KR100549256B1 - 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한완충장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 웨이퍼의 보관 및 이동 수단으로 사용되는 뚜껑, 웨이퍼 지지대 및 받침통으로 이루어진 캐리어박스에 관한 것이다.
본 발명의 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한 완충장치는 상기 웨이퍼 지지대의 돌출부에 형성된 1차 완충부, 상기 1차 완충부를 지지하며 상기 웨이퍼 지지대의 경사부에 형성된 2차 완충부 및 상기 2차 완충부를 지지하며 상기 웨이퍼 지지대의 요(凹)부에 형성된 3차 완충부를 포함하여 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서 본 발명의 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한 완충장치는 3차 완충부로 이루어진 완충장치를 사용하여 작업자가 웨이퍼를 캐리어박스에 담을 때 낙차에 의해 발생되는 웨이퍼 균열 및 쪼개짐이 방지되고, 소음방지효과 및 이동 중 떨림방지 등 웨이퍼에 대한 안전한 보관 및 이동 수단을 제공하는 효과 및 장점이 있다.
완충장치, 웨이퍼, 캐리어
Description
도 1은 종래기술에 의한 반도체 웨이퍼 캐리어 박스의 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한 완충장치의 구성도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 1차 완충부
110 : 2차 완충부
120 : 3차 완충부
본 발명은 반도체 웨이퍼의 보관 및 이동 수단으로 사용되는 뚜껑, 웨이퍼 지지대 및 받침통으로 이루어진 캐리어박스에 관한 것으로, 보다 자세하게는 반도체 웨이퍼의 보관 및 이동 수단으로 사용되는 뚜껑, 웨이퍼 지지대 및 받침통으로 이루어진 캐리어박스에 있어서, 상기 웨이퍼 지지대의 돌출부에 형성된 1차 완충 부, 상기 1차 완충부를 지지하며 상기 웨이퍼 지지대의 경사부에 형성된 2차 완충부 및 상기 2차 완충부를 지지하며 상기 웨이퍼 지지대의 요(凹)부에 형성된 3차 완충부를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한 완충장치에 관한 것이다.
도 1은 종래기술에 따른 웨이퍼 보관 및 이동수단으로서 캐리어박스가 사용되었다. 웨이퍼보관을 위한 캐리어박스의 이런 편리한 기능과 동시에 캐리어박스 취급에 대한 위험적 요소가 발견이 되었다. 상기 종래기술에 따른 웨이퍼 보관 및 이동수단으로서 사용된 캐리어박스는 웨이퍼 보관을 위한 캐리어박스의 이런 편리한 기능과 동시에 캐리어박스 취급에 대한 위험적 요소가 발견이 되었다. 이러한 위험요소 중 웨이퍼 낙차에 의한 것이 있는데, 이것은 작업자가 웨이퍼를 캐리어박스에 담을 때 웨이퍼를 손에서 떨어뜨릴 경우 웨이퍼가 캐리어바닥의 접촉부분과 일시적충돌이 일어나면서 균열 및 파손으로 이어지는 것이다. 작업자가 신속한 동작으로서 웨이퍼를 이동 취급할 경우는 10cm부터 20cm의 높이에서 웨이퍼를 손에서 떨어뜨리게 된다. 이와 동시에 낙차에 의한 캐리어바닥부분과 순간적 충돌을 일으켜 단결정인 웨이퍼 자체 내에 충격을 주어 균열이 생성됨과 동시에 결정면을 따라 쪼개짐을 유발할 수 있다.
실제로 8inch 웨이퍼를 7~8inch 이상의 높이에서 캐리어박스로 떨어뜨렸을 때 웨이퍼가 반쪽으로 갈라진 사례가 있어 개선의 여지가 있었다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 3차 완충부로 이루어진 완충장치를 웨이퍼의 지지대에 적용하여 작업자가 웨이퍼를 캐리어박스에 담을 때 낙차에 의해 발생할 수 있는 웨이퍼 균열 및 쪼개짐을 방지함과 동시에 소음방지효과 및 이동 중 떨림방지 등 웨이퍼에 대한 안전한 보관 및 이동 수단이 될 수 있는 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한 완충장치를 제공함에 본 발명의 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적은 반도체 웨이퍼의 보관 및 이동 수단으로 사용되는 뚜껑, 웨이퍼 지지대 및 받침통으로 이루어진 캐리어박스에 있어서, 상기 웨이퍼 지지대의 돌출부에 형성된 1차 완충부, 상기 1차 완충부를 지지하며 상기 웨이퍼 지지대의 경사부에 형성된 2차 완충부 및 상기 2차 완충부를 지지하며 상기 웨이퍼 지지대의 요(凹)부에 형성된 3차 완충부를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한 완충장치에 의해 달성된다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다.
도 3은 본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한 완충장치를 나타낸 것으로서, 일반적으로 뚜껑, 웨이퍼 지지대 및 받침통으로 이루어진 캐리어박스에서 상기 웨이퍼 지지대에 적용되는 것이다.
상기 웨이퍼 지지대는 요(凹)철(凸) 형상으로 되어 있는데 상기 요부에서 돌출부까지는 경사지게 되어 있어 웨이퍼를 보관하거나 운반할 때 웨이퍼를 삽입하게 되어있다.
이때, 작업자가 웨이퍼를 떨어뜨리면 상기 지지대와 충돌하여 단결정인 웨이퍼 자체의 충격으로 균열이 생성됨과 동시에 결정면을 따라 쪼개짐이 발생된다. 따라서, 상기 웨이퍼 지지대에 구성된 종래의 완충장치를 더욱 보완하여 3차 완충부로 이루어진 완충장치를 제공한다. 상기 웨이퍼 지지대의 돌출부에는 전체에 걸쳐 1차 완충부(100)가 형성된다. 상기 1차 완충부(100)의 재질은 탄성력을 가진 부재이면 가능하나, 예를 들면 폴리에스테르를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 두께는 0.3mm ~ 0.5mm 사이로 하는 것이 좋으나, 0.3mm가 바람직하다.
한편, 상기 2차 완충부(110)는 상기 1차 완충부(100)를 지지하며 상기 웨이퍼 지지대의 경사부에 형성된다. 이 부분은 상기 1차 완충부(100)에서 발생되는 충격을 최소화시켜주는 기능을 한다. 상기 2차 완충부(110)의 재질은 탄성력을 가진 부재이면 가능하나, 예를 들면 폴리에스테르를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 두께는 0.3mm ~ 0.5mm 사이면 가능하나, 바람직하게는 0.3mm로 하는 것이 좋다.
그리고, 3차 완충부(120)는 상기 웨이퍼 지지대의 요(凹)부에 형성된다. 이 부분은 보통 상기 반도체 웨이퍼와 접촉하는 부분이고 가장 큰 충격을 일으킬 수 있는 부분이다. 따라서 두께를 1.0mm ~ 1.5mm 사이로 하는 것이 좋으나, 예를 들면 1.0mm가 바람직하다. 상기 3차 완충부(120)의 재질은 탄성력을 가진 부재이면 가능하나, 예를 들면 폴리에스테르를 사용하는 것이 바람직하다.
상세히 설명된 본 발명에 의하여 본 발명의 특징부를 포함하는 변화들 및 변형들이 당해 기술 분야에서 숙련된 보통의 사람들에게 명백히 쉬워질 것임이 자명하다. 본 발명의 그러한 변형들의 범위는 본 발명의 특징부를 포함하는 당해 기술 분야에 숙련된 통상의 지식을 가진 자들의 범위 내에 있으며, 그러한 변형들은 본 발명의 청구항의 범위 내에 있는 것으로 간주된다.
따라서 본 발명의 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한 완충장치는 3차 완충부로 이루어진 완충장치를 사용하여 작업자가 웨이퍼를 캐리어박스에 담을 때 낙차에 의해 발생되는 웨이퍼 균열 및 쪼개짐이 방지되고, 소음방지효과 및 이동 중 떨림방지 등 웨이퍼에 대한 안전한 보관 및 이동 수단을 제공하는 효과 및 장점이 있다.
Claims (5)
- 반도체 웨이퍼의 보관 및 이동 수단으로 사용되는 뚜껑, 웨이퍼 지지대 및 받침통으로 이루어진 캐리어박스에 있어서,상기 웨이퍼 지지대의 돌출부에 형성된 1차 완충부;상기 1차 완충부를 지지하며 상기 웨이퍼 지지대의 경사부에 형성된 2차 완충부; 및상기 2차 완충부를 지지하며 상기 웨이퍼 지지대의 홈부에 형성된 3차 완충부를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한 완충장치.
- 제1항에 있어서,상기 1차 완충부, 2차 완충부 및 3차 완충부의 재질은 폴리에스테르임을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한 완충장치.
- 제1항에 있어서,상기 1차 완충부 및 2차 완충부의 두께는 0.3 내지 0.5mm임을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한 완충장치.
- 제1항에 있어서,상기 3차 완충부의 두께는 1.0 내지 1.5mm임을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한 완충장치.
- 제1항에 있어서,상기 1차 완충부, 2차 완충부 및 3차 완충부는 일체로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한 완충장치.
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|---|---|---|---|
| KR1020030101214A KR100549256B1 (ko) | 2003-12-31 | 2003-12-31 | 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한완충장치 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1020030101214A KR100549256B1 (ko) | 2003-12-31 | 2003-12-31 | 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한완충장치 |
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Family Applications (1)
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| KR1020030101214A KR100549256B1 (ko) | 2003-12-31 | 2003-12-31 | 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한완충장치 |
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2003
- 2003-12-31 KR KR1020030101214A patent/KR100549256B1/ko not_active IP Right Cessation
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| KR20050069249A (ko) | 2005-07-05 |
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