JPH08124992A - 基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 キャリアの搬入・搬出処理のスループットを
向上させた基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置を提
供する。 【構成】 前工程からの、複数枚の未処理基板を収納し
た搬送用キャリア（処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２）
は、載置台１ａ、１ｂで受け取られて載置され、処理前
キャリア搬送ロボット３が載置台２ａ、２ｂに搬送し、
キャリア受渡しロボット９が載置台４に受け渡し、装置
１０内に搬入される。装置１０での処理が終了した複数
枚の処理済基板を収納した搬送用キャリア（処理後キャ
リアＥＣ１、ＥＣ２）は、載置台５に載置され、キャリ
ア受渡しロボット９が載置台６ａ、６ｂに受け渡し、処
理後キャリア搬送ロボット８が載置台７ａ、７ｂに搬送
し、載置台７ａ、７ｂに載置され、ＡＧＶに引き渡され
て、装置１０外に搬出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板処理装置の一側面
において、複数枚の未処理基板が収納された搬送用キャ
リアを装置外から装置内に搬入するとともに、複数枚の
処理済基板が収納された搬送用キャリアを装置内から装
置外に搬出する基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置
に係り、特に、搬送用キャリアの搬入・搬出処理のスル
ープットの向上を図るための技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種のキャリア搬入・搬出装置
として、例えば、特開平4-332128号公報や特開平4-3321
50号公報等に示すようなものがある。

【０００３】これら公報に開示された従来装置は、複数
枚の未処理基板が収納された搬送用キャリア（処理前キ
ャリア）を装置外から受け取るための搬入ステージと、
複数枚の処理済基板が収納された搬送用キャリア（処理
後キャリア）を装置外に引き渡すための搬出ステージ
と、搬入ステージからの処理前キャリアの装置内への受
渡しと、装置内からの処理後キャリアの受渡しとを行う
ための受渡し部と、装置内に設けられたキャリア受取り
・引渡し部と、搬入ステージ、受渡し部、搬出ステージ
の間の処理前、処理後キャリアの搬送を行うキャリア搬
送ロボットと、受渡し部とキャリア受取り・引渡し部と
の間の処理前、処理後キャリアの受渡しを行うキャリア
受渡しロボットなどを備えて構成されている。

【０００４】この従来装置では、キャリアの自動搬送装
置（Auto Guided Vehicle ：以下「ＡＧＶ」という）に
よって前工程から搬送されてきた処理前キャリアは、搬
入ステージで受け取られ、キャリア搬送ロボットによっ
て搬入ステージから受渡し部に搬送され、さらに、キャ
リア受渡しロボットによって受渡し部からキャリア受取
り・引渡し部に受け渡されて装置内に搬入される。そし
て、処理前キャリアに収納された各未処理基板に対して
装置内で所定の基板処理が施される。また、装置内での
基板処理が終了した各処理済基板が収納された処理後キ
ャリアは、キャリア受取り・引渡し部に置かれ、キャリ
ア受渡しロボットによってキャリア受取り・引渡し部か
ら受渡し部に受け渡され、さらに、キャリア搬送ロボッ
トによって受渡し部から搬出ステージに搬送されて、搬
出ステージでＡＧＶに引き渡され、ＡＧＶによって後工
程に搬送される。

【０００５】また、従来装置の搬入ステージと受渡し部
と搬出ステージとは一直線上に配置され、受渡し部とキ
ャリア受取り・引渡し部との並びはそれに直交するよう
に配置されており、キャリアの搬送経路が、受渡し部を
交点とした「Ｔ」字型になるように、各ステージと各部
が配置されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、従来装置では、受渡し部とキャリア受
取り・引渡し部とを、キャリアの搬入と搬出とで共有す
るように構成されているので、受渡し部とキャリア受取
り・引渡し部との間で処理前キャリアの受渡しが行われ
ていたり、受渡しのために受渡し部やキャリア受取り・
引渡し部に処理前キャリアが置かれている等の場合に
は、処理後キャリアの搬出が行えず、また、逆に、受渡
し部とキャリア受取り・引渡し部との間で処理後キャリ
アの受渡しが行われていたり、受渡しのために受渡し部
やキャリア受取り・引渡し部に処理後キャリアが置かれ
ている等の場合には、処理前キャリアの搬入が行えず、
搬入・搬出処理のスループットが悪いという問題があ
る。また、搬入・搬出処理のスループットが悪いと、Ａ
ＧＶの処理待ちが生じて、前工程や後工程の基板処理装
置にも影響を与えるという問題もある。しかも、ＡＧＶ
で複数個の搬送用キャリアをまとめて搬送する場合で
は、ＡＧＶの処理待ちは一層長くなる。

【０００７】また、従来装置は、搬入ステージと受渡し
部と搬出ステージとが一直線上に配置されているが、こ
のように配置された場合、搬入ステージと受渡し部と搬
出ステージの並び方向の長さ（幅）が、それに直交する
方向の長さ（奥行き）に比べてアンバランスに長くな
り、これら各ステージ等が占有する床の面積利用効率が
悪くなるという問題もある。しかも、この種の装置で
は、一般的に複数個（従来例では２個）のキャリアを一
単位として搬入・搬出が行われる。従って、搬入ステー
ジと受渡し部と搬出ステージにはそれぞれ複数個のキャ
リアを載置しておく載置台が設けられ、これら複数個の
載置台が一直線上に並ぶことになる。たとえば、従来装
置では、２個のキャリアを一単位として搬入・搬出が行
われるので、合計６個の載置台が一直線上に並ぶことに
なる。従って、奥行きに対する幅の長さのアンバランス
が一層大きくなり、床の面積利用効率が一層悪くなる。
床の面積利用効率が悪いと、ランニングコストの高いク
リーンルームの利用率の低下を招くことになる。

【０００８】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、第１の目的は、キャリアの搬入・搬出
処理のスループットを向上させた基板処理装置のキャリ
ア搬入・搬出装置を提供することにある。

【０００９】また、本発明の第２の目的は、床の面積利
用効率を改善した基板処理装置のキャリア搬入・搬出装
置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、基板処理装置の一側面に
おいて、複数枚の未処理基板が収納された搬送用キャリ
ア（以下、この搬送用キャリアを「処理前キャリア」と
いう）を前記装置外から前記装置内に搬入するととも
に、複数枚の処理済基板が収納された搬送用キャリア
（以下、この搬送用キャリアを「処理後キャリア」とい
う）を前記装置内から前記装置外に搬出する基板処理装
置のキャリア搬入・搬出装置において、前記処理前キャ
リアを前記装置外から受け取るための搬入ステージと、
前記搬入ステージで受け取った処理前キャリアを前記装
置内に受け渡すための処理前キャリア受渡し部と、前記
装置内に設けられ、前記処理前キャリア受渡し部の処理
前キャリアを受け取るための処理前キャリア受取り部
と、前記装置内に設けられ、前記処理後キャリアを搬出
するための処理後キャリア引渡し部と、前記処理後キャ
リア引渡し部の処理後キャリアを受け取るための処理後
キャリア受渡し部と、前記処理後キャリア受渡し部の処
理後キャリアを前記装置外に引き渡すための搬出ステー
ジと、前記処理前キャリアを、前記搬入ステージから前
記処理前キャリア受渡し部に搬送する処理前キャリア搬
送手段と、前記処理後キャリアを、前記処理後キャリア
受渡し部から前記搬出ステージに搬送する処理後キャリ
ア搬送手段と、前記処理前キャリア受渡し部と前記処理
前キャリア受取り部との間の前記処理前キャリアの受渡
しと、前記処理後キャリア引渡し部と前記処理後キャリ
ア受渡し部との間の前記処理後キャリアの受渡しとを行
うキャリア受渡し手段と、を備えたものである。

【００１１】また、請求項２に記載の発明は、上記請求
項１に記載の基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置に
おいて、前記搬入ステージから前記処理前キャリア受渡
し部への処理前キャリアの搬送方向が、前記処理前キャ
リア受渡し部と前記処理前キャリア受取り部との間の処
理前キャリアの受渡し方向に略平行になるように、前記
搬入ステージと前記処理前キャリア受渡し部とを配置
し、前記処理後キャリア受渡し部から前記搬出ステージ
への処理後キャリアの搬送方向が、前記処理後キャリア
引渡し部と前記処理後キャリア受渡し部との間の処理後
キャリアの受渡し方向に略平行になるように、前記処理
後キャリア受渡し部と前記搬出ステージとを配置すると
ともに、前記搬入ステージと前記処理前キャリア受渡し
部との並びと、前記処理後キャリア受渡し部と前記搬出
ステージとの並びとを並設させるように、前記各ステー
ジ、各部を配置したものである。

【００１２】また、請求項３に記載の発明は、上記請求
項１または２のいずれかに記載の基板処理装置のキャリ
ア搬入・搬出装置において、前記処理前キャリア受渡し
部と前記処理前キャリア受取り部との間の前記処理前キ
ャリアの受渡しを行う処理前キャリア受渡し手段と、前
記処理後キャリア引渡し部と前記処理後キャリア受渡し
部との間の前記処理後キャリアの受渡しを行う処理後キ
ャリア受渡し手段とで、前記キャリア受渡し手段を構成
したものである。

【００１３】

【作用】請求項１に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。まず、処理前キャリアの搬入は以下のように行われ
る。すなわち、装置外からの処理前キャリアは、搬入ス
テージで受け取られ、その処理前キャリアは、処理前キ
ャリア搬送手段によって搬入ステージから処理前キャリ
ア受渡し部に搬送される。そして、キャリア受渡し手段
によって、処理前キャリア受渡し部から処理前キャリア
受取り部に受け渡され、装置内に搬入される。

【００１４】一方、処理後キャリアの搬出は以下のよう
に行われる。すなわち、処理後キャリアが、処理前キャ
リア受取り部と別個に設けられた処理後キャリア引渡し
部に置かれ、その処理後キャリアは、キャリア受渡し手
段によって処理後キャリア引渡し部から、処理前キャリ
ア受渡し部と別個に設けられた処理後キャリア受渡し部
に受け渡される。そして、処理後キャリア搬送手段によ
って、処理後キャリア受渡し部から搬出ステージに搬送
され、搬出ステージから装置外に搬出される。

【００１５】また、請求項２に記載の発明によれば、搬
入ステージ、処理前キャリア受渡し部、処理前キャリア
受取り部間の処理前キャリアの搬送、受渡しが略一直線
上で行われ、搬出ステージ、処理後キャリア受渡し部、
処理後キャリア引渡し部間の処理後キャリアの搬送、受
渡しが略一直線上で行われる。これら各搬入、搬出にお
けるキャリアの搬送経路が並設される。従って、搬入ス
テージ、処理前キャリア受渡し部、搬出ステージ、処理
後キャリア受渡し部の配置における幅の長さが、搬入ス
テージ、搬出ステージ（処理前キャリア受渡し部、処理
後キャリア受渡し部）の配置の長さとなり、一方、奥行
きの長さが、搬入ステージ、処理前キャリア受渡し部
（搬出ステージ、処理後キャリア受渡し部）の配置の長
さとなって、幅と奥行きの長さのアンバランスが改善さ
れる。

【００１６】また、請求項３に記載の発明によれば、処
理前キャリア受渡し部と処理前キャリア受取り部との間
の処理前キャリアの受渡しは、処理前キャリア受渡し手
段によって行われ、処理後キャリア引渡し部と処理後キ
ャリア受渡し部との間の処理後キャリアの受渡しは、処
理前キャリア受渡し手段と別個に設けられた処理後キャ
リア受渡し手段によって行われる。

【００１７】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。図１は、本発明の第１実施例に係る基板処理装
置のキャリア搬入・搬出装置の概略構成を示す図であ
り、図２は、搬送用キャリアの構成を示す斜視図であ
る。本実施例では、２個の搬送用キャリアを一単位とし
て搬入・搬出する装置を例に採り説明する。

【００１８】本実施例装置は、載置台１ａ、１ｂ、２
ａ、２ｂ、４、５、６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂと、処理前
キャリア搬送ロボット３と、処理後キャリア搬送ロボッ
ト８と、キャリア受渡しロボット９などを備えて構成さ
れている。

【００１９】載置台１ａ、１ｂと載置台２ａ、２ｂと載
置台４とは、複数枚の未処理基板が収納された搬送用キ
ャリア（処理前キャリア）を基板処理装置１０外から装
置１０内に搬入する搬入経路を構成する。また、載置台
５と載置台６ａ、６ｂと載置台７ａ、７ｂとは、複数枚
の処理済基板が収納された搬送用キャリア（処理後キャ
リア）を装置１０内から装置１０外に搬出する搬出経路
を構成する。

【００２０】各部の構成を以下に詳述する。まず、載置
台１ａ、１ｂは、前工程の基板処理装置から搬送されて
きた処理前キャリアを、２個を一単位として受け取り載
置するためのもので、これら載置台１ａ、１ｂが本発明
における搬入ステージを構成する。

【００２１】ここで、本実施例に用いられる搬送用キャ
リアの構成を図２を参照して説明する。この搬送用キャ
リアＣは、Ｕエンド面ＵとＨエンド面Ｈとを有し、複数
枚の基板（半導体ウエハ）Ｗは、各処理面ＳＰの向きが
Ｈエンド面Ｈ側を向くように、搬送用キャリアＣに収納
されている。また、搬送用キャリアＣのＵエンド面Ｕ、
Ｈエンド面Ｈ以外の対向する二側面の上端にはツバＴが
設けられている。装置１０に搬入される処理前キャリア
と、装置１０から搬出される処理後キャリアは図２に示
す同じ構成の搬送用キャリアＣで構成される。

【００２２】さて、載置台１ａ、１ｂには、ＡＧＶ（ま
たは作業者）により、前工程から搬送されてきた２個の
処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２がそれぞれ載置される。
このとき、ＡＧＶの搬送動作の都合上、各処理前キャリ
アＰＣ１、ＰＣ２は、それぞれＵエンド面Ｕが装置１０
と反対側を向くように各載置台１ａ、１ｂに載置され
る。

【００２３】また、各載置台１ａ、１ｂの配置間隔（ピ
ッチ）Ｐ１は、処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２を搬送し
てくる前記ＡＧＶの構造によって決まり、比較的広めに
採られている。

【００２４】ＡＧＶ等により各載置台１ａ、１ｂに載置
された処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２は、本発明におけ
る処理前キャリア搬送手段に相当する処理前キャリア搬
送ロボット３によって、本発明における処理前キャリア
受渡し部を構成する載置台２ａ、２ｂに搬送され、そこ
に載置される。

【００２５】このとき、載置台１ａに載置された処理前
キャリアＰＣ１は載置台２ａに載置され、載置台１ｂに
載置された処理前キャリアＰＣ２は載置台２ｂに載置さ
れる。

【００２６】また、載置台２ａ、２ｂに載置されたとき
の各処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２は、装置１０内での
基板処理の都合上、それぞれのＵエンド面Ｕが外に向き
合うようになっている。従って、各処理前キャリアＰＣ
１、ＰＣ２は、載置台１ａ、１ｂから載置台２ａ、２ｂ
に搬送される際に、処理前キャリア搬送ロボット３によ
ってＵエンド面Ｕの向きの転換（９０°または−９０°
の回転）が行われる。

【００２７】また、載置台２ａ、２ｂのピッチＰ２は、
前記載置台１ａ、１ｂのピッチＰ１よりも狭く採られて
いる。これは、各処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２のピッ
チをＰ１のままにして、装置１０内に搬入すると、例え
ば、装置１０内における各処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ
２の搬送路等を広く採る必要がある等、装置１０の大型
化を招くことになるので、装置１０の小型化を図る等の
ために、ＡＧＶに依存する処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ
２のピッチＰ１を狭めて装置１０内に搬入することが好
ましいからである。従って、各処理前キャリアＰＣ１、
ＰＣ２は、載置台１ａ、１ｂから載置台２ａ、２ｂに搬
送される際に、処理前キャリア搬送ロボット３によって
ピッチの変換（幅寄せ）が行われる。

【００２８】上記したように、処理前キャリア搬送ロボ
ット３は、各処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２を載置台１
ａ、１ｂから載置台２ａ、２ｂにそれぞれ搬送するとと
もに、Ｕエンド面Ｕの向きの転換と幅寄せとを行う。こ
のような機能を有する処理前キャリア搬送ロボット３の
一例の構成を図３を参照して説明する。図３（ａ）は、
処理前キャリア搬送ロボットの一例の構成を示す一部省
略正面図であり、図３（ｂ）は、その平面図である。

【００２９】この処理前キャリア搬送ロボット３は、図
３に示すように、２個のキャリア支持機構３１ａ、３１
ｂと、各キャリア支持機構３１ａ、３１ｂの間隔を変位
させる（各キャリア支持機構３１ａ、３１ｂをＸ方向に
変位させる）リンク機構３２と、各キャリア支持機構３
１ａ、３１ｂとリンク機構３２とを載置台１ａ、１ｂと
載置台２ａ、２ｂとの間で移動させる（Ｙ方向の移動を
行う）Ｙ方向移動機構３３などで構成されている。

【００３０】各キャリア支持機構３１ａ、３１ｂは、そ
れぞれ駆動部３４と、駆動部３４の上方に、Ｚ方向に伸
縮自在で、かつ、回転自在に取り付けられた軸３５と、
軸３５の上部に取り付けられ、処理前キャリアＰＣ１、
ＰＣ２の底部を支持する支持部３６等で構成されてい
る。また、駆動部３４は、軸３５を回転させるモータ３
４１と、そのモータ３４１が内設され、ガイドレール３
４２に沿ってＺ方向に昇降自在の昇降フレーム３４３
と、その昇降フレーム３４３をロッド３４４ａの伸縮で
Ｚ方向に昇降させて、軸３５をＺ方向に伸縮させるシリ
ンダ３４４とを備えている。なお、図では、キャリア支
持機構３１ｂの構造を示しているが、キャリア支持機構
３１ａもキャリア支持機構３１ｂと同様の構成を有す
る。

【００３１】また、各キャリア支持機構３１ａ、３１ｂ
は、支持台３７にＸ方向に沿って設けられたガイド軸３
８ａ、３８ｂに摺動自在に支持されている。リンク機構
３２は、各キャリア支持機構３１ａ、３１ｂに連結され
たリンク部材３２１と、一方のキャリア支持機構（図で
は、キャリア支持機構３１ａ）をＸ方向に移動させるシ
リンダ３２２等で構成されている。すなわち、シリンダ
３２２のロッド３２２ａを収縮・伸長させることによ
り、リンク部材３２１を介して各キャリア支持機構３１
ａ、３１ｂが接離し、これにより、各キャリア支持機構
３１ａ、３１ｂの間隔が変位される。なお、リンク部材
３２１やシリンダ３２２等は支持台３７上に支持されて
いる。

【００３２】Ｙ方向移動機構３３は、支持台３７をＹ方
向に移動させることにより、各キャリア支持機構３１
ａ、３１ｂとリンク機構３２を、載置台１ａ、１ｂと載
置台２ａ、２ｂとの間で移動させる。このＹ方向移動機
構３３は、例えば、コンベアやネジ軸駆動機構、あるい
は、Ｙ方向に配置されたラックとピニオンとの組合わせ
からなる駆動機構などで構成されている。

【００３３】次に、上述のような構成の処理前キャリア
搬送ロボット３の動作を説明する。まず、各キャリア支
持機構３１ａ、３１ｂは、間隔が広げられた状態で、載
置台１ａ、１ｂの下方に位置される。この状態で、各キ
ャリア支持機構３１ａ、３１ｂは軸３５をＺ方向に伸長
させ、載置台１ａ、１ｂに載置された各処理前キャリア
ＰＣ１、ＰＣ２を支持部３６に支持させて持ち上げる。
そして、各キャリア支持機構３１ａ、３１ｂは軸３５を
９０°または−９０°回転させ、支持部３６に支持され
た各処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２のＵエンド面Ｕが外
に向き合うように、各処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２の
Ｕエンド面Ｕの向きの転換を行う。そして、Ｙ方向移動
機構３３によって、各キャリア支持機構３１ａ、３１ｂ
等を載置台２ａ、２ｂ方向に移動させ、各キャリア支持
機構３１ａ、３１ｂに支持された各処理前キャリアＰＣ
１、ＰＣ２を載置台１ａ、１ｂから載置台２ａ、２ｂ方
向に移動させる。そして、リンク機構３２によって、各
キャリア支持機構３１ａ、３１ｂの間隔を狭め、各キャ
リア支持機構３１ａ、３１ｂに支持された各処理前キャ
リアＰＣ１、ＰＣ２のピッチをＰ１からＰ２に幅寄せ
し、各キャリア支持機構３１ａ、３１ｂは軸３５をＺ方
向に収縮させて、各処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２を載
置台２ａ、２ｂに載置する。なお、各載置台１ａ、１
ｂ、２ａ、２ｂは、図３に示すように、各キャリア支持
機構３１ａ、３１ｂの支持部３６が通過できるような開
口が設けられている。

【００３４】また、各処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２の
Ｕエンド面Ｕの向きの転換の際、処理前キャリアＰＣ
１、ＰＣ２が互いに干渉する場合には、例えば、各キャ
リア支持機構３１ａ、３１ｂの軸３５のＺ方向の伸長の
ストロークを違え、一方の処理前キャリアを他方の処理
前キャリアの上方まで持ち上げて、各処理前キャリアＰ
Ｃ１、ＰＣ２のＵエンド面Ｕの向きの転換を行うように
すればよい。

【００３５】なお、図３の構成の処理前キャリア搬送ロ
ボットは、載置台１ａ、１ｂ、２ａ、２ｂの下方から各
処理用キャリアＰＣ１、ＰＣ２を持ち上げて支持するよ
うに構成したが、例えば、図４に示すように、載置台１
ａ、１ｂ、２ａ、２ｂの上方から各処理用キャリアＰＣ
１、ＰＣ２のツバＴをハンガーで引っ掛けて支持し、各
処理用キャリアＰＣ１、ＰＣ２を持ち上げて、搬送やＵ
エンド面Ｕの向きの転換、幅寄せを行うように構成され
たロボットで処理前キャリア搬送ロボット３を構成して
もよい。

【００３６】図４（ａ）は、処理前キャリア搬送ロボッ
トの変形例の構成を示す正面図、図４（ｂ）は、その平
面図である。図中、符号４１は支持腕４２をＹ方向に移
動させるＹ方向移動機構（図３のＹ方向移動機構３３と
同様の構成）であり、符号４３ａ、４３ｂは支持腕４２
の下方に、Ｘ方向に移動自在で、かつ、リンク機構（図
３のリンク機構３２と同様の構成）４４によって接離自
在に取り付けられた駆動部（図３の駆動部３４と同様の
構成）、符号４５ａ、４５ｂは駆動部４３ａ、４３ｂに
Ｚ方向に伸縮自在で、かつ、回転自在に取り付けられた
軸、符号４６ａ、４６ｂは軸４５ａ、４５ｂの先端部に
取り付けられた開閉駆動部、符号４７ａ、４７ｂは開閉
自在に開閉駆動部４６ａ、４６ｂに取り付けられたハン
ガーである。

【００３７】この構成のロボットでは、ハンガー４７
ａ、４７ｂの開閉で処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２のツ
バＴの支持とその解除を行い、軸４５ａ、４５ｂのＺ方
向の伸縮により、ハンガー４７ａ、４７ｂで引っ掛けて
支持した処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２の載置台１ａ、
１ｂからの持ち上げと載置台２ａ、２ｂへの載置を行
い、駆動部４３ａ、４３ｂの接離で、処理前キャリアＰ
Ｃ１、ＰＣ２のピッチの変更を行い、軸４５ａ、４５ｂ
の回転で、処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２のＵエンド面
Ｕの向きの転換を行い、Ｙ方向移動機構４１による支持
腕４２のＹ方向の移動で、処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ
２の載置台１ａ、１ｂから載置台２ａ、ｂへの搬送を行
う。

【００３８】また、図３、図４の処理前キャリア搬送ロ
ボット３は、２個の処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２の搬
送等を同時に行うロボットで構成したが、例えば、図
５、図６に示すように、処理前キャリアＰＣ１の搬送と
Ｕエンド面Ｕの転換と幅寄せのためのＸ方向の移動を行
うロボット３ａと、処理前キャリアＰＣ２の搬送とＵエ
ンド面Ｕの転換と幅寄せのためのＸ方向の移動を行うロ
ボット３ｂを別個に設けて処理前キャリア搬送ロボット
３を構成し、各処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２の搬送な
どを個別に行うようにしてもよい。

【００３９】なお、図５のロボット３ａは図３における
キャリア支持機構３１ａと、キャリア支持機構３１ａの
みをＹ方向に移動させるＹ方向移動機構３３ａ（図３の
Ｙ方向移動機構３３と同様の構成）と、Ｙ方向移動機構
３３ａのみをＸ方向に移動させるＸ方向移動機構３９ａ
（図３のＹ方向移動機構３３と移動方向を違えた構成）
とで構成され、キャリア支持機構３１ａで処理前キャリ
アＰＣ１を持ち上げ支持するとともに、Ｕエンド面Ｕの
向きの転換を行い、Ｙ方向移動機構３３ａによるキャリ
ア支持機構３１ａのＹ方向の移動で処理前キャリアＰＣ
１の載置台１ａから載置台２ａへの搬送を行い、Ｘ方向
移動機構３９ａによるＹ方向移動機構３３ａのＸ方向の
移動で幅寄せのための処理前キャリアＰＣ１のＸ方向の
移動を行う。また、図５のロボット３ｂは、ロボット３
ａと同様に、キャリア支持機構３１ｂと、キャリア支持
機構３１ｂのみをＹ方向に移動させるＹ方向移動機構３
３ｂと、Ｙ方向移動機構３３ｂのみをＸ方向に移動させ
るＸ方向移動機構３９ｂとで構成され、処理前キャリア
ＰＣ２の搬送とＵエンド面Ｕの転換と幅寄せのためのＸ
方向の移動を行う。

【００４０】図６では、図４のロボットを処理前キャリ
アＰＣ１用とＰＣ２用に分離し、また、各駆動部４３
ａ、４３ｂをそれぞれ支持腕４２ａ、４２ｂに沿ってＸ
方向に移動可能に構成した。各処理前キャリアＰＣ１、
ＰＣ２の搬送とＵエンド面Ｕの向きの転換はそれぞれ図
４のロボットと同様の動作で行われ、また、処理前キャ
リアＰＣ１、ＰＣ２の幅寄せのための各キャリアＰＣ
１、ＰＣ２のそれぞれのＸ方向の移動は、各駆動部４３
ａ、４３ｂのＸ方向の移動で行われる。

【００４１】図１に戻って、載置台２ａ、２ｂに載置さ
れた各処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２は、本発明におけ
るキャリア受渡し手段に相当するキャリア受渡しロボッ
ト９によって、本発明における処理前キャリア受取り部
に相当する載置台４に受け渡される。

【００４２】このキャリア受渡しロボット９は、図１の
実線と二点鎖線との間でＸ方向に移動し、実線の位置
で、載置台２ａ、２ｂと載置台４との間の処理前キャリ
アＰＣ１、ＰＣ２の受渡しを行うとともに、二点鎖線の
位置で、後述するように、載置台５と載置台６ａ、６ｂ
との間の処理後キャリアの受渡しを行う。

【００４３】このキャリア受渡しロボット９の一例の構
成を図７を参照して説明する。図７（ａ）は、キャリア
受渡しロボットの一例の構成を示す正面図であり、図７
（ｂ）は、その平面図である。

【００４４】このキャリア受渡しロボット９は、図７に
示すように、基台９１に多関節型のアーム９２を設け、
アーム９２の先端に、２個の搬送用キャリアＣのツバＴ
を同時に引っ掛けて支持する支持部材９３を設けて構成
されている。また、基台９１は、Ｘ方向移動機構９４に
よって、図７の実線と二点鎖線で示す位置の間をＸ方向
に移動される。

【００４５】このロボットによれば、例えば、処理前キ
ャリアＰＣ１、ＰＣ２の受渡しの際には、Ｘ方向移動機
構９４によって基台９１を図１の実線の位置に移動さ
せ、そこで、アーム９２の伸縮動作と、アーム９２の基
台９１に対する揺動動作とにより、開いた状態の支持部
材９３を、載置台２ａ、２ｂに載置された２個の処理前
キャリアＰＣ１、ＰＣ２の上方より、各キャリアＰＣ
１、ＰＣ２の側方に移動させ、各キャリアＰＣ１、ＰＣ
２を挟む状態にして、支持部材９３を閉じる。そして、
アーム９２の基台９１に対する揺動動作により、各キャ
リアＰＣ１、ＰＣ２を、それぞれのツバＴを支持部材９
３で引っ掛けて持ち上げ、半円を描くように各キャリア
ＰＣ１、ＰＣ２を載置台４に移動させる。そして、上述
と逆の動作で、支持部材９３による各キャリアＰＣ１、
ＰＣ２の支持を解除する。

【００４６】また、処理後キャリアの受渡しの際には、
Ｘ方向移動機構９４によって基台９１を図１の二点鎖線
の位置に移動させ、そこで、上述と同様の動作により、
載置台５と載置台６ａ、６ｂとの間の処理後キャリアの
受渡しを行う。

【００４７】図１に戻って、処理前キャリアＰＣ１、Ｐ
Ｃ２が載置台４に載置された状態で、処理前キャリアＰ
Ｃ１、ＰＣ２の搬入は完了する。載置台４に載置された
処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２は、装置１０内に設けら
れた図示しない搬送機構によって、装置１０内の図示し
ない基板処理部に搬送されていく。そして、各処理前キ
ャリアＰＣ１、ＰＣ２に収納された未処理基板に対して
所定の基板処理が施された後、処理済基板を収納した処
理後キャリアが２個、装置１０内の図示しない搬送機構
で、本発明における処理後キャリア引渡し部に相当する
載置台５に載置され、処理後キャリアＥＣ１、ＥＣ２の
搬出が開始される。

【００４８】処理後キャリアＥＣ１、ＥＣ２の搬出は、
キャリア受渡しロボット９による載置台５から、本発明
における処理後キャリア受渡し位置を構成する載置台６
ａ、６ｂへの処理後キャリアＥＣ１、ＥＣ２の受渡し
と、本発明における処理後キャリア搬送手段に相当する
処理後キャリア搬送ロボット８による載置台６ａ、６ｂ
から、本発明における搬出ステージを構成する載置台７
ａ、７ｂへの処理後キャリアＥＣ１、ＥＣ２の搬送によ
り行われる。

【００４９】この搬出は、上述した搬入と逆の手順で行
われるので、その詳述は省略する。なお、処理後キャリ
ア搬送ロボット８は、上述した処理前キャリア搬送ロボ
ット３と同様の構成である。また、各処理後キャリアＥ
Ｃ１、ＥＣ２はピッチをＰ２にして載置台５に載置され
るが、これを、ＡＧＶが取り扱えるピッチＰ１に広げる
ために、載置台６ａ、６ｂのピッチをＰ２、載置台７
ａ、７ｂのピッチをＰ１にし、処理後キャリア搬送ロボ
ット８によって、このピッチの変換を行う。

【００５０】さらに、互いのＵエンド面Ｕが外に向け合
った状態で載置台５に載置された各処理後キャリアＥＣ
１、ＥＣ２のＵエンド面Ｕを、載置台７ａ、７ｂでは、
ＡＧＶで搬送できるように、装置１０と反対側を向ける
ように、Ｕエンド面Ｕの向きの転換が行われるが、この
Ｕエンド面Ｕの向きの転換も処理後キャリア搬送ロボッ
ト８によって行われる。

【００５１】そして、ピッチをＰ１にし、Ｕエンド面Ｕ
を装置１０と反対側に向けて載置台７ａ、７ｂに載置さ
れた処理後キャリアＥＣ１、ＥＣ２は、ＡＧＶに引き渡
され（または、作業者により取り出され）、後工程の基
板処理装置に搬送される。

【００５２】なお、上述した実施例では、処理前キャリ
ア搬送ロボット３と処理後キャリア搬送ロボット８とを
別個に設けたが、例えば、図８、図９に示すように、処
理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２、処理後キャリアＥＣ１、
ＥＣ２の各搬送とＵエンド面Ｕの向きの転換とピッチの
変換とを、１台のロボットで行い、このロボットで処理
前キャリア搬送手段と処理後キャリア搬送手段とを構成
してもよい。

【００５３】図８（ａ）では、図３に示すロボットのＹ
方向移動機構３３をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構
３９を設け、処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２の搬入ライ
ンＩＮＬと、処理後キャリアＥＣ１、ＥＣ２の搬出ライ
ンＯＵＴＬとの間で、ロボットを移動させるように構成
したものである。

【００５４】また、図８（ｂ）では、図５に示す１個の
搬送用キャリア（処理前キャリア、処理後キャリア）の
搬送等を行うためのロボット３ａのＸ方向移動機構３９
ａのＸ方向の移動範囲を、処理前キャリアＰＣ１の搬入
ラインＩＮＬ１と、処理後キャリアＥＣ２の搬出ライン
ＯＵＴＬ２との間で行えるように構成したものである。

【００５５】また、図９（ａ）では、図４に示すロボッ
トの支持腕４２を長くし、その支持腕４２のＹ方向移動
機構４１と反対側の端部を、図示しない装置フレームに
固定され、Ｙ方向に沿って配置されたガイド軸５０に摺
動自在にガイドさせ、各駆動部４３ａ、４３ｂを、支持
腕４２に沿ってＸ方向に移動自在に構成されたＸ方向移
動部材５１に取り付け、前記搬入ラインＩＮＬと前記搬
出ラインＯＵＴＬとの間で、各駆動部４３ａ、４３ｂ等
を移動させるように構成したものである。

【００５６】また、図９（ｂ）では、図６に示す１個の
搬送用キャリア（処理前キャリア、処理後キャリア）の
搬送等を行うためのロボットの支持腕４２を長くし、そ
の支持腕４２のＹ方向移動機構４１と反対側の端部を、
図示しない装置フレームに固定されたガイド軸５０に摺
動自在にガイドさせ、各駆動部４３ａ等のＸ方向の移動
範囲を、前記搬入ラインＩＮＬ１と前記搬出ラインＯＵ
ＴＬ２との間で行えるように構成したものである。

【００５７】上述したように本実施例によれば、載置台
２ａ、２ｂ（処理前キャリア受渡し部）と載置台４（処
理前キャリア受取り部）と、それとは別個に載置台５
（処理後キャリア引渡し部）と載置台６ａ、６ｂ（処理
後キャリア受渡し部）を設けたので、従来例のように、
処理前キャリアの搬入のための受渡しまたは、処理後キ
ャリアの搬出のための受渡し等によって、いずれかのキ
ャリアが処理前キャリアと処理後キャリアの受渡しのた
めの場所を占有することがなくなり、搬送用キャリアの
搬入・搬出がスムーズに行え、搬入・搬出処理のスルー
プットを向上させることができる。

【００５８】また、上述の実施例では、処理前キャリア
の受渡しと処理後キャリアの受渡しを１台のキャリア受
渡しロボット９によって行うように構成した関係上、処
理前キャリアの受渡しと処理後キャリアの受渡しとを同
時に行えず、そのために、搬入・搬出に処理待ちが起こ
ることが考えられる。しかし、キャリア受渡しロボット
９による搬送用キャリアの受渡し処理時間はわずかであ
り、キャリア受渡しロボット９が解放されるまでの待ち
時間は、いずれかのキャリアが処理前キャリアと処理後
キャリアの受渡しのための場所を占有し、その占有が解
放されて別のキャリアの受渡しが行えるようになるまで
の待ち時間に比べると、わずかなものである。従って、
キャリア受渡しロボット９の解放の処理待ちがあって
も、搬入・搬出処理のスループットが大幅に低下するこ
とがない。

【００５９】もっとも、図１０に示すように、図７に示
した基台９１、多関節型のアーム９２、支持部材９３か
らなるロボット９ａ、９ｂ（本発明における処理前キャ
リア受渡し手段と処理後キャリア受渡し手段に相当す
る）を、載置台２ａ、２ｂと載置台４の間および載置５
と載置台６ａ、６ｂの間にそれぞれ設け、載置台２ａ、
２ｂと載置台４との間の処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２
の受渡しと、載置台５と載置台６ａ、６ｂとの間の処理
後キャリアＥＣ１、ＥＣ２の受渡しとを独立して行うよ
うに構成すれば、搬入と搬出とをそれぞれ独立に行うこ
とができ、搬入・搬出処理のスループットを一層向上さ
せることができる。

【００６０】また、同様に、載置台１ａ、１ｂから載置
台２ａ、２ｂへの処理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２の搬送
と、載置台６ａ、６ｂから載置台７ａ、７ｂへの処理後
キャリアＥＣ１、ＥＣ２の搬送についても、搬入・搬出
処理のスループットの点からは、上記図８、図９のよう
に１台のロボットで共用するよりは、図１（図３ないし
図６参照）のようにそれぞれ独立して行えるように構成
する方が好ましい。

【００６１】また、図１に示すように、本実施例では、
載置台１ａ、１ｂ（搬入ステージ）、載置台２ａ、２ｂ
（処理前キャリア受渡し部）、載置台４（処理前キャリ
ア受取り部）が一直線上に並べられ、載置台７ａ、７ｂ
（搬出ステージ）、載置台６ａ、６ｂ（処理後キャリア
受渡し部）、載置台５（処理後キャリア引渡し部）が一
直線上に並べられて、これらが並設されるように各載置
台が配置されるので、各載置台のレイアウトの幅Ｗと奥
行きＤとのアンバランスが、従来装置に比べて改善さ
れ、各載置台が占有する床の面積利用効率を改善するこ
とができる。

【００６２】次に、本発明の第２実施例の構成を図１１
を参照して説明する。図１１は、第２実施例装置の概略
構成を示す図である。

【００６３】この第２実施例装置は、そのレイアウトを
載置台１ａ、１ｂ、２ａ、２ｂ、６ａ、６ｂ、７ａ、７
ｂを一直線上に配置したもので、それ以外は、第１実施
例と基本的には同様の構成であるので、構成の詳述は省
略する。

【００６４】なお、処理前キャリア搬送ロボット３と処
理後キャリア搬送ロボット８は、第１実施例のロボット
（図３ないし図６参照）のＹ方向の移動をＸ方向の移動
に替えたこと以外は基本的に同じであるので、その詳述
は省略する。

【００６５】また、本実施例においても、図８、図９の
ように、載置台１ａ、１ｂから載置台２ａ、２ｂへの処
理前キャリアＰＣ１、ＰＣ２の搬送と、載置台６ａ、６
ｂから載置台７ａ、７ｂへの処理後キャリアＥＣ１、Ｅ
Ｃ２の搬送を１台のロボットで行い、処理前キャリア搬
送ロボット３と処理後キャリア搬送ロボット８を兼用す
ることも可能であるが、搬入・搬出処理のスループット
の点からは、これら各搬送を別個のロボットで行うよう
に構成する方が好ましい。

【００６６】さらに、本実施例においても、キャリア受
渡しロボット９を、図７に示すように、処理前キャリア
ＰＣ１、ＰＣ２の受渡しと処理後キャリアＥＣ１、ＥＣ
２の受渡しとを兼用で行うように構成してもよいが、搬
入・搬出処理のスループットの点からは、図１０で説明
したようにこれら各受渡しを別個のロボットで行うよう
に構成する方が好ましい。

【００６７】本実施例装置によれば、載置台１ａ、１
ｂ、２ａ、２ｂ、６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂを一直線上に
配置しているので、これら載置台１ａ、１ｂ、２ａ、２
ｂ、６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂが占有する床の面積利用効
率は、第１実施例装置に比べて悪くなるが、搬入・搬出
処理のスループットは従来例よりも向上させることがで
きる。

【００６８】なお、上述の各実施例では、２個の搬送用
キャリアＣを一単位として搬入・搬出する装置を例に採
り説明したが、本発明は、１個の搬送用キャリアＣを一
単位として搬入・搬出する装置や３個以上の搬送用キャ
リアＣを一単位として搬入・搬出する装置等にも同様に
適用することができる。

【００６９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、キャリアの搬入専用の処理前
キャリア受渡し部と処理前キャリア受取り部、および、
キャリアの搬出専用の処理後キャリア受渡し部と処理後
キャリア引渡し部を設けたので、かかる部分でのキャリ
アの搬入と搬出とが競合しても、キャリアの搬入と搬出
とをスムーズに行うことができ、キャリアの搬入・搬出
処理のスループットを向上させることができる。

【００７０】また、請求項２に記載の発明によれば、搬
入ステージ、処理前キャリア受渡し部、処理前キャリア
受取り部が略一直線上に並べられ、搬出ステージ、処理
後キャリア受渡し部、処理後キャリア引渡し部が略一直
線上に並べられて、これらが並設されるように各ステー
ジ、各部が配置されるので、各ステージ、各部のレイア
ウトの幅と奥行きとのバランスが良くなり、各ステー
ジ、各部が占有する床の面積利用効率を改善することが
でき、クリーンルームの利用率の向上を図ることができ
る。

【００７１】また、請求項３に記載の発明によれば、処
理前キャリア受渡し部と処理前キャリア受取り部との間
の処理前キャリアの受渡しを行う処理前キャリア受渡し
手段と、処理後キャリア引渡し部と処理後キャリア受渡
し部との間の処理後キャリアの受渡しを行う処理後キャ
リア受渡し手段とを設け、搬入と搬出の各受渡しを別個
に行なえるように構成したので、キャリアの搬入と搬出
とを完全に独立して行うことができ、キャリアの搬入・
搬出処理のスループットを一層向上させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る基板処理装置のキャ
リア搬入・搬出装置の概略構成を示す図である。

【図２】搬送用キャリアの構成を示す斜視図である。

【図３】処理前キャリア搬送ロボットの一例の構成を示
す図である。

【図４】処理前キャリア搬送ロボットの変形例の構成を
示す図である。

【図５】処理前キャリア搬送ロボットの変形例の構成を
示す図である。

【図６】処理前キャリア搬送ロボットの変形例の構成を
示す図である。

【図７】キャリア受渡しロボットの一例の構成を示す図
である。

【図８】処理前キャリア搬送ロボットの変形例の構成を
示す図である。

【図９】処理前キャリア搬送ロボットの変形例の構成を
示す図である。

【図１０】第１実施例装置の変形例の概略構成を示す図
である。

【図１１】第２実施例装置の概略構成を示す図である。

【符号の説明】

１ａ、１ｂ … 載置台（搬入ステージ） ２ａ、２ｂ … 載置台（処理前キャリア受渡し部） ３ … 処理前キャリア搬送ロボット（処理前キャリア
搬送手段） ４ … 載置台（処理前キャリア受取り部） ５ … 載置台（処理後キャリア引渡し部） ６ａ、６ｂ … 載置台（処理後キャリア受渡し部） ７ａ、７ｂ … 載置台（搬出ステージ） ８ … 処理後キャリア搬送ロボット（処理後キャリア
搬送手段） ９ … キャリア受渡しロボット（キャリア受渡し手
段） ９ａ … 処理前キャリア受渡し用のロボット（処理前
キャリア受渡し手段） ９ｂ … 処理後キャリア受渡し用のロボット（処理後
キャリア受渡し手段） １０ … 基板処理装置 ＰＣ１、ＰＣ２ … 処理前キャリア ＥＣ１、ＥＣ２ … 処理後キャリア

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板処理装置の一側面において、複数枚
   の未処理基板が収納された搬送用キャリア（以下、この
   搬送用キャリアを「処理前キャリア」という）を前記装
   置外から前記装置内に搬入するとともに、複数枚の処理
   済基板が収納された搬送用キャリア（以下、この搬送用
   キャリアを「処理後キャリア」という）を前記装置内か
   ら前記装置外に搬出する基板処理装置のキャリア搬入・
   搬出装置において、 前記処理前キャリアを前記装置外から受け取るための搬
   入ステージと、 前記搬入ステージで受け取った処理前キャリアを前記装
   置内に受け渡すための処理前キャリア受渡し部と、 前記装置内に設けられ、前記処理前キャリア受渡し部の
   処理前キャリアを受け取るための処理前キャリア受取り
   部と、 前記装置内に設けられ、前記処理後キャリアを搬出する
   ための処理後キャリア引渡し部と、 前記処理後キャリア引渡し部の処理後キャリアを受け取
   るための処理後キャリア受渡し部と、 前記処理後キャリア受渡し部の処理後キャリアを前記装
   置外に引き渡すための搬出ステージと、 前記処理前キャリアを、前記搬入ステージから前記処理
   前キャリア受渡し部に搬送する処理前キャリア搬送手段
   と、 前記処理後キャリアを、前記処理後キャリア受渡し部か
   ら前記搬出ステージに搬送する処理後キャリア搬送手段
   と、 前記処理前キャリア受渡し部と前記処理前キャリア受取
   り部との間の前記処理前キャリアの受渡しと、前記処理
   後キャリア引渡し部と前記処理後キャリア受渡し部との
   間の前記処理後キャリアの受渡しとを行うキャリア受渡
   し手段と、 を備えたことを特徴とする基板処理装置のキャリア搬入
   ・搬出装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板処理装置のキャリ
   ア搬入・搬出装置において、 前記搬入ステージから前記処理前キャリア受渡し部への
   処理前キャリアの搬送方向が、前記処理前キャリア受渡
   し部と前記処理前キャリア受取り部との間の処理前キャ
   リアの受渡し方向に略平行になるように、前記搬入ステ
   ージと前記処理前キャリア受渡し部とを配置し、 前記処理後キャリア受渡し部から前記搬出ステージへの
   処理後キャリアの搬送方向が、前記処理後キャリア引渡
   し部と前記処理後キャリア受渡し部との間の処理後キャ
   リアの受渡し方向に略平行になるように、前記処理後キ
   ャリア受渡し部と前記搬出ステージとを配置するととも
   に、 前記搬入ステージと前記処理前キャリア受渡し部との並
   びと、前記処理後キャリア受渡し部と前記搬出ステージ
   との並びとを並設させるように、前記各ステージ、各部
   を配置したことを特徴とする基板処理装置のキャリア搬
   入・搬出装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２のいずれかに記載の基
   板処理装置のキャリア搬入・搬出装置において、 前記処理前キャリア受渡し部と前記処理前キャリア受取
   り部との間の前記処理前キャリアの受渡しを行う処理前
   キャリア受渡し手段と、前記処理後キャリア引渡し部と
   前記処理後キャリア受渡し部との間の前記処理後キャリ
   アの受渡しを行う処理後キャリア受渡し手段とで、前記
   キャリア受渡し手段を構成したことを特徴とする基板処
   理装置のキャリア搬入・搬出装置。