CN103930243B - 工业用机器人 - Google Patents

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Abstract

本申请提供一种工业用机器人，其即使在搬运高温且比较大型的搬运对象物的情况下，也能够抑制因热量的影响而导致轴承磨损或者损伤，并且能够抑制因热量的影响而导致臂变形，且能减轻手的重量。该工业用机器人例如包括：具有装载搬运对象物的装载部(27)的手(3)，利用前端侧保持手(3)的臂，保持臂的基端侧的主体部，以及覆盖装载部(27)的至少上表面的外罩部件。并且，装载部(27)由陶瓷形成，外罩部件(30)由不锈钢板形成，因此，外罩部件(30)对辐射热的反射率比装载部(27)对辐射热的反射率高，外罩部件(30)的热传导率比装载部(27)的热传导率低，装载部(27)的比重比外罩部件(30)的比重小。

Description

工业用机器人
技术领域
本发明涉及一种搬运指定搬运对象物的工业用机器人。
背景技术
以往，在半导体制造装置等中，已知有一种用于使半导体晶圆等被干燥物出入被减压了的高温容器等的耐热机械手(例如参照专利文献1)。专利文献1中记载的机械手包括通过隔热结构的基座支承被干燥物的手部和通过配置在手部的上表面的隔热支承构件支承于手部的反射板。并且，该机械手通过隔热轴环安装于用于使机械手出入容器的臂。在专利文献1所记载的机械手中，能够通过基座、反射板、隔热支承部件以及隔热轴环的作用减少从机械手传递到臂的热量。
并且，以往已知有一种搬运液晶显示器用玻璃基板的工业用机器人(例如参照专利文献2)。专利文献2所记载的工业用机械人包括装载玻璃基板的手、手能够转动地与其前端侧连接的臂以及臂的基端侧能够转动地与其连接的主体部。臂由第一臂部和第二臂部构成，第一臂部的基端侧能够转动地与主体部连接，第二臂部的基端侧能够转动地与第一臂部的前端侧连接。在作为主体部与第一臂部之间的连接部的关节部配置有将第一臂部支承为能够转动的滚动轴承，在作为第一臂部与第二臂部之间的连接部的关节部配置有将第二臂部支承为能够转动的滚动轴承。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平6-204316号公报
专利文献2：日本特开2010-23195号公报
发明概要
发明要解决的问题
近年来，由于利用专利文献2中记载的工业用机器人搬运的玻璃基板具有不断大型化，并且搬运时玻璃基板的温度变高的倾向，因此被搬运的玻璃基板所具有的热量不断变多。若因通过手进行的热传导而从玻璃基板向臂传递高热量，使配置于关节部的轴承承受高热量，则存在被淬火处理的轴承的硬度下降或者轴承内的润滑脂的粘度下降从而油膜破裂的问题，因此，存在轴承容易磨损或者轴承容易损伤的问题。并且，若因通过手进行的热传导而从玻璃基板向臂传递高热量，则有臂大幅度变形的担忧，其结果是，存在玻璃基板的搬运精度下降的担忧。
若将专利文献1中记载的耐热机械手的结构运用到专利文献2中记载的工业用机器人，则能够减少因通过手进行的热传导而从玻璃基板向臂传递的热量，其结果是，不容易出现配置于关节部的轴承过度磨损、损伤以及臂大幅度变形等问题。然而，专利文献1中记载的耐热机械手用于搬运像半导体晶圆那样比较小型的搬运对象物的机器人，在专利文献1中，对于搬运像液晶显示器用玻璃基板那样比较大型的搬运对象物的工业用机器人，没有提出用于抑制因热量的影响而导致的轴承磨损或者损伤、或者用于抑制因热量的影响而导致的臂变形的具体结构。
因此，本发明的课题是提供一种工业用机器人，其即使在搬运高温且比较大型的搬运对象物的情况下，也能够抑制因热量的影响而导致的轴承磨损或者损伤，并且能够抑制因热量的影响而导致的臂变形，且能够减轻手的重量。
解决课题的方法
为了解决上述课题，本发明的工业用机器人为搬运搬运对象物的工业用机器人，其特征在于，所述工业用机器人包括：手，其具有装载搬运对象物的装载部；臂，其利用前端侧保持手；主体部，其保持臂的基端侧；以及外罩部件，其覆盖装载部的至少上表面，外罩部件对辐射热的反射率比装载部对辐射热的反射率高，外罩部件的热传导率比装载部的热传导率低，装载部的比重比外罩部件的比重小。
本发明的工业用机器人包括手，其具有装载搬运对象物的装载部；以及外罩部件，其覆盖装载部的至少上表面，外罩部件对辐射热的反射率比装载部对辐射热的反射率高，并且，外罩部件的热传导率比装载部的热传导率低。因此，在本发明中，能够通过外罩部件减少因热辐射或者热传导而从搬运对象物传递到装载部的热量，其结果是，能够减少因通过手进行的热传导而从搬运对象物传递到臂的热量。因此，在本发明中，即使在搬运高温的搬运对象物的情况下，也能够抑制因热量的影响而导致轴承磨损或者损伤，并抑制因热量的影响而导致臂变形。
并且，在本发明中，装载部的比重比外罩部件的比重小。因此，在本发明中，即使为了搬运比较大型的搬运对象物而将手大型化，也能够减轻手的重量。也就是说，即使构成装载部的材料与构成外罩部件的材料相同，也能够减少因通过手进行的热传导而从搬运对象物向臂传递的热量，但是，在这种情况下，若为了搬运比较大型的搬运对象物而将手大型化，则手的重量变重，与此相对，在发明中，即使为了搬运比较大型的搬运对象物而将手大型化，也能够减轻手的重量。
在本发明中，优选外罩部件覆盖装载部的上表面以及侧面。若以这种方式构成，则能够有效地减少因热辐射而从搬运对象物传递到装载物的热量。
在本发明中，例如，装载部由陶瓷形成，外罩部件由不锈钢板形成。并且，在本发明中，例如，手包括多个叉和固定有多个叉的基端侧并且保持于臂的前端侧的手基部，叉的至少前端侧部分为装载部。
在本发明中，优选叉包括作为装载部的叉前端部和固定有叉前端部的基端侧的叉基端部，叉基端部的至少一部分形成为空心状。若以这种方式构成，则由于叉基端部的至少一部分的截面积变小，因此叉基端部的至少一部分中的热传导路径变窄。因此，能够有效地减少因热传导而从装载搬运对象物的叉前端部向保持于臂的前端侧的手基部的热量，其结果是，能够有效地减少因热传导而从手向臂传递的热量。并且，若以这种方式构成，则不仅能够减轻叉基端部的重量，还能够确保叉基端部的强度。另外，在专利文献1中，在包括具有叉的手的工业用机器人中，没有提出用于抑制因热量的影响而导致的轴承损耗或者损伤或者因热量的影响而导致的臂变形的具体结构。
在本发明中，优选叉基端部对辐射热的反射率比叉前端部对辐射热的反射率高，叉基端部的热传导率比叉前端部的热传导率低，叉前端部的比重比叉基端部的比重小。若以这种方式构成，则即使叉基端部没有被外罩部件覆盖，也能够减少因热辐射或者热传导而从搬运对象物传递到手基部的热量，其结果是，能够有效地减少因通过手进行的热传导而从搬运对象物传递到臂的热量。
在本发明中，例如，叉前端部由陶瓷形成，叉基端部的至少一部分由不锈钢管形成。
在本发明中，优选工业用机器人包括覆盖臂的至少上表面的第二外罩部件，第二外罩部件的热传导率比臂的热传导率低。若以这种方式构成，则能够通过第二外罩部件减少因热辐射而从搬运对象物传递到臂的热量。另外，在专利文献1中，没有提出用于减少因热辐射而从搬运对象物传递到臂的热量的具体结构。
在本发明中，搬运对象物例如为液晶显示器用玻璃基板。如上所述，虽然近年来利用工业用机器人搬运的玻璃基板所具有的热量不断变大，但是在本发明中，即使被搬运的玻璃基板所具有的热量大，也能够抑制因热量的影响而导致轴承磨损或者损伤，并抑制因热量的影响而导致臂变形。并且，虽然近年来被搬运的玻璃基板大型化，但是在本发明中，即使被搬运的玻璃基板大型而导致手大型化，也能够减轻手的重量。
发明效果
如上所述，在本发明的工业用机器人中，即使在搬运高温且较大型的搬运对象物的情况下，也能够抑制因热量的影响而导致轴承磨损或者损伤，并且能够抑制因热量的影响而导致臂变形，且能减轻手的重量。
附图说明
图1是本发明的实施方式所涉及的工业用机器人的俯视图。
图2是从图1(B)的E-E方向观察到的工业用机器人的侧视图。
图3是图1所示的手的俯视图。
图4(A)是图3中的F部的放大图，图4(B)是图3的G-G截面的剖视图。
图5是图4(A)的H-H截面的剖视图。
图6是图4(A)的J-J截面的剖视图。
图7(A)是表示本发明的另一实施方式所涉及的第一臂部的周边部的示意图，图7(B)是表示本发明的另一实施方式所涉及的第二臂部的周边部的示意图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
(工业用机器人的大致结构)
图1是本发明的实施方式所涉及的工业用机器人1的俯视图。图2是从图1(B)的E-E方向表示工业用机器人1的侧视图。
本实施方式的工业用机器人1(下称“机器人1”)为用于搬运搬运对象物，即液晶显示器用的玻璃基板2(下称“基板”)的机器人。本实施方式的机器人1为适合搬运特别大型的基板2的大型机器人，例如，搬运一边的边长为2.5米左右的矩形的基板2。并且，机器人1为适合搬运温度比较高的基板2的机器人，例如，搬运温度为500摄氏度左右的基板2。并且，机器人1在真空中搬运基板2。
如图1、图2所示，机器人1包括：两个手3、4，其装载基板2；臂5，手3以能够转动的方式与其前端侧连接；臂6，手4以能够转动的方式与其前端侧连接；主体部7，臂5、6的基端侧以能够转动的方式与其连接；以及升降机构(省略图示)，其使主体部7升降。主体部7以及升降机构容纳于形成为大致有底圆筒状的壳体13中。在壳体13的上端固定有形成为圆板状的凸缘14。在凸缘14形成有贯通孔，所述贯通孔配置有主体部7的上端侧部分。
手3、4以及臂5、6配置于主体部7的上侧。并且，手3、4以及臂5、6配置于凸缘14的上侧。如上所述，机器人1为用于在真空中搬运基板2的机器人，如图2所示，机器人1的比凸缘14的下端面靠上侧的部分配置在真空区域VR中(真空中)。而机器人1的比凸缘14的下端面靠下侧的部分配置在大气区域AR(大气中)。
臂5由第一臂部16和第二臂部17构成。并且，臂6由第二臂部18和与臂5共有的第一臂部16构成。第一臂部16形成为双叉状。具体地说，第一臂部16呈大致V形状。第一臂部16以及第二臂部17、18由铝合金形成。
第一臂部16的基端侧被主体部7支承为能够转动。第二臂部17以能够转动的方式保持在形成为双叉状的第一臂部16的一方的前端侧，第二臂部18以能够转动的方式保持在第一臂部16的另一方的前端侧。手3以能够转动的方式保持在第二臂部17的前端侧，手4以能够转动的方式保持在第二臂部18的前端侧。
臂5、6与主体部7之间的连接部(即第一臂部16与主体部7之间的连接部)为第一关节部20。在第一关节部20配置有防止空气进入到真空区域VR的磁流体密封(省略图示)。第一臂部16与第二臂部17之间的连接部为第二关节部21，第一臂部16与第二臂部18之间的连接部为第二关节部22。在第二关节部21配置有将第二臂部17支承为能够转动的滚动轴承(省略图示)，在第二关节部22配置有将第二臂部18支承为能够转动的滚动轴承(省略图示)。
在本实施方式中，如图2所示，从水平方向观察时，第二臂部17、18配置在比第一臂部16靠上侧的位置。并且，第二臂部18配置在比第二臂部17靠上侧的位置。并且，从水平方向观察时，手3、4配置在第二臂部17与第二臂部18之间。具体地说，手3与第二臂部17的上表面侧连接，手4与第二臂部18的下表面侧连接，从水平方向观察时，手4配置在手3的上侧。另外，在臂5、6收缩时，若从上侧观察机器人1，则如图1(B)所示，手3与手4重叠。
机器人1展开臂5或者臂6，将基板2装载到省略图示的搬运用导轨内，然后，收缩臂5或者臂6并将基板2从搬运用导轨搬出。然后，机器人1改变朝向，将基板2搬入减压了的高温容器内(真空且高温的容器内)。
手3、4由用于装载基板2的多个(例如4个)叉25和固定于多个叉25的基端侧并且以能够转动的方式保持在第二臂部17、18的前端侧的基部26构成。叉25由装载基板2的叉前端部27和固定叉前端部27的基端侧的叉基端部28构成。叉前端部27构成叉25的前端侧，叉基端部28构成叉25的基端侧。本实施方式的叉前端部27为装载搬运对象物即基板2的装载部。
如图3至图6所示，在叉前端部27安装有覆盖叉前端部27的上表面以及侧面的外罩部件30。以下，对手3以及外罩部件30的具体结构进行说明。另外，由于手4以与手3相同的方式构成，因此省略手4的具体结构的说明。并且，在图1、图2中，省略外罩部件30的图示。
(手以及外罩部件的结构)
图3是图1所示的手3的俯视图。图4(A)是图3的F部的放大图，图4(B)是图3的G-G截面的剖视图。图5是图4(A)的H-H截面的剖视图。图6是图4(A)的J-J截面的剖视图。
如上所述，手3由叉25和手基部26构成，叉25由叉前端部27和叉基端部28构成。
叉前端部27由陶瓷形成。该叉前端部27由实心的陶瓷形成，在其内部没有形成空间。并且叉前端部27形成为细长的大致四棱柱状。在叉前端部27的上表面，多个凸部27a以朝向上侧突出的方式形成。多个凸部27a在叉25的长边方向上以指定间距形成。并且，多个凸部27a形成在叉25的长边方向上的叉前端部27的整个区域。并且，在叉前端部27的基端侧的上表面，用于将基板2在叉25的长边方向上定位的定位用凸部27c以朝向上侧突出的方式形成。另外，在图3中，只表示多个凸部27a中的一部分的凸部27a。
从上侧观察时，凸部27a的形状呈在叉25的长边方向上较长的大致长方形。凸部27a的上表面27b形成为平面状。并且，上表面27b配置在比构成外罩部件30的后述上表面部30a的上表面靠上侧的位置。该上表面27b为装载基板2的装载面，基板2的下表面与上表面27b抵接。定位用凸部27c形成为台阶状以与基板2的下表面以及基板2的端部抵接。另外，凸部27a以及定位用凸部27c也可与叉前端部27分体形成，然后固定于叉前端部27。
叉基端部28由固定有叉前端部27的第一固定部28a、固定于手基部26的第二固定部28b以及将第一固定部28a和第二固定部28b连接的连接部28c构成，并且叉基端部28整体形成为大致四棱柱状。叉基端部28的长度比叉前端部27的长度短。并且，叉基端部28的厚度比叉前端部27的厚度厚，叉基端部28的宽度比叉前端部27的宽度宽。
连接部28c由不锈钢管形成，并且形成为在内部具有空间的空心状。连接部28c的壁厚较薄，例如连接部28c的壁厚为4mm左右。第一固定部28a以及第二固定部28b由不锈钢形成并且以与叉25的外形匹配的方式形成为大致长方体的块状。第一固定部28a与连接部28c通过焊接而相互固定，第二固定部28b与连接部28c通过焊接而相互固定。另外，第一固定部28a与连接部28c也可通过除焊接以外的方法而相互固定。例如，第一固定部28a与连接部28c既可通过粘接而相互固定，也可使用螺栓等固定。同样地，第二固定部28b与连接部28c也可通过除焊接以外的方法而相互固定。例如，第二固定部28b与连接部28c既可通过粘接而相互固定，也可使用螺栓等固定。
如图4(B)所示，在第一固定部28a的下表面形成有凹部28d，所述凹部28d配置有叉前端部27的基端侧部分，叉前端部27的基端侧部分以配置于凹部28d中的状态固定于第一固定部28a。在第二固定部28b形成有与连接部28c的内侧空间相连的贯通孔28e。第二固定部28b以配置于形成在手基部26的下表面的凹部26a中的状态固定于手基部26。手基部26由铝合金或者不锈钢形成。
外罩部件30由薄的不锈钢板形成。并且，外罩部件30通过将不锈钢板弯折成大致四方槽状而形成，并且包括覆盖叉前端部27的上表面的上表面部30a和覆盖叉前端部27的侧表面的两个侧表面部30b。如图6所示，上表面部30a以在与叉25的长边方向正交的方向上，上表面部30a的内侧部分配置在比其两端部稍微靠下侧的位置的方式弯折。两个侧面部30b以与叉25的长边方向上的上表面30a的两端分别连接的方式形成。
在上表面部30a形成有多个配置孔30c，所述多个配置孔30c配置有叉前端部27的凸部27a。多个配置孔30c在叉25的长边方向上以指定间距形成。配置孔30c以将上表面部30a贯通的方式形成，凸部27a的上端侧比上表面部30a朝向上侧突出。从上侧观察时的配置孔30c的形状呈在叉25的长边方向上较长的大致长方形。叉25的长边方向上的配置孔30c的宽度比叉25的长边方向上的凸部27a的宽度大。
并且，在上表面部30a形成用于将外罩部件30安装到叉前端部27的多个贯通孔30d。多个贯通孔30d在叉25的长边方向上以指定间距形成。贯通孔30d以贯通上表面部30a的方式形成。从上侧观察时的贯通孔30d的形状呈在叉25的长边方向上较长的长圆形状。
如图6所示，外罩部件30通过轴环32、衬套33以及埋头螺钉34安装于叉前端部27。轴环32形成为具有沿部32a和筒部32b的扁平的带沿的大致圆筒状。衬套33形成为扁平的圆筒状。筒部32b配置在外罩部件30的贯通孔30d中，其下端与叉前端部27的上表面抵接。沿部32a配置在上表面30a的上侧。衬套33以下表面与叉前端部27的上表面抵接并且上表面与上表面部30a的下表面抵接的方式配置在筒部32b的外周侧。轴环32的内周面为与埋头螺钉34的头部卡合的倾斜面，通过埋头螺钉34旋入形成于叉前端部27的上表面的螺丝孔，外罩部件30固定于叉前端部27。另外，在本实施方式中，沿部32a的下表面与上表面部30a的上表面轻微接触，或者在沿部32a的下表面与上表面部30a的上表面之间形成有微小的间隙。
如上所述，衬套33的下表面与叉前端部27的上表面抵接，衬套33的上表面与上表面部30a的下表面抵接，因此，在叉前端部27的上表面与上表面部30a的下表面之间形成有间隙。并且，在与叉25的长边方向正交的方向上的上表面部30a的宽度比该方向上的叉前端部27的宽度大，从而在叉前端部27的侧面与侧面部30b之间形成有间隙。上下方向上的侧面部30b的宽度与上下方向上的叉前端部27的厚度大致相等，从而侧面部30b覆盖叉前端部27的侧面的几乎整个区域。并且，上表面部30a覆盖除了凸部27a以及定位用凸部27c之外的叉前端部27的上表面的几乎整个区域。
在本实施方式中，外罩部件30对热辐射的反射率以及叉基端部28对热辐射的反射率比叉前端部27对热辐射的反射率高。并且，如上所述，外罩部件30以及叉基端部28由不锈钢形成，叉前端部27由陶瓷形成，因此外罩部件30的热传导率以及叉基端部28的热传导率比叉前端部27的热传导率低。并且，叉前端部27的比重比外罩部件30的比重以及叉基端部28的比重小。
(本实施方式的主要效果)
如以上说明，在本实施方式中，外罩部件30对辐射热的反射率比叉前端部27对辐射热的反射率高，并且，外罩部件30的热传导率比叉前端部27的热传导率低。因此，在本实施方式中，能够通过外罩部件30减少因热辐射而从基板2传递到叉前端部27的热量。特别是在本实施方式中，由于外罩部件30除了覆盖叉前端部27的上表面之外还覆盖叉前端部27的侧面的几乎整个区域，因此能够有效地减少因热辐射而从基板2传递到叉前端部27的热量。并且，在本实施方式中，由于在叉前端部27的上表面与上表面部30a的下表面之间形成有间隙，并且在叉前端部27的侧面与侧面部30b之间形成有间隙，从外罩部件30至叉前端部27的热传导路径变为轴环32以及衬套33，因此能够抑制因热辐射而从基板2传递到外罩部件30的热通过热传导再次传递到叉前端部27。
因此，在本实施方式中，能够减少因通过手3、4进行的热传导而从基板2传递到臂5、6的热量。其结果是，在本实施方式中，即使在搬运热量较大的基板2的情况下，也能够抑制配置在第二关节部21、22的滚动轴承因热量的影响而磨损或者损伤，并且能够抑制因热量的影响而导致臂5、6变形。
在本实施方式中，叉基端部28的连接部28c形成为空心状，连接部28c的截面积变小。也就是说，在本实施方式中，连接部28c中的热传导路径变窄。因此，在本实施方式中，能够有效地减少因热传导而从叉前端部27传递到手基部26的热量，其结果是，能够有效地减少因热传导而从手3、4传递到臂5、6的热量。
并且，在本实施方式中，叉基端部28对辐射热的反射率比叉前端部27对辐射热的反射率高，并且叉基端部28的热传导率比叉前端部27的热传导率低。因此，即使叉基端部28没有被外罩部件30覆盖，也能够减少因热辐射而从基板2传递到手基部26的热量，其结果是，能够有效地低减少因通过手3、4进行的热传导而从基板2传递到臂5、6的热量。
在本实施方式中，叉前端部27的比重比外罩部件30的比重小。因此，在本实施方式中，即使为了搬运比较大型的基板2而将手3、4大型化，也能够减轻手3、4的重量。也就是说，即使在使用与外罩部件30相同的不锈钢形成叉前端部27的情况下，也能够减少因通过手3、4进行的热传导而从基板2传递到臂5、6的热量，但是在这种情况下，若为了搬运比较大型的基板2而将手3、4大型化，则手3、4的重量变重。与此相对，在本实施方式中，即使手3、4大型化，也能够减轻手3、4的重量。并且，由于不锈钢的线膨胀率比陶瓷的线膨胀率大，因此在叉前端部27由不锈钢形成的情况下，叉前端部27容易热变形，但是，在本实施方式中，由于叉前端部27由陶瓷形成，因此能够抑制叉前端部27热变形。
在本实施方式中，叉基端部28的连接部38c由不锈钢管形成。因此，在本实施方式中，既能够减轻连接部28c的重量，又能够确保连接部28c的刚性。
在本实施方式中，叉25的长边方向上的外罩部件30的配置孔30c的宽度比叉25的长边方向上的叉前端部27的凸部27a的宽度大。并且，在本实施方式中，沿部32a的下表面与上表面部30a的上表面轻微接触，或者在沿部32a的下表面与上表面部30a的上表面之间形成有微小的间隙，因此，在本实施方式中，即使叉前端部27的线膨胀率与外罩部件30的线膨胀率不同，也能够抑制在装载温度比较高的基板2时叉前端部27以及外罩30热变形。
(其他实施方式)
上述实施方式是本发明优选的实施方式的一个例子，但是本发明并不限定于此，在不变更本发明的主旨的范围内可进行各种变更。
在上述实施方式中，外罩部件30覆盖叉前端部27的侧面的几乎整个区域。除此之外，例如既可以是外罩部件30覆盖叉前端部27的侧面的一部分,也可以是外罩部件30只覆盖叉前端部27的上表面而不覆盖叉前端部27的侧面。并且，外罩部件30也可以覆盖叉前端部27的下表面的方式构成。并且，在上述实施方式中，使用衬套33将外罩部件30安装到叉前端部27，但是也可不使用衬套33将外罩部件30安装到叉前端部27。在这种情况下，外罩部件30的上表面部30a的下表面与叉前端部27的上表面抵接。
在上述实施方式中，如图7(A)所示，第一臂部16的上表面以及下表面也可被热传导率比第一臂部16的热传导率低的作为第二外罩部件的外罩部件40覆盖。例如，第一臂部16的上表面以及下表面也可被由不锈钢板形成并且以从上下方向夹着第一臂部16的方式配置的两个外罩部件40覆盖。同样地，如图7(B)所示，第二臂部17、18的上表面以及下表面也可被热传导率比第二臂部17、18的热传导率低的作为第二外罩部件的外罩部件41覆盖。例如，第二臂部17、18的上表面以及下表面被由不锈钢板形成并且以从上下方向夹着第二臂部17、18的方式配置的两个外罩部件41覆盖。在这种情况下，能够通过外罩部件40、41减少因热辐射而从基板2传递到臂5、6的热量。
另外，在这种情况下，为了抑制因热传导而从外罩部件40、41传递到臂5、6的热，优选在外罩部件40、41与臂5、6之间形成间隙。并且，在这种情况下，外罩部件40、41既可如图7所示覆盖第一臂部16或者第二臂部17、18的侧面的一部分，也可覆盖第一臂部16或者第二臂部17、18的侧面整体。并且，外罩部件40、41也可不覆盖第一臂部16或者第二臂部17、18的侧面。并且，第一臂部16或者第二臂部17、18也可由一个外罩部件40、41从上侧将其覆盖。
在上述实施方式中，构成叉25的前端侧的叉前端部27为装载搬运对象物即基板2的装载部。除此之外，例如也可以是叉25整体为装载搬运对象物即基板2的装载部。在这种情况下，例如叉25整体由实心的陶瓷形成，叉25整体被外罩部件30覆盖。
在上述实施方式中，叉前端部27由陶瓷形成，外罩部件30由不锈钢板形成。除此之外，例如只要外罩部件30对辐射热的反射率比叉前端部27对辐射热的反射率高，外罩部件30的热传导率比叉前端部27的热传导率低，并且，叉前端部27的比重比外罩部件30的比重小，则叉前端部27也可由除陶瓷以外的材料形成，外罩部件30也可由除不锈钢以外的材料形成。例如，叉前端部27也可由含有碳素纤维的树脂形成。在叉前端部27由含有碳素纤维的树脂形成的情况下，叉前端部27例如形成为空心状。
在上述实施方式中，作为叉基端部28的一部分的连接部28c形成为空心状，但是也可将叉基端部28整体形成为空心状。并且，也可以是叉基端部28整体为实心。并且，在上述实施方式中，叉基端部28对辐射热的反射率比叉前端部27对辐射热的反射率高，但是叉基端部28对辐射热的反射率既可比叉前端部27对辐射热的反射率低，也可与叉前端部27对辐射热的反射率相同。并且，叉基端部28的热传导率低比叉前端部27的热传导率低，但是叉基端部28的热传导率既可比叉前端部27的热传导率高，也可与叉前端部27的热传导率相同。并且，叉基端部28的比重比叉前端部27的比重大，但是叉基端部28的比重既可比叉前端部27的比重小，也可与叉前端部27的比重相同。
在上述实施方式中，手3、4包括叉25，但是手3、4也可不包括叉25。例如，手3、4既可以从上侧观察时的形状为大致Y形状的方式形成，也可如上述专利文献1所公开的手部那样，以从上侧观察时的形状为大致长方形状的方式形成。在这种情况下，例如也可以是以下结构：手3、4包括构成手3、4的前端侧的手前端部和构成手3、4的基端侧的手基端侧，并且手前端部由实心的陶瓷等形成，手基端部由空心的不锈钢管等形成。
在上述实施方式中，臂6由第二臂部18和与臂5共有的第一臂部16构成，但是臂6也可由第二臂部18和与第一臂部16分体设置的第一臂部构成。并且，在上述实施方式中，臂5、6由第一臂部16和第二臂部17、18两个臂部构成，但是臂5、6既可由一个臂部构成，也可由三个以上的臂部构成。
在上述实施方式中，利用机器人1搬运的搬运对象物为基板2，但是利用机器人1搬运的搬运对象为也可为半导体晶圆等。并且，机器人1在真空中搬运基板2，但是机器人1也可在大气中搬运基板2。
符号说明
1机器人(工业用机器人)
2基板(玻璃基板、搬运对象物)
3、4手
5、6臂
7主体部
25叉
26手基部
27叉前端部(装载部)
28叉基端部
30外罩部件
40、41第二外罩部件

Claims (6)

1.一种工业用机器人，用于搬运搬运对象物，其特征在于，所述工业用机器人包括：
手，其具有装载所述搬运对象物的装载部；
臂，其利用前端侧保持所述手；
主体部，其保持所述臂的基端侧；以及
外罩部件，其覆盖所述装载部的至少上表面，
所述外罩部件对辐射热的反射率比所述装载部对辐射热的反射率高，
所述外罩部件的热传导率比所述装载部的热传导率低，
所述装载部的比重比所述外罩部件的比重小，
所述手包括：
多个叉；以及
手基部，其固定有多个所述叉的基端侧并且保持在所述臂的前端侧，
所述叉的至少前端侧部分为所述装载部，
所述叉包括作为所述装载部的叉前端部和固定有所述叉前端部的基端侧的叉基端部，
所述叉基端部的至少一部分形成为空心状，
所述叉基端部对辐射热的反射率比所述叉前端部对热辐射热的反射率高，
所述叉基端部的热传导率比所述叉前端部的热传导率低，
所述叉前端部的比重比所述叉基端部的比重小。
2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，
所述外罩部件覆盖所述装载部的上表面以及侧面。
3.根据权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于，
所述装载部由陶瓷形成，所述外罩部件由不锈钢板形成。
4.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，
所述叉前端部由陶瓷形成，所述叉基端部的至少一部分由不锈钢管形成。
5.根据权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于，
所述工业用机器人具有覆盖所述臂的至少上表面的第二外罩部件，
所述第二外罩部件的热传导率比所述臂的热传导率低。
6.根据权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于，
所述搬运对象物为液晶显示器用玻璃基板。
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