JP2005191419A - 半導体ウェハーの収納具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体ウェハーWは上下面をスペーサーシート2,2ではさんでトレー3内に収容される。半導体ウェハーWを収容したトレー3を2段以上積み重ね、クッションを介してその積層体を格納容器に格納する。クッションは、施蓋された格納容器内で圧縮され、その圧縮力を各段のトレーの積層体にのみに作用させる。2段以上積み重ねられた各段のトレー3は、上段トレー3aの支え12a内に下段トレー3bの支え13bが嵌合し、半導体ウェハーWは、圧縮力が加えられることなく上下のトレー3a、3b間の収納空間内に収容される。
【選択図】 図4
Description
2 スペーサーシート
3 トレー
4 軟質クッション
5 硬質クッション
6 基底部
7 円筒部
8 スリット
9 各筒部
10 円筒部
11 把手
12、32 支え
13、33 収納部
23 バンプトレー
34 台座
W 半導体ウェハー
BW バンプウェハー
Claims (8)
- トレーと、格納容器とを有する半導体ウェハーの収納具であって、
トレーは、半導体ウェハーを収容するものであり、半導体ウェハーは上下面をスペーサーシートではさんでトレー内に収容され、
格納容器は、半導体ウェハーを収容したトレーを2段以上積み重ね、クッションを介してその積層体を格納するものであり、
クッションは、施蓋された格納容器内で圧縮され、その圧縮力を各段のトレーの積層体にのみに作用させて半導体ウェハーを破損から保護するものであることを特徴とする半導体ウェハーの収納具。 - クッションは相対的に軟質のクッションと、硬質のクッションとの組み合わせであり、
軟質のクッションは、衝撃吸収のための緩衝材として作用させるとともに、格納容器を施蓋したときの圧力で圧縮され、圧縮による締め付け力を各段のトレーにのみ作用させて各段のトレーを相互に緊締させるものであり、
硬質のクッションは、各段のトレーに対する締め付け力を調整するとともに圧縮時の寸法誤差を吸収させるものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェハーの収納具。 - 2段以上積み重ねられた各段のトレーは、上段トレーの支え内に下段トレーの支えが嵌合し、半導体ウェハーは、圧縮力が加えられることなく上下のトレー間に形成される収納空間内に収容されるものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェハーの収納具。
- トレーは、円形の合成樹脂シートであり、シートの周縁部分の一定範囲を環状に立ち上がらせ、その立ち上がり部分を上段に積層されたトレーの支えとし、支え内に半導体ウェハーの収納部を形成したものであることを特徴とする請求項3に記載の半導体ウェハーの収納具。
- トレーに形成された環状の支えは、断面が中空の台形をなし、内周壁面と、外周壁面との立ち上がり角度を末広がり状に拡径させたものであることを特徴とする請求項3に記載の半導体ウェハーの収納具。
- トレーは、合成樹脂シートの真空成形により加工されたものであり、真空成形型の型面からの抜き勾配として傾斜面が立ち上がり部分に形成され、真空成形型の型面に接する支えの上面は型面を倣って台形の角部がシャープに仕上げられ、型面に接することのない支えの内面の角部はなだらかな曲面となっているものであることを特徴とする請求項4に記載の半導体ウェハーの収納具。
- トレーは、バンプウェハーの収納用であり、支えの内周縁に台座部を環状に有し、
台座部は、支えの内周で一定の立ち上がり高さを有し、台座上には、ハンダボールの形成面を下向きにしてバンプウェハーの周縁部分を保持させ、ハンダボールを台座に囲まれた空間内に収容させ、バンプウェハーは、支えに囲まれた収納空間内に収容するものであることを特徴とする請求項4に記載の半導体ウェハーの収納具。 - 格納容器、トレー、クッション、スペーサーシートは、いずれも静電気対策として導電処理が施されているものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェハーの収納具。
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