JP4131753B2 - 搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はリニア誘導モータ及びリニア同期モータを用いた搬送装置に関し、特に搬送台車の位置決めを行う必要のない単なる搬送区間では、誘導モータをリニア化したリニア誘導モータを使用し、停止時に搬送台車の高精度の位置決めが必要な区間では、同期モータをサーボ化したリニア同期モータを使用するようにした搬送装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
クリーンルーム内で取扱うウエハ、液晶板、プラズマディスプレイ等の搬送装置には、誘導モータをリニア化したリニア誘導モータを使用したものがある。
【0003】
而して、斯かるリニア誘導モータを使用した従来の搬送装置の一例には、図17に示すごときものがある。
【0004】
図17中、aは軌道b上を走行し得るようにした搬送台車、cは軌道bに沿って所要の間隔で配置され且つ搬送台車a走行用の交流電流を給電し得るようにしたコイル、dは軌道bに沿って搬送台車aの停止位置近傍に配置され且つ搬送台車a停止のための逆相の交流電流を給電し得るようにしたコイル、eはコイルdに近接して配置され且つ搬送台車a停止のための低周波の交流電流を給電し得るようにしたコイルであり、各コイルc,d,eにより一次導体が構成されている。
【0005】
又、fは搬送台車aに設けた、鉄板にアルミ板を積層した構造の二次導体であり、搬送台車aが所定のコイルc或いはd若しくはe上に位置することにより、コイルc,d,eと二次導体fとで誘導モータをリニア化したリニア誘導モータ(LIM)を構成し得るようになっている。
【0006】
gはコイルdの搬送台車a走行方向D1上流側に配置され、アクチュエータにより昇降及び軌道bに沿った方向への水平往復動を行い得るようにした位置決めストッパ、hはアクチュエータにより上昇して搬送台車aを停止させるようにしたストッパである。
【0007】
上述の搬送装置では、搬送台車aと対応しているコイルcに給電することにより、搬送台車aへは走行方向D1へ向けて推力が付与され、このため搬送台車aは軌道b上を走行方向D1へ走行する。
【0008】
又、搬送台車aは当該コイルcを通過した後は、慣性により次のコイルcまで走行(惰走)するが、次のコイルcに到達するまでに走行抵抗により若干減速され、従って、次のコイルcにおいて再び加速されることになる。
【0009】
搬送台車aがコイルd上に到達すると、コイルdには、逆相の給電が行われて搬送台車aには走行方向D1とは逆方向の推力が作用し、その結果搬送台車aは急激に減速される。
【0010】
又、搬送台車aが減速して該搬送台車aがコイルd上の所定位置に到達すると位置決めストッパg及びストッパhが上昇し、位置決めストッパgが搬送台車aをストッパh側へ押し、搬送台車aはコイルeに低周波の交流電流を給電することにより生じる走行方向D1とは逆方向の小さな推力により更に減速され、ストッパhに当接して停止する(図17の仮想線参照)。なお、このような機械式位置決め装置や図示してない電磁気式位置決め装置を使用するのは、リニア誘導モータへの給電量や給電方向によって搬送台車aを停止させても、停止位置にばら付きが生じるためである。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の搬送装置には、以下述べるごとき問題点がある。
【0012】
i)リニア誘導モータは誘導モータをリニア化したものであるため、搬送台車aの高速搬送には適しているが、搬送台車aを所定位置に停止させる際に高精度で位置決めすることが難しく、従って高精度位置決めを行うためには、機械式の位置決め装置や電磁気式の位置決め装置が必要となる。
【0013】
ii)機械式位置決め装置や電磁気式位置決め装置を使用する場合には、位置決め装置の占める空間が広いため、空間の有効利用を図れず、装置が複雑で大型化するためコストアップを招来し、接触作動部分があるため発塵が生じて搬送装置をクリーンルームに適用することは難しく、作動部分が多いため装置の信頼性に欠け、停止−発進のサイクル時間が長くなるため搬送能率の低下を招来する。
【0014】
本発明は、上述の実情に鑑み、搬送台車の走行を高速で行い得るようにすると共に、搬送台車を停止させる際に機械式位置決め装置や電磁気式位置決め装置を使用することもなく、高精度で搬送台車の位置決めを行い得るようにすることを目的としてなしたものである。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1の搬送装置は、
搬送台車を走行させるラインに搬送台車を停止させ得る少なくともひとつのステーションを設け、
搬送台車を走行させるラインには、地上側に所要の間隔で給電を行う第一の一次導体を設け、
前記搬送台車には、前記第一の一次導体に対応する第一の二次導体を設け、
前記第一の一次導体と第一の二次導体とにより誘導モータをリニア化したリニア誘導モータを構成するようにし、
前記各ステーションには、地上側に給電を行う第二の一次導体を設け、
前記搬送台車には、前記第二の一次導体に対向するよう、搬送台車の走行方向と平行な方向へ向ってN極とS極とが交互に配置された複数の永久磁石を備えた第二の二次導体を設け、
前記第二の一次導体と第二の二次導体とにより同期モータをリニア化したサーボ制御可能なリニア同期モータを構成し得るようにし、
前記搬送台車には、前記複数の永久磁石の取付間隔と同じ間隔で複数のスリットが形成された永久磁石位置検出用の検出片と、所定の間隔で光遮蔽部と光透過部とを交互に設けた複数のスリットが形成された搬送台車の速度及び位置検出用の検出片とを、各々搬送台車走行方向と平行な方向に上下二段に設け、
前記ステーションには、前記永久磁石位置検出用の検出片に対応する複数の磁石位置検出用の光センサを、搬送台車走行方向と平行な方向へ所定の間隔で配置すると共に、前記搬送台車の速度及び位置検出用の検出片に対応する、前記リニア同期モータのサーボ制御を開始する位置及び前記リニア同期モータのサーボ制御を行なう基準となる長さを検出する複数の光センサを、搬送台車走行方向と平行な方向へ所定の間隔で配置し、
前記搬送台車の走行により前記複数の磁石位置検出用の光センサからオンオフ信号が、又、前記リニア同期モータのサーボ制御を開始する位置及び前記リニア同期モータのサーボ制御を行なう基準となる長さを検出する複数の光センサからパルス信号が、各々出力されるよう構成したものである。
本発明の請求項2の搬送装置は、前記永久磁石位置検出用の検出片と、前記搬送台車の速度及び位置検出用の検出片とは、搬送台車のフレームより長い範囲に亘り延在する検出片設定用の部材に取り付けられ、
前記リニア同期モータのサーボ制御を開始する位置及び前記リニア同期モータのサーボ制御を行なう基準となる長さを検出する複数の光センサは、前記磁石位置検出用の複数の光センサよりも台車の進行方向の前方に位置するように配置されたものである。
本発明の請求項3の搬送装置は、前記搬送台車の速度及び位置検出用の検出片において、台車走行方向と平行な方向への光遮蔽部の長さをT4とし、光透過部の長さをT3とし、前記リニア同期モータのサーボ制御を開始する位置及び前記リニア同期モータのサーボ制御を行なう基準となる長さを検出する複数の光センサを、各々の中心間距離 L1 =n(T3+T4)+(T3+T4)×(1/4) (n=1,2,3・・・)として設置することで、前記リニア同期モータのサーボ制御を開始する位置及び前記リニア同期モータのサーボ制御を行なう基準となる長さを検出する複数の光センサから得られるパルス信号が、(T3+T4)×(1/4)の長さ間隔で得られよう構成したものである。
本発明の請求項4の搬送装置は、前記磁石位置検出用の複数の光センサにおいて、搬送台車に設けられた前記永久磁石位置検出用の検出片の光遮蔽部が到達した際に、走行方向先端の磁石位置検出用の光センサのオン信号の立ち上がりにより搬送台車の台車走行方向先頭の永久磁石の軌道上における位置を認識し、
後方の磁石位置検出用の光センサのオン信号の立ち上がりにより搬送台車の永久磁石の位置が制御を開始すべき位置に来たことを認識し、
これら二つの位置の認識により、制御を開始すべき位置における前記パルス信号の単位 時間当たりの数を基として制御部で演算した搬送台車の速度に相当する交流電源を、台車走行方向先頭の永久磁石の極に対応して前記第二の一次導体に給電して同調走行に切り替えるよう構成したものである。
【0016】
従って、本発明ではステーション部分以外では搬送台車は高速走行が可能となり、ステーション部分では搬送台車停止時の位置決め精度が向上する。従って本発明では作業能率が向上すると共に装置の信頼性が向上する。
【0017】
又、発塵の虞れがないため、クリーンルーム内での物品の搬送に適用することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照しつつ説明する。
【0019】
図1〜図16は本発明の実施の形態の一例を示す。
【0020】
図1において、1は走行方向D1を基準として左右両側に配置した無端状の軌道であり、該軌道1の走行方向D1中途部には、図2に示すごとき傾斜上昇部1a及び図3に示すごとき傾斜下降部1bを備えており、且つ前後両端水平部には、図1に示すごとく平面的に見て円弧状のコーナ部1cを備えている。
【0021】
又軌道1の地上低所側2の直線部には後述のステーションST1,ST2,ST3,ST4が設けられている。
【0022】
而して、軌道1の地上低所側2の直線水平部は、地上側に立設した支持枠3及び支持枠3上に設置したブラケット4を介して、ブラケット4上に設置したブラケット5の高さ方向中途部外側面に固定され、支持されている(図2、3、4参照)。
【0023】
軌道1の地上低所側2のコーナ部1cは、地上側に立設した支持枠3を介して、支持枠3上に立設したブラケット6の頂部外側面に固定され、支持されている(図2、3、5参照)。
【0024】
軌道1の地上高所側7の直線水平部は、地上側に立設した構造物8及び構造物8上に設置した支持枠3並に支持枠3上に設置したブラケット4を介して、ブラケット4上に設置したブラケット5の高さ方向中途部外側面に固定され、支持されている(図2、3、4参照)。
【0025】
軌道1の地上高所側7のコーナ部1cは、地上側に立設した構造物8及び構造物8上に設置した支持枠3を介して、支持枠3上に立設したブラケット6の頂部外側面に固設され、支持されている(図2、3、5参照)。
【0026】
軌道1の傾斜上昇部1a及び傾斜下降部1bは、地上側から立設されて上端水平部を構造物8に固定された構造物9及び構造物9に取付けたI型鋼状の水平部材10並に該水平部材10に取付けたブラケット4を介して、ブラケット4上に取付けたブラケット5の高さ方向中途部外側面に固定され、支持されている(図2、3、6参照)。
【0027】
軌道1上には、搬送台車11が走行方向D1へ向けて走行し得るよう搭載されている。而して、搬送台車11の詳細は図7〜図9に示されており、該搬送台車11は、走行方向へ所要の間隔で配置された2個の台車本体12を備えている。
【0028】
台車本体12は左右の軌道1を跨ぐよう、天板12a及び天板12aの両側に固設された側板12bを備えて正面形状は略門型フレーム状に形成されており、側板12bの高さ方向中途部及び下端には、側板12bから軌道1と平行な前後方向へ突出するローラ支持部材12c,12dが設けられている。
【0029】
ローラ支持部材12cの軌道1長手方向先後端部には、水平ピン13を介して回転自在に案内ローラ14が枢支されており、又ローラ支持部材12dの軌道1長手方向略中央部には、水平ピン15を介して回転自在に案内ローラ16が枢支されており、更にローラ支持部材12dの軌道1長手方向先後端部には、縦ピン17を介して回転自在に案内ローラ18が枢支されている。
【0030】
搬送台車11に取付けた案内ローラ14,16は図7に示すごとく、軌道1を上下方向から挾むと共に、案内ローラ14は軌道1上面を転動し得るようになっており、案内ローラ16は傾斜上昇部1a、傾斜下降部1bにおいて、荷重の重心位置のいかんにより、軌道1下面に接触して軌道1を転動し得るようになっている。又、案内ローラ18は軌道1の側面を転動し得るようになっている。
【0031】
而して、案内ローラ14,16,18により搬送台車11は軌道1に支持され、走行時に軌道1から脱線しないようになっている。
【0032】
台車本体12における天板12aの左右方向略中心位置には、上下端部が天板12aの上下方へ突出する縦ピン19が枢着され、該縦ピン19の下端突出部には、厚さ方向が軌道1の左右方向へ向くと共に前後方向及び上下方向へ延在する、側面形状が矩形状のアルミ板製の二次導体20が、前後の台車本体12を一体的に連結するがごとくに垂直な状態で固設されている。
【0033】
二次導体20における軌道1と平行な方向の略中央位置の下端には、二次導体20の厚さ方向両側に設けた縦ピン21を介して案内ローラ22が回転自在に枢支され、案内ローラ22は、軌道1と平行に支持枠3等の上面に取付けたガイド部材23の縦部材両側面に沿い転動し得るようになっている。
【0034】
前記二次導体20は、誘導モータをリニア化したリニア誘導モータ(LIM)の二次導体であり、搬送台車11が軌道1の傾斜上昇部1aを上昇走行する際には、搬送台車11に軌道1に沿って搬送台車11を上昇させるための推力を与え、又搬送台車11が軌道1の傾斜下降部1bを下降走行する際には、搬送台車11が軌道1に沿って暴走しないよう、走行方向D1とは逆方向の推力を与え、搬送台車11に制動力を与えるためのものである。
【0035】
縦ピン19の上端突出部には、平面形状が略I型の水平板状の台車フレーム24が固設されている。而して、搬送台車11がコーナ部1cを走行する際には、台車本体12は軌道1により案内されつつ縦ピン19に対し若干水平方向へ回動し、その結果、搬送台車11はスムーズにコーナ部1cを走行し得るようになっている。
【0036】
台車本体12の天板12a左右両側には水平ピン25を介して案内ローラ26が枢支されており、案内ローラ26は前記台車フレーム24の下面を支持している。
【0037】
台車フレーム24における搬送台車11の走行方向D1に向って左側下面(図7では右側下面)には、軌道1の長手方向へ一方の台車本体12側から他方の台車本体12まで水平に延在するよう、二次導体27が設置されている。
【0038】
二次導体27は、水平な鉄板27aの下面にアルミ板27bを水平に貼着したもので、誘導モータをリニア化したリニア誘導モータ(LIM)の二次導体であり、搬送台車11が軌道1のコーナ部1cを走行する際に搬送台車11に推力を与えるためのものである。
【0039】
台車フレーム24における搬送台車11の走行方向D1に向って右側下面(図7では左側)には、L形状のブラケット28が取付けられており、ブラケット28には、軌道1の長手方向へ一方の台車本体12側から他方の台車本体12まで垂直に延在するよう、二次導体29が設置されている(図7、9、10、13参照)。
【0040】
二次導体29は、垂直な鉄板29aの軌道1左右方向外側側面に、搬送台車11の走行方向D1と平行な方向へ向けて交互にN極とS極とが配置されるよう、磁石保護板29cにより保護された永久磁石29bを貼着したもので、同期モータをリニア化してサーボ制御し得るようにしたリニア同期モータ(LSM)の二次導体である。而して、二次導体29は図1の各ステーションST1,ST2,ST3,ST4において、搬送台車11に走行方向D1と同一方向若しくは逆方向へ向けた推力を与え搬送台車11を加速若しくは減速し、或いは走行方向D1に対し逆方向へ向けた推力を与えて搬送台車11を所定の位置に正確に高精度で停止させるようにするためのものである。
【0041】
垂直板状の二次導体29の下端には、垂直板状の別のブラケット30が固設されており、ブラケット30には、搬送台車11の走行方向D1と平行な方向へ台車フレーム24よりも若干長い範囲に亘り延在する検出片設定部材31が取付けられている(図13参照)。
【0042】
検出片設定部材31の上端には、図11に示すごとく、光遮蔽部32aとスリット状の光透過部32bとが幅T1=T2=48mmで搬送台車11の走行方向D1と平行な方向へ交互に設けられた検出片32が形成されており、該検出片32は後述の光センサ39,40,41に対する永久磁石29bの位置を検出する際に使用し得るようになっている。
【0043】
検出片設定部材31の下端には、図12に示すごとく、光遮蔽部33aとスリット状の光透過部33bとが、T4=2.3mm、T3=1.7mmで搬送台車11の走行方向D1と平行な方向へ交互に設けられた検出片33が形成されており、該検出片33は、後述の光センサ42,43により、各ステーションST1,ST2,ST3,ST4における搬送台車11の速度及び位置を検出するためのものである。
【0044】
各ステーションST1〜ST4には、搬送台車11の走行方向D1右側に位置するよう、支持枠3上に垂直パネル状の枠体34が立設され、枠体34の二次導体29と対向し得る面には、搬送台車11の走行方向D1と平行に延在するコイルが一次導体35として取付けられており(図7、10参照)、搬送台車11がステーションST1〜ST4内にある場合には、一次導体35と二次導体29との間には2〜3mmの隙間が形成されるようになっている(図7参照)。
【0045】
なお、リニア同期モータ(LSM)を構成する一次導体35のコイルピッチ及び二次導体29の永久磁石29bの取付け間隔並に検出片32の光遮蔽部32aの幅T1、光透過部の幅T2は何れも等しく、本実施の形態例の場合は48mmである。
【0046】
而して、一次導体35と二次導体29とにより同期モータをリニア化してサーボ制御し得るようにしたリニア同期モータ(LSM)が構成されるようになっている。
【0047】
枠体34の一次導体35設置位置よりも下方内側面には、軌道1の左右方向へ位置調整可能なブラケット36が取付けられており、該ブラケット36に設けた縦ピン37には、搬送台車11がステーションST1〜ST4を走行する際にブラケット28を案内して一次導体35と二次導体29との間の隙間を適正に保持し得るようにした案内ローラ38が枢支されている(図7、10参照)。
【0048】
枠体34の案内ローラ38設置位置よりも下方内側面には、各ステーションST1〜ST4において、搬送台車11の速度制御や位置制御を行う際に、搬送台車11のブラケット28に取付けた二次導体29の永久磁石29bの位置を検出し得るよう、1組あたり3個の透過形光電スイッチ等の光センサ39,40,41が、搬送台車11の走行方向D1と平行な方向へ所要の間隔を隔てて2組設けられている(図7、10参照)。
【0049】
而して、搬送台車11がステーションST1〜ST4を走行する際には、搬送台車11側に設けた検出片32が断面U字状の光センサ39,40,41の内部空間を通過し得るようになっている(図7、10、14参照)。
【0050】
光センサ39,40,41を2組設けるのは、各ステーションST1〜ST4内の搬送台車11の制御可能範囲を長くするためである。
【0051】
枠体34の光センサ39,40,41設置位置よりも下方内側面には、各ステーションST1〜ST4において、搬送台車11の速度制御や位置制御を行う際に搬送台車11の位置や速度を検出し得るよう1組あたり2個の透過形光電スイッチ等の光センサ42,43が、搬送台車11の走行方向D1と平行な方向へ所要の間隔を隔てて2組設けられている(図7、10、15参照)。
【0052】
光センサ42,43により検出されるパルス信号A,Bは、光センサ39,40,41により検出されるオン信号U,V,Wよりも先に検出されるよう、光センサ42,43,39,40,41は各ステーションST1〜ST4に配置されている。
【0053】
而して、搬送台車11がステーションST1〜ST4を走行する際には、搬送台車11側に設けた検出片33が断面U字状の光センサ42,43の内部空間を通過し得るようになっている。
【0054】
光センサ42,43を2組設けるのは、各ステーションST1〜ST4内の搬送台車11の制御可能範囲を長くするためである。
【0055】
又、1組あたり光センサ42,43を2個設けるのは、以下のごとき理由による。すなわち、光センサ42,43の中心間距離L1(図10参照)をn(T3+T4)+(T3+T4)×(1/4)(n=1,2,3…)とすることにより、(T3+T4)×(1/4)mm間隔でパルス信号を得ることができ、精度の高い制御が可能となるためである。すなわちT3+T4=1.7+2.3=4mmの場合、1mm間隔でパルス信号を得ることができる。なお、T3=1.7mm、T4=2.3mmとしたのは光センサ42,43の回折応答時間などから正確な等間隔のパルス信号を得るためのものである。
【0056】
軌道1のステーションST1〜ST4から外れた直線部には、図1に示すごとく、コイルである一次導体44が、軌道1の長手方向へ所要の間隔で配設されている。而して、一次導体44は図4に示すごとく、支持枠3に支持されたブラケット5の内側面に固設され、搬送台車11が当該一次導体44の部分に来た場合には、一次導体44と二次導体20とにより、誘導モータをリニア化したリニア誘導モータ(LIM)が構成されるようになっている。
【0057】
軌道1の傾斜上昇部1a及び傾斜下降部1bには、図1に示すように、コイルである一次導体44が、軌道1の長手方向へ隣り合う一次導体44に対し近接するよう、配設されている。而して、一次導体44は図6に示すごとく、水平部材10に支持されたブラケット5の内側面に固設され、搬送台車11が当該一次導体44の部分に来た場合には、一次導体44と二次導体20とにより、誘導モータをリニア化したリニア誘導モータ(LIM)が構成されるようになっている。
【0058】
又一次導体44と二次導体20との間には、水平方向へ2〜3mmの隙間が形成されるようになっており、一次導体44は二次導体20を挾んで左右両側に位置させているが、片側であってもよい。ただし、片側の場合は、二次導体20は鉄板にアルミ板を貼着した構成とする必要がある。
【0059】
軌道1のコーナ部1c及びその近傍の直線部には、図1に示すように左右の軌道1のうち曲率半径の小さい軌道1よりも円弧の内側に位置するよう、円周方向へ所要の間隔でコイルである一次導体45が配設されており、該一次導体45は、図5に示すごとく、支持枠3上に立設した支柱46の上端に固設されて、搬送台車11が当該一次導体45の部分に来た場合には、一次導体45と二次導体27との間には、上下方向へ向けて2〜3mmの隙間が形成されるようになっている。
【0060】
なお、図2、3中、47は台車フレーム24上に立設されたブラケット48に水平ピン49を介し上端を枢支されたケージである。
【0061】
次に、本発明の実施の形態の作動について説明する。
【0062】
例えば、図1のステーションST1に停止している搬送台車11をステーションST4まで走行させる場合には、二次導体29とでリニア同期モータを構成しているステーションST1の一次導体35に順送の交流電流の給電が行われる。このため、搬送台車11には、走行方向D1に対する推力が作用し、搬送台車11は走行を開始する。
【0063】
而して、ステーションST1での給電量が増加するに従い、搬送台車11は加速され、ステーションST1から送出された搬送台車11はステーションST2に至るまでは軌道1上を慣性力により走行(惰走)する。
【0064】
搬送台車11は惰走する間に走行抵抗を受けるため減速して、その走行速度は下降する。このため、搬送台車11がステーションST2の所定位置に到達するとステーションST2の一次導体35にステーションST1の場合と同様にして給電が行われ、搬送台車11は推力を受け加速されて走行方向D1へ走行する。
【0065】
ステーションST2から送出された搬送台車11は、軌道1上を惰走し、減速して軌道1の水平部に配置された一次導体44の部分に到達する。このため、二次導体20とでリニア誘導モータが構成されている一次導体44に順送の交流電流の給電が行われ、搬送台車11は推力を受けて加速される。
【0066】
而して、斯かる加速−減速を所要回数繰返すことにより、搬送台車11が傾斜上昇部1aに到達すると、傾斜上昇部1aに配置された一次導体44に順次給電を行うことにより搬送台車11は軌道1に沿った推力を受け、略等速で軌道1に沿って傾斜上昇部1aを上昇する。
【0067】
搬送台車11が構造物8上の地上高所側7の水平直線部に到達すると、搬送台車11は前述と同様にして加速及び惰走による減速を行い構造物8上のコーナ部1cに到達する。
【0068】
このため、搬送台車11が軌道1のコーナ部1cに配設された一次導体45の部分に到達すると、二次導体27とでリニア誘導モータが構成されている一次導体45に順送の交流電流の給電が行われ、搬送台車11は推力を受けて加速される。このため、搬送台車11は、一次導体45に順次給電を行うことにより、コーナ部1cを加速−減速を繰り返しつつ走行し、傾斜下降部1bに到達する。
【0069】
傾斜下降部1bでは、一次導体44に逆相の交流電流が給電されるため、搬送台車11には下降方向と逆方向の推力が作用し、このため、搬送台車11は傾斜下降部1bの軌道1を制動されつつ略等速で下降する。
【0070】
搬送台車11が傾斜下降部1bを下降して地上低所側2の水平直線部に到達すると、一次導体44への給電により加速され、その後走行抵抗により減速してステーションST3へ入り、ステーションST3では、一次導体35に逆相の交流電流が給電されて搬送台車11には搬送台車11の走行方向D1とは逆方向の推力が作用し、これにより搬送台車11は制動されて減速し、ステーションST3から送出される。
【0071】
ステーションST3から送出された搬送台車11は、更に走行抵抗により減速されてステーションST4へ送込まれ、ステーションST4でステーションST3の場合と同様にして制動され、減速して所定の位置へ正確に高精度で停止する。
【0072】
次に、搬送台車11の加速若しくは減速或いは停止を行う場合のステーションST1〜ST4における制御の仕方を図16をも参照しつつ具体的に説明する。
【0073】
I)例えばステーションST2で搬送台車11の加速若しくは減速を行う場合
搬送台車11が例えばステーションST2の走行方向D1上流側で軌道1上を図1のD1方向へ前進走行している場合には、搬送台車11は惰走しており、このためステーションST2の一次導体35には、図示してない制御部からの給電は行われず、制御部は待機の状態にある。
【0074】
搬送台車11が軌道1を惰走してステーションST2の一次導体35へ接近すると、検出片33の光遮蔽部33aにより光センサ42,43の光を遮蔽することにより、光センサ42,43からは図16のニに示すごとく、パルス信号A,Bの出力が開始され、出力されたパルス信号A,Bは図示しない制御部へ入力される。このときのパルス信号A,Bは、走行体1が(1/4)×(T3+T4)mm距離(本実施の形態例の場合は1mm間隔)だけ移動するごとに発生する。
【0075】
パルス信号A,Bが制御部へ入力されると、制御部では、単位時間当りのパルス信号A,Bの数をもととして、搬送台車11の惰走速度の演算が開始されると共に搬送台車11の位置の演算が開始される。
【0076】
更に、搬送台車11がD1方向へ走行して検出片32の走行方向先端の光遮蔽部32aが光センサ39の光を遮蔽することにより光センサ39からは、図16のイに示すごときオン信号Uが出力されて制御部へ与えられる。これにより、搬送台車11の永久磁石29bの軌道1上における位置が確認される。
【0077】
なおも、搬送台車11がD1方向へ走行して検出片32の走行方向先端の光遮蔽部32aが光センサ40の光を遮蔽することにより、光センサ40からは、図16のロに示すごときオン信号Vが出力されて制御部へ与えられる。このオン信号Vの立上りにより、搬送台車11の永久磁石29bが軌道1上において制御を開始すべき位置X1に到達したことが確認される。
【0078】
このため制御部による制御が開始されて制御部からは、位置X1における搬送台車11の惰走速度に相当する交流電流が搬送台車11の永久磁石29bと対応している一次導体35に対し給電され、その結果、搬送台車11には、走行方向D1へ向けて所定の推力が作用し、搬送台車11は、惰走から動力による同調走行へ衝撃を受けることなく円滑に切換えられる。
【0079】
又、搬送台車11が位置X1において同調走行へ切換わると、光センサ42,43により検出された単位時間当りパルス信号A,Bの数から求めたそのときの搬送台車11の走行速度及び搬送台車11の位置並にステーションST2における搬送台車11の設定走行速度更には予め設定された加速カーブ或いは減速カーブから、搬送台車11の軌道1上の加速開始位置或いは減速開始位置が演算される。
【0080】
而して、搬送台車11が更にD1方向へ走行して検出片32の搬送台車11走行方向D1先端部における光遮蔽部32aが光センサ39を通過すると、オン信号Uがオフとなり、このオン信号Uの立下りにより、搬送台車11の加速開始位置或いは減速開始位置までの距離のカウントを開始すべき位置X2に搬送台車11が到達したことが確認される。
【0081】
従って、以降は、搬送台車11のD1方向への走行に伴い、光センサ42,43により検出されたパルス信号A,Bの数から搬送台車11が加速開始位置或いは減速開始位置に来たか否かが判定され、搬送台車11が加速開始位置或いは減速開始位置に到達すると、制御部からステーションST2の一次導体35に給電される交流電流が設定された加速カーブ或いは減速カーブにもとづいて制御され、その結果、搬送台車11の走行方向と平行に働く推力の大きさ及び方向が調整されて搬送台車11が所定の位置で所定の走行速度に到達するよう加速或いは減速が行われ、搬送台車11の速度制御が行われる。
【0082】
斯かる速度制御を行っている間は、図16に示すごとく、光センサ39,40,41により検出されるオン信号U,V,Wのうちの少くとも何れか1個が常時発生しており、オン信号が消えることがないため、制御が可能なことを確認できる。
【0083】
而して、搬送台車11が走行してオン信号U,V,Wの全てが切れたら、制御部から一次導体35への給電は停止され、制御部は待機状態になると共に搬送台車11は次の目的場所へ向けて軌道1上を惰走する。
【0084】
II)例えばステーションST4で搬送台車11の停止を行う場合
搬送台車11が惰走から、衝撃を受けることなく動力による同調走行へ切換わるまでの作動は、ステーションST2で搬送台車11が加速或いは減速される場合と同一である(図16の位置X1まで)。
【0085】
搬送台車11が位置X1において同調走行へ切換わると、光センサ42,43により検出された単位時間当りのパルス信号A,Bの数から求めたそのときの搬送台車11の走行速度、及び位置X1からの搬送台車11の停止すべき位置までの距離、並に予め設定された減速カーブから、搬送台車11の軌道1上の減速開始位置が演算される。
【0086】
而して、搬送台車11がD1方向へ走行して検出片32の搬送台車11走行方向D1先端部における光遮蔽部32aが光センサ39を通過すると、オン信号Uがオフとなり、このオン信号Uの立下りにより、搬送台車11は搬送台車11の減速開始位置までの距離のカウントを開始すべき位置X2に到達したことが確認される。
【0087】
従って、以降は搬送台車11の走行方向D1への走行に伴い、光センサ42,43により検出されたパルス信号A,Bの数から搬送台車11が減速開始位置に来たか否かが判定され、搬送台車11が減速開始位置に到達すると、制御部からステーションST4の一次導体35に給電される交流電流が設定された減速カーブにもとづいて制御され、その結果搬送台車11の走行方向と逆の方向に推力が付与されて搬送台車11は走行速度が零になるまで徐々に減速され、搬送台車11は所定の位置に正確に停止する。
【0088】
停止時には、一次導体35へは微電流が供給されており、停止している搬送台車11が前後どちらかへずれたときは、ずれた方向に対応して電流の流れ方向を調整すると共に給電量を増加し、搬送台車11をもとの位置へ戻す(サーボロック)。
【0089】
なお、搬送台車11が走行方向D1と反対方向に移動する場合には、永久磁石29bの最初の位置の確認は、光センサ41によるオン信号W(図16のハ参照)により行われる。
【0090】
上述のごとく本実施の形態例においては、ステーションST1〜ST4以外の部分では高速搬送が可能となるため作業能率が向上する。
【0091】
又本実施の形態例においては、ステーションST1〜ST4において、同期モータをリニア化したリニア同期モータを使用しているため、サーボ制御が可能となり、従って機械式の位置決め装置や電磁気式の位置決め装置がなくても搬送台車11の停止精度が向上する。
【0092】
又、機械式位置決め装置や電磁気式位置決め装置が不要であるため、空間の位置決め装置が占める部分がなくなり、従って、空間の有効利用が可能となると共に装置が大型化せず、コストダウンを図ることができる。
【0093】
更に機械式位置決め装置や電磁気式位置決め装置のような接触作動部がないため、接触作動により生じる発塵の虞れもなく、クリーンルームでのウエハ、液晶板、プラズマディスプレイパネル等の物品の搬送に適用することができる。
【0094】
更に又、搬送台車11の停止−発進のサイクルが短縮されるため搬送能率が向上し、装置の信頼性が向上する。
【0095】
又永久磁石29bは搬送台車11に搭載してあり、従って永久磁石29bの数量は少くてすみ、この点からも設備のコストダウンを図ることができる。
【0096】
更に又、光センサ39,40,41により検出したオン信号U,V,Wを永久磁石29bの位置の検出の他に、制御開始/終了の信号や位置決めを開始するための位置を検出する信号としても使用するようにしたので、センサの削減や制御部の外部制御の簡略化が可能となった。
【0097】
なお、本発明の実施の形態例においては、センサとして光センサを使用する場合について説明したが、非接触式のセンサなら光センサに限らず渦電流センサ等種々のセンサを使用することが可能なこと、搬送台車の走行速度等を求めるために使用するセンサは、一次導体1箇所に対して2個用いる場合について説明したが、1個であっても実施可能なこと、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ること、等は勿論である。
【0098】
【発明の効果】
本発明の搬送装置によれば、下記のごとき種々の優れた効果を奏し得る。
【0099】
I)ステーション部分以外では高速走行が可能となり、又ステーションの部分では搬送台車の停止精度が向上するため、全体としては装置の作動能率が向上すると共に装置の信頼性が向上する。
【0100】
II)永久磁石の数が少く、一次導体の給電も必要な個所のみ行えば良いため、コストダウンを図ることができる。
【0101】
III)発塵部がないためクリーンルームに使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の搬送装置の全体平面図である。
【図2】図1のII−II方向矢視図である。
【図3】図1のIII−III方向矢視図である。
【図4】図2のIV−IV方向矢視図である。
【図5】図2のV−V方向矢視図である。
【図6】図2、図3のVI−VI方向矢視図である。
【図7】図1の装置において搬送台車がステーション部分に位置する状態を示す縦断面図である。
【図8】図7に示す搬送台車の一部破断の右側面図である。
【図9】図7の平面図である。
【図10】図7のX−X方向矢視図である。
【図11】各ステーションに用いる一の検出片の平面図である。
【図12】各ステーションに用いる他の検出片の平面図である。
【図13】図7に示す搬送台車に搭載した二次導体と検出片設定部材との関係を示す側面図である。
【図14】図7のXIV方向矢視図である。
【図15】図7のXV方向矢視図である。
【図16】本発明の搬送装置において搬送台車の制御を行う際の信号の状態を示す図である。
【図17】従来の搬送装置の概念図である。
【符号の説明】
11 搬送台車
20,27 二次導体(第一の二次導体)
29 二次導体(第二の二次導体)
29b 永久磁石
35 一次導体(第二の一次導体)
44,45 一次導体(第一の一次導体)
ST1,ST2,ST3,ST4 ステーション
D1 走行方向
Claims (4)
- 搬送台車を走行させるラインに搬送台車を停止させ得る少なくともひとつのステーションを設け、
搬送台車を走行させるラインには、地上側に所要の間隔で給電を行う第一の一次導体を設け、
前記搬送台車には、前記第一の一次導体に対応する第一の二次導体を設け、
前記第一の一次導体と第一の二次導体とにより誘導モータをリニア化したリニア誘導モータを構成するようにし、
前記各ステーションには、地上側に給電を行う第二の一次導体を設け、
前記搬送台車には、前記第二の一次導体に対向するよう、搬送台車の走行方向と平行な方向へ向ってN極とS極とが交互に配置された複数の永久磁石を備えた第二の二次導体を設け、
前記第二の一次導体と第二の二次導体とにより同期モータをリニア化したサーボ制御可能なリニア同期モータを構成し得るようにし、
前記搬送台車には、前記複数の永久磁石の取付間隔と同じ間隔で複数のスリットが形成された永久磁石位置検出用の検出片と、所定の間隔で光遮蔽部と光透過部とを交互に設けた複数のスリットが形成された搬送台車の速度及び位置検出用の検出片とを、各々搬送台車走行方向と平行な方向に上下二段に設け、
前記ステーションには、前記永久磁石位置検出用の検出片に対応する複数の磁石位置検出用の光センサを、搬送台車走行方向と平行な方向へ所定の間隔で配置すると共に、前記搬送台車の速度及び位置検出用の検出片に対応する、前記リニア同期モータのサーボ制御を開始する位置及び前記リニア同期モータのサーボ制御を行なう基準となる長さを検出する複数の光センサを、搬送台車走行方向と平行な方向へ所定の間隔で配置し、
前記搬送台車の走行により前記複数の磁石位置検出用の光センサからオンオフ信号が、又、前記リニア同期モータのサーボ制御を開始する位置及び前記リニア同期モータのサーボ制御を行なう基準となる長さを検出する複数の光センサからパルス信号が、各々出力されるよう構成したことをを特徴とする搬送装置。 - 前記永久磁石位置検出用の検出片と、前記搬送台車の速度及び位置検出用の検出片とは、搬送台車のフレームより長い範囲に亘り延在する検出片設定用の部材に取り付けられ、
前記リニア同期モータのサーボ制御を開始する位置及び前記リニア同期モータのサーボ制御を行なう基準となる長さを検出する複数の光センサは、前記磁石位置検出用の複数の光センサよりも台車の進行方向の前方に位置するように配置されたことを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。 - 前記搬送台車の速度及び位置検出用の検出片において、台車走行方向と平行な方向への光遮蔽部の長さをT4とし、光透過部の長さをT3とし、前記リニア同期モータのサーボ制御を開始する位置及び前記リニア同期モータのサーボ制御を行なう基準となる長さを検出する複数の光センサを各々の中心間距離 L1 =n(T3+T4)+(T3+T4)×(1/4) (n=1,2,3・・・)として設置することで、前記リニア同期モータのサーボ制御を開始する位置及び前記リニア同期モータのサーボ制御を行なう基準となる長さを検出する複数の光センサから得られるパルス信号が、(T3+T4)×(1/4)の長さ間隔で得られるよう構成したことを特徴とする請求項1乃至2に記載の搬送装置。
- 前記磁石位置検出用の複数の光センサにおいて、搬送台車に設けられた前記永久磁石位置検出用の検出片の光遮蔽部が到達した際に、走行方向先端の磁石位置検出用の光センサのオン信号の立ち上がりにより搬送台車の台車走行方向先頭の永久磁石の軌道上における位置を認識し、
後方の磁石位置検出用の光センサのオン信号の立ち上がりにより搬送台車の永久磁石の位置が制御を開始すべき位置に来たことを認識し、
これら二つの位置の認識により、制御を開始すべき位置における前記パルス信号の単位 時間当たりの数を基として制御部で演算した搬送台車の速度に相当する交流電源を、台車走行方向先頭の永久磁石の極に対応して前記第二の一次導体に給電して同調走行に切り替えることを特徴とする請求項1乃至3に記載の搬送装置。
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