WO2020054426A1 - ロボット - Google Patents

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WO2020054426A1
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fluid
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良太 小野
烈 加藤
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川崎重工業株式会社
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    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers

Definitions

  • the present invention relates to a robot for transporting a transported object.
  • Patent Literature 1 discloses a robot that conveys a conveyed object in a vacuum, in which an air-cooled or water-cooled cooling mechanism (cooling pipe) is disposed in an internal space of an arm joint.
  • Patent Document 2 discloses a robot that conveys a conveyed object in a vacuum, in which a distal end of an air pipe routed inside a hollow arm is disposed at a joint.
  • an object of the present invention is to provide a robot that can cool a plurality of arms with a simple configuration.
  • a robot according to the present invention is configured to be rotatable and to transport a conveyed object, a first arm configured to be rotatable and to convey a conveyed object, and to rotate while supporting the first arm.
  • a first rotating body having a first fluid body and an internal space, the first rotating body having a first fluid passage and at least one second fluid passage communicating with the first fluid passage;
  • a base end arm having a hole into which a portion of the second fluid is inserted, and a rotatable support for the second arm, and one end communicating with the second fluid passage.
  • a cylindrical second rotating body having an end having a third fluid passage communicating with the internal space, at least a part of which is disposed between an inner peripheral surface of the hole and the first rotating body; , Disposed in the internal space, connected to an upstream end of the first fluid passage, and A supply device that supplies a fluid to the use passage, a first motor that directly or indirectly rotates the first rotating body, and a second motor that directly or indirectly rotates the second rotating body. It is provided.
  • both the first arm and the second arm can be cooled only by supplying the fluid to the first fluid passage. As described above, a plurality of arms can be cooled with a simple configuration without providing a pipe.
  • the first arm is disposed above the second arm, and the first rotating body supports the first arm while being inserted into a hole provided in the second arm. It is preferable that the upper part of the second rotating body is disposed at a position lower than the upper part of the first rotating body.
  • the first arm in a configuration in which the first arm and the second arm are arranged vertically, the first arm can be rotated by the first rotating body, and the second arm can be rotated by the second rotating body. Can be done.
  • the first arm and the second arm may be arranged in a vacuum, and the internal space may be at atmospheric pressure.
  • the vacuum environment does not emit heat due to convection and heat easily accumulates.
  • the first and second arms can be cooled well by the above configuration.
  • the temperature of the conveyed object may be 100 ° C. or higher.
  • the first arm and the second arm can be satisfactorily cooled even if the temperature of the conveyed object is 100 ° C. or higher.
  • the robot according to the present invention includes a first hand for transporting a transported object, a second hand for transporting the transported object, a first arm to which the first hand is directly or indirectly attached, and a second arm for directly or indirectly attaching the second hand.
  • a first rotating body having a first fluid passage and a second fluid passage communicating with the first fluid passage, and rotatably supporting the second arm or the second hand;
  • a second rotating body having a third fluid passage communicating with the two fluid passage; and a second rotating body disposed in the internal space and directly or indirectly connected to one of the first fluid passage and the third fluid passage.
  • a supply device for supplying, wherein at least a part of the first rotating body is inserted and arranged in the hole, and at least a part of the second rotating body is connected to an inner peripheral surface of the hole and the first rotating body. It is arranged between the rotating body.
  • the supply device supplies the fluid to the first fluid passage of the first rotating body, the first rotating body is cooled by the fluid, and the first hand or the first arm moves from the first hand or the first arm to the first rotating body.
  • the first arm can be cooled by the heat conduction of the first arm.
  • a second fluid passage communicating with the first fluid passage communicates with a third fluid passage provided in the second rotating body.
  • the fluid in the first fluid passage flows into the third fluid passage via the second fluid passage, so that the second rotating body is cooled by the fluid.
  • the second arm can be cooled by heat conduction from the second hand or the second arm to the second rotating body.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a robot according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view showing a part of the robot of FIG. 1.
  • FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III of FIG. 2.
  • a robot 100 includes a base arm 30 rotatably provided on a base arm 90, and a rotatable arm provided on the base arm 30.
  • a first arm (upper arm) 10 provided and a second arm (lower arm) 40 rotatably provided on the base arm 30 and disposed below the first arm 10.
  • a hand H on which the transported object W is placed is attached to the distal ends of the first arm 10 and the second arm 40.
  • the hand H of the first arm 10 corresponds to a first hand
  • the hand H of the second arm 40 corresponds to a second hand.
  • the base-side arm 90 is provided on the base 91.
  • a flange portion 15 is provided on the opening edge of the first rotating body 11.
  • a gear 17 is fixed to the flange portion 15 by a bolt 16.
  • a first gear train 61 including a driving gear is connected to the gear 17.
  • the driving gear of the first gear train 61 is driven to rotate by the first motor 60.
  • the gear 17 rotates via the first gear train 61.
  • the first rotating body 11 rotates around its axis, so that the first arm 10 also rotates.
  • the first rotating body 11 has a first fluid passage 12 extending in the axial direction thereof, and at least one second fluid passage 22 communicating with the first fluid passage 12.
  • the second fluid passage 22 is formed through the peripheral wall of the first rotating body 11.
  • the downstream end of the second fluid passage 22 is provided with a space 48 provided between the first rotating body 11 and the second rotating body 41, and the thickness of the second rotating body 41 and the proximal arm 30 is increased.
  • a third fluid passage 50 formed inside each of the outer ring portion 31 and the outer ring portion 31 described later.
  • the downstream end of the third fluid passage 50 communicates with the internal space 30a.
  • the second fluid passage 22 and the third fluid passage 50 are indicated by broken lines.
  • the use passage 50 is represented by a solid line.
  • the second rotating body 41 is arranged between the inner peripheral surface of the hole 34 of the proximal arm 30 and the first rotating body 11.
  • the second rotating body 41 has a cylindrical upper portion 42 to which the base end of the second arm 40 is fixed, an annular middle wheel portion 45 fixed to a lower portion of the upper portion 42 by a bolt 46, and And a gear 49 fixed by bolts 46 below the middle wheel portion 45 at a position above the gear 17.
  • the middle wheel portion 45 has V-grooves on its outer peripheral portion and inner peripheral portion.
  • a second gear train 63 including a driving gear is connected to the gear 49. The driving gear of the second gear train 63 is driven to rotate by the second motor 62.
  • annular outer ring portion 31 is fixed to the inner peripheral surface of the proximal arm 30.
  • the outer ring portion 31 has a V-groove at a position on the inner periphery thereof opposite to the V-groove on the outer periphery of the middle ring portion 45.
  • annular inner ring portion 32 is provided on the above-mentioned flange portion 15 of the first rotating body 11.
  • the inner ring portion 32 has a V-groove at a position on the outer periphery thereof opposite to the V-groove on the inner periphery of the middle ring portion 45.
  • a roller is provided between the V groove of the outer ring portion 31 and the V groove of the outer peripheral portion of the middle ring portion 45, and the V groove of the inner peripheral portion of the middle ring portion 45 and the V A roller (roller) is provided between the groove and the groove.
  • both the cross roller bearing of the first rotating body 11 and the cross roller bearing of the second rotating body 41 are realized.
  • the gear 49 rotates via the second gear train 63.
  • the second rotating body 41 rotates around the same axis as the first rotating body 11 independently of the first rotating body 11, and accordingly, the second arm 40 also rotates. ing.
  • An annular seal member 47 is provided between the first rotating body 11 and the upper part 42 of the second rotating body 41. Specifically, an annular groove is provided in the upper portion 42 of the second rotating body 41, and the annular member is provided in a state where the seal member 47 is fitted in the groove.
  • An annular seal member 35 is provided between the upper portion 42 of the second rotating body 41 and the upper inner peripheral surface of the proximal arm 30. More specifically, an annular groove is provided in the upper inner peripheral surface of the base end arm 30, and the seal member 35 is provided in a state in which the groove is fitted.
  • a plate 18 is fixed to the opening end of the first rotating body 11 with a bolt 19 so as to close the opening.
  • a supply passage 21 communicating with the first fluid passage 12 and having a smaller diameter than the first fluid passage 12 is provided in the center of the plate 18.
  • the supply port of the supply device 64 is connected to the supply passage 21.
  • the cooling fluid discharged from the supply device 64 is supplied to the first fluid passage 12 of the first rotating body 11 via the supply passage 21.
  • the first rotating body 11 is cooled by the cooling fluid, and the first arm 10 can be cooled by heat conduction from the first arm 10 to the first rotating body 11.
  • the downstream end of the second fluid passage 22 that communicates with the first fluid passage 12 of the first rotating body 11 communicates with the upstream end of the third fluid passage 50 that communicates with the internal space 30a.
  • the cooling fluid supplied to the first fluid passage 12 flows into the third fluid passage 50 via the second fluid passage 22, so that the second rotating body 41 is cooled by the cooling fluid.
  • the second arm 40 can be cooled by heat conduction from the second arm 40 to the second rotating body 41.
  • the cooling fluid is supplied to the first fluid passage 12 of the first rotating body 11 that supports the first arm 10 by the supply device 64.
  • the first rotating body 11 is cooled by the cooling fluid
  • the first arm 10 can be cooled by heat conduction from the first arm 10 to the first rotating body 11.
  • the downstream end of the second fluid passage 22 of the first rotating body 11 that communicates with the first fluid passage 12 communicates with the third fluid passage 50 provided in the second rotating body 41.
  • the cooling fluid in the first fluid passage 12 flows into the third fluid passage 50 via the second fluid passage 22, so that the second rotating body 41 is cooled by the cooling fluid.
  • the second arm 40 can be cooled by heat conduction from the second arm 40 to the second rotating body 41.
  • both the first arm 10 and the second arm 40 can be cooled only by supplying the cooling fluid to the first fluid passage 12. As described above, a plurality of arms can be cooled with a simple configuration without providing a pipe.
  • the cooling fluid that has flowed into the space 48 between the first rotating body 11 and the second rotating body 41 passes through the space between the inner ring portion 32 and the middle wheel portion 45, and is then discharged into the internal space 30a. In some cases. Similarly, the cooling fluid that has flowed into the space 48 may pass between the middle ring portion 45 and the outer ring portion 31 and then be discharged to the internal space 30a. This also forms the flow path of the cooling fluid and further suppresses the accumulation of the cooling fluid.
  • the first arm 10 and the second arm 40 can be satisfactorily cooled by the above configuration.
  • the first arm 10 is supported by the first rotating body 11 and the second arm 40 is supported by the second rotating body 41.
  • the hand H may be rotatably supported by the rotating body 11 and the second rotating body 41, respectively.
  • the first arm 10 and the second arm 40 are arranged in a vacuum.
  • the present invention is not limited to this.
  • the present invention can be similarly applied to a case where a high-temperature conveyed object W is arranged and conveyed.
  • air is used as the cooling fluid.
  • another cooling fluid such as nitrogen gas or argon may be used.
  • the first rotating body 11 is formed in a bottomed cylindrical shape, but is not limited thereto, and may be formed in a tubular shape having no bottom.
  • the temperature of the transported object W to be transported is 800 ° C., but the temperature of the transported object W may be higher than the atmosphere.
  • Reference Signs List 10 first arm 11 first rotating body 12 first fluid passage 22 second fluid passage 30 proximal arm 30a internal space 34 hole 40 second arm 40a hole 41 second rotating body 50 third fluid passage 60 First motor 62 Second motor 64 Supply device 100 Robot H Hand W Conveyed object

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Abstract

複数のアームを簡易な構成で冷却することができるロボットを提供する。ロボットは、搬送物を搬送し回動可能な第１アームおよび第２アームと、第１アームを支持すると共に、第１流体用通路と第１流体用通路に連通する少なくとも１つの第２流体用通路とを有する第１回動体と、内部空間を有し、第１回動体の一部が挿入される孔部を有する基端側アームと、第２アームを支持すると共に、一方端が第２流体用通路に連通し他方端が内部空間に連通する第３流体用通路を有し、孔部の内周面と第１回動体との間に少なくともその一部が配置された第２回動体と、内部空間に配置され第１流体用通路の上流端側に接続されると共に、第１流体用通路に流体を供給する供給装置と、第１回動体を回動させる第１モータと、第２回動体を回動させる第２モータとを備える。

Description

ロボット
　本発明は、搬送物を搬送するロボットに関する。
　従来から半導体ウエハ等の搬送物を真空中等で搬送するロボットが知られている。例えば特許文献１には、真空中で搬送物を搬送するロボットに関し、アームの関節部の内部空間に空冷式又は水冷式の冷却機構（冷却用パイプ）を配置することが開示されている。また、特許文献２には、真空中で搬送物を搬送するロボットに関し、中空のアーム内に引き回されたエア配管の先端を関節部に配置することが開示されている。
　また、特許文献３には、搬送物を高温環境下で搬送するロボットに関し、中空のアーム内に媒体圧送管および媒体排出管を配置することが開示されている。この媒体圧送管の一端はコンプレッサに接続され、その他端はハンドの関節部内に配置されている。また、媒体排出管の一端はアームの関節部内に配置され、その他端は外部に配置されている。
特開２０１４－１４４５２７号公報 国際公開第２０１５／０３７７０１号 特開２００７－０９１４３３号公報
　しかしながら、特許文献１および２のロボットでは、アーム内に冷却用の配管を配置する構成であるため、アーム内の構造が複雑化する。また、アームが例えば２つある場合には、各アームに対応して冷却用の配管が必要となりコストがかかる。また、特許文献３のロボットはアームではなくハンドを冷却するものであると共に、本文献のロボットにおいてもアーム内において２本の配管の引き回しが必要となり、アーム内の構造が複雑化する。
　そこで、本発明は、複数のアームを簡易な構成で冷却することができるロボットを提供することを目的とする。
　本発明のロボットは、回動可能に構成され、搬送物を搬送する第１アームと、回動可能に構成され、搬送物を搬送する第２アームと、前記第１アームを支持して回動可能に構成されると共に、第１流体用通路と前記第１流体用通路に連通する少なくとも１つの第２流体用通路とを有する第１回動体と、内部空間を有し、前記第１回動体の一部が挿入されて配置される孔部を有する基端側アームと、前記第２アームを支持して回動可能に構成されると共に、一方端が前記第２流体用通路に連通し他方端が前記内部空間に連通する第３流体用通路を有し、前記孔部の内周面と前記第１回動体との間に少なくともその一部が配置された筒状の第２回動体と、前記内部空間に配置され前記第１流体用通路の上流端側に接続されると共に、前記第１流体用通路に流体を供給する供給装置と、前記第１回動体を直接又は間接的に回動させる第１モータと、前記第２回動体を直接又は間接的に回動させる第２モータと、を備えたものである。
　本発明に従えば、供給装置によって、第１アームを支持する第１回動体の第１流体用通路に流体が供給されるので、第１回動体が流体で冷却され、第１アームから第１回動体への熱伝導によって第１アームを冷却することができる。また、第１流体用通路に連通する、第１回動体の第２流体用通路の一方端が、第２回動体に設けられた第３流体用通路に連通している。このことによって、第１流体用通路の流体が第２流体用通路を介して第３流体用通路に流れ込むので、この流体により第２回動体が冷却される。これにより、第２アームから第２回動体への熱伝導によって第２アームを冷却することができる。また、第３流体用通路に供給された流体を基端側アームの内部空間に排出することができる。これにより、流体の流路を形成することができ、流体の溜まりが生じることを抑制することができるので、流体の冷却性が損なわれることを防ぐことが可能となる。さらに、第１流体用通路に流体を供給するだけで第１アームおよび第２アームの双方を冷却することができる構成となっている。以上により、配管を設けることなく、複数のアームを簡易な構成で冷却することができる。
　上記発明において、前記第１アームは、前記第２アームの上方に配置され、前記第１回動体は、前記第２アームに設けられた孔部に挿通された状態で前記第１アームを支持しており、前記第２回動体の上部は、前記第１回動体の上部よりも低い位置に配置されていることが好ましい。
　上記構成に従えば、第１アームおよび第２アームを上下に配置した構成において、当該第１アームを第１回動体により回動させることができると共に、第２アームを第２回動体により回動させることができる。
　上記発明において、前記第１アームおよび前記第２アームは真空中に配置され、前記内部空間は大気圧となっていてもよい。
　上記構成に従えば、真空環境は対流による放熱がなく熱がたまり易いが、上述の構成によって第１アームおよび第２アームを良好に冷却することができる。
　上記発明において、前記搬送物の温度が１００℃以上であってもよい。
　上記構成に従えば、搬送物の温度が１００℃以上であっても、第１アームおよび第２アームを良好に冷却することができる。
　本発明のロボットは、搬送物を搬送する第１ハンドと、搬送物を搬送する第２ハンドと、前記第１ハンドが直接もしくは間接的に取り付けられる第１アームと、前記第２ハンドが直接もしくは間接的に取り付けられる第２アームと、内部空間、および前記内部空間と外部空間とを連通する孔部を有する基端側アームと、前記第１アーム又は前記第１ハンドを回動可能に支持すると共に、第１流体用通路および前記第１流体用通路に連通する第２流体用通路を有する第１回動体と、前記第２アーム又は前記第２ハンドを回動可能に支持すると共に、前記第２流体用通路に連通する第３流体用通路を有する第２回動体と、前記内部空間に配置され、前記第１流体用通路および前記第３流体用通路の何れか一方に直接又は間接的に接続されて流体を供給する供給装置と、を備え、前記第１回動体の少なくとも一部が前記孔部に挿入されて配置され、前記第２回動体の少なくとも一部が前記孔部の内周面と前記第１回動体との間に配置されるものである。
　本発明に従えば、供給装置によって第１回動体の第１流体用通路に流体が供給されるので、第１回動体が流体で冷却され、第１ハンドや第１アームから第１回動体への熱伝導によって第１アームを冷却することができる。また、第１流体用通路に連通する第２流体用通路が、第２回動体に設けられた第３流体用通路に連通している。このことによって、第１流体用通路の流体が第２流体用通路を介して第３流体用通路に流れ込むので、この流体により第２回動体が冷却される。これにより、第２ハンドや第２アームから第２回動体への熱伝導によって第２アームを冷却することができる。また、第３流体用通路に供給された流体を基端側アームの内部空間に排出することができる。これにより、流体の流路を形成することができ、流体の溜まりが生じることを抑制することができるので、流体の冷却性が損なわれることを防ぐことが可能となる。さらに、第１流体用通路に流体を供給するだけで第１アームおよび第２アームの双方を冷却することができる構成となっている。以上により、配管を設けることなく、複数のアームを簡易な構成で冷却することができる。
　本発明によれば、複数のアームを簡易な構成で冷却することができるロボットを提供することが可能となる。
本発明の一実施形態に係るロボットを示す斜視図である。 図１のロボットの一部を示す平面図である。 図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線断面図である。
　以下、本発明の一実施形態に係るロボットについて図面を参照して説明する。以下に説明するロボットは、本発明の一実施形態に過ぎない。従って、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除および変更が可能である。
　図１および図２に示すように、本実施形態に係るロボット１００は、ベース側アーム９０に回動可能に設けられた基端側アーム３０と、この基端側アーム３０に回動可能に設けられた第１アーム（上アーム）１０と、基端側アーム３０に回動可能に設けられ、第１アーム１０の下方に配置された第２アーム（下アーム）４０と、を備えている。第１アーム１０および第２アーム４０の先端側には、搬送物Ｗが載置されるハンドＨが取り付けられている。第１アーム１０のハンドＨが第１ハンドに相当し、第２アーム４０のハンドＨが第２ハンドに相当する。なお、ベース側アーム９０はベース９１上に設けられている。
　ハンドＨにより搬送される搬送物Ｗは例えば半導体ウエハである。また、搬送物Ｗの温度は、大気よりも高温であって、例えば８００℃である。ハンドＨによる搬送物Ｗの搬送は真空中で行われる。各ハンドＨ、第１アーム１０、第２アーム４０、基端側アーム３０、およびベース側アーム９０は真空中に配置されている。
　続いて、本実施形態のロボット１００の詳細な構成について、図３を参照しながら説明する。
　図３に示すように、ロボット１００は、第１アーム１０を支持する有底筒状の第１回動体１１と、第２アーム４０を支持する第２回動体４１と、大気圧となっている内部空間３０ａを有すると共に、第１回動体１１の一部が挿入される孔部３４を有する上述した基端側アーム３０と、内部空間３０ａに配置されて流体（以下、冷却用流体と記）を供給する供給装置６４と、を備えている。供給装置６４は例えばエアポンプやコンプレッサーであり、当該供給装置６４にはホースやパイプ、各種フィッティングが含まれる。なお、本実施形態において、冷却用流体として空気を採用することができる。
　第１アーム１０は、その基端側の下部がボルト１３および小ネジ１４により、第２アーム４０の孔部４０ａに挿通された第１回動体１１の上部（底部）に固定されていることで第１回動体１１に支持されている。また、第２アーム４０は、その基端部がボルト４３およびピン４４により第２回動体４１の上部に固定されていることで第２回動体４１に支持されている。
　第１回動体１１の開口側の周縁にはフランジ部１５が設けられている。このフランジ部１５にはボルト１６によりギア１７が固定されている。このギア１７には、駆動ギアを含む第１ギアトレイン６１が連結されている。第１ギアトレイン６１の駆動ギアは第１モータ６０により回転駆動される。このような構成により、第１モータ６０が作動すると、第１ギアトレイン６１を介してギア１７が回転する。これにより、第１回動体１１がその軸線回りに回動するので、これに伴って、第１アーム１０も回動するようになっている。
　第１回動体１１は、その軸方向に延びる第１流体用通路１２と、第１流体用通路１２に連通する少なくとも１つの第２流体用通路２２とを有している。第２流体用通路２２は、第１回動体１１の周壁に貫通して形成されている。この第２流体用通路２２の下流端は、第１回動体１１と第２回動体４１との間に設けられた空間４８を介して、第２回動体４１、基端側アーム３０の肉厚部および後述の外側輪部３１の各内部に亘って形成された第３流体用通路５０に連通している。第３流体用通路５０の下流端は内部空間３０ａに連通している。なお、図３では、第２流体用通路２２および第３流体用通路５０が破線で示されるが、図２において異なる角度の線分で切断した断面では、第２流体用通路２２および第３流体用通路５０が実線で表される。
　次に、第２回動体４１について説明する。第２回動体４１は、基端側アーム３０の孔部３４の内周面と第１回動体１１との間に配置されている。
　第２回動体４１は、第２アーム４０の基端部が固定される筒状の上側部４２と、この上側部４２の下部にボルト４６により固定される環状の中輪部４５と、上述したギア１７よりも上方の位置で中輪部４５の下部にボルト４６により固定されるギア４９と、を有している。中輪部４５は、その外周部および内周部にＶ溝を有している。ギア４９には、駆動ギアを含む第２ギアトレイン６３が連結されている。第２ギアトレイン６３の駆動ギアは第２モータ６２により回転駆動されるようになっている。
　ここで、基端側アーム３０の内周面には、環状の外側輪部３１が固定されている。外側輪部３１は、その内周部の、中輪部４５の外周部のＶ溝に対向する位置にＶ溝を有している。また、第１回動体１１の上述したフランジ部１５上には、環状の内側輪部３２が設けられている。内側輪部３２は、その外周部の、中輪部４５の内周部のＶ溝に対向する位置にＶ溝を有している。外側輪部３１のＶ溝と中輪部４５の外周部のＶ溝との間にローラ（ころ）が設けられており、中輪部４５の内周部のＶ溝と内側輪部３２のＶ溝との間にローラ（ころ）が設けられている。これにより、第１回動体１１のクロスローラ軸受けと、第２回動体４１のクロスローラ軸受けとの双方が実現された構成となっている。このような構成において、第２モータ６２が作動すると、第２ギアトレイン６３を介してギア４９が回転する。これにより、第２回動体４１が、第１回動体１１に対し独立して第１回動体１１と同じ軸線回りに回動し、これに伴って、第２アーム４０も回動するようになっている。
　第１回動体１１と第２回動体４１の上側部４２との間には、環状のシール部材４７が設けられている。詳しくは、第２回動体４１の上側部４２には環状の溝が設けられており、この溝にシール部材４７が嵌まり込んだ状態で設けられている。また、第２回動体４１の上側部４２と基端側アーム３０の上部内周面との間には、環状のシール部材３５が設けられている。詳しくは、基端側アーム３０の上部内周面には環状の溝が設けられており、この溝にシール部材３５が嵌まり込んだ状態で設けられている。
　第１回動体１１の開口端には、その開口を塞ぐようにプレート１８がボルト１９により固定されている。プレート１８の中央には、第１流体用通路１２に連通し、この第１流体用通路１２よりも小径な供給通路２１が設けられている。上記の供給装置６４の供給口は供給通路２１に接続されている。このような構成において、供給装置６４から吐出された冷却用流体は、供給通路２１を介して第１回動体１１の第１流体用通路１２に供給されるようになっている。これにより、冷却用流体で第１回動体１１が冷却され、第１アーム１０から第１回動体１１への熱伝導によって第１アーム１０を冷却することができる。
　また、第１回動体１１の第１流体用通路１２に連通する第２流体用通路２２の下流端が、内部空間３０ａに通ずる第３流体用通路５０の上流端に連通している。このことによって、第１流体用通路１２に供給された冷却用流体が第２流体用通路２２を介して第３流体用通路５０に流れ込むので、この冷却用流体により第２回動体４１が冷却される。これにより、第２アーム４０から第２回動体４１への熱伝導によって第２アーム４０を冷却することができる。
　以上説明したように、本実施形態のロボット１００によれば、供給装置６４によって、第１アーム１０を支持する第１回動体１１の第１流体用通路１２に冷却用流体が供給されるので、第１回動体１１が冷却用流体で冷却され、第１アーム１０から第１回動体１１への熱伝導によって第１アーム１０を冷却することができる。また、第１流体用通路１２に連通する、第１回動体１１の第２流体用通路２２の下流端が、第２回動体４１に設けられた第３流体用通路５０に連通している。このことによって、第１流体用通路１２の冷却用流体が第２流体用通路２２を介して第３流体用通路５０に流れ込むので、この冷却用流体により第２回動体４１が冷却される。これにより、第２アーム４０から第２回動体４１への熱伝導によって第２アーム４０を冷却することができる。また、第３流体用通路５０に供給された冷却用流体を基端側アーム３０の内部空間３０ａに排出することができる。これにより、冷却用流体の流路を形成することができ、冷却用流体の溜まりが生じることを抑制することができるので、冷却用流体の冷却性が損なわれることを防ぐことが可能となる。さらに、第１流体用通路１２に冷却用流体を供給するだけで第１アーム１０および第２アーム４０の双方を冷却することができる構成となっている。以上により、配管を設けることなく、複数のアームを簡易な構成で冷却することができる。
　なお、第１回動体１１と第２回動体４１との間における空間４８に流れ込んだ冷却用流体は、内側輪部３２と中輪部４５との間を通過した後、内部空間３０ａに排出される場合もある。同様に、上記の空間４８に流れ込んだ冷却用流体は、中輪部４５と外側輪部３１との間を通過した後、内部空間３０ａに排出される場合もある。これによっても、冷却用流体の流路が形成され、冷却用流体の溜まりが生じることがより抑制される。
　また、本実施形態のように、真空環境においては対流による放熱がなく熱がたまり易いが、上述の構成によって第１アーム１０および第２アーム４０を良好に冷却することができる。
　（変形例）
　上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施形態が明らかである。したがって、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造及び／又は機能の詳細を実質的に変更できる。
　上記実施形態では、第１回動体１１に第１アーム１０が支持され、第２回動体４１に第２アーム４０が支持されるように構成したが、これに限定されるものではなく、第１回動体１１および第２回動体４１にそれぞれハンドＨが回動可能に支持されてもよい。
　また、供給装置６４を第３流体用通路５０に接続し、流体を第３流体用通路５０、第２流体用通路２２、第１流体用通路１２の順に送ってもよい。
　また、第１流体用通路１２および第３流体用通路５０の何れか一方に直接又は間接的に供給装置６４が接続され、第１流体用通路１２および第３流体用通路５０の何れか他方が基端側アーム３０の内部空間３０ａに連通していてもよい。
　また、上記実施形態では、第１アーム１０および第２アーム４０を真空中に配置することとしたが、これに限定されるものではなく、第１アーム１０および第２アーム４０を例えば大気中に配置して高温の搬送物Ｗを搬送する場合にも本発明を同様に適用することができる。
　また、上記実施形態では、冷却用流体として空気を用いるようにしたが、これに限らず、例えば窒素ガスやアルゴン等の他の冷却用流体を採用してもよい。
　また、上記実施形態では、第１回動体１１を有底筒状に形成したが、これに限らず、底部を有しない筒状に形成してもよい。
　さらに、上記実施形態では、搬送する搬送物Ｗの温度を８００℃としたが、搬送物Ｗの温度は大気よりも高温であればよい。
　１０　第１アーム
　１１　第１回動体
　１２　第１流体用通路
　２２　第２流体用通路
　３０　基端側アーム
　３０ａ　内部空間
　３４　孔部
　４０　第２アーム
　４０ａ　孔部
　４１　第２回動体
　５０　第３流体用通路
　６０　第１モータ
　６２　第２モータ
　６４　供給装置
　１００　ロボット
　Ｈ　ハンド
　Ｗ　搬送物

Claims (5)

  1. 　回動可能に構成され、搬送物を搬送する第１アームと、
    　回動可能に構成され、搬送物を搬送する第２アームと、
    　前記第１アームを支持して回動可能に構成されると共に、第１流体用通路と前記第１流体用通路に連通する少なくとも１つの第２流体用通路とを有する第１回動体と、
    　内部空間を有し、前記第１回動体の一部が挿入されて配置される孔部を有する基端側アームと、
    　前記第２アームを支持して回動可能に構成されると共に、一方端が前記第２流体用通路に連通し他方端が前記内部空間に連通する第３流体用通路を有し、前記孔部の内周面と前記第１回動体との間に少なくともその一部が配置された筒状の第２回動体と、
    　前記内部空間に配置され前記第１流体用通路の上流端側に接続されると共に、前記第１流体用通路に流体を供給する供給装置と、
    　前記第１回動体を直接又は間接的に回動させる第１モータと、
    　前記第２回動体を直接又は間接的に回動させる第２モータと、を備えた、ロボット。
  2. 　前記第１アームは、前記第２アームの上方に配置され、
    　前記第１回動体は、前記第２アームに設けられた孔部に挿通された状態で前記第１アームを支持しており、
    　前記第２回動体の上部は、前記第１回動体の上部よりも低い位置に配置されている、請求項１に記載のロボット。
  3. 　前記第１アームおよび前記第２アームは真空中に配置され、前記内部空間は大気圧となっている、請求項１又は２に記載のロボット。
  4. 　前記搬送物の温度が１００℃以上である、請求項１乃至３の何れか１項に記載のロボット。
  5. 　搬送物を搬送する第１ハンドと、
    　搬送物を搬送する第２ハンドと、
    　前記第１ハンドが直接もしくは間接的に取り付けられる第１アームと、
    　前記第２ハンドが直接もしくは間接的に取り付けられる第２アームと、
    　内部空間、および前記内部空間と外部空間とを連通する孔部を有する基端側アームと、
    　前記第１アーム又は前記第１ハンドを回動可能に支持すると共に、第１流体用通路および前記第１流体用通路に連通する第２流体用通路を有する第１回動体と、
    　前記第２アーム又は前記第２ハンドを回動可能に支持すると共に、前記第２流体用通路に連通する第３流体用通路を有する第２回動体と、
    　前記内部空間に配置され、前記第１流体用通路および前記第３流体用通路の何れか一方に直接又は間接的に接続されて流体を供給する供給装置と、を備え、
    　前記第１回動体の少なくとも一部が前記孔部に挿入されて配置され、
    　前記第２回動体の少なくとも一部が前記孔部の内周面と前記第１回動体との間に配置される、ロボット。
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