JPH0969552A - ウェハ移し替え装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】半導体装置の製造工程において、ウェハ表面を
傷つけることなくウェハの移し替えを行う小型のウェハ
移し替え装置を提供する。 【解決手段】ウェハカセット２に収納されたウェハ１
は、プッシャ−３に押し上げられることによりカセット
から取り出され、１対のチャック板4a、4bにより保持さ
れ他のウェハ保持装置へ移動する。プッシャ−３はウェ
ハ１と接する面にウェハの傾倒を防止する溝を有せず、
２つのチャック板4a、4bはそれぞれ対向面上にウェハ保
持装置２の溝に平行で等しい溝間隔を有する溝10を具備
し、溝10の下端はチャック板4a、4bの下端面22a ，22b
に開口され、溝10の深さは下端面において最も浅く形成
され、２つのチャック板4a、4bは対向面に垂直に移動
し、対抗面間の距離を変化させるが、最も開いた状態に
おいても対向面間の距離はウェハの直径よりも小さい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体の製造工程
において、とくにウェハカセット間あるいはウェハカセ
ットと各種治具の間においてウェハを複数枚まとめて移
動させるウェハ移し替え装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造工程において、通常ウェハ
は例えば２５枚を一組として図１に示すようにウェハ保
持装置としてのウェハカセット２に収納されている。ウ
ェハカセット２は側壁面に溝を有し、ウェハ同志が接触
しないようにウェハを一枚ずつ分離して保持する。例え
ば洗浄処理工程のように、ウェハを複数枚まとめてバッ
チ処理する場合には、ウェハはまとめてウェハケ−スか
ら取り出され、各処理装置の治具あるいは別のウェハケ
−スに移し替えられる。

【０００３】図６及至図１３に従来のウェハ移し替え装
置を示す。図６、図７はウェハ移し替え装置をウェハ正
面（図１のＸ方向）から見た図である。ウェハ１を収納
しているウェハカセット２の上方に設置された、２組の
回転軸６ａ、６ｂを中心として回転するア−ム５ａ、５
ｂおよびチャック４ａ、４ｂと、ウェハ２を下方からこ
のチャック４ａ、４ｂまで持ち上げるプッシャ−３によ
りウェハ移し替え装置は構成される。チャック４ａ、４
ｂおよびプッシャ−３はウェハカセットと同様にウェハ
同志が接触しないようにウェハを一枚ずつ分離して保持
するための溝を有している。以下、図６、図７を用いて
ウェハ移し替え装置の動作を説明する。プッシャ−３が
ウェハカセット２の底部に設けられた開口部から侵入
し、上昇してウェハ１を上方、１ｚの位置まで持ち上げ
る。この時、チャック４ａ、４ｂは図６に示すように開
いた状態となっている。この時のチャック４ａ、４ｂ間
の最大寸法をＳとする。次に図７に示すようにア−ム５
ａ、５ｂおよびチャック４ａ、４ｂを閉じる。さらにプ
ッシャ−３が下降し、ウェハ１を位置１ｙまで戻し、チ
ャック４ａ４ｂに形成されている溝にウェハ１を挿入す
る。その後プッシャ−３はさらに下降し、元の位置まで
戻る。チャック部ユニットは上下左右方向に移動し、移
し替えられたウェハ１は次の移し替え位置まで移動して
他のウェハ保持装置としての各種治具あるいは他のウェ
ハカセットへの移し替えを行う。

【０００４】図８は図６においてＡ−Ａ´の範囲を側方
（図１に置けるＹ方向）から見た図、図９は図６におい
てＢ−Ｂ´の範囲を上方（図１に置けるＺ方向）から見
た図である。これらの図はカセット２内に傾いて収納さ
れているウェハ１がプッシャ−３のＹ型溝部８、９に挿
入される状態を示している。ここではウェハ１を受け取
るプッシャ−３の溝部入口８をウェハ１の傾きより広く
形成することにより、傾いて収納されているウェハ１を
溝内に導入することが可能な構造となっている。

【０００５】図１０はウェハ１がプッシャ−３の溝部９
に挿入され、垂直に立っている状態を示す。図１１、図
１２はウェハ１がプッシャ−３からチャック４ａ、４ｂ
に受け取られる状態を示し、図１１は図７においてＣ−
Ｃ´の範囲を側方（図１に置けるＹ方向）から見た図、
図１２は図７においてＤ−Ｄ´の範囲を上方（図１に置
けるＺ方向）から見た図である。プッシャ−３の垂直溝
部９において制限されたウェハ１の傾きよりチャック４
ａ、４ｂのＶ型溝１０の入口を広くすることにより傾い
たウェハ１をチャック４ａ、４ｂに導入する構造となっ
ている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来のウ
ェハ移し替え装置においては、チャック４ａ、４ｂを円
弧方向に回転させてカセット２の上部開口より広い幅ま
で開かせてチャックの開閉を行うため、図６に示すよう
にチャック４ａ、４ｂを開いた状態における最大寸法Ｓ
が大きく、カセット２の両側に空間が必要となり、装置
の小型化を図ることができない。特にウェハの大口径化
に伴い、装置を大型化する必要が生じ、クリ−ンル−ム
の省スペ−ス化が図れないためにクリ−ンル−ムの建設
費が増大するという問題が生じる。また、多槽式のカセ
ットレス洗浄およびエッチング工程においては、ウェハ
を各処理槽内で繰り返し移し替える必要がある。この
時、これら処理槽内の治具にウェハをセットするためア
−ムおよびチャックは処理槽内において開閉する。その
ため処理槽の幅をこの最大寸法Ｓに適合するように拡大
させる必要が生じ、装置の大型化に伴い装置の製造コス
トが増大してしまう。さらに、各処理槽内に必要な処理
液量が増加し、装置のランニングコストの増大を招いて
しまう。

【０００７】さらにプッシャ−３の溝部８、９の形状が
Ｙ型であるため、ウェハ１をこのプッシャ−３の溝部９
より出し入れする時に、図１１の（ｂ）に示す角１１ａ
および溝面１１ｃにウェハ１が接触し、ウェハ表面に傷
を形成したり、汚染の原因となってしまう。特に溝面１
１ｃにおいてはウェハ１と溝面１１ｃが面接触するため
にウェハ外周部に大きい傷が形成される可能性がある。
図１１の（ｂ）に示すプッシャ−３の溝面１１ｂ、図８
および図９に示すカセット２の溝面１１ｄ、図１１およ
び図１２に示すチャック４ａ、４ｂの溝面１１ｅには、
ウェハ１外周のエッジ部のみが接触し面接触はしないた
め、ウェハ表面を傷付けることはない。例えば、図１３
に示すようにプッシャ−３の溝部をＶ型にすることによ
り、ウェハ１をこのプッシャ−３の溝部９より出し入れ
する時のウェハ１と溝部９との面接触を防止することは
可能である。しかし、この場合、ウェハ１の傾きは上記
Ｙ型溝において垂直溝部９により制限される傾きに比べ
て大きくなり、この大きく傾いたウェハ１をチャック４
ａ、４ｂの溝１０に受け入れることが困難になってしま
う。本発明の目的は、半導体装置の製造工程において、
ウェハ表面を傷つけることなくウェハの移し替えを行う
小型のウェハ移し替え装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、本発明のウェハ移し替え装置は、対向
する１対の側壁と底面とから構成され、前記側壁は対向
する側面上に開口している鉛直線方向の平行な複数の第
１の溝を具備し、前記底面は保持すべきウェハの直径よ
り小さい幅の開口部を有し、前記対向する側壁の溝の底
面間の間隔はウェハの直径よりも大きく選定され、ウェ
ハを前記第１の溝に１枚づつ挿入することにより前記ウ
ェハを鉛直線方向に直立した互いに分離した状態で保持
可能に構成されたウェハ保持装置と、前記ウェハ保持装
置の下方に設置され昇降機構を備えたプッシャ−と、前
記ウェハ保持装置の上方に設置されウェハを保持して前
記ウェハ保持装置から他のウェハ保持装置へ移動する機
構を有するチャックとから構成され、前記プッシャ−は
前記開口部より前記ウェハ保持装置内へ挿入され前記ウ
ェハを下方から支えると同時に昇降させる機構を具備
し、前記ウェハと接する面に前記ウェハ面に平行な溝を
有せず、前記チャックは前記ウェハ保持装置の前記側壁
面に平行な対向する２つのチャック板より構成され、こ
の２つのチャック板はそれぞれ対向面に開口している鉛
直線方向の第２の溝を有し、この第２の溝の下端は前記
チャック板下端面に開口し、前記第２の溝の前記下端面
における位置は前記第１の溝の前記側壁上端面における
位置に対応し、その溝の前記下端面における溝の幅は前
記第１の溝の前記側壁上端面における溝の幅より広く、
その溝の深さは前記下端面において最も浅く形成され、
前記チャックは前記チャック板を対向面に対して垂直に
移動させて対向面間の距離を変化させる移動機構を備
え、この移動機構は前記チャック板下端面を含む平面に
おける前記対向面の前記第２の溝の底面間の間隔がウェ
ハの直径よりも大きい第１の位置と前記間隔がウェハの
直径よりも小さい第２の位置とにチャック板を設定可能
に構成されていて、前記第１の位置においても前記対向
面間の距離はウェハの直径よりも小さいことを特徴とす
る。

【０００９】さらに、本発明のウェハ移し替え装置は、
前記第２の溝の幅が溝の深さ方向に向かって減少した形
状を有することを特徴とする。このように、本発明によ
るウェハ移し替え装置では、チャック板に形成された第
２の溝がウェハ保持装置の側壁に形成された第１の溝に
対応するようにチャック板の下端面をウェハ保持装置の
側壁上端面に接近させる。さらにチャック板を対向面に
垂直方向に移動させて、チャック板の対向面の間の距離
がウェハの直径よりも小さく、チャック板の下端面を含
む平面内におけるチャック板の対向面の第２の溝の底面
間の間隔がウェハの直径よりも大きい第１の位置にチャ
ック板を設定する。

【００１０】その後、プッシャ−によりウェハを下方か
ら押し上げ、チャック板の対向面に形成された対向する
第２の溝に各々一枚ずつウェハを挿入する。この時、第
２の溝のチャック板下端面における幅は第１の溝の側壁
上端面における幅より大きいので、ウェハが第１の溝内
に傾いて収納されている場合にも、ウェハを第２の溝に
誘導することが可能である。

【００１１】さらに、チャック板の下端面とウェハ保持
装置の側壁上端面は十分に接近していて、ウェハの一部
がウェハ保持装置の第１の溝内に保持されると同時にウ
ェハの別の一部がチャック板の第２の溝内に挿入されて
いる状態を存在させることにより、ウェハの転倒を防止
することができるので、プッシャ−のウェハと接する面
にウェハの傾倒を防止するための溝を形成する必要はな
い。このため、ウェハをプッシャ−の溝から出し入れす
る時にウェハ表面に傷が発生するという問題を回避する
ことができる。

【００１２】このように第１の位置では、チャック板の
下端面を含む平面内におけるチャック板の対向面の第２
の溝の底面間の間隔をウェハの直径よりも大きくするこ
とにより、ウェハの直径部分がチャック板下端面を通過
することができる。

【００１３】さらに、少なくともウェハの直径部分がチ
ャック板下端面を通過するまでウェハを第２の溝に挿入
する。この後にチャック板間の距離を縮めるようにチャ
ック板を対向面に垂直方向に移動させ、チャック板下端
面を含む平面におけるチャック板対向面の第２の溝の底
面間の間隔をウェハの直径よりも小さい第２の位置にチ
ャック板を設定する。第２の溝の深さは下端面において
最も浅く形成されているので、溝底の形状に注目すれ
ば、チャック板下端面においてこの溝底は対向するチャ
ック板の間の空間に突出している。ここでプッシャ−を
降下させて、このプッシャ−と共に降下するウェハをこ
の突出部分に載せてウェハが落下することを防止する。
このように第２の位置では、チャック板下端面を含む平
面上におけるチャック板の対向面の第２の溝の底面間の
間隔をウェハの直径よりも小さくすることにより、ウェ
ハを２つの対向するチャック板の溝間に吊り下げるよう
に保持することができる。

【００１４】また、チャック板の対向面の間の間隔をウ
ェハの直径よりも小さくすることによりウェハはその一
部が常に溝内に止まりウェハの転倒が防止される。この
ように、本発明によるウェハ移し替え装置は、チャック
板は対向面に対して垂直方向に開閉し、最大開いた状態
においてもチャック板の対向面の間の間隔はウェハの直
径よりも小さく保たれる。このため、装置は大きい幅を
必要とせず小型化を図ることができる。

【００１５】さらに、チャック板の対向面の間の間隔は
ウェハの直径よりも小さく保たれ、ウェハが常に第１も
しくは第２の溝内に挿入された状態が維持されるため、
プッシャ−はウェハを保持するための溝を必要としな
い。したがって、ウェハをプッシャ−の溝から出し入れ
する時に生じるウェハ表面上の傷を回避することが可能
である。

【００１６】さらに、第２の溝の幅を溝の深さ方向に向
かって減少する形状にすれば、この溝にウェハを挿入す
る時にウェハ面と溝の側面が面接触することにより生じ
る傷の発生を防止することができる。

【００１７】

【実施の形態】以下、本発明の実施の形態について図面
を参照して説明する。図１は本発明によるウェハ移し替
え装置の構造を示す図である。ウェハ１を収納している
ウェハカセット２の上方に設置された、１組の平行チャ
ック４ａ、４ｂと、ウェハ２を下方からこのチャック４
ａ、４ｂまで持ち上げるプッシャ−３によりウェハ移し
替え装置は構成される。従来と同様にチャック４ａ、４
ｂはウェハ同志が接触しないようにウェハを一枚ずつ分
離して保持するために溝１０を有しているが、本発明の
プッシャ−３は溝を有しない。

【００１８】以下、図２、図３を用いてウェハ移し替え
装置の動作を説明する。これらの図はウェハ移し替え装
置を図１のＸ方向から見たものである。まず、チャック
板４ａ、４ｂに形成された溝１０がウェハカセット２の
側壁面に形成された溝に対応するように、チャック板４
ａ、４ｂの下端面２２ａ、２２ｂをウェハカセットの側
壁上端面２３ａ、２３ｂに接近させる。さらにチャック
板４ａ、４ｂを対向面に垂直方向（図１のＹ方向）に移
動させて、チャック板４ａ、４ｂの下端面２２ａ、２２
ｂを含む平面内において対向する溝底の間の距離Ｕをウ
ェハの直径Ｖよりも大きくなるようにする。

【００１９】この後プッシャ−３がウェハカセット２の
底部に設けられた開口部から侵入し、上昇してウェハ１
を上方に持ち上げる。しかし、従来と異なり、プッシャ
−３のウェハと接する面はウェハを一枚ずつ分離して保
持するためのウェハ面と平行な溝を有しないで、図２に
示すようにその一部がウェハ１の外周に適合した円弧形
状を有している。中央に形成されているウェハ面に垂直
な溝はプッシャ−３とウェハ１との接触面積を低減し
て、ウェハ１の外周部に傷をつけたりゴミが付着するこ
とを防止し、さらにウェハの外周形状がばらついた場合
にもプッシャ−３がウェハ１の外周に沿い安定してウェ
ハ１を下方から持ち上げるためのものである。

【００２０】プッシャ−３に押し上げられたウェハ１
は、ウェハカセット２の溝に対応するように設置された
チャック４ａ、４ｂの溝１０をガイドとしてこの溝１０
内に導入される。ウェハが位置１ｘにある時、ウェハ１
の直径がチャック４ａ、４ｂの下端面２２ａ、２２ｂに
おける溝１０の入口を通過できるように、チャック板４
ａ、４ｂの下端面２２ａ、２２ｂを含む平面内において
対向する溝底の間の距離Ｕはウェハの直径Ｖよりも大き
い必要がある。このため最初にチャック４ａ、４ｂはあ
らかじめ対向面に垂直な方向に移動させて開いた状態と
しておく。この状態でさらにウェハ１はプッシャ−３に
より位置１ｗまで持ち上げられる。ここで、ウェハが溝
１０から脱しないように、チャック４ａ、４ｂの対向面
の間隔Ｗはウェハ１の直径Ｖより小さい必要がある。こ
のようにＵ＞Ｖ＞Ｗの条件を満たすように開かれた状態
におけるチャック４ａ、４ｂ間の最大寸法をＴとする。

【００２１】ウェハ１が位置１ｘにある時にウェハ１が
チャック４ａの溝１０に導入される様子を図４、および
図５の（ａ）に示す。図４は図２のＦ−Ｆ´の範囲を側
面（図１のＹ方向）から見た図、図５は図２のＧ−Ｇ´
の範囲を上面（図１のＺ方向）から見た図である。図５
中のａ、ｂ、ｃはそれぞれ図２に示す位置におけるウェ
ハカセット２およびチャック４ａの溝の深さを、ｄ，ｅ
はウェハカセット２およびチャック４ａの溝の幅を示
す。ここでチャック４ａの溝の深さｃはカセット２の溝
の深さａよりも深く、またチャック４ａの溝の幅ｅはカ
セット２の溝の幅ｄよりも大きくすることにより、図５
の（ａ）に示すように傾いた状態でカセット２に収納さ
れたウェハ１を溝１０内に誘導することができる。

【００２２】次に図３に示すように、チャック板４ａ、
４ｂの下端面２２ａ、２２ｂを含む平面内において対向
する溝底の間の距離Ｕがウェハの直径Ｖよりも小さくな
るように、平行チャック板４ａ、４ｂを閉じる。その後
プッシャ−３を降下させて元の位置に戻す。ウェハ１は
この降下と共に位置１ｖまで下降し、チャック４ａ、４
ｂの溝１０の下端面２２ａ、２２ｂにおいて吊り下げら
れた状態で保持される。図３に示すように、チャック４
ａ、４ｂの溝１０は、チャック４ａ、４ｂの下端面２２
ａ、２２ｂにおける溝の深さｃが溝１０の他の部分にお
ける溝の深さより浅くなるように形成される必要があ
る。さらにチャック板４ａ、４ｂの下端面２２ａ、２２
ｂを含む平面内において対向する溝底の間の距離Ｕをウ
ェハ１の直径Ｖよりも小さくすることによりウェハ１が
落下することを防止することができる。

【００２３】チャック板４ａ、４ｂが閉じた状態におい
て、図３のＥ−Ｅ´の範囲を上面（図１のＺ方向）から
見た図を図５の（ｂ）に示す。チャック板４ａ、４ｂの
下端面２２ａ、２２ｂを含む平面内において対向する溝
底の間の距離Ｕはウェハ１の直径Ｖよりも小さい。この
時、ウェハの破損を防止するために、チャック板４ａ、
４ｂはウェハ１を締め付けない程度に閉じて、ウェハ１
をチャック板４ａ、４ｂの溝１０内において空間的余裕
をもって保持する必要がある。

【００２４】このようにチャック板４ａ、４ｂを閉じた
状態で、チャック部ユニットは上下左右方向に移動し、
移し替えられたウェハ１は次の移し替え位置まで移動し
て各種治具あるいは他のウェハカセットへの移し替えを
行う。

【００２５】なお、上記実施の形態において、溝１０は
図２に示すようにウェハ外周に沿うような形状を有して
いるが、チャック下端部２２ａ，２２ｂにおける溝の深
さが最も浅くなるように形成されていればどのような形
状を有していても構わない。

【００２６】また上記実施の形態において、チャック板
４ａ、４ｂをその対向面に垂直に移動させることにより
チャック板４ａ、４ｂの開閉を行っているが、この移動
は２枚のチャック板４ａ、４ｂが互いに厳密に平行移動
する必要はない。たとえばチャック板４ａ、４ｂがある
回転軸を中心として回転運動をする場合であっても、対
向面の間の間隔Ｗが常にウェハ１の直径Ｖより小さく設
定されるという条件を満足すればよい。この場合、チャ
ック板４ａ、４ｂの回転角度は小さく、これらの運動方
向は直線的で対向面に対してほぼ垂直であると近似する
ことができる。

【００２７】このように上記実施の形態よるウェハ移し
替え装置では、チャック板４ａ、４ｂの対向面に形成さ
れた溝１０の平行チャック４ａ、４ｂの下端面２２ａ、
２２ｂにおける位置は、ウェハカセット２の溝の側壁上
端面２３ａ、２３ｂにおける位置に対応して形成されて
いるので、この下端面２２ａ、２２ｂおよび上端面２３
ａ、２３ｂを接近させることにより、ウェハ１をプッシ
ャ−３により押し上げて、カセット２の溝からチャック
板４ａ、４ｂの溝１０へ挿入することができる。さらに
溝１０の最大幅はウェハカセット２の溝幅より大きいた
め、ウェハ１がウェハカセット２の溝に傾いた状態で収
納されている場合にも、ウェハ１を溝１０へ誘導するこ
とができる。

【００２８】また、このようにウェハ１をウェハカセッ
ト２の溝からチャック板４ａ、４ｂの溝１０へ挿入する
時に、チャック板４ａ、４ｂの下端面２２ａ、２２ｂを
ウェハカセット２の側壁上端面２３ａ、２３ｂに接近さ
せるため、ウェハ１はカセット２の溝とチャック板の溝
１０の両方に挿入された状態を経て溝１０に挿入され
る。さらに、チャック板４ａ、４ｂが最大開いた状態に
おいても、チャック板４ａ、４ｂの対向面の間の間隔Ｗ
は常にウェハ１の直径Ｖより小さく設定されるため、溝
１０に挿入されたウェハ１は溝１０内に保持され、傾倒
することはない。したがって、従来のようにウェハの傾
倒を防止するための溝をプッシャ−３は必要としない。
このため、従来ウェハ１をプッシャ−３のＹ型溝部に出
し入れする時に生じていたようにウェハ表面に傷がつく
ことはない。

【００２９】さらに、溝１０の幅は溝の深さ方向に向か
って減少するような形状を有しているため、従来のプッ
シャ−３のＹ型溝部の溝面（図１１の１１ａおよび１１
ｃ）において発生していたウェハ表面との面接触による
傷という問題は生じない。

【００３０】また、平行チャック４ａ、４ｂの溝１０の
溝の深さは平行チャック４ａ、４ｂの下端面２２ａ、２
２ｂにおいて最も浅くなるように形成されている。すな
わち、溝底の形状に注目すれば、この部分において溝底
は平行チャック４ａ、４ｂの間に形成される空間内側に
向かって突出している。平行チャック４ａ、４ｂを閉じ
てこの突出部分にウェハ１を載せることによりチャック
はウェハ１を保持することができる。

【００３１】以上のように上記実施の形態よるウェハ移
し替え装置では、ウェハを保持するチャック４ａ、４ｂ
が従来のように回転して開閉するのではなく対向面にほ
ぼ垂直にに移動して開閉する構造となっている。さら
に、チャック板４ａ、４ｂが最大開いた状態において
も、対向面の間の間隔Ｗは常にウェハ１の直径Ｖより小
さく設定される。したがって、チャックを開いた状態に
おける最大寸法Ｔを従来のＳに比べて大幅に小さくする
ことが可能となり、ほぼカセット幅と等しくすることが
できる。したがって、カセットレス処理等における処理
槽幅を小さくすることが可能となるため、装置の小型化
により装置の製造コストおよび、クリ−ンル−ムの建築
費を低減し、また処理液消費量の節約によりランニング
コストを低減することができる。

【００３２】

【発明の効果】以上のように本発明によるウェハ移し替
え装置によれば、ウェハ表面を傷つけることなくウェハ
の移し替えを行うことが可能で、さらにチャック板の移
動距離が小さくてよいため装置の小型化を図ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウェハ移し替え装置の構造図。

【図２】本発明のウェハ移し替え装置の動作を示す断面
図。

【図３】本発明のウェハ移し替え装置の動作を示す断面
図。

【図４】本発明のウェハ移し替え装置の一部分の拡大側
面図。

【図５】本発明のウェハ移し替え装置の一部分の拡大上
面図および側面図。

【図６】従来のウェハ移し替え装置の動作を示す断面
図。

【図７】従来のウェハ移し替え装置の動作を示す断面
図。

【図８】従来のウェハ移し替え装置の一部分の拡大側面
図。

【図９】従来のウェハ移し替え装置の一部分の拡大上面
図。

【図１０】従来のウェハ移し替え装置の一部分の拡大側
面図。

【図１１】従来のウェハ移し替え装置の一部分の拡大側
面図。

【図１２】従来のウェハ移し替え装置の一部分の拡大上
面図。

【図１３】従来のウェハ移し替え装置の一部分の拡大側
面図。

【符号の説明】

１…ウェハ、２…ウェハカセット、３…プッシャ−、４
ａ、４ｂ…チャック板、５ａ、５ｂ…ア−ム、６ａ、６
ｂ…軸、１０…溝。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向する１対の側壁と底面とから構成さ
   れ、前記側壁は対向する側面上に開口している鉛直線方
   向の平行な複数の第１の溝を具備し、前記底面は保持す
   べきウェハの直径より小さい幅の開口部を有し、前記対
   向する側壁の溝の底面間の間隔はウェハの直径よりも大
   きく選定され、ウェハを前記第１の溝に１枚づつ挿入す
   ることにより前記ウェハを鉛直線方向に直立した互いに
   分離した状態で保持可能に構成されたウェハ保持装置
   と、前記ウェハ保持装置の下方に設置され昇降機構を備
   えたプッシャ−と、前記ウェハ保持装置の上方に設置さ
   れウェハを保持して前記ウェハ保持装置から他のウェハ
   保持装置へ移動する機構を有するチャックとから構成さ
   れるウェハ移し替え装置において、前記プッシャ−は前
   記開口部より前記ウェハ保持装置内へ挿入され前記ウェ
   ハを下方から支えると同時に昇降させる機構を具備し、
   前記ウェハと接する面に前記ウェハ面に平行な溝を有せ
   ず、前記チャックは前記ウェハ保持装置の前記側壁面に
   平行な対向する２つのチャック板より構成され、この２
   つのチャック板はそれぞれ対向面に開口している鉛直線
   方向の第２の溝を有し、この第２の溝の下端は前記チャ
   ック板下端面に開口し、前記第２の溝の前記下端面にお
   ける位置は前記第１の溝の前記側壁上端面における位置
   に対応し、その溝の前記下端面における溝の幅は前記第
   １の溝の前記側壁上端面における溝の幅より広く、その
   溝の深さは前記下端面において最も浅く形成され、前記
   チャックは前記チャック板を対向面に対して垂直に移動
   させて対向面間の距離を変化させる移動機構を備え、こ
   の移動機構は前記チャック板下端面を含む平面における
   前記対向面の前記第２の溝の底面間の間隔がウェハの直
   径よりも大きい第１の位置と前記間隔がウェハの直径よ
   りも小さい第２の位置とにチャック板を設定可能に構成
   されていて、前記第１の位置においても前記対向面間の
   距離はウェハの直径よりも小さいことを特徴とするウェ
   ハ移し替え装置。
2. 【請求項２】 前記第２の溝の幅は溝の深さ方向に向か
   って減少した形状を有する前記請求項１記載のウェハ移
   し替え装置。