KR20000007560U - 흔들림 방지용 캐리어 플레이트 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼 캐리어에 웨이퍼가 보관된 상태에서 반도체 공정을 진행할 때 캐리어 플레이트에 놓인 웨이퍼 캐리어가 흔들리는 것을 방지하기 위한 캐리어 플레이트에 관한 것이다. 본 고안의 목적은 캐리어 플레이트 위에 놓인 웨이퍼 캐리어가 외부 진동에 의해서 흔들리는 것을 방지하는데 있다. 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 평평한 일면을 갖는 소정 두께의 캐리어 플레이트에 있어서, 캐리어 플레이트의 두께 방향으로 상기 평평한 일면에 형성되는 홈, 홈에 축 방향으로 삽입되어 일단이 홈의 바닥에 고정되는 코일 스프링 및 홈으로부터 분리되지 않도록 홈에 삽입되어 소정의 높이로 홈에서 돌출되는 평평한 상부면을 갖는 지지부로서, 지지부의 상부면에 대한 수직 방향의 하중이 코일 스프링에 가해지는 것을 특징으로 하는 캐리어 플레이트를 제공한다.

Description

흔들림 방지용 캐리어 플레이트(Carrier plate for preventing wafer carrier rolling)

본 고안은 흔들림 방지용 캐리어 플레이트에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 웨이퍼 캐리어에 웨이퍼가 보관된 상태에서 공정을 진행할 때 캐리어 플레이트에 놓인 웨이퍼 캐리어가 흔들리는 것을 방지하기 위한 캐리어 플레이트에 관한 것이다.

반도체 공정 중에서 웨이퍼를 한 장소에서 다른 장소로 옮기는 데에는 웨이퍼가 수납되는 웨이퍼 캐리어(Wafer Carrier)가 필요하다. 웨이퍼는 깨지기 쉽고, 미세한 긁힘에 의한 고온에서의 열적 쪼개짐과 같은 생산 손실이 일어나기 쉬우므로 과도한 떨림이나 흔들림으로부터 보호되어 부드러운 운동에 의해 이동되어야 한다. 또한, 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어에서 꺼내거나 웨이퍼 캐리어에 수납할 때에는 웨이퍼 캐리어와 접촉이 일어나지 않아야 한다.

그런데, 캐리어 플레이트(Plate)의 면이 아무리 평평하여도 웨이퍼 캐리어와 캐리어 플레이트가 완벽하게 밀착하지 못하기 때문에 경미한 진동에 의해서도 웨이퍼 캐리어가 흔들리는 현상이 발생한다. 웨이퍼 이송 도구를 이용하여 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어에서 꺼내거나 웨이퍼 캐리어에 수납할 때, 웨이퍼 캐리어의 진동에 의해서 웨이퍼와 웨이퍼 캐리어가 부딪히게 되면 웨이퍼가 웨이퍼 이송 도구에서 떨어지는 등의 이유로 인해서 웨이퍼에 손상이 발생한다.

따라서, 본 고안의 목적은 캐리어 플레이트 위에 놓인 웨이퍼 캐리어가 외부 진동에 의해서 흔들리는 것을 방지하는데 있다.

도 1은 본 고안의 실시예에 따른 캐리어 플레이트를 나타내는 사시도,

도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 방향에 대한 단면도,

도 3은 본 고안의 실시예에 따른 캐리어 플레이트를 나타내는 정면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 설명>

100; 캐리어 플레이트 102; 지지부

103; 홈 104; 상부 지지부

106; 하부 지지부 108; 코일 스프링

110; 웨이퍼 캐리어 112, 114; 플랜지

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 평평한 일면을 갖는 소정 두께의 캐리어 플레이트에 있어서, 캐리어 플레이트의 두께 방향으로 상기 평평한 일면에 형성되는 홈, 홈에 축 방향으로 삽입되어 일단이 홈의 바닥에 고정되는 코일 스프링 및 홈으로부터 분리되지 않도록 홈에 삽입되어 소정의 높이로 홈에서 돌출되는 평평한 상부면을 갖는 지지부로서, 지지부의 상부면에 대한 수직 방향의 하중이 코일 스프링에 가해지는 것을 특징으로 하는 캐리어 플레이트를 제공한다.

이하, 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명하고자 한다. 도면 전반에 걸쳐서 동일한 도면 부호는 동일한 구성 요소를 나타낸다.

도 1은 본 고안의 실시예에 따른 캐리어 플레이트를 나타내는 사시도, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 방향에 대한 단면도, 도 3은 본 고안의 실시예에 따른 캐리어 플레이트를 나타내는 정면도이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 캐리어 플레이트(100)는 두께를 갖는 평평한 사각판 형태를 가지고 있다. 평평한 캐리어 플레이트(100)의 한쪽면에는 웨이퍼 캐리어(110)가 흔들리지 않도록 지지하는 두 개의 지지부(102)와 각각의 지지부(102)가 삽입되는 두 개의 홈(103)이 캐리어 플레이트(100)의 두께 방향으로 형성된다.

지지부(102)는 원통 형태의 상부 지지부(104)와 하부 지지부(106)로 구성된다. 상부 지지부(104)의 상부면은 평평하고, 하부는 개방되어 있다. 개방된 상부 지지부(104)의 하부 원주위에는 플랜지(112)가 상부 지지부(104) 안쪽을 향해 형성된다. 상부 지지부(104)보다 지름이 작은 하부 지지부(106)는 상부가 개방되고 하부면은 홈(103) 바닥에 고정된다.

하부 지지부(106)의 상부 원주위에는 플랜지(114)가 하부 지지부(106) 바깥쪽을 향해 형성된다. 하부 지지부(106)의 상부는 상부 지지부(104)의 하부쪽에서 상부 지지부(104)의 플랜지(112) 사이로 삽입되어, 상부 지지부(104)의 플랜지(112)와 하부 지지부(106)의 플랜지(114)가 서로 걸려서 상부 지지부(104)와 하부 지지부(106)가 분리되지 않게 된다. 코일 스프링(108)은 지지부(102) 내부에 삽입되어 하부 지지부(106)와 함께 홈(103)의 바닥에 고정된다.

코일 스프링(108)의 탄성으로 인해서 상부 지지부(104)의 평평한 상부면은 홈(103)에서 돌출되어 웨이퍼 캐리어(110)에 의한 수직 방향의 하중을 받게 된다. 웨이퍼 캐리어(110)의 하중은 두 개의 지지부(102) 내부에 삽입된 각각의 코일 스프링(108)에 균등하게 분담되어 상부 지지부(104)의 상부면이 수평을 유지할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이 본 고안에 의하면, 캐리어 플레이트 위에 놓인 웨이퍼 캐리어가 진동에 의해서 흔들리는 것을 방지하여 운반되는 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있다.

Claims (5)

1. 평평한 일면을 갖는 소정 두께의 캐리어 플레이트에 있어서,

   (1) 상기 캐리어 플레이트의 두께 방향으로 상기 평평한 일면에 형성되는 홈과,

   (2) 상기 홈에 축 방향으로 삽입되어 일단이 상기 홈의 바닥에 고정되는 코일 스프링과,

   (3) 상기 홈으로부터 분리되지 않도록 상기 홈에 삽입되어 소정의 높이로 상기 홈에서 돌출되는 평평한 상부면을 갖는 지지부로서, 상기 지지부의 상기 상부면에 대한 수직 방향의 하중이 상기 코일 스프링에 가해지는 것을 특징으로 하는 캐리어 플레이트.
2. 제 1항에 있어서, 상기 지지부는

   평평한 상부면을 갖고 하부가 개방된 소정 지름의 원통 형태의 상부 지지부로서, 상기 상부 지지부의 하부 원주위를 따라 플랜지가 상기 상부 지지부의 안쪽을 향해 형성되는 상부 지지부와,

   상부가 개방되고 상기 상부 지지부의 지름보다 작은 지름을 갖는 원통 형태의 하부 지지부로서, 상기 하부 지지부의 상부 원주위를 따라 플랜지가 상기 하부 지지부의 바깥쪽을 향해 형성되고 상기 하부 지지부의 하부가 상기 홈에 고정되는 하부 지지부로 구성되고,

   상기 하부 지지부의 상부와 상기 상부 지지부의 하부가 마주보는 방향으로 상기 하부 지지부가 상기 상부 지지부에 내삽되고, 상기 상부 지지부의 플랜지와 상기 하부 지지부의 플랜지에 의해서 상기 상부 지지부와 상기 하부 지지부가 분리되지 않도록 결합되어 상기 상부 지지부가 상하로 움직일 수 있는 것을 특징으로 하는 캐리어 플레이트.
3. 제 2항에 있어서, 상기 코일 스프링은 상기 상부 지지부와 상기 하부 지지부로 구성되는 상기 지지부 내에 삽입되는 것을 특징으로 하는 캐리어 플레이트.
4. 제 1항에 있어서, 상기 캐리어 플레이트는 두 개의 상기 홈이 소정의 간격으로 형성되고, 각각의 상기 홈은 상기 지지부 및 상기 코일 스프링을 구비하는 것을 특징으로 하는 캐리어 플레이트.
5. 제 4항에 있어서, 상기 코일 스프링은 상기 지지부의 상기 상부면에 대한 수직 방향의 하중을 균등하게 분담하여 상기 상부면이 수평을 유지하는 것을 특징으로 하는 캐리어 플레이트.