KR20220093808A - 이적재 유닛 및 이를 갖는 스토커 - Google Patents

이적재 유닛 및 이를 갖는 스토커 Download PDF

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김두봉
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Abstract

본 발명에 따른 이적재 유닛은, 전후 방향 및 상하 방향으로 배열된 선반들에 대상물이 수용된 캐리어를 이적재하기 위한 이송 로봇과, 상하 방향을 따라 구비되는 크레인 및 상기 크레인을 따라 구비되며 상기 이송 로봇이 결합되는 승강 벨트를 포함하고, 상기 승강 벨트를 이동시켜 상기 이송 로봇을 상기 상하 방향으로 이동시키는 구동부 및 상기 이송 로봇의 측면에 구비되는 제1 전자석 및 상기 크레인에 상기 제1 전자석과 인력이 작용하도록 구비되며, 상기 승강 벨트의 끊어짐으로 인해 낙하하는 상기 이송 로봇을 고정하는 제2 전자석을 포함하는 낙하 방지부를 포함할 수 있다.

Description

이적재 유닛 및 이를 갖는 스토커{Transferring unit and stocker having the same}
본 발명은 이송 로봇 및 이를 갖는 스토커에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대상물이 수납된 캐리어를 이송하는 이송 로봇 및 이를 갖는 스토커에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등의 대상물은 캐리어에 수납된 상태로 스토커(Stocker)에 보관될 수 있으며, 상기 스토커는 상기 캐리어를 수납하기 위한 복수의 선반들 및 상기 캐리어를 선반들에 이적재하는 이송 로봇을 구비할 수 있다. 상기 캐리어는 상기 대상물에 따라 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등 다양한 종류가 있다.
상기 이송 로봇은 상기 캐리어를 이적재하기 위해 수평 이동, 수직 이동 및 회전할 수 있다. 특히 상기 이송 로봇은 승강 벨트에 결합되어 상기 수직 이동할 수 있다.
상기 이송 로봇이 반복적으로 승강하는 경우 상기 승강 벨트가 마모될 수 있다. 상기 승강 벨트의 마모되면 상기 이송 로봇의 무게로 인해 상기 승강 벨트가 끊이질 수 있다. 상기 승강 벨트가 끊어지면 상기 이송 로봇이 낙하하여 파손될 수 있다.
본 발명은 이송 로봇의 낙하를 방지할 수 있는 이적재 유닛을 제공한다.
본 발명은 상기 이적재 유닛을 포함하는 스토커를 제공한다.
본 발명에 따른 이적재 유닛은, 전후 방향 및 상하 방향으로 배열된 선반들에 대상물이 수용된 캐리어를 이적재하기 위한 이송 로봇과, 상하 방향을 따라 구비되는 크레인 및 상기 크레인을 따라 구비되며 상기 이송 로봇이 결합되는 승강 벨트를 포함하고, 상기 승강 벨트를 이동시켜 상기 이송 로봇을 상기 상하 방향으로 이동시키는 구동부 및 상기 이송 로봇의 측면에 구비되는 제1 전자석 및 상기 크레인에 상기 제1 전자석과 인력이 작용하도록 구비되며, 상기 승강 벨트의 끊어짐으로 인해 낙하하는 상기 이송 로봇을 고정하는 제2 전자석을 포함하는 낙하 방지부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제2 전자석은 상기 크레인에 상기 상하 방향을 따라 이격되도록 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 낙하 방지부는, 상기 이송 로봇의 하부면에 구비되는 제3 전자석 및 상기 구동부의 상부면에 상기 제3 전자석과 척력이 작용하도록 구비되며, 낙하하는 상기 이송 로봇이 상기 구동부와 충돌하는 것을 방지하는 제4 전자석을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 낙하 방지부는, 상기 크레인에 구비되어 상기 승강 벨트의 끊어짐을 감지하는 센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서는 상기 승강 벨트를 기준으로 서로 반대측에 위치하는 발광부 및 수광부를 포함하고, 상기 발광부에서 조사된 광을 상기 수광부에서 수신하는지 여부에 따라 상기 승강 벨트의 끊어짐을 감지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서는, 상기 승강 벨트의 일측에 배치되며, 광을 반사시키기 위한 반사판 및 상기 승강 벨트를 기준으로 상기 반사판과 반대측에 배치되며, 상기 반사판을 향해 광을 조사하고, 상기 반사판으로부터 반사되는 반사광의 수신 여부에 따라 상기 승강 벨트의 끊어짐을 감지하는 광센서를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 낙하 방지 부은, 상기 센서가 상기 승강 벨트의 끊어짐을 감지하면 상기 제1 내지 제4 전자석들이 자력을 발생할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇은, 상기 캐리어를 고정하는 핸드부와, 상기 핸드부의 상방에 구비되고, 상기 핸드부를 상기 선반을 향해 삽입시키거나 상기 선반으로부터 배출시키기 위해 상기 전후 방향과 수직하는 좌우 방향을 따라 이동하는 슬라이드부 및 상기 슬라이드부의 상방에 상기 승강 벨트와 결합되도록 구비되고, 상기 슬라이드부가 이동 가능하도록 고정하는 고정부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 슬라이드부는 상기 고정부를 기준으로 상기 좌우 방향의 양측으로 이동할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇은, 상기 고정부에 고정되며, 상기 핸드부에 고정된 상기 캐리어의 낙하를 방지하고 상기 캐리어의 진동을 감소시키기 위해 상기 캐리어를 지지하는 지지부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 지지부는, 상기 고정부에 고정되며, 상기 핸드부에 고정된 상기 캐리어의 상기 전후 방향 양 측면과 하부면을 둘러싸도록 구비되는 프레임 및 상기 프레임의 내측면에 이동 가능하도록 구비되며, 상기 캐리어의 하부면을 지지하는 지지 부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 지지부는, 상기 프레임의 내측면에 구비되며, 상기 캐리어를 감지하는 센서를 더 포함하고, 상기 센서가 상기 캐리어를 감지하면, 상기 지지 부재가 이동하여 상기 캐리어의 하부면을 지지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드부는, 상기 좌우 방향 또는 상기 전후 방향을 따라 이동하면서 상기 캐리어의 상단부에 구비되는 플랜지를 파지하기 위한 한 쌍의 그리퍼들을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 스토커는, 전후 방향 및 상하 방향으로 배열되며 대상물이 수용된 캐리어들을 적재하기 위한 다수의 선반들 및 상기 선반들에 상기 캐리어를 적재하거나 상기 선반들로부터 상기 캐리어를 이재하는 이적재 유닛을 포함하고, 상기 이적재 유닛은, 상기 선반들에 상기 캐리어를 이적재하기 위한 이송 로봇과, 상하 방향을 따라 구비되는 크레인 및 상기 크레인을 따라 구비되며 상기 이송 로봇이 결합되는 승강 벨트를 포함하고, 상기 승강 벨트를 이동시켜 상기 이송 로봇을 상기 상하 방향으로 이동시키는 구동부 및 상기 이송 로봇의 측면에 구비되는 제1 전자석 및 상기 크레인에 상기 제1 전자석과 인력이 작용하도록 구비되며, 상기 승강 벨트의 끊어짐으로 인해 낙하하는 상기 이송 로봇을 고정하는 제2 전자석을 포함하는 낙하 방지부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 상기 이적재 유닛은 상기 제1 전자석과 상기 제2 전자석의 인력으로 상기 이송 로봇의 낙하를 방지하고, 상기 제3 전자석과 상기 제4 전자석의 척력으로 상기 이송 로봇의 파손을 방지할 수 있다.
상기 핸드부가 상기 그리퍼들로 상기 캐리어의 상단부를 고정한다. 따라서, 상기 캐리어의 종류가 달라지더라도 상기 핸드부가 상기 캐리어를 안정적으로 고정할 수 있다.
또한, 상기 슬라이드부는 상기 좌우 방향의 양측으로 이동하므로, 상기 이송 로봇은 상기 캐리어를 이적재하기 위해 회전할 필요가 없다. 따라서, 상기 이송 로봇에 전원을 제공하는 케이블이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 정면 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 스토커를 설명하기 위한 측면 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 이적재 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 이송 로봇을 설명하기 위한 확대도이다.
도 5는 도 2에 도시된 이송 로봇을 설명하기 위한 측면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 정면 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 스토커를 설명하기 위한 측면 단면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 이적재 유닛을 설명하기 위한 측면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 이송 로봇을 설명하기 위한 확대도이고, 도 5는 도 2에 도시된 이송 로봇을 설명하기 위한 측면도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 상기 스토커(100)는 캐리어(10)를 보관하기 위한 것으로, 챔버(110), 선반들(120), 로드 포트(130) 및 이적재 유닛(200)을 포함할 수 있다.
상기 캐리어(10)는 내부에 다양한 대상물을 수납할 수 있다. 상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 인쇄회로기판, 리드 프레임, 레티클 등을 들 수 있으며, 상기 캐리어(10)의 예로는 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등을 들 수 있다.
상기 챔버(110)는 상기 캐리어(10)를 수용하기 위한 공간을 제공한다. 상기 챔버(110)는 바닥면으로부터 일정 높이까지 연장하거나, 상기 천장까지 연장할 수 있다.
상기 선반들(120)은 상기 캐리어(10)를 수납하여 보관한다. 상기 선반들(120)은 전후 방향(X축 방향) 및 상하 방향(Z축 방향)으로 배열될 수 있다.
일 예로, 도시된 바와 같이 상기 선반들(120)은 2열로 서로 마주보며 평행하도록 배치될 수 있다. 다른 예로, 도시되지는 않았지만, 상기 선반들(120)을 1열로 배치될 수도 있다.
상기 로드 포트(130)는 2열로 배열된 선반들(120) 중 어느 한 열에 구비될 수 있다. 상기 로드 포트(130)는 서로 다른 높이에 각각 배치될 수 있다. 상기 로드 포트(130)는 상기 선반들(120)로부터 상기 챔버(110)의 외부까지 연장할 수 있다. 예를 들면, 상기 로드 포트(130)는 좌우 방향(Y축 방향)으로 연장할 수 있다.
상기 로드 포트(130)는 이송 유닛(미도시)과의 사이에서 상기 캐리어(10)를 전달받거나 전달하기 위해 상기 캐리어(10)를 지지한다. 상기 이송 유닛은 주행 레일을 따라 주행하면서 상기 캐리어(10)를 이송할 수 있다.
구체적으로, 상기 로드 포트(130)는 상기 캐리어(10)를 상기 좌우 방향으로 이송하기 위한 이송부(131)를 포함할 수 있다. 상기 이송부(131)의 예로는 새들(saddle) 또는 컨베이어를 들 수 있다. 상기 이송부(131)가 상기 캐리어(10)를 상기 좌우 방향으로 이동시키므로, 상기 로드 포트(130)는 상기 이송 유닛으로부터 상기 캐리어(10)를 전달받아 상기 선반들(120)을 향해 상기 좌우 방향으로 이송하거나, 상기 선반들(120)로부터 상기 이송 유닛으로 상기 캐리어(10)를 전달할 수 있다. 상기 이송 유닛이 상기 스토커(100)와 이격되어 있더라도 상기 로드 포트(130)를 이용하여 상기 이송 유닛과 상기 스토커(100) 사이에서 상기 캐리어(10)를 신속하게 이송할 수 있다.
한편, 상기 로드 포트(130)는 상기 캐리어(10)를 상기 좌우 방향으로 이송하지 않고 상기 캐리어(10)를 단순 지지할 수도 있다.
상기 이적재 유닛(200)은 상기 선반들(120)에 상기 캐리어(10)를 적재하거나 상기 선반들(120)로부터 상기 캐리어(10)를 이재할 수 있다.
또한, 상기 이적재 유닛(200)은 상기 캐리어(10)를 상기 로드 포트(130)에 이적재할 수 있다.
상기 이적재 유닛(200)은 이송 로봇(201), 구동부(250) 및 낙하 방지부(260)를 포함한다.
상기 이송 로봇(201)은 핸드부(210), 슬라이드부(220), 고정부(230) 및 지지부(240)를 포함할 수 있다.
상기 핸드부(210)는 상기 캐리어(10)를 고정한다.
구체적으로, 상기 핸드부(210)는 한 쌍의 그리퍼들(211)을 포함한다. 상기 그리퍼들(211)을 상기 좌우 방향 또는 상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 상기 그리퍼들(211)을 작동하여 상기 캐리어(10)의 상단부에 구비된 플랜지(11)를 파지한다.
상기 캐리어(10)의 종류가 달라지면 상기 플랜지(11)의 크기나 위치가 달라질 수 있다. 상기 그리퍼들(211)이 이동하는 정도를 조절할 수 있으므로, 상기 캐리어(10)의 종류가 달라지더라도 상기 그리퍼들(211)이 상기 캐리어(10)를 안정적으로 고정할 수 있다.
상기 슬라이드부(220)는 상기 핸드부(210)의 상방에 상기 핸드부(210)와 연결되도록 구비된다. 상기 슬라이드부(220)는 상기 좌우 방향을 따라 이동할 수 있다. 상기 슬라이드부(220)가 상기 좌우 방향을 따라 이동하므로, 상기 핸드부(210)를 상기 선반들(120)을 향해 삽입시키거나 상기 선반들(120)로부터 배출시킬 수 있다.
상기 고정부(230)는 상기 슬라이드부(220)의 상방에 구비되고, 상기 슬라이드부(220)가 이동 가능하도록 고정한다.
상기 슬라이드부(220)는 상기 고정부(230)를 기준으로 상기 좌우 방향 양측으로 이동할 수 있다. 상기 선반들(120)이 서로 마주보도록 2열로 배열되더라도 상기 슬라이드부(220)가 상기 핸드부(210)를 상기 선반들(120)의 내부로 이동시킬 수 있다. 따라서, 상기 이송 로봇(200)은 상기 캐리어(10)를 이적재하기 위해 회전할 필요가 없다. 따라서, 상기 이송 로봇(200)에 전원을 제공하는 케이블(미도시)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상기 지지부(240)는 상기 고정부(230)에 고정되며, 상기 캐리어(10)를 지지한다.
상기 지지부(240)는, 프레임(241), 제1 센서(242) 및 지지 부재(243)를 포함한다.
상기 프레임(241)은 상기 고정부(230)의 하부면에 고정되며, 상기 핸드부(210)에 고정된 상기 캐리어(10)의 상기 전후 방향 양 측면과 하부면을 둘러싼다. 이때, 상기 프레임(241)은 상기 캐리어(10)와 이격된다.
상기 제1 센서(242)는 상기 프레임(241)의 내측면에 구비되며, 상기 캐리어(10)를 감지한다.
예를 들면, 상기 제1 센서(242)는 상기 프레임(241)의 내측면 양측에 발광부와 수광부를 구비할 수 있다. 상기 발광부에서 조사된 광을 상기 수광부에서 수광하는지 여부에 따라 상기 제1 센서(242)는 상기 핸드부(210)에 고정된 상기 캐리어(10)가 상기 프레임(241)의 내부에 있는지를 확인한다.
상기 지지 부재(243)는 상기 프레임(241)의 내측면 양측에 이동 가능하도록 구비되며, 상기 캐리어(10)의 하부면을 지지한다.
예를 들면, 상기 지지 부재(243)는 상기 프레임(241)의 내측면 양측에 선회 가능하도록 구비될 수 있다. 상기 제1 센서(242)가 상기 캐리어(10)를 감지하면, 상기 지지 부재(243)가 선회하여 상기 캐리어(10)의 하부면을 지지한다.
이와 달리, 자세히 도시되지는 않았지만, 상기 지지 부재(243)는 상기 프레임(241)의 내측면 양측에 상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 구비될 수 있다. 상기 제1 센서(242)가 상기 캐리어(10)를 감지하면, 상기 지지 부재(243)가 이동하여 상기 캐리어(10)의 상기 전후 방향 측면을 지지한다.
상기 고정부(230)가 상기 전후 방향 및 상기 상하 방향으로 이동하는 동안 상기 지지부(240)는 상기 캐리어(10)를 지지한다. 따라서, 상기 핸드부(210)에 고정된 상기 캐리어(10)의 낙하를 방지하고 상기 캐리어(10)의 진동을 감소시킬 수 있다.
상기 구동부(250)는 상기 이송 로봇(201)과 연결되며, 상기 이송 로봇(201)을 상기 전후 방향 및 상기 상하 방향을 이동시킨다.
상기 챔버(110)의 내측 바닥면에 상기 전후 방향을 따라 가이드 레일(251)이 구비된다. 상기 가이드 레일(251)은 2열로 배열된 상기 선반들(120) 사이에 위치할 수 있다. 상기 구동부(250)는 상기 가이드 레일(251)을 따라 이동하면서 상기 이송 로봇(201)을 상기 전후 방향으로 이동시킨다.
상기 구동부(250)는 상부면에 상기 상하 방향을 따라 크레인(252)이 구비된다. 상기 구동부(250)는 상기 크레인(252)을 따라 상기 이송 로봇(201)을 상기 상하 방향으로 이동시킨다.
상기 구동부(250)는 상기 이송 로봇(201)을 상기 전후 방향으로 이동시키는 제1 구동부 및 상기 이송 로봇(201)을 상기 상하 방향으로 이동시키는 제2 구동부를 구비할 수 있다.
예를 들면, 상기 제1 및 제2 구동부들은 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다.
상기 크레인(252)에는 상기 제2 구동부에 포함되는 승강 벨트(253) 및 상기 승강 벨트(253)를 회전시키는 풀리(254)가 구비될 수 있다.
상기 승강 벨트(253)에 상기 이송 로봇(201), 구체적으로, 상기 고정부(230)가 고정될 수 있다. 상기 승강 벨트(253)가 승강함에 따라 상기 이송 로봇(201)이 상기 상하 방향을 따라 이동할 수 있다.
상기 낙하 방지부(260)는 상기 이송 로봇(201)의 낙하를 방지하기 위한 것으로, 제1 전자석(261), 제2 전자석(262), 제3 전자석(263), 제4 전자석(264) 및 제2 센서(265)를 포함할 수 있다.
상기 제1 전자석(261)은 상기 이송 로봇(201)의 측면, 구체적으로, 상기 전후 방향의 양측면에 각각 구비될 수 있다. 일 예로, 상기 제1 전자석(261)은 상기 프레임(241)의 양 측면에 구비될 수 있다.
상기 제2 전자석(261)은 상기 크레인(252)에 구비된다. 구체적으로, 상기 제2 전자석(161)은 다수가 구비되며, 상기 크레인(252)에 상기 상하 방향을 따라 이격되도록 배치될 수 있다.
상기 제1 전자석(261)과 상기 제2 전자석(262) 사이에는 인력이 작용한다. 상기 승강 벨트(253)의 끊어짐으로 인해 상기 이송 로봇(201)이 낙하하더라도 상기 인력에 의해 상기 제2 전자석(262)이 상기 이송 로봇(201)을 고정할 수 있다. 따라서, 상기 이송 로봇(210)의 낙하를 방지할 수 있다.
또한, 상기 제2 전자석(262)이 상기 크레인(252)에 상기 상하 방향을 따라 이격되도록 배치되므로, 상기 이송 로봇(201)이 어떤 위치에서 낙하하더라도 상기 제2 전자석(262)이 상기 이송 로봇(201)을 고정할 수 있다.
상기 제3 전자석(263)은 상기 이송 로봇(201)의 하부면에 구비될 수 있다. 일 예로, 상기 제3 전자석(263)은 상기 프레임(241)의 하부면에 구비될 수 있다.
상기 제4 전자석(264)은 상기 구동부(250)의 상부면에 구비된다.
상기 제3 전자석(263)과 상기 제4 전자석(264) 사이에는 척력이 작용한다. 상기 승강 벨트(253)의 끊어짐으로 인해 상기 이송 로봇(201)이 낙하하더라도 상기 척력에 의해 상기 이송 로봇(201)이 상기 구동부(250)와 충돌하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 이송 로봇(201)의 파손을 방지할 수 있다.
상기 제2 센서(265)는 상기 크레인(252)에 구비되며, 상기 승강 벨트(253)의 끊어짐을 감지한다.
예를 들면, 상기 제2 센서(265)는 발광부와 수광부를 포함하고, 상기 발광부와 상기 수광부는 상기 승강 벨트(253)를 기준으로 서로 반대측에 위치할 수 있다. 상기 발광부에서 조사된 광을 상기 수광부에서 수광하는지 여부에 따라 상기 승강 벨트(253)의 끊어짐 여부를 확인할 수 있다.
이와 달리, 상기 제2 센서(265)는 반사판과 광센서를 포함하고, 상기 반사판과 상기 광센서가 상기 승강 벨트(253)를 기준으로 서로 반대측에 위치할 수 있다. 상기 광센서에서 광을 조사하고, 상기 광센서가 상기 반사판으로부터 반사되는 반사광을 수신하는지 여부에 따라 상기 승강 벨트(253)의 끊어짐을 감지할 수 있다.
상기 제2 센서(265)가 상기 승강 벨트(253)의 끊어짐을 감지하면, 상기 제1 내지 제4 자석들(261, 262, 263, 264)이 자력을 발생할 수 있다 .
구체적으로, 상기 낙하 방지부(260)는 제어부를 더 포함하고, 상기 제2 센서(265)가 상기 승강 벨트(253)의 끊어짐을 감지하면, 상기 제어부는 상기 자력을 발생하도록 상기 제1 내지 제4 자석들(261, 262, 263, 264)로 전원을 공급할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 상기 이적재 유닛은 상기 제1 전자석과 상기 제2 전자석의 인력으로 상기 이송 로봇의 낙하를 방지하고, 상기 제3 전자석과 상기 제4 전자석의 척력으로 상기 이송 로봇의 파손을 방지할 수 있다.
상기 핸드부가 상기 그리퍼들로 상기 캐리어의 상단부를 고정한다. 따라서, 상기 캐리어의 종류가 달라지더라도 상기 핸드부가 상기 캐리어를 안정적으로 고정할 수 있다.
또한, 상기 슬라이드부는 상기 좌우 방향의 양측으로 이동하므로, 상기 이송 로봇은 상기 캐리어를 이적재하기 위해 회전할 필요가 없다. 따라서, 상기 이송 로봇에 전원을 제공하는 케이블이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 스토커 110 : 챔버
120 : 선반 130 : 로드 포트
200: 이적재 유닛 201 : 이송 로봇
210 : 핸드부 211 : 그리퍼
220 : 슬라이드부 230 : 고정부
240 : 지지부 241 : 프레임
242 : 제1 센서 243 : 지지 부재
250 : 구동부 251 : 가이드 레일
252 : 크레인 253 : 승강 벨트
254 : 풀리 260 : 낙하 방지부
261 : 제1 전자석 262 : 제2 전자석
263 : 제3 전자석 264 : 제4 전자석
265 : 제2 센서 10 : 캐리어
11 : 플랜지

Claims (14)

  1. 전후 방향 및 상하 방향으로 배열된 선반들에 대상물이 수용된 캐리어를 이적재하기 위한 이송 로봇;
    상하 방향을 따라 구비되는 크레인 및 상기 크레인을 따라 구비되며 상기 이송 로봇이 결합되는 승강 벨트를 포함하고, 상기 승강 벨트를 이동시켜 상기 이송 로봇을 상기 상하 방향으로 이동시키는 구동부; 및
    상기 이송 로봇의 측면에 구비되는 제1 전자석 및 상기 크레인에 상기 제1 전자석과 인력이 작용하도록 구비되며, 상기 승강 벨트의 끊어짐으로 인해 낙하하는 상기 이송 로봇을 고정하는 제2 전자석을 포함하는 낙하 방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이적재 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2 전자석은 상기 크레인에 상기 상하 방향을 따라 이격되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 이적재 유닛.
  3. 제1항에 있어서, 상기 낙하 방지부는,
    상기 이송 로봇의 하부면에 구비되는 제3 전자석 및 상기 구동부의 상부면에 상기 제3 전자석과 척력이 작용하도록 구비되며, 낙하하는 상기 이송 로봇이 상기 구동부와 충돌하는 것을 방지하는 제4 전자석을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이적재 유닛.
  4. 제3항에 있어서, 상기 낙하 방지부는, 상기 크레인에 구비되어 상기 승강 벨트의 끊어짐을 감지하는 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이적재 유닛.
  5. 제4항에 있어서, 상기 센서는 상기 승강 벨트를 기준으로 서로 반대측에 위치하는 발광부 및 수광부를 포함하고,
    상기 발광부에서 조사된 광을 상기 수광부에서 수신하는지 여부에 따라 상기 승강 벨트의 끊어짐을 감지하는 것을 특징으로 하는 이적재 유닛.
  6. 제4항에 있어서, 상기 센서는,
    상기 승강 벨트의 일측에 배치되며, 광을 반사시키기 위한 반사판; 및
    상기 승강 벨트를 기준으로 상기 반사판과 반대측에 배치되며, 상기 반사판을 향해 광을 조사하고, 상기 반사판으로부터 반사되는 반사광의 수신 여부에 따라 상기 승강 벨트의 끊어짐을 감지하는 광센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 이적재 유닛.
  7. 제4항에 있어서, 상기 낙하 방지부는, 상기 센서가 상기 승강 벨트의 끊어짐을 감지하면 상기 제1 내지 제4 전자석들이 자력을 발생하는 것을 특징으로 하는 이적재 유닛.
  8. 제1항에 있어서, 상기 이송 로봇은,
    상기 캐리어를 고정하는 핸드부;
    상기 핸드부의 상방에 구비되고, 상기 핸드부를 상기 선반을 향해 삽입시키거나 상기 선반으로부터 배출시키기 위해 상기 전후 방향과 수직하는 좌우 방향을 따라 이동하는 슬라이드부; 및
    상기 슬라이드부의 상방에 상기 승강 벨트와 결합되도록 구비되고, 상기 슬라이드부가 이동 가능하도록 고정하는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이적재 유닛.
  9. 제8항에 있어서, 상기 슬라이드부는 상기 고정부를 기준으로 상기 좌우 방향의 양측으로 이동하는 것을 특징으로 하는 이적재 유닛.
  10. 제8항에 있어서, 상기 이송 로봇은,
    상기 고정부에 고정되며, 상기 핸드부에 고정된 상기 캐리어의 낙하를 방지하고 상기 캐리어의 진동을 감소시키기 위해 상기 캐리어를 지지하는 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이적재 유닛.
  11. 제10항에 있어서, 상기 지지부는,
    상기 고정부에 고정되며, 상기 핸드부에 고정된 상기 캐리어의 상기 전후 방향 양 측면과 하부면을 둘러싸도록 구비되는 프레임; 및
    상기 프레임의 내측면에 이동 가능하도록 구비되며, 상기 캐리어의 하부면을 지지하는 지지 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 이적재 유닛.
  12. 제11항에 있어서, 상기 지지부는, 상기 프레임의 내측면에 구비되며, 상기 캐리어를 감지하는 센서를 더 포함하고,
    상기 센서가 상기 캐리어를 감지하면, 상기 지지 부재가 이동하여 상기 캐리어의 하부면을 지지하는 것을 특징으로 하는 이적재 유닛.
  13. 제8항에 있어서, 상기 핸드부는, 상기 좌우 방향 또는 상기 전후 방향을 따라 이동하면서 상기 캐리어의 상단부에 구비되는 플랜지를 파지하기 위한 한 쌍의 그리퍼들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이적재 유닛.
  14. 전후 방향 및 상하 방향으로 배열되며 대상물이 수용된 캐리어들을 적재하기 위한 다수의 선반들; 및
    상기 선반들에 상기 캐리어를 적재하거나 상기 선반들로부터 상기 캐리어를 이재하는 이적재 유닛을 포함하고,
    상기 이적재 유닛은,
    상기 선반들에 상기 캐리어를 이적재하기 위한 이송 로봇;
    상하 방향을 따라 구비되는 크레인 및 상기 크레인을 따라 구비되며 상기 이송 로봇이 결합되는 승강 벨트를 포함하고, 상기 승강 벨트를 이동시켜 상기 이송 로봇을 상기 상하 방향으로 이동시키는 구동부; 및
    상기 이송 로봇의 측면에 구비되는 제1 전자석 및 상기 크레인에 상기 제1 전자석과 인력이 작용하도록 구비되며, 상기 승강 벨트의 끊어짐으로 인해 낙하하는 상기 이송 로봇을 고정하는 제2 전자석을 포함하는 낙하 방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
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