が真っすぐに垂下する状態（すなわちベルト５ａが鉛直方向に延在する状態）を基準として、揺れ検出部４０は、下方に向けて光を出射し、反射板４１で反射した反射光を検出することで、グリッパユニット６が揺れていないことを検出可能である。換言すれば、揺れ検出部４０は、反射光を検出しない（反射光が検出できない）ことで、グリッパユニット６が所定量以上揺れていることを検出可能である。揺れ検出部４０は、グリッパユニット６の揺れの検出結果を制御装置７へと出力（送信）する。
　続いて、グリッパユニット６における異常（例えば、グリッパユニット６において生じる傾き、揺れ、又は衝撃等）を検出するための構成について説明する。本実施形態のグリッパユニット６には、加速度計９（図１参照）が搭載されている。加速度計９は、例えばグリッパユニット６のベース部に取り付けられている。加速度計９は、例えば、Ｚ方向、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれにおける加速度を検出可能な３軸加速度センサである。加速度計９の型式は特に限定されない。加速度計９として、例えば、静電容量式のセンサが適用されてもよいし、ピエゾ抵抗式のセンサが適用されてもよい。なお、グリッパユニット６に、Ｚ方向、Ｘ方向及びＹ方向の加速度をそれぞれ検出可能な単軸加速度センサが３つ搭載されてもよい。
　制御装置７は、グリッパユニット６における異常の有無を判別する。図２を参照して、制御装置７が備える各機能について説明する。図２は、天井搬送車１における制御装置７の機能ブロック図である。制御装置７は、位置取得部３１と、揺れ取得部３２と、加速度取得部３３と、記憶部３４と、異常判別部３６とを有する。位置取得部３１には、ベルト５ａの昇降モータ及びフランジ検出部２０から出力される信号が入力され、入力された信号に基づいてグリッパユニット６の位置（高さ位置）を取得する。位置取得部３１は、グリッパユニット６の位置を取得することで、グリッパユニット６の昇降動作状態を認識する。グリッパユニット６の昇降動作状態とは、グリッパユニット６が把持位置Ｐ１（図３参照）等で停止している状態、グリッパユニット６が上昇している状態、及びグリッパユニット６が下降している状態を含む。位置取得部３１は、グリッパユニット６が上昇している間、グリッパユニット６が上昇時の減速開始位置Ｐ２（図５参照）等に到達することを監視する。また位置取得部３１は、グリッパユニット６が下降している間、グリッパユニット６が下降時の減速開始位置Ｐ３（図７参照）等に到達することを監視する。揺れ取得部３２には、揺れ検出部４０から出力される信号が入力され、グリッパユニット６の揺れ（揺れ量）を取得する。加速度取得部３３は、グリッパユニット６内の加速度計９から出力される検出信号が入力され、グリッパユニット６において生じる加速度を取得する。
　異常判別部３６は、グリッパユニット６の昇降動作状態と加速度計９の検出結果とに基づいて、グリッパユニット６における異常の有無を判別する。記憶部３４は、異常判別部３６において用いられる各種の閾値を記憶している。より詳細には、記憶部３４は、グリッパユニット６が把持位置Ｐ１（図３参照）にて停止した状態においてグリッパユニット６における異常の有無を判別するための閾値である第１設定値を記憶している。第１設定値は、例えば、グリッパユニット６のＺ方向の加速度（Ｚ方向に対する傾き）に関する閾値である。また記憶部３４は、グリッパユニット６の昇降動作中（昇降状態）においてグリッパユニット６における異常の有無を判別するための閾値である第２設定値を記憶している。第２設定値は、例えば、グリッパユニット６のＺ方向の加速度に関する閾値である。第２設定値が、例えば、グリッパユニット６のＸ方向及び／又はＹ方向の加速度に関する閾値であってもよい。
　制御装置７は、更に、昇降制御部３７と、把持制御部３８と、報知制御部３９とを有する。昇降制御部３７は、昇降部５の昇降モータを制御することにより、グリッパユニット６を下降させ、停止させ、又は上昇させる。把持制御部３８は、グリッパユニット６が把持位置Ｐ１に位置することが位置取得部３１によって認識されると、グリッパユニット６の爪部材６ａを開閉制御する。報知制御部３９は、グリッパユニット６において異常が発生していることが異常判別部３６によって判別されると、例えば上位コントローラ等に設置されたアラーム等の報知装置を作動させてエラーを発報させる。
　続いて、図３以降を参照して、天井搬送車１の各種の昇降動作状態におけるグリッパユニット６の異常の有無の判別方法について説明する。図３は、グリッパユニット６の把持制御における異常の有無の検出状態を示す図である。図４は、当該把持制御における処理手順を示すフロー図である。図３及び図４に示されるように、昇降制御部３７は、ＦＯＵＰ９０を把持（保持）した状態のグリッパユニット６を下降制御する（ステップＳ１１）。続いて、位置取得部３１は、フランジ検出部２０から出力される信号に基づいて、グリッパユニット６が把持位置Ｐ１に位置することを認識する（ステップＳ１２）。昇降制御部３７は、グリッパユニット６の下降を停止制御する（ステップＳ１３）。グリッパユニット６が把持位置Ｐ１において停止した状態において、加速度取得部３３は、加速度計９から出力された加速度の検出値を取得する（ステップＳ１４）。異常判別部３６は、加速度計９における検出値が予め設定された第１設定値を超えているか否かを判断する（ステップＳ１５）。
　グリッパユニット６がＦＯＵＰ９０の真上に位置し、センターコーン８が適正にフランジ部９１の凹部９１ａに嵌合している場合、グリッパユニット６は略水平な姿勢を保つ（図３参照）。このような場合、加速度計９における検出値は第１設定値以下となり、異常判別部３６は異常はないと判断する（ステップＳ１５；ＮＯ）。そして、把持制御部３８がグリッパユニット６に対する把持制御を行い、爪部材６ａを閉じさせて把持動作を実行させる（ステップＳ１６）。把持動作においては、グリッパユニット６の爪部材６ａがフランジ部９１の下側に入り込む。一方、例えば、図９（ｂ）に示したような嵌合不良が生じている場合、加速度計９における検出値は第１設定値を超えることとなり、異常判別部３６は異常ありと判断する（ステップＳ１５；ＹＥＳ）。そして、報知制御部３９は、報知装置を制御してエラーを発報させる（ステップＳ１７）。
　以上説明した一連の制御により、グリッパユニット６における把持制御が実行される。ＦＯＵＰ９０の位置ずれ等に起因して把持制御を適正に行えない場合には、グリッパユニット６が傾き、これを加速度計９が検出するため、把持動作が実行されることなく（すなわち爪部材６ａが閉じられることなく）、エラーが発報される。第１設定値は、センターコーン８が適正に嵌合している状態で生じ得るグリッパユニット６の最大の傾きよりも大きな傾きに相当する値に設定される。
　本実施形態の天井搬送車１によれば、加速度計９は、グリッパユニット６において生じる加速度等を検出する。制御装置７は、グリッパユニット６の昇降動作状態と、加速度計９の検出結果とに基づいて、グリッパユニット６における異常の有無を判別する。加速度計９の検出結果のみを用いた場合、グリッパユニット６が正常な動作を行っているにも関わらず異常が発生したと判別してしまう可能性があるが、グリッパユニット６の昇降動作状態（上記の例では停止状態）を加味することで、グリッパユニット６における異常の有無を確実に検出することができる。
　制御装置７は、グリッパユニット６が把持位置Ｐ１にて停止した状態における加速度計９の検出値が予め設定された第１設定値を超えているか否かによってグリッパユニット６における異常の有無を判別する。よって、把持動作を開始しても問題がないか否かを確実に検出することができる。例えば、グリッパユニット６がＦＯＵＰ９０を把持しようとする際、ＦＯＵＰ９０に過剰な衝撃が加わること等を防止することができる。
　加速度計９は、Ｚ方向、Ｘ方向及びＹ方向におけるグリッパユニット６の加速度を検出可能である。よって、グリッパユニット６の停止状態において、グリッパユニット６の傾きを検出することができる。
　続いて、図５及び図６を参照して、グリッパユニット６の上昇状態におけるグリッパユニット６の異常の有無の判別方法について説明する。図５は、グリッパユニット６の荷掴み時の上昇制御における異常の有無の検出状態を示す図である。図６は、当該上昇制御における処理手順を示すフロー図である。図５及び図６に示されるように、昇降制御部３７は、ＦＯＵＰ９０を把持（保持）した状態のグリッパユニット６を上昇制御する（ステップＳ２１）。グリッパユニット６の上昇開始後、揺れ取得部３２による揺れの取得及び監視が実行され（ステップＳ２２）、また、加速度取得部３３及び異常判別部３６による衝撃検知の監視が開始される（ステップＳ２３）。揺れ検出部４０及び反射板４１における投受光が成り立っている間、揺れ取得部３２によってエラーが発報されることはない。しかしそのような揺れが許容範囲に収まっている状態でも、上昇中のグリッパユニット６に衝撃又は振動等が加わる場合がある。ステップＳ２３において加速度取得部３３が加速度計９から出力された加速度の検出値を取得すると、異常判別部３６は、加速度計９における検出値が予め設定された第２設定値を超えているか否かを判断する（ステップＳ２４）。
　異常判別部３６は、加速度計９における検出値は第２設定値以下であると判断すると（ステップＳ２４；ＮＯ）、グリッパユニット６の上昇制御が継続され、位置取得部３１は、グリッパユニット６が上昇時の減速開始位置Ｐ２に位置することを認識する（ステップＳ２５）。この上昇時の減速開始位置Ｐ２は、図５において仮想線で示されるように、グリッパユニット６が昇降部５付近まで上昇したことを検知するセンサ（図示せず）によって認識されてもよい。グリッパユニット６が上昇時の減速開始位置Ｐ２に到達したことをもって、異常判別部３６は、衝撃検知の監視を終了させる（ステップＳ２６）。その後、昇降制御部３７によってグリッパユニット６が減速した昇降速度でさらに上昇させられ、グリッパユニット６は原点位置（上昇端）へ到着する（ステップＳ２７）。
　上昇中のグリッパユニット６に衝撃又は振動等が加わった場合には、ステップＳ２４において、異常判別部３６が加速度計９における検出値は第２設定値を超えていると判断し（ステップＳ２４；ＹＥＳ）、報知制御部３９が報知装置を制御してエラーを発報させる（ステップＳ２８）。
　続いて、図７及び図８を参照して、グリッパユニット６の下降状態におけるグリッパユニット６の異常の有無の判別方法について説明する。図７は、グリッパユニット６の荷降ろし時の下降制御における異常の有無の検出状態を示す図である。図８は、当該下降制御における処理手順を示すフロー図である。図７及び図８に示されるように、昇降制御部３７は、ＦＯＵＰ９０を把持（保持）した状態のグリッパユニット６を下降制御する（ステップＳ３１）。グリッパユニット６の下降開始後、揺れ取得部３２による揺れの取得及び監視が実行され（ステップＳ３２）、また、加速度取得部３３及び異常判別部３６による衝撃検知の監視が開始される（ステップＳ３３）。揺れ検出部４０及び反射板４１における投受光が成り立っている間、揺れ取得部３２によってエラーが発報されることはない。しかしそのような揺れが許容範囲に収まっている状態でも、下降中のグリッパユニット６に衝撃又は振動等が加わる場合がある。ステップＳ３３において加速度取得部３３が加速度計９から出力された加速度の検出値を取得すると、異常判別部３６は、加速度計９における検出値が予め設定された第２設定値を超えているか否かを判断する（ステップＳ３４）。
　なお、下降制御（荷降ろし時の制御）における第２設定値は、上記した上昇制御（荷掴み時の制御）における第２設定値と同じであるが、これらが異なっていてもよい。下降制御における第２設定値が、上昇制御における第２設定値より小さくてもよい。下降制御における第２設定値が、上昇制御における第２設定値より大きくてもよい。第２設定値は、グリッパユニット６の通常の上昇制御又は通常の下降制御において生じ得るグリッパユニット６の所定の加速度の範囲を上回る値に設定される。
　異常判別部３６は、加速度計９における検出値は第２設定値以下であると判断すると（ステップＳ３４；ＮＯ）、グリッパユニット６の下降制御が継続され、位置取得部３１は、グリッパユニット６が下降時の減速開始位置Ｐ３に位置することを認識する（ステップＳ３５）。この下降時の減速開始位置Ｐ３は、図７において仮想線で示されるように、オートティーチング又はクリープ制御への移行開始位置であり、上記した把持位置Ｐ１よりは幾分高い位置に設定されている。グリッパユニット６が下降時の減速開始位置Ｐ３に到達したことをもって、異常判別部３６は、衝撃検知の監視を終了させる（ステップＳ３６）。その後、昇降制御部３７によってグリッパユニット６が減速した下降速度でさらに下降させられ、位置取得部３１はグリッパユニット６が把持位置Ｐ１に位置することを認識する（ステップＳ３７）。そして、把持制御部３８がグリッパユニット６に対する解除制御を行い、爪部材６ａを開かせてグリッパユニット６による把持状態を解除する（ステップＳ３８）。
　下降中のグリッパユニット６に衝撃又は振動等が加わった場合には、ステップＳ３４において、異常判別部３６は、加速度計９における検出値は第２設定値を超えていると判断し（ステップＳ３４；ＹＥＳ）、報知制御部３９は、報知装置を制御してエラーを発報させる（ステップＳ３９）。
　本実施形態の天井搬送車１によれば、加速度計９は、グリッパユニット６において生じる加速度等を検出する。制御装置７は、グリッパユニット６の昇降動作状態と、加速度計９の検出結果とに基づいて、グリッパユニット６における異常の有無を判別する。加速度計９の検出結果のみを用いた場合、グリッパユニット６が正常な動作を行っているにも関わらず異常が発生したと判別してしまう可能性があるが、グリッパユニット６の昇降動作状態（上記例では上昇状態又は下降状態）を加味することで、グリッパユニット６における異常の有無を確実に検出することができる。
　制御装置７は、グリッパユニット６の昇降動作中における加速度計９の検出値が予め設定された第２設定値を超えているか否かによってグリッパユニット６における異常の有無を判別する。よって、昇降動作を継続しても問題がないか否かを確実に検出することができる。例えば、グリッパユニット６が上昇又は下降する際、ＦＯＵＰ９０に過剰な衝撃が加わること等を防止することができる。
　加速度計９は、Ｚ方向、Ｘ方向及びＹ方向におけるグリッパユニット６の加速度を検出可能である。よって、グリッパユニット６における水平方向の揺れ又は衝撃等をも検出することができる。
　以上、本開示の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限られない。例えば、加速度計９の構成は、上記実施形態における３軸加速度センサに限られない。Ｚ方向の加速度を検出可能な単軸の１つの加速度センサが、グリッパユニット６に搭載されてもよい。この場合でも、グリッパユニット６においてＺ方向に生じた異常（揺れ又は衝撃等）を検出することができる。
　フランジ検出部２０として、上記実施形態とは異なる型式の検出部が採用されてもよい。グリッパユニット６に対するセンターコーン８の相対的な上昇動作を、フランジ検出部２０とは異なる構成で検出してもよい。また、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１に形成された何等かの凹部に嵌合することが可能であれば、センターコーン８以外の位置決め部が適用されてもよい。天井搬送車１によって搬送される物品は、ＦＯＵＰ９０以外の容器等であってもよい。
　図７及び図８を参照して説明したグリッパユニット６の下降制御は、荷降ろし制御に限らず、オートティーチングを行う際に適用されてもよい。
　本開示の一態様の構成要件は以下の通りに記載される。
［１］
　走行レールに沿って走行する走行部と、
　前記走行部に設けられた昇降部と、
　前記昇降部によって昇降させられ、物品を把持するグリッパユニットと、
　前記グリッパユニットに搭載された加速度計と、
　前記グリッパユニットの昇降動作状態を認識し、前記昇降動作状態と前記加速度計の検出結果とに基づいて、前記グリッパユニットにおける異常の有無を判別する制御装置と、を備える、天井搬送車。
［２］
　前記制御装置は、前記グリッパユニットが把持位置にて停止した状態における前記加速度計の検出値が予め設定された第１設定値を超えているか否かによって前記グリッパユニットにおける異常の有無を判別する、［１］に記載の天井搬送車。
［３］
　前記制御装置は、前記グリッパユニットの昇降動作中における前記加速度計の検出値が予め設定された第２設定値を超えているか否かによって前記グリッパユニットにおける異常の有無を判別する、［１］又は［２］に記載の天井搬送車。
［４］
　前記加速度計は、少なくとも鉛直方向における前記グリッパユニットの加速度を検出可能である、［１］～［３］の何れか一つに記載の天井搬送車。
［５］
　前記加速度計は、前記鉛直方向にそれぞれ直交すると共に互いに直交する第１水平方向及び第２水平方向における前記グリッパユニットの加速度を検出可能である、［４］に記載の天井搬送車。
　１…天井搬送車、２…走行部、５…昇降部、６…グリッパユニット、６ａ…爪部材、７…制御装置、８…センターコーン、９…加速度計、２０…フランジ検出部、３６…異常判別部、３７…昇降制御部、３８…把持制御部、４０…揺れ検出部、９０…ＦＯＵＰ（物品）、１０１…走行レール、Ｐ１…把持位置、Ｐ２…上昇時の減速開始位置、Ｐ３…下降時の減速開始位置。

Claims (5)

  1. 　走行レールに沿って走行する走行部と、
    　前記走行部に設けられた昇降部と、
    　前記昇降部によって昇降させられ、物品を把持するグリッパユニットと、
    　前記グリッパユニットに搭載された加速度計と、
    　前記グリッパユニットの昇降動作状態を認識し、前記昇降動作状態と前記加速度計の検出結果とに基づいて、前記グリッパユニットにおける異常の有無を判別する制御装置と、を備える、天井搬送車。
  2. 　前記制御装置は、前記グリッパユニットが把持位置にて停止した状態における前記加速度計の検出値が予め設定された第１設定値を超えているか否かによって前記グリッパユニットにおける異常の有無を判別する、請求項１に記載の天井搬送車。
  3. 　前記制御装置は、前記グリッパユニットの昇降動作中における前記加速度計の検出値が予め設定された第２設定値を超えているか否かによって前記グリッパユニットにおける異常の有無を判別する、請求項１又は２に記載の天井搬送車。
  4. 　前記加速度計は、少なくとも鉛直方向における前記グリッパユニットの加速度を検出可能である、請求項１又は２に記載の天井搬送車。
  5. 　前記加速度計は、前記鉛直方向にそれぞれ直交すると共に互いに直交する第１水平方向及び第２水平方向における前記グリッパユニットの加速度を検出可能である、請求項４に記載の天井搬送車。
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Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014115472A1 (ja) * 2013-01-28 2014-07-31 村田機械株式会社 移載装置及び移載方法
WO2021039077A1 (ja) * 2019-08-28 2021-03-04 村田機械株式会社 天井搬送車及び天井搬送車システム

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