KR200177323Y1 - 반도체 웨이퍼용 캐리어 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 웨이퍼용 캐리어에 관한 것으로, 종래 기술에 의한 반도체 웨이퍼용 캐리어는 반도체 웨이퍼를 적재한 후, 운반중에도 상기 본체의 일 측이 개방되어 있어 운반중에 상기 반도체 웨이퍼용 캐리어가 기울어질 경우에 상기 반도체 웨이퍼가 흘러내려 파손되는 문제점을 초래하였다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 캐리어는 상기 반도체 웨이퍼를 인.출입하는 입구가 형성된 본체에 슬라이딩하여 그 입구의 일부를 개폐할 수 있는 흘러내림방지판을 설치하므로써, 운반중에 상기 반도체 웨이퍼용 캐리어가 기울여져도 적재되어 있는 상기 반도체 웨이퍼가 흘러내리지 않게 됨과 아울러 그 반도체 웨이퍼의 파손을 방지하는 효과를 기대할 수 있다.

Description

반도체 웨이퍼용 캐리어

본 고안은 반도체 웨이퍼용 캐리어에 관한 것으로, 특히 흘러내림방지판을 설치하여 적재된 반도체 웨이퍼가 운송중에 흘러내려 파손되는 것을 방지할 수 있도록 한 반도체 웨이퍼용 캐리어에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 웨이퍼는 증착이나 식각공정과 같은 여러 공정을 진행하는 동안 다수의 상기 반도체 웨이퍼를 적재하여 운반하게 되는데, 이와 같이 다수의 상기 반도체 웨이퍼를 적재하여 운반하는 것이 상기 도 1에 도시된 바와 같은 반도체 웨이퍼용 캐리어다.

상기 반도체 웨이퍼용 캐리어(1)는 상기 반도체 웨이퍼(w)를 인.출입할 수 있도록 일 측이 개방된 육면체상의 본체(1a)가 형성되어 있고, 그 본체(1a)의 내측에는 다수의 상기 반도체 웨이퍼(w)를 층층이 적재할 수 있도록 등간격으로 다수의 적재가이드(1b)가 설치되어 있으며, 또 상기 본체(1a)의 상부에는 상기 반도체 웨이퍼(w)를 적재하여 손으로 잡아 운반할 수 있도록 손잡이(1c)가 형성 설치되어 있다.

상기와 같이 구성된 반도체 웨이퍼용 캐리어(1)는 본체(1a)의 개방된 부분을 통하여 운반할 상기 반도체 웨이퍼(w)를 적재가이드(1b)에 하나씩 적재한 후, 상기 손잡이(1c)를 잡아 운반하게 되는 것이다.

그러나, 상기와 같이 구성된 반도체 웨이퍼용 캐리어는 상기 반도체 웨이퍼를 적재한 후, 운반중에도 상기 본체의 일 측이 개방되어 있어 운반중에 상기 반도체 웨이퍼용 캐리어가 기울어질 경우에 상기 반도체 웨이퍼가 흘러내려 파손되는 문제점을 초래하였다.

따라서, 본 고안의 목적은 상기의 문제점을 해결하여 운반중에 기울어져도 상기 반도체 웨이퍼가 흘러내리지 않음과 아울러 그 반도체 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있는 반도체 웨이퍼용 캐리어를 제공함에 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 반도체 웨이퍼용 캐리어의 구조를 보인 사시도.

도 2는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 캐리어의 흘러내림방지판이 열린 상태를 보인 사시도.

도 3은 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 캐리어의 흘러내림방지판이 닫힌 상태를 보인 사시도.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명 **

11 : 캐리어 11a : 몸체

11b : 적재가이드 11c : 흘러내림방지판

본 고안의 목적은 전면(前面)에서 반도체 웨이퍼를 인.출입할 수 있도록 입구가 형성되고 그 반도체 웨이퍼를 슬라이딩하여 층층이 적재할 수 있도록 등간격으로 다수개 설치한 적재가이드가 있는 본체와, 그 본체의 입구에 설치되어 상기 적재가이드에 적재된 상기 반도체 웨이퍼가 흘러내리지 않도록 하는 흘러내림방지판을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 캐리어에 의하여 달성된다.

다음은, 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 캐리어의 일실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 캐리어의 흘러내림방지판이 열린 상태를 보인 사시도이고, 도 3은 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 캐리어의 흘러내림방지판이 닫힌 상태를 보인 사시도이다.

본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 캐리어(11)는 상기 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이 상기 반도체 웨이퍼(w)를 인.출입할 수 있도록 일 측이 개방된 육면체상의 본체(11a)가 형성되어 있고, 그 본체(11a)의 내측에는 다수의 상기 반도체 웨이퍼(w)를 층층이 적재할 수 있도록 등간격으로 다수의 적재가이드(11b)가 설치되어 있으며, 또 그 적재가이드(11b)에 적재된 상기 반도체 웨이퍼(w)의 일부를 지지할 수 있도록 상기 입구가 형성된 본체(11a)의 전면(前面)에는 흘러내림방지판(11c)이 설치되어 있다.

상기 흘러내림방지판(11c)은 상기 입구가 형성된 본체(11a)의 측면에서 수평으로 슬라이딩하여 상기 반도체 웨이퍼(w)를 상기 적재가이드(11b)에 적재할 때는 그 입구를 완전하게 개방하고, 상기 적재가이드(11b)에 적재한 상기 반도체 웨이퍼(w)를 운송시에는 상기 흘러내림방지판(11c)을 슬라이딩하여 상기 본체(11a)의 입구의 일부를 밀폐하여 그 적재가이드(11b)에 적재된 반도체 웨이퍼(w)의 일 측을 지지하게 되어 운송중에 상기 본체(11a)가 기울여져도 상기 반도체 웨이퍼(w)가 흘러내리지 않는 것이다.

또, 상기 본체(11a)의 상부에는 상기 반도체 웨이퍼(w)를 적재하여 손으로 잡아 운반할 수 있도록 손잡이(11d)가 형성 설치되어 있다.

상기와 같이 반도체 웨이퍼를 인.출입하는 입구가 형성된 본체에 슬라이딩하여 그 입구의 일부를 개폐할 수 있는 흘러내림방지판을 설치하므로써, 운반중에 상기 반도체 웨이퍼용 캐리어가 기울여져도 적재되어 있는 상기 반도체 웨이퍼가 흘러내리지 않게 됨과 아울러 그 반도체 웨이퍼의 파손을 방지하는 효과를 기대할 수 있다.

Claims (2)

1. 반도체 웨이퍼를 인.출입할 수 있도록 입구가 형성되고 그 반도체 웨이퍼를 슬라이딩하여 층층이 적재할 수 있도록 등간격으로 다수개 설치한 적재가이드가 있는 본체와, 그 본체의 입구에 설치되어 상기 적재가이드에 적재된 상기 반도체 웨이퍼가 흘러내리지 않도록 하는 흘러내림방지판을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 캐리어.
2. 제 1항에 있어서, 상기 흘러내림방지판은 상기 입구가 있는 본체의 측면에 설치되어 슬라이딩하므로써 그 입구의 일부를 개폐하여 적재된 반도체 웨이퍼를 지지하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 캐리어.