KR101480785B1 - 반송 시스템 - Google Patents

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Abstract

물품을 반송하는 주행체(3)를, 주행 가이드(4)를 따라 주행 가능하게 설치한 반송 시스템이다. 주행체(3)를 주행 구동하는 구동원이, 주행 가이드(4)를 따라 배열된 전기자(6)와, 주행체(3)에 설치된 2 차측의 가동자(7)로 이루어지는 리니어 모터(5)이다. 주행 가이드(4)는 직선부(4A)와 곡선부(4B)를 가진다. 리니어 모터(5)의 각 전기자(6)는, 서로 간격을 두고 배열되고, 주행 가이드(4)의 직선부(4A) 및 곡선부(4B)를 따라 복수 배열하여 배치되어 있다. 또한, 주행 가이드(4)에 주행체(3)가 복수대 설치 가능하다.

Description

반송 시스템{CONVEYANCE SYSTEM}
관련 출원의 참조
본 출원은, 2010 년 10 월 26 일 출원의 특허출원 2010-239418의 우선권을 주장하는 것이며, 그 전체를 참조에 의해 본원의 일부를 이루는 것으로서 인용한다.
본 발명은, 공작 기계의 로더 또는, 산업 기계, 물류 기계에서의 물품의 반송에 적용되는 반송 시스템에 관한 것으로, 특히, 주행 경로에 곡선부를 포함한 반송 시스템에 관한 것이다.
종래, 선반 등의 공작 기계에 워크를 반입, 반출하는 반송 시스템으로서, 가이드 레일을 따라 주행하는 주행체에 승강체를 설치하고, 승강체 하단의 로더 헤드에 척을 설치하여 워크를 보지(保持)시키는 형식의 것이 있다. 해당 종류의 반송 시스템에서는, 직선로를 주행시키도록 하고 있다. 그러나, 직선 경로만으로는, 공작 기계의 배치가 제한되고, 공장의 바닥 면적을 효과적으로 이용하는 것이 어렵다. 그 때문에, 주행 경로에 곡선부를 포함하는 것도 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1, 2). 또한, 산업 기계에 있어서도, 주행 경로에 곡선부를 포함하는 것이 제안되어 있다.
또한, 종래 리니어 모터는, 물류 장치의 반송대차 등에 있어서, 그 주행 구동 등에 널리 이용되고 있다. 리니어 모터에는, 리니어 유도 모터(LIM), 리니어 동기 모터(LSM), 리니어 직류 모터 등이 있지만, 장거리의 주행 시스템으로서 주로 사용되고 있는 것은, 리니어 유도 모터이다. 리니어 동기 모터는, 지상측에 마그넷을 배치하여 코일측을 이동하는 방식이 대부분을 차지한다.
또한, 리니어 동기 모터에 있어서, 곡선부, 혹은 경로 단부의 가속 또는 감속이 필요한 구간 등에, 부분적으로 지상측에 1 차 코일을 이산(離散) 배치한 예는 있지만(예를 들면, 특허 문헌 3), 리니어 동기 모터는 곡선로 또는 경로 단부에서의 보조적인 사용이며, 기본적으로는 리니어 유도 모터를 이용하고 있다.
일본특허공개공보 평 4-283039 호 일본특허공개공보 2010-149269 호 일본특허공개공보 2007-082307 호
종래의 반송 시스템은, 주행 경로에 곡선부를 포함하는 것이어도, 곡선부는 단순히 주행에만 이용되고, 곡선부에 위치하여 물품의 전달을 행하는 이재대(移載台) 또는 공작 기계 등을 배치하는 것은 행해지지 않았다. 이는, 곡선부에서는 주행체의 위치 결정 정밀도가 나쁘고, 확실한 전달 또는, 물품 자세, 파지 위치 등이 적절하지 않기 때문이다.
또한, 종래의 일반적인 반송 시스템은, 구동 기구로서 회전형의 서보 모터와 락·피니언 등의 회전·직동 변환 기구를 설치하고 있고, 위치 결정 정밀도 등을 향상시키는 것이 어렵다. 리니어 유도 모터를 이용한 예도 있지만, 리니어 유도 모터는, 추진력이 낮아 주행 성능의 향상이 곤란하고 또한, 정밀도가 좋은 위치 결정이 곤란하다. 따라서, 리니어 동기 모터의 채용을 고려했지만, 종래의 리니어 동기 모터는, 지상측에 마그넷을 배치하고 코일측을 이동하는 방식이 대부분을 차지하고 있다. 그러나, 코일측을 이동시키려면, 가동자에 급전이 필요하며, 가동자에의 배선의 형편상, 무단 경로에서의 주행이 불능인 등, 주행 경로가 한정되거나 급전계가 복잡화된다. 지상측에 1 차 코일을 배치한 예는, 상기 특허 문헌 3 등에 나타낸 바와 같은, 곡선부, 혹은 경로 단부의 가속 또는 감속이 필요한 구간 등에, 부분적으로 지상측에 1 차 코일을 배치한 예밖에 없다.
본 발명의 다른 목적은, 주행 가이드에 의한 주행 경로의 곡선부에서, 주행체를 정밀도 좋게 주행시키거나 정지 위치 결정하는 것이 가능한 반송 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 반송 시스템은, 물품을 반송하는 주행체를, 주행 가이드를 따라 주행 가능하게 설치한 반송 시스템으로서, 상기 주행체를 주행 구동하는 구동원이 리니어 모터이며, 상기 리니어 모터는, 주행 가이드를 따라 배열되어 각각이 독립한 복수의 1 차측의 전기자와, 상기 주행체에 설치된 2 차측의 가동자로 이루어지고, 상기 주행 가이드는 적어도 곡선부를 가지고, 상기 주행체는 상기 곡선부를 주행 가능으로 했다.
이 구성에 의하면, 주행체의 구동에, 주행 가이드를 따라 배열된 전기자와, 상기 주행체에 설치된 2 차측의 가동자로 이루어지는 리니어 모터를 이용했기 때문에, 주행체를 곡선부에 있어서도, 정밀도 좋게 주행시키거나 정지 위치를 결정할 수 있다. 예를 들면, 종래의 회전형 모터와 회전·직동 변환 기구를 이용한 반송 시스템에 비해, 주행체를 정밀도 좋게 주행시키거나 정지 위치를 결정하는 것이 가능해진다. 또한, 지상측이 1 차측이 되는 리니어 모터이기 때문에, 급전계를 간소화할 수 있다.
상기 리니어 모터의 상기 각 전기자는, 서로 간격을 두고 배열하는 것이 좋다. 특히, 주행체의 주행 영역의 전역에 걸쳐, 각 전기자를, 간격을 두고 배열하는 것이 좋다. 각 전기자를, 간격을 두고 배치하는 것, 즉 이산 배치로 함으로써, 코일 사용량이 삭감되고 코스트 저하를 도모할 수 있다. 전기자가 이산 배치되어 있어도 가동자의 구동이 가능하며, 반송 시스템의 경우, 전기자의 이산 배치가, 정밀도면과 코스트면에서 모두 적절해진다.
이 구성의 반송 시스템에 있어서, 상기 주행체는, 상기 주행 가이드에 위치한 물품 반입처에 물품을 전달하는 것이어도 좋다. 상기 주행체는, 상기 주행 가이드를 따라 설치한 공작 기계에 물품을 전달하는 것이어도 좋다. 상기와 같이, 주행체를 곡선부에서도 정밀도 좋게 정지 위치 결정할 수 있기 때문에, 물품 반입처, 특히 공작 기계에 물품을 확실히 전달할 수 있고, 전달할 때의 물품 자세, 파지 위치 등에 대해서도 적절히 행할 수 있다. 또한, 주행 경로의 곡선부를 물품의 전달에 이용함으로써, 공장 내의 각종 기기의 배치의 제한이 완화되고, 한정된 공장 내의 바닥 면적을 효과적으로 이용할 수 있다. 또한, 본 발명에서 말하는 “공작 기계”는, 절삭 가공 등의 기계 가공을 행하는 선반 등의 좁은 의미의 공작 기계에 한정되지 않고, 펀치 프레스, 레이저 가공기 등의 판금 가공기를 포함한 넓은 의미의 공작 기계이다.
상기 1 차측의 전기자는, 주행 가이드의 상기 곡선부를 따라 복수 배열하여 배치되는 것이 좋다. 곡선부에서도 1 차측의 전기자를 복수 배열하여 배치함으로써, 주행체를 곡선부에서도, 정밀도 좋게 주행시키거나 정지 위치를 결정할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 주행체가, 상기 물품의 파지수단, 및 상기 파지수단을 상기 주행체의 주행 방향과는 상이한 방향으로 이동시키는 이동 기구를 가지고, 상기 주행 가이드를 따라 설치된 급전 수단으로부터 상기 주행체에 설치된 수전 수단에 대하여 비접촉으로 급전하는 비접촉 급전장치를 설치하고, 상기 파지수단 및 이동 기구의 구동원이 되는 전동식의 구동원을, 상기 주행체의 상기 수전 수단에 접속하는 것이 좋다.
공작 기계에 대한 워크 반송에서는, 공작 기계의 주축 등의 물품 반입처에 맞추어 각 방향의 위치를 맞추는 것이 필요하며, 또한 워크의 파지수단이 필요하다. 그 때문에, 주행체에 2 차측의 가동자를 설치한 리니어 모터로 구동하고, 주행 구동에 대하여 주행체의 케이블 배선이 불필요해져도, 상기 이동 기구 및 파지수단에의 급전은 필요하다. 해당 구성에서는, 이들 이동 기구 또는 파지수단에의 급전을 비접촉 급전장치로 행하도록 했기 때문에, 주행체와 지상부의 사이에서의 급전을 위한 케이블을 없애고, 반송 경로의 자유로운 배치를 가능하게 할 수 있다. 또한, 해당 구성의 경우, 주행체에 탑재하는 구동원은 모두 전동식으로 하고, 에어 배관 등을 없애는 것이 바람직하다.
이 구성의 경우에, 상기 주행체에, 무선 통신 수단을 탑재하고, 해당 무선 통신 수단에 의해 통신된 신호에 의해 상기 파지수단 및 이동 기구의 구동원의 제어를 행하는 지령 전달 수단을 상기 주행체에 탑재하는 것이 좋다. 이와 같이, 비접촉 급전에 더하여, 무선 통신 수단으로 제어를 위한 신호 송수신을 행함으로써, 제어 지령의 전달계를 포함하고, 주행체와 지상부의 사이에서의 배선을 불필요로 할 수 있다. 그 때문에, 반송 경로의 보다 자유로운 배치를 가능하게 할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 2 차측의 가동자가, 주행 방향으로 N, S의 자극이 교호로 배열된 영구자석이며, 해당 가동자의 자극을 검출하고, 또는 상기 가동자의 자극과 동일한 배열로 주행체에 설치된 검출용의 자석의 자극을 검출하는 자극 센서를 상기 주행 가이드를 따라 설치하고, 상기 자극 센서의 검출 신호를 이용하여 상기 주행체의 주행 제어를 행하는 주행 제어 수단을 설치하는 것이 좋다. 상기 자극 센서가 가동자의 자극을 직선으로 검출하는 것으로 한 경우는, 상기 검출용의 자석은 설치하지 않는다.
상기의 리니어 모터의 제어를, 상기 자극 센서를 이용하여 행함으로써, 한층 더 정밀도가 좋은 위치 결정 제어를 행할 수 있고, 곡선부에서도 높은 정밀도로 위치 결정할 수 있다. 그 때문에, 곡선부에서의 물품의 전달을, 보다 확실히, 또한 보다 적절한 각도로 행할 수 있다. 또한, 위치 피드백을 위한 제어는, 자극 센서의 신호로부터 얻어지는 위치 신호를 이용해도, 또한 자극 센서와는 다른 위치 센서의 신호를 이용해도 좋다. 자극 센서에 의한 제어는, 예를 들면 전류 피드백계의 제어가 된다.
본 발명의 제 2 반송 시스템은, 물품을 반송하는 주행체를, 주행 가이드를 따라 주행 가능하게 설치한 반송 시스템으로서, 상기 주행체를 주행 구동하는 구동원이 리니어 모터이며, 상기 리니어 모터는, 주행 가이드를 따라 배열되어 각각이 독립한 복수의 1 차측의 전기자와, 상기 주행체에 설치된 2 차측의 가동자로 이루어지고, 상기 주행 가이드에 상기 주행체를 복수대 설치 가능으로 했다.
주행체를 주행 구동하는 구동원은, 각각이 독립한 복수의 1 차측의 전기자와, 상기 주행체에 설치된 2 차측의 가동자로 이루어지는 리니어 모터이기 때문에, 종래의 각 주행체에 회전형의 주행용 모터를 탑재하는 것과 달리, 1 차측의 전기자를 복수대의 가동자에 공통적으로 사용할 수 있고, 주행체에는 영구자석 등의 가동자를 설치하는 것만으로도 좋고, 간단한 구성으로 주행체의 대수를 늘릴 수 있다. 각 전기자를 적절히 제어함으로써, 복수대의 가동자를 동시에 이동시킬 수 있다.
청구의 범위, 명세서 및 도면 중 어느 하나에 개시된 적어도 2 개의 구성의 어떠한 조합도 본 발명에 포함된다. 특히, 청구의 범위의 각 청구항의 2 개 이상의 어떠한 조합도 본 발명에 포함된다.
본 발명은, 첨부의 도면을 참고로 한 이하의 적합한 실시예의 설명으로부터 보다 명료하게 이해할 수 있을 것이다. 그러나, 실시예 및 도면은 단순한 도시 및 설명을 위한 것이며, 본 발명의 범위를 정하기 위하여 이용되어야 하는 것은 아니다. 본 발명의 범위는 첨부의 청구의 범위에 의해 정해진다. 첨부 도면에 있어서, 복수의 도면에서의 동일한 부품 번호는 동일 부분을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반송 시스템과 공작 기계를 조합한 가공 설비의 사시도이다.
도 2는 해당 반송 시스템의 주행 가이드를 구성하는 각 유닛의 사시도이다.
도 3은 해당 가공 설비에서의 공작 기계의 일례를 도시한 사시도이다.
도 4는 해당 반송 시스템의 평면도이다.
도 5는 해당 반송 시스템의 정면도이다.
도 6은 해당 반송 시스템의 주행 가이드와 주행체의 관계를 도시한 평면도이다.
도 7은 해당 반송 시스템의 주행 가이드와, 리니어 모터, 주행체의 관계를 도시한 평면도이다.
도 8은 해당 가공 설비의 부분 생략 정면도이다.
도 9는 해당 가공 설비에서의 반송 시스템의 파단 측면도이다.
도 10(A)는 해당 반송 시스템에서의 주행체 본체의 평면도, (B)는 정면도, (C)는 하면도, (D)는 배면도이다.
도 11은 해당 반송 시스템의 주행 가이드와 주행체 본체를 도시한 횡단면도이다.
도 12는 도 9의 일부를 확대하여 도시한 단면도이다.
도 13은 리니어 모터의 부분 단면도이다.
도 14는 해당 리니어 모터의 개별 모터의 평면도이다.
도 15는 해당 리니어 모터의 개별 모터의 배치를 도시한 평면도이다.
도 16은 해당 리니어 모터와 센서와의 관계를 도시한 단면도이다.
도 17은 해당 리니어 모터의 구동계의 블럭도이다.
도 18은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반송 시스템을 도시한 사시도이다.
도 19는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 반송 시스템을 도시한 사시도이다.
도 20은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 반송 시스템을 도시한 사시도이다.
도 21은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 반송 시스템을 도시한 사시도이다.
도 22는 본 발명의 제 6 실시예에 따른 반송 시스템을 도시한 사시도이다.
도 23(A)는, 본 발명의 제 7 실시예에 따른 반송 시스템에서의 반송 가이드의 예를 도시한 평면도이며, (B)는 본 발명의 제 8 실시예에 따른 반송 시스템에서의 반송 가이드의 예를 도시한 평면도이며, (C)는 본 발명의 제 9 실시예에 따른 반송 시스템에서의 반송 가이드의 예를 도시한 평면도이다.
본 발명의 제 1 실시예를 도 1 내지 도 17과 함께 설명한다. 도 1은, 상기 반송 시스템의 주가 되는 반송 장치(1)와 공작 기계(2)와 이재대(移載台)(71, 72)로 이루어지는 가공 설비의 사시도이다. 공작 기계(2)는, 반송 장치(1)에 대하여 2 대 설치되어 있다. 반송 장치(1)는 물품을 반송하는 주행체(3)를, 주행 가이드(4)를 따라 주행 가능하게 설치한 것으로서, 주행 가이드(4)는 직선부(4A)와 곡선부(4B)를 가진다. 하나의 이재대(71)는 곡선부(4B)에 위치하여 배치되어 있다. 해당 이재대(71)는, 예를 들면, 해당 반송 시스템의 외부에 대하여, 소재 또는 제품이 되는 워크(W)를 전달하는 전달대이며, 주행체(3)에 의해 워크(W)의 반입, 또는 반출이 행해진다.
반송 장치(1)의 주행체(3)를 제외한 부분인 반송 장치 본체는, 도 2에 도시한 바와 같이, 주행 가이드(4)의 직선부(4A) 및 곡선부(4B)를 각각 구비하는 직선부 주행 가이드 유닛(1A)과 곡선부 주행 가이드 유닛(1B)에 유닛화하여 분할하고, 임의의 유닛을 순차적으로 연결하여 구성된다.
도 3에 도시한 바와 같이, 공작 기계(2)는, 도시의 예에서는 선반으로 이루어지고, 베드(51)상에, 주축으로 이루어지는 워크 지지 수단(52)을 지지하는 주축대(53)와, 가공 수단인 터릿형의 공구대(54)가 설치되어 있다. 도시의 공작 기계(2)는, 주축대(53)를 전후(Z 방향) 및 좌우(X 방향)로 이동 가능하게 설치한 주축 이동형의 선반이다. 또한, 주축대(53)를 베드(51)에 고정하고, 공구대(54)를 전후, 좌우로 이동시키는 공구대 이동형이어도 좋다.
도 8에 도시한 바와 같이, 반송 장치(1)는, 워크(W)를 반송하는 주행체(3)를, 주행 가이드(4)에 주행 가능하게 설치한 것이며, 공작 기계(2)의 워크 지지 수단(52)에 대하여 워크(W)의 전달을 행한다. 주행 가이드(4)는, 지지기둥(11)에 의해 가설(架設)된 수평인 프레임(12)에 길이 방향을 따라 설치되어 있다. 지지기둥(11)과 프레임(12)의 위치 관계를, 반송 시스템의 평면도인 도 4와 정면도인 도 5에 나타내고 있다.
도 8의 주행체(3)에는, 반송하는 물품인 워크(W)를 파지하는 파지수단인 척(19)과, 해당 척(19)을 이동시키는 이동 기구(20)가 설치되어 있다. 이동 기구(20)는, 주행체(3)에 탑재되어 주행 방향(X 방향)과 직교하는 전후 방향(Z 방향)으로 진퇴하는 전후 이동대(16)와, 해당 전후 이동대(16)에 승강 가능하게 설치된 막대 형상의 승강체(17)와, 해당 승강체(17)의 하단에 설치된 워크 보지(保持) 헤드(18)를 가진다. 해당 워크 보지 헤드(18)에 상기 척(19)이 2 개 설치되어 있다.
2 개의 척(19)은, 하향과 정면 방향의 사이에, 워크 보지 헤드(18) 내의 척 방향 변환 기구(도시하지 않음)에 의해 교체 가능하게 되어 있다. 전후 이동대(16)는, 주행체(3)에 설치된 모터 등의 전동식의 구동원(16a)에 의해 전후 이동되고, 승강체(17)는 전후 이동대(16)에 설치된 모터 등의 전동식의 구동원(17a)에 의해 승강 구동된다. 척(19)은, 솔레노이드 등의 전동식의 구동원(19a)으로 개폐 구동되어 피반송물(W)을 보지하는 척 클로우(도시하지 않음)을 가지고 있다. 상기 2 개의 척(19, 19)의 교체 동작은, 모터 등의 교체용의 구동원(도시하지 않음)에 의해 행해진다.
도 9에 도시한 바와 같이, 주행체(3)는, 주행 차륜(21(21i, 21o))을 가지는 주행체 본체(3A)와, 해당 주행체 본체(3A)의 하면에 장착되어 전후 이동대(16) 등의 이동 기구(20)를 설치한 이동 기구 탑재대(3B)로 이루어진다.
도 6에 평면도로 도시한 바와 같이, 주행 가이드(4)는, 서로 직각으로 배치된 2 개의 직선부(4A, 4A)와, 이들 2 개의 직선부(4A)간을 연결하는 원호 형상의 곡선부(4B)로 이루어진다. 이들 직선부(4A) 및 원호 형상의 곡선부(4B)에 걸쳐 연속하고, 곡선부(4B)에서의 외경측 및 내경측에 각각 위치하는 서로 평행한 내향 및 외향의 외경측 가이드면(4o) 및 내경측 가이드면(4i)과, 상하 방향을 향하는 한 쌍의 차륜 가이드면(4u)이 설치되어 있다. 차륜 가이드면(4u)은, 외경측 가이드면(4o) 및 내경측 가이드면(4i)을 따라 각각 설치되어 있다.
도 11에 단면도로 도시한 바와 같이, 도시의 예에서는, 외경측 가이드면(4o) 및 내경측 가이드면(4i)은, 차륜 가이드면(4u)상을 전주(轉住)하는 주행 차륜(21i, 21o)보다 상방에 위치하고 있다. 주행체(3)의 주행체 본체(3A)에는, 주행 차륜(21i, 21o) 외에, 외경측 가이드면(4o)에 안내되는 외경측 롤러(23), 및 내경측 가이드면(4i)에 안내되는 내경측 롤러(24)가 수직 축심 중심으로 회전 가능하게 설치되어 있다.
도 10(A) ~ (D)에 주행체 본체(3A)를 도시한 바와 같이, 외경측 롤러(23) 및 내경측 롤러(24)는, 주행 방향의 전후에 배열하여 각각 3 개 이상 설치되어 있다. 도시의 예에서는, 외경측 롤러(23)는, 주행체 본체(3A)의 전후단과 중앙에 각각 배치되고, 합계 3 개 설치되어 있다. 이들 3 개 이상의 외경측 롤러(23)는, 외경측 가이드면(4o)에서의 상기 곡선부(4B)(도 6)가 되는 부분의 원호형상을 따른 원호 형상으로 배치된다. 내경측 롤러(24)는, 내경측 가이드면(4i)의 직선부(4A)가 되는 부분을 따른 직선 형상으로 배치되고, 합계 4 개 설치되어 있다. 내경측 롤러(24)는, 주행체 본체(3A)의 전후단의 2 개소와, 중앙에서의 주행 차륜(21i)의 전후 양측이 되는 2 개소에 설치되어 있다. 주행체 본체(3A)의 평면 형상은, 도시의 예에서는, 도 10(A)에 도시한 바와 같이, 외경측의 측연부가, 외경측 가이드면(4o)의 곡선부(4B)가 되는 부분을 따른 원호 형상이 되는 형상으로 하고 있지만, 주행 가이드(4)와 간섭을 일으키지 않는 형상이면 되고, 자유로운 형상으로 설계할 수 있다.
주행체 본체(3A)에서의 주행 차륜(21i, 21o)은, 상기 양측 2 개의 차륜 가이드면(4u)상을 각각 전주하도록, 폭방향의 양측에 각각 설치되어 있다. 외경측의 주행 차륜(21o)은, 주행체 본체(3A)에 대하여 수직 축심(O) 중심으로 방향 전환 가능하게 지지된 가동 차륜 지지체(28)에 회전 가능하게 설치되어 있다. 이들 각 가동 차륜 지지체(28)에는, 외경측으로 돌출된 레버 형상의 방향 조작자(25)가 설치되어 있고, 방향 조작자(25)의 선단에, 수직 축심 중심으로 회전 가능한 롤러로 이루어지는 캠 팔로워(25a)가 설치되어 있다. 이들 방향 조작자(25)의 선단의 캠 팔로워(25a)를 안내하는 캠면(26)(도 11)이, 주행 가이드(4)에, 주행 방향을 따라 전체 길이에 걸쳐 설치되어 있다. 해당 캠면(26)은, 주행체(3)가 곡선부(4B)(도 6)로 진입하는 개소에서, 주행 차륜(21o)의 방향을 강제 전환시키도록 설치되어 있다.
도 8에 있어서, 주행체(3)의 주행 구동은, 동기형의 리니어 모터(5)로 행해진다. 리니어 모터(5)는, 프레임(12)에 설치된 복수의 개별 모터(6)와, 1 개의 가동자(7)로 이루어지는 이산형 리니어 모터로 되어 있다. 각 개별 모터(6)는, 각각이 독립한 1 대의 리니어 모터의 1 차측의 전기자로서 기능 가능한 것으로서, 주행체(3)의 주행 영역의 전역에 걸쳐, 주행 가이드(4)를 따라 간격을 두고 배열되어 있다. 가동자(7)는 영구자석으로 이루어지고, 주행체(3)에 설치되어 있다. 리니어 모터(5)를 구동하는 모터 구동장치는, 각 개별 모터(6)를 각각 구동하는 복수의 개별 모터 제어 수단(8)와, 이들 복수의 개별 모터 제어 수단(8)에 위치 지령 등을 주는 총괄 제어 수단(10)(후에 도 17과 함께 설명함)으로 이루어진다. 각 개별 모터 제어 수단(8)는, 2 대씩 합쳐서 하나의 모터 구동 회로부(9)가 되고, 각 모터 구동 회로부(9)는 프레임(12)상에 설치되어 있다.
도 13, 도 14에 도시한 바와 같이, 각 개별 모터(6)는, 3 상 교류 전류로 구동되는 것이며, 각 상(U, V, W 상)마다 하나의 전극(6U, 6V, 6W)을 설치한 3 극의 전기자가 된다. 이들 전극(6U, 6V, 6W)의 배열 방향은, 가동자(7)의 이동 방향(X)이 된다. 각 전극(6U, 6V, 6W)은, 각각 코어(6Ua, 6Va, 6Wa)와, 코일(6Ub, 6Vb, 6Wb)로 이루어진다. 코어(6Ua, 6Va, 6Wa)는, 공통의 코어 기대부(6d)로부터 빗살 형상으로 돌출된 것이다. 복수 배열되는 각 개별 모터(6)는, 서로 동일한 구성의 것이며, 따라서 가동자 주행 방향의 길이(A)는 모두 동일한 길이로 되어 있다. 또한, 본 예에서는 개별 모터(6)의 극수를 3으로 했지만, 3에 한정되지 않고, 3의 정수배, 예를 들면 9 극으로 해도 좋다. 가동자(7)는, 영구자석으로 이루어지는 N, S의 자극을 가동자 기체(7a)에 이동 방향(X)으로 배열하여 복수 설치한 것이다. N, S의 자극쌍의 수는 임의로 설계하면 된다. 가동자(7)의 길이(B)는 복수의 개별 모터(6)에 걸친 길이이다.
도 17에 있어서, 상기 통괄 제어 수단(10)은, 상위 제어 수단으로부터 주어진 위치 지령에 응답하여, 각 개별 모터(6)를 구동시키는 위치 지령을, 각 개별 모터 제어 수단(8)에 준다. 즉, 개개의 개별 모터(6)의 좌표계에 좌표 변환한 위치 지령을, 구동해야 하는 개별 모터(6)의 개별 모터 제어 수단(8)에 준다. 즉, 개별 모터 제어 수단(8)은, 주행체(3)의 주행 제어를 행하는 “주행 제어 수단”이다. 통괄 제어 수단(10)은, 마이크로 컴퓨터 및 퍼스널 컴퓨터 등의 컴퓨터 및 그 프로그램 또는, 회로 소자 등에 의해 구성된다.
각 개별 모터 제어 수단(8)은, 모터 전류를 개별 모터(6)에 흘리는 강전계의 모터 구동 회로(도시하지 않음)와, 해당 모터 구동 회로를 제어하는 약전계의 제어부(도시하지 않음)로 이루어지고, 기판상에 각 회로소자를 장착한 것이다. 강전계의 모터 구동 회로는, 복수의 스위칭 소자를 설치한 인버터 등으로 이루어지고, 구동용의 직류 전원(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 개별 모터 제어 수단(8)의 상기 약전계의 제어부 및 통괄 제어 수단(10)은, 마이크로 컴퓨터 및 그 프로그램 또는, 회로 소자 등에 의해 구성된다.
각 개별 모터 제어 수단(8)은, 위치, 속도, 및 전류의 피드백 제어를, 캐스캐이드 제어로 행하는 기능을 가진다. 위치 피드백은, 개별 모터(6)에 대한 가동자(7)의 현재 위치를 검출하는 센서(15)의 검출치와 위치 지령의 지령치와의 편차에 따라, 정해진 위치 루프 게인의 피드백 제어를 행한다. 속도 피드백은, 센서(15)의 위치 검출치로부터 미분에 의해 얻은 속도 검출치를 이용하여 행한다. 전류 피드백은, 개별 모터(6)에 인가되는 구동 전류를 전류 검출기 등의 전류 검출 수단(14)으로 검출하고, 전류 검출치와 전류 지령치와의 편차에 따른 전류 지령치를, 정해진 전류 루프 게인을 이용하여 생성하고, 모터 구동 전류를 제어한다. 해당 전류 제어부는, 벡터 제어 등으로 제어하는 것이며, 가동자(7)의 자극 위치에 대응하여 전류 제어를 행하는 기능을 가지고 있다.
도 15에 도시한 바와 같이, 센서(15)는 리니어 스케일로서, 개별 모터(6)의 코일 배열 방향이 되는 직선 방향을 따라 설치되고, 개별 모터(6)보다 약간 긴 범위에서 위치 검출이 가능한 것이 된다. 센서(15)는, 구체적으로는, 도 16에 도시한 바와 같이, 길이 방향으로 복수의 센서 소자(15a)를 배열하여 배치한 것이며, 각 센서 소자(15a)는, 가동자(7)의 자력을 검출하는 자기 센서 소자로 이루어진다. 각 센서 소자(15a)는, 구체적으로는, 각 가동자(7)의 자극쌍(7P)의 자극 위치를 검출한다. 즉, 자극쌍(7P)의 길이(tp)마다, 하나의 N 측 및 S 측의 피크가 생기는 자력이 발생하고, 그 N 측 또는 S 측의 피크 위치를 검출함으로써 자극 위치를 검출한다. 또한 센서(15)는, 각 센서 소자(15a)의 출력으로부터, 가동자(7)의 위치가 되는 하나의 위치 검출치를 출력한다. 또한 센서(15)는, 단순히 위치를 검출하는 위치 센서로하고, 자극 센서는, 센서(15)와는 별도로 설치해도 좋다. 또는, 센서(15)의 센서 소자(15a) 중 특정의 하나를 자극에 의한 전류 검출용의 자극 센서로서 이용해도 좋다.
또한, 상기의 설명에서는, 가동자(7)의 자극 위치를 직접 검출하도록 설명했지만, 직접 검출하려면 센서(15)의 배치가 곤란하다. 따라서, 본 실시예에서는, 도 7 및 도 12에 도시한 바와 같이, 주행체(3)에 가동자(7)의 측방에 위치하여, 주행 방향의 자극 위치가 가동자(7)의 각 자극과 동일해지도록, 복수의 위치 검출용 자석(29)을 설치하고 있다. 센서(15)는, 해당 위치 검출용 자석(29)을 검출함으로써, 가동자(7)의 자극 위치를 검출한다.
도 17에 있어서, 개별 모터(6)와 개별 모터 제어 수단(8)과 센서(15)로, 1 조의 개별 모터조(6A)가 구성된다. 해당 개별 모터조(6A)가, 도 8과 같이, 주행 가이드(4)를 따라 프레임(12)에 설치된다. 도 7과 같이, 주행 가이드(4)의 곡선부(4B)에서도, 직선부(4A)와 마찬가지로 개별 모터조(6A)가 설치된다. 곡선부(4B)의 개별 모터조(6A)에서는, 개별 모터 제어 수단(8)(도 17)은, 센서(15)의 검출치를 곡선을 따라 보정하는 기능을 가지고 있다.
도 9에 도시한 바와 같이, 주행체(3)에는, 전술한 바와 같이, 워크(W)의 파지수단이 되는 척(19), 및 해당 척(19)을 주행체(3)의 주행 방향과는 상이한 방향이 되는 전후 방향 및 상하 방향으로 이동시키는 이동 기구(20)를 탑재하고 있다. 해당 이동 기구(20) 및 척(19)의 각 구동원(16a, 17a, 19a)(도 8)은 전동식이며, 이들 구동원에의 급전은 비접촉 급전장치(41)에 의해 행해진다.
비접촉 급전장치(41)는, 도 12에 도시한 바와 같이, 주행 가이드(4)를 따라 설치된 각 극의 1 차측의 배선(42a)으로 이루어지는 급전수단(42)과, 주행체(3)에 설치되어 배선(42a)을 따라 근접 상태를 유지하고 이동하는 2 차측의 코일로 이루어지는 수전 수단(43)으로 구성된다. 배선(42a)은, 배선 지지구(44)로 지지되어 있다. 배선 지지구(44)는, 주행 가이드(4)를 설치한 프레임(12), 또는 프레임(12)을 지지하는 지지기둥(11)에 설치된다. 각 층의 코일로 이루어지는 수전 수단(43)은, 가동측 지지구(45)를 개재하여 주행체(3)에 지지된다. 수전 수단(43)이 되는 각 층의 코일은, 상기 이동 기구(20)의 구동원(16a, 17a, 19a)에 접속되어 있다. 급전수단(42)의 배선(42a)은, 가동측 지지구(45)가 통과하는 슬릿(46a)을 가지는 커버(46)로 덮여 있다. 또한, 수전 수단(43)으로 수전하는 전류는, 유도 전류에 의한 교류 전류이기 때문에, 상기 개별 모터 제어 수단(8)에는, 교류 전류를 정류하는 정류 회로(도시하지 않음)를 가지고, 해당 정류 회로가 상기 인버터에 대한 직류 전원이 된다.
또한, 도 9에 도시한 바와 같이, 주행체(3)에는, 무선 통신 수단(47)이 탑재되고, 해당 무선 통신 수단(47)에 의해 통신된 신호에 의해, 상기 척(19) 또는, 이동 기구(20)의 각 전동식의 구동원(16a, 17a, 19a)의 제어를 행하는 지령 전달 수단(48)이 주행체(3)에 탑재되어 있다. 지령 전달 수단(48)은, 단순히 무선 통신 수단(47)과 구동원(16a, 17a, 19a)과의 사이에서 신호의 전달을 행하는 배선이어도 좋다. 또한, 지령 전달 수단(48)은, 구동의 지령 외에, 주행체(3)에 설치된 각종 센서류(도시하지 않음)의 신호를 상기 무선 통신 수단(47)으로 보내는 배선을 포함한다. 주행체(3)상의 무선 통신 수단(47)은, 해당 반송 시스템의 전체를 제어하는 제어장치(49)에 설치된 무선 통신 수단(49a)과의 사이에서 통신된다. 또한, 주행체(3)에 탑재하는 각 구동원은, 모두 전동식으로 하고, 지상측과 연결하는 배선, 배관류는 모두 없앤다.
상기 구성의 반송 시스템에 의하면, 주행체(3)의 구동에, 주행 가이드(4)를 따라 배열된 개별 모터(6)와, 주행체(3)에 설치된 2 차측의 가동자(7)로 이루어지는 리니어 모터(5)를 이용했기 때문에, 주행체(3)를 주행 가이드(4)의 곡선부(4B)에서도 정밀도 좋게 위치 결정할 수 있다. 그 때문에, 곡선부(4B)에 위치하고, 주행체(3)에 대한 워크(W)의 전달 수단이 되는 이재대(71)를 설치하면서, 정밀도가 좋은 정지 위치 결정에 의해 워크(W)의 확실한 전달을 행할 수 있음과 동시에, 또한 워크 자세, 파지 위치 등이 적절해진다. 이와 같이 주행 경로의 곡선부(4B)를 워크(W)의 전달에 이용함으로써, 공장 내의 각종 기기의 배치의 제한이 완화되고, 한정된 공장 내의 바닥 면적을 효과적으로 이용할 수 있다.
곡선부(4B)에서는, 주행체의 정지 위치의 약간의 차이가 워크의 방향에 영향을 주기 때문에, 고정밀의 가공을 필요로 하는 공작 기계(2)를 배치할 경우, 특히 정밀도 좋게 설계할 필요가 있지만, 보다 정밀도가 좋은 정지 위치 결정을 행할 수 있는 직선부(4A)에 공작 기계(2)를 배치하고, 곡선부(4B)에는 이재대(71)를 배치함으로써, 각 부에 필요한 위치 결정 정밀도를 만족하면서, 곡선부(4B)를 기기 배치에 효율적으로 이용할 수 있다.
또한 주행체(3)는, 척(19) 또는 해당 척(19)을 이동시키는 이동 기구(20)를 가지고 있지만, 비접촉 급전장치(41)로 급전하도록 했기 때문에, 주행체(3)에 2 차측의 가동자(7)를 설치한 리니어 모터(5)로 구동하는 구성과 함께, 구동 전력 공급용의 케이블 배선이 불필요해진다. 그 때문에, 주행체(3)와 지상부의 사이에서의 급전을 위한 케이블을 없애고, 반송 경로의 보다 자유로운 배치가 가능해진다. 또한 본 실시예에서는, 주행체(3)에 무선 통신 수단(47)을 탑재하고, 해당 무선 통신 수단(47)에 의해 통신된 신호에 의해 척(19) 또는 이동 기구(20)의 제어를 행하도록 하고 있다. 이와 같이, 비접촉 급전에 더하여, 무선 통신 수단(47)으로 제어를 위한 신호 송수신을 행함으로써, 제어 지령의 전달계를 포함하고, 주행체(3)와 지상부의 사이에서의 배선을 완전히 불필요하게 할 수 있다. 그 때문에, 반송 경로의 보다 자유로운 배치를 가능하게 할 수 있다.
또한, 주행체(3)의 주행 구동에 리니어 모터(5)를 이용하고 있고, 해당 리니어 모터(5)는, 2 차측의 가동자(7)가 주행 방향으로 N, S의 자극이 교호로 배열된 영구자석이며, 해당 가동자(7)의 자극을 검출하거나, 또는 가동자(7)의 자극과 동일한 배열로 주행체에 설치된 위치 검출용 자석(29)의 자극을 검출하는 센서(15)를 설치하고 있다. 해당 자극을 검출하는 센서(15)의 출력으로 주행체(3)의 위치 결정 제어를 행하고 있다. 그 때문에, 한층 더 정밀도가 좋은 위치 결정 제어를 행할 수 있고, 곡선부(4B)에서도 높은 정밀도로 위치 결정할 수 있다. 그 때문에, 곡선부(4B)에서의 이재대(71) 등에 대한 워크(W)의 전달을, 보다 확실하고, 또한 보다 적절한 각도로 행할 수 있다.
도 18 ~ 도 23은, 각각, 본 발명의 제 2 ~ 제 9 실시예를 도시한다. 도 18의 제 2 실시예에서는, 주행 가이드(4)를 3 개의 직선부(4A)와, 인접하는 직선부(4A)를 연결하는 2 개의 곡선부(4B)를 가지는 U 자형으로 설치하고 있다. 각 직선부(4A)의 위치에 공작 기계(2)를 배치하고, 하나의 곡선부(4B)의 위치에 이재대(71)를 배치하고 있다. 중앙의 직선부(4A)에는, 주행 방향으로 배열하여 공작 기계(2)를 2 대 설치하고 있다. 그 외의 구성은, 도 1 ~ 도 17과 함께 전술한 제 1 실시예와 마찬가지이다.
도 19의 제 3 실시예에서는, 제 1 실시예와 마찬가지로, 주행 가이드(4)가 2 개의 직선부(4A)와 하나의 곡선부(4B)로 이루어지는데, 곡선부(4B)의 위치에, 반송 장치(1)와 워크의 전달을 행하는 공작 기계(2)를 배치하고 있다. 또한, 다른 한쪽의 직선부(4A)에는 공작 기계(2)를 2 대 배열하여 설치하고 있다. 주행체(3)는, 공통의 주행 가이드(4)에 2 대 설치하고 있다. 도 8 등과 함께 전술한 바와 같이, 주행체(3)를 주행 구동하는 구동원은, 각각이 독립한 1 대의 리니어 모터의 1 차측의 전기자로서 기능 가능한 전기자로 이루어지는 복수의 개별 모터(6)와, 주행체(3)에 설치된 2 차측의 가동자(7)로 이루어지는 리니어 모터(5)이기 때문에, 종래의 각 주행체에 회전형의 주행용 모터를 탑재하는 것과 달리, 1 차측의 개별 모터(6)를 복수대의 가동자(7)의 구동에 공통적으로 사용할 수 있고, 주행체(3)에는 영구자석 등의 가동자(7)를 설치하는 것만으로도 좋고, 간단한 구성으로 주행체(3)의 대수를 늘릴 수 있다. 그 외의 구성, 효과는, 제 1 실시예와 마찬가지이다.
도 20의 제 4 실시예에서는, 주행 가이드(4)를 정방형상의 환상(環狀)으로 하고 있다. 즉, 4 개의 동일한 길이의 직선부(4A)와, 인접하는 직선부(4A)를 연결하는 4 개의 곡선부(4B)로 환상의 주행 가이드(4)를 구성하고 있다. 3 개의 직선부(4A)의 위치에 공작 기계(2)를 배치하고, 나머지 하나의 직선부(4A)에 이재대(72)를 설치하고 있다. 어느 하나의 곡선부(4B)에는 다른 이재대(도시하지 않음)를 설치하고 있다. 상기 리니어 모터(5)와 비접촉 급전장치(41)와 무선 통신 수단(47)에 의한 제어를 조합함으로써, 주행체(3)와 지상측을 연결하는 배선이 완전히 불필요해진다. 그 때문에, 배선상의 문제를 일으키지 않고, 이러한 환상의 주행 가이드(4)를 실현할 수 있다. 그 외의 구성, 효과는, 제 1 실시예와 마찬가지이다.
도 21의 제 5 실시예에서는, 도 20의 제 4 실시예와 마찬가지로, 주행 가이드(4)를 환상으로 하고 있지만, 제 5 실시예에서는 직사각형상의 환상으로 하고, 긴 변의 각 직선부(4A)의 위치에 2 대에 공작 기계(2)를 배치하고, 짧은 변의 직선부(4A)의 위치에 1 대의 공작 기계(2)를 배치하고 있다. 또한, 하나의 주행 가이드(4)에 3 대의 주행체(3)를 설치하고, 각각 독립하여 주행 및 다른 동작이 가능하게 되어 있다. 그 외의 구성은, 도 20의 제 4 실시예와 마찬가지이다.
도 22의 제 6 실시예는, 도 20의 제 4 실시예와 같은 환상의 반송 시스템을 2 개 배열하여 설치하고, 하나의 이재대(73)를, 양방의 반송 시스템에서의 주행 가이드(4)의 직선부(4A)의 위치에 걸쳐서 설치하고 있다. 이재대(73)는, 컨베이어로 구성되고, 또는 팰릿을 주회시키는 장치로 구성된다. 이 경우, 양 반송 시스템간에 워크의 전달을 행할 수 있다. 그 외의 구성, 효과는, 도 20의 제 4 실시예와 마찬가지이다.
도 23(A)의 제 7 실시예는, 주행 가이드(4)를 원환상으로서 원호 형상의 곡선 형상 부분만으로 이루어지는 것으로 한 예이며, 도 23(B)의 제 8 실시예는, 주행 가이드(4)를 S 자 형상으로서 원호 형상의 곡선 형상 부분만으로 이루어지는 것으로 한 예이다. 도 23(C)의 제 9 실시예는, 주행 가이드(4)를 전체 길이에 걸쳐 직선 형상으로서 직선 부분만으로 이루어지는 것으로 하고, 또한 공통의 주행 가이드(4)에 복수대의 주행체(3)를 설치한 예이다. 도 23(A) ~ (C)의 각 예와 같이 주행 가이드(4)를 구성한 경우도, 전술한 바와 동일한 각 작용, 효과를 얻을 수 있다. 도 23(A) ~ (C)의 각 예에서의, 그 외의 구성, 효과는, 도 20의 제 4 실시예와 마찬가지이다.
또한 상기 각 실시예에서는, 비접촉 급전장치(41)를 설치했지만, 비접촉 급전장치(41) 대신에 트롤리 시스템(도시하지 않음)을 이용하여 급전을 행하도록 해도 좋다. 또한 상기 각 실시예에서는, 공작 기계(2)에 대한 워크(W)의 반송에 적용한 경우에 대하여 설명했지만, 본 발명은, 산업 기계 또는 물류 기계에서의 물품의 반송에도 적용할 수 있다. 주행 가이드(4)에 설치하는 주행체(3)의 대수는, 상기 각 실시예에서는, 1 ~ 3 대를 설치한 예에 대하여 설명했지만, 4 대 이상 설치하는 것도 가능하다.
또한, 본 발명과는 상이하지만, 주행 가이드(4)의 곡선부(4B)는, 전달 수단을 설치하지 않고, 단순히 주행에 이용할 수도 있다. 또한, 주행 가이드(4)를 직선부(4A)만으로 한 경우에도, 비접촉 급전 또는 무선 통신으로 제어함으로써 이점을 얻을 수 있다.
이상과 같이, 도면을 참조하면서 본 발명의 적합한 실시예를 설명했지만, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위 내에서, 다양한 추가, 변경 또는 삭제가 가능하다. 따라서, 그러한 것도 본 발명의 범위 내에 포함된다.
1 : 반송 장치
2 : 공작 기계
3 : 주행체
3A : 주행체 본체
4 : 주행 가이드
4A : 직선부
4B : 곡선부
4u : 차륜 가이드면
5 : 리니어 모터
6 : 개별 모터(전기자)
6U, 6V, 6W : 전극
7 : 가동자
8 : 개별 모터 제어 수단(주행 제어 수단)
10 : 총괄 제어 수단
12 : 프레임
14 : 전류 검출 수단
15 : 센서(자극 센서)
15a : 센서 소자
16 : 전후 이동대
16a, 17a, 19a : 구동원
17 : 승강체
18 : 워크 보지 헤드
19 : 척(파지수단)
20 : 이동 기구
21(21i, 21o) : 주행 차륜
29 : 위치 검출용 자석
41 : 비접촉 급전장치
42 : 급전수단
43 : 수전 수단
47 : 무선 통신 수단
48 : 지령 전달 수단
49 : 제어장치
49a : 무선 통신 수단
W : 워크(물품)

Claims (10)

  1. 물품을 반송하는 주행체를, 주행 가이드를 따라 주행 가능하게 설치한 반송 시스템으로서,
    상기 주행체를 주행 구동하는 구동원이 리니어 모터이며, 상기 리니어 모터는, 주행 가이드를 따라 배열되어 각각이 독립한 복수의 1 차측의 전기자와, 상기 주행체에 설치된 2 차측의 가동자로 이루어지고, 상기 주행 가이드는 적어도 곡선부를 가지고, 상기 주행체는 상기 곡선부를 주행 가능하게 하고, 상기 리니어 모터의 상기 각 전기자는, 상기 주행체의 주행 영역의 전역에 걸쳐, 서로 간격을 두고 배열하고,
    상기 주행체가, 상기 물품의 파지수단, 및 상기 파지수단을 상기 주행체의 주행 방향과는 상이한 방향으로 이동시키는 이동 기구를 가지고, 상기 주행 가이드를 따라 설치된 급전수단으로부터 상기 주행체에 설치된 수전 수단에 대하여 비접촉으로 급전하는 비접촉 급전장치를 설치하고, 상기 파지수단 및 이동 기구의 구동원이 되는 전동식의 구동원을, 상기 주행체의 상기 수전 수단에 접속한 반송 시스템.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 주행체는, 상기 주행 가이드에 위치한 물품 반입처에 물품을 전달하는 반송 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 주행체는, 상기 주행 가이드를 따라 설치한 공작 기계에 물품을 전달하는 반송 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 1 차측의 전기자는, 주행 가이드의 상기 곡선부를 따라 복수 배열하여 배치되는 반송 시스템.
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 주행체에, 무선 통신 수단을 탑재하고, 상기 무선 통신 수단에 의해 통신된 신호에 의해 상기 파지수단 및 이동 기구의 구동원의 제어를 행하는 지령 전달 수단을 상기 주행체에 탑재한 반송 시스템.
  8. 물품을 반송하는 주행체를, 주행 가이드를 따라 주행 가능하게 설치한 반송 시스템으로서,
    상기 주행체를 주행 구동하는 구동원이 리니어 모터이며, 상기 리니어 모터는, 주행 가이드를 따라 배열되어 각각이 독립한 복수의 1 차측의 전기자와, 상기 주행체에 설치된 2 차측의 가동자로 이루어지고, 상기 주행 가이드는 적어도 곡선부를 가지고, 상기 주행체는 상기 곡선부를 주행 가능하게 하고, 상기 리니어 모터의 상기 각 전기자는, 상기 주행체의 주행 영역의 전역에 걸쳐, 서로 간격을 두고 배열하고,
    상기 2 차측의 가동자가, 주행 방향으로 N, S의 자극이 교호로 배열된 영구자석이며, 상기 가동자의 자극을 검출하거나, 또는 상기 가동자의 자극과 동일한 배열로 주행체에 설치된 검출용의 자석의 자극을 검출하는 자극 센서를 상기 주행 가이드에 설치하고, 상기 자극 센서의 검출 신호를 이용하여 상기 주행체의 주행 제어를 행하는 주행 제어 수단을 설치한 반송 시스템.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 주행 가이드에 상기 주행체를 복수대 설치 가능하게 한 반송 시스템.
  10. 삭제
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