KR20210048529A - 로봇 - Google Patents

Abstract

복수의 암을 간단한 구성으로 냉각할 수 있는 로봇을 제공한다. 로봇은, 반송물을 반송하는 회동 가능한 제1 암 및 제2 암과, 제1 암을 지지하는 동시에, 제1 유체용 통로와 제1 유체용 통로에 연통하는 적어도 1 개의 제2 유체용 통로를 구비하는 제1 회동체와, 내부 공간을 구비하고, 제1 회동체의 일부가 삽입되어 배치되는 구멍부를 구비하는 기단 측 암과, 제2 암을 지지하는 동시에, 일방 단이 제2 유체용 통로에 연통되고 타방 단이 내부 공간에 연통하는 제3 유체용 통로를 구비하고, 구멍부의 내주면과 제1 회동체 사이에 적어도 그 일부가 배치되는 제2 회동체와, 내부 공간에 배치되어 제1 유체용 통로의 상류 측에 접속되는 동시에, 제1 유체용 통로에 유체를 공급하는 공급 장치와, 제1 회동체를 회전시키는 제1 모터와, 제2 회동체를 회전시키는 제2 모터를 구비한다.

Description

로봇

본 발명은 반송물을 반송하는 로봇에 관한 것이다.

종래에 반도체 웨이퍼 등의 반송물을 진공 중 등에서 반송하는 로봇이 알려져 있다. 예를 들어 특허문헌 1에는, 진공 중에서 반송물을 반송하는 로봇에 관해서, 암의 관절부의 내부 공간에 공냉식 또는 수냉식의 냉각 기구(냉각용 파이프)를 배치하는 것이 개시되어 있다. 또한, 특허문헌 2에는, 진공 중에서 반송물을 반송하는 로봇에 관해서, 중공의 암 내에 둘러 놓은 에어 배관의 선단을 관절부에 배치하는 것이 개시되어 있다.

또한, 특허문헌 3에는, 반송물을 고온 환경 하에서 반송하는 로봇에 관해서, 중공의 암 내에 매체 압송관 및 매체 배출관을 배치하는 것이 개시되어 있다. 이러한 매체 압송관의 일단은 컴프레셔에 접속되고, 그 타단은 핸드의 관절부 내에 배치되어 있다. 또한, 매체 배출관의 일단은 암의 관절부 내에 배치되고, 그 타단은 외부에 배치되어 있다.

일본 특허공개 특개2014-144527호 공보 국제공개 제2015/037701호 일본 특허공개 특개2007-091433호 공보

그러나, 특허문헌 1 및 2의 로봇에서는, 암 내에 냉각용의 배관을 배치하는 구성이기 때문에, 암 내의 구조가 복잡해진다. 또한, 암이 예를 들어 2 개 있는 경우에는, 각각의 암에 대응하여 냉각용의 배관이 필요하게 되어 코스트(cost)가 든다. 또한, 특허문헌 3의 로봇은 암이 아니라 핸드를 냉각하는 것인 동시에, 본 문헌의 로봇에서도 암 내에서 2 개의 배관을 둘러놓을 필요가 있어서, 암 내의 구조가 복잡해진다.

따라서, 본 발명은 복수의 암을 간단한 구성으로 냉각할 수 있는 로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 로봇은, 회동 가능하게 구성되고, 반송물을 반송하는 제1 암과, 회동 가능하게 구성되고, 반송물을 반송하는 제2 암과, 상기 제1 암을 지지하여 회동 가능하게 구성되는 동시에, 제1 유체용 통로와 상기 제1 유체용 통로에 연통하는 적어도 1 개의 제2 유체용 통로를 구비하는 제1 회동체와, 내부 공간을 구비하고, 상기 제1 회동체의 일부가 삽입되어 배치되는 구멍부를 구비하는 기단 측 암과, 상기 제2 암을 지지하여 회동 가능하게 구성되는 동시에, 일방 단이 상기 제2 유체용 통로에 연통되고 타방 단이 상기 내부 공간에 연통하는 제3 유체용 통로를 구비하고, 상기 구멍부의 내주면과 상기 제1 회동체 사이에 적어도 그 일부가 배치되는 통 형상의 제2 회동체와, 상기 내부 공간에 배치되어 상기 제1 유체용 통로의 상류 측에 접속되는 동시에, 상기 제1 유체용 통로에 유체를 공급하는 공급 장치와, 상기 제1 회동체를 직접 또는 간접적으로 회전시키는 제1 모터와, 제2 회동체를 직접 또는 간접적으로 회전시키는 제2 모터를 구비하는 것이다.

본 발명에 따르면, 공급 장치에 의해서, 제1 암을 지지하는 제1 회동체의 제1 유체용 통로에 유체가 공급되기 때문에, 제1 회동체가 유체로 냉각되고, 제1 암으로부터 제1 회동체로의 열전도에 의해 제1 암을 냉각할 수 있다. 또한, 제1 유체용 통로에 연통하는 제1 회동체의 제2 유체용 통로의 일방 단이, 제2 회동체에 설치된 제3 유체용 통로에 연통되어 있다. 이를 통해서, 제1 유체용 통로의 유체가 제2 유체용 통로를 통해 제3 유체용 통로에 유입되기 때문에, 이 유체에 의해 제2 회동체가 냉각된다. 이에 따라서, 제2 암으로부터 제2 회동체로의 열전도에 의해 제2 암을 냉각할 수 있다. 또한, 제3 유체용 통로에 공급된 유체를 기단 측 암의 내부 공간으로 배출할 수 있다. 이에 따라서, 유체의 유로를 형성할 수 있고, 유체의 고임이 생기는 것을 억제할 수 있기 때문에, 유체의 냉각성이 훼손되는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. 나아가, 제1 유체용 통로에 유체를 공급하는 것만으로 제1 암 및 제2 암의 쌍방을 냉각할 수 있는 구성으로 되어 있다. 이상에 의해서, 배관을 설치하지 않고, 복수의 암을 간단한 구성으로 냉각할 수 있다.

상기 발명에서, 상기 제1 암은 상기 제2 암의 상방에 배치되고, 상기 제1 회동체는 상기 제2 암에 설치된 구멍부에 삽통(揷通)된 상태에서 상기 제1 암을 지지하고 있으며, 제2 회동체의 상부는 상기 제1 회동체의 상단보다 낮은 위치에 배치되는 것이 바람직하다.

상기 구성에 따르면, 제1 암 및 제2 암을 상하로 배치한 구성에서, 상기 제1 암을 제1 회동체에 의해 회전시킬 수 있는 동시에, 제2 암을 제2 회동체에 의해 회동시킬 수 있다.

상기 발명에서, 상기 제1 암 및 제2 암은 진공 중에 배치되고, 상기 내부 공간은 대기압으로 되어 있어도 좋다.

상기 구성에 따르면, 진공 환경은 대류에 의한 방열이 없어 열이 쌓이기 쉽지만, 상술한 구성에 의해 제1 암 및 제2 암을 양호하게 냉각할 수 있다.

상기 발명에서, 상기 반송물의 온도가 100 ℃ 이상이라도 좋다.

상기 구성에 따르면, 반송물의 온도가 100 ℃ 이상이어도, 제1 암 및 제2 암을 양호하게 냉각할 수 있다.

본 발명의 로봇은, 반송물을 반송하는 제1 핸드와, 반송물을 반송하는 제2 핸드와, 상기 제1 핸드가 직접 또는 간접적으로 장착되는 제1 암과, 상기 제2 핸드가 직접 또는 간접적으로 장착되는 제2 암과, 내부 공간, 및 상기 내부 공간과 외부 공간을 연통하는 구멍부를 구비하는 기단 측 암과, 상기 제1 암 또는 상기 제1 핸드를 회동 가능하게 지지하는 동시에, 제1 유체용 통로 및 상기 제1 유체용 통로에 연통하는 제2 유체용 통로를 구비하는 제1 회동체와, 상기 제2 암 또는 상기 제2 핸드를 회동 가능하게 지지하는 동시에, 상기 제2 유체용 통로에 연통하는 제3 유체용 통로를 구비하는 제2 회동체와, 상기 내부 공간에 배치되고, 상기 제1 유체용 통로 및 상기 제3 유체용 통로 중 어느 일방에 직접 또는 간접적으로 접속되어 유체를 공급하는 공급 장치를 구비하고, 상기 제1 회동체의 적어도 일부가 상기 구멍부에 삽입되어 배치되고, 상기 제2 회동체의 적어도 일부가 상기 구멍부의 내주면과 상기 제1 회동체 사이에 배치되는 것이다.

본 발명에 따르면, 공급 장치에 의해서, 제1 회동체의 제1 유체용 통로에 유체가 공급되기 때문에, 제1 회동체가 유체로 냉각되고, 제1 핸드나 제1 암으로부터 제1 회동체로의 열전도에 의해 제1 암을 냉각할 수 있다. 또한, 제1 유체용 통로에 연통하는 제2 유체용 통로가 제2 회동체에 설치된 제3 유체용 통로에 연통되어 있다. 이를 통해서, 제1 유체용 통로의 유체가 제2 유체용 통로를 통해 제3 유체용 통로에 유입되기 때문에, 이 유체에 의해 제2 회동체가 냉각된다. 이에 따라서, 제2 핸드나 제2 암으로부터 제2 회동체로의 열전도에 의해 제2 암을 냉각할 수 있다. 또한, 제3 유체용 통로에 공급된 유체를 기단 측 암의 내부 공간으로 배출할 수 있다. 이에 따라서, 유체의 유로를 형성할 수 있고, 유체의 고임이 생기는 것을 억제할 수 있기 때문에, 유체의 냉각성이 훼손되는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. 나아가, 제1 유체용 통로에 유체를 공급하는 것만으로 제1 암 및 제2 암의 쌍방을 냉각할 수 있는 구성으로 되어 있다. 이상에 의해서, 배관을 설치하지 않고, 복수의 암을 간단한 구성으로 냉각할 수 있다.

본 발명에 따르면, 복수의 암을 간단한 구성으로 냉각할 수 있는 로봇을 제공하는 것이 가능하게 된다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 로봇을 도시하는 사시도이다.
도 2는 도 1의 로봇의 일부를 도시하는 평면도이다.
도 3은 도 2의 III-III 선 단면도이다.

이하에서, 본 발명의 일 실시예에 따른 로봇에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 이하에 설명하는 로봇은 본 발명의 일 실시예에 불과하다. 따라서, 본 발명은 이하의 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서 추가, 삭제 및 변경이 가능하다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 로봇(100)은 베이스 측 암(90)에 회동 가능하게 설치되는 기단 측 암(30)과, 이러한 기단 측 암(30)에 회동 가능하게 설치되는 제1 암(상부 암)(10)과, 기단 측 암(30)에 회동 가능하게 설치되고, 제1 암(10)의 하방에 배치되는 제2 암(하부 암)(40)을 구비하고 있다. 제1 암(10) 및 제2 암(40)의 선단 측에는, 반송물(W)이 재치(載置)되는 핸드(H)가 장착되어 있다. 제1 암(10)의 핸드(H)가 제1 핸드에 해당하고, 제2 암(40)의 핸드(H)가 제2 핸드에 해당한다. 여기서, 베이스 측 암(90)은 베이스(91) 상에 설치되어 있다.

핸드(H)에 의해 반송되는 반송물(W)은 예를 들어 반도체 웨이퍼이다. 또한, 반송물(W)의 온도는 대기보다 고온이고, 예를 들어 800 ℃이다. 핸드(H)에 의한 반송물(W)의 반송은 진공 중에서 이루어진다. 각각의 핸드(H), 제1 암(10), 제2 암(40), 기단 측 암(30) 및 베이스 측 암(90)은 진공 중에 배치되어 있다.

이어서, 본 실시예의 로봇(100)의 상세한 구성에 대하여 도 3을 참조하여 설명한다.

도 3에 도시된 바와 같이, 로봇(100)은 제1 암(10)을 지지하는 바닥이 있는 통 형상의 제1 회동체(11)와, 제2 암(40)을 지지하는 제2 회동체(41)와, 대기압으로 되어 있는 내부 공간(30a)을 구비하는 한편, 제1 회동체(11)의 일부가 삽입되는 구멍부(34)를 구비하는 상술한 기단 측 암(30)과, 내부 공간(30a)에 배치되어 유체(이하, 냉각용 유체라고 함)를 공급하는 공급 장치(64)를 구비하고 있다. 공급 장치(64)는 예를 들어 에어 펌프나 컴프레서이고, 당해 공급 장치(64)에는 호스나 파이프, 각종 피팅이 포함된다. 여기서, 본 실시예에서, 냉각용 유체로서 공기를 채용할 수 있다.

제1 암(10)은, 그 기단 측의 하부가 볼트(13) 및 작은 나사(14)에 의해, 제2 암(40)의 구멍부(40a)에 삽통된 제1 회동체(11)의 상부(저부)에 고정됨으로써 제1 회동체(11)에 지지되어 있다. 또한, 제2 암(40)은, 그 기단부가 볼트(43) 및 핀(44)에 의해 제2 회동체(41)의 상부에 고정됨으로써 제2 회동체(41)에 지지되어 있다.

제1 회동체(11)의 개구 측의 가장자리에는 플랜지부(15)가 설치되어 있다. 이러한 플랜지부(15)에는 볼트(16)에 의해 기어(17)가 고정되어 있다. 이러한 기어(17)에는, 구동 기어를 포함하는 제1 기어 트레인(61)이 연결되어 있다. 제1 기어 트레인(61)의 구동 기어는 제1 모터(60)에 의해 회전 구동된다. 이러한 구성에 의해서, 제1 모터(60)가 작동하면, 제1 기어 트레인(61)을 통해 기어(17)가 회전한다. 이에 따라서, 제1 회동체(11)가 그 축선 둘레로 회동하기 때문에, 이에 따라서, 제1 암(10)도 회동하도록 되어 있다.

제1 회동체(11)는 그 축 방향으로 연장되는 제1 유체용 통로(12)와, 제1 유체용 통로(12)에 연통하는 적어도 1 개의 제2 유체용 통로(22)를 구비하고 있다. 제2 유체용 통로(22)는 제1 회동체(11)의 둘레벽에 관통하여 형성되어 있다. 이러한 제2 유체용 통로(22)의 하류단은 제1 회동체(11)와 제2 회동체(41) 사이에 설치된 공간(48)를 통해서, 제2 회동체(41), 기단 측 암(30)의 후벽부(肉厚部) 및 후술하는 외측륜부(31)의 각각의 내부에 걸쳐 형성된 제3 유체용 통로(50)에 연통되어 있다. 제3 유체용 통로(50)의 하류단은 내부 공간(30a)에 연통되어 있다. 여기서, 도 3에서는 제2 유체용 통로(22) 및 제3 유체용 통로(50)가 점선으로 도시되지만, 도 2에서 다른 각도의 선분으로 절단한 단면에서는 제2 유체용 통로(22) 및 제3 유체용 통로(50)가 실선으로 도시된다.

다음으로, 제2 회동체(41)에 대해 설명한다. 제2 회동체(41)는 기단 측 암(30)의 구멍부(34)의 내주면과 제1 회동체(11) 사이에 배치되어 있다.

제2 회동체(41)는 제2 암(40)의 기단부가 고정되는 통 형상의 상측부(42)와, 이러한 상측부(42)의 하부에 볼트(46)에 의해 고정되는 고리 형상의 중륜부(45)와, 상술한 기어(17) 보다 상방의 위치에서 중륜부(45)의 하부에 볼트(46)에 의해 고정되는 기어(49)를 구비하고 있다. 중륜부(45)는, 그 외주부 및 내주부에 V 홈을 구비하고 있다. 기어(49)에는, 구동 기어를 포함하는 제2 기어 트레인(63)이 연결되어 있다. 제2 기어 트레인(63)의 구동 기어는 제2 모터(62)에 의해 회전 구동되도록 되어 있다.

여기서, 기단 측 암(30)의 내주면에는, 고리 형상의 외측륜부(31)가 고정되어 있다. 외측륜부(31)는, 그 내주부의, 중륜부(45)의 외주부의 V 홈에 마주하는 위치에 V 홈을 구비하고 있다. 또한, 제1 회동체(11)의 상술한 플랜지부(15) 상에는, 고리 형상의 내측륜부(32)가 설치되어 있다. 내측륜부(32)는, 그 외주부의, 중륜부(45)의 내주부의 V 홈에 마주하는 위치에 V 홈을 구비하고 있다. 외측륜부(31)의 V 홈과 중륜부(45)의 외주부의 V 홈 사이에 롤러(굴림대)가 설치되어 있고, 중륜부(45)의 내주부의 V 홈과 내측륜부(32)의 V 홈 사이에 롤러(굴림대)가 설치되어 있다. 이에 따라서, 제1 회동체(11)의 크로스 롤러 베어링과, 제2 회동체(41)의 크로스 롤러 베어링의 쌍방이 실현된 구성으로 되어 있다. 이러한 구성에서, 제2 모터(62)가 작동하면 제2 기어 트레인(63)을 통해 기어(49)가 회전한다. 이에 따라서, 제2 회동체(41)가 제1 회동체(11)에 대해 독립적으로 제1 회동체(11)와 동일한 축선 둘레로 회동하고, 이에 따라서, 제2 암(40)도 회동하게 되어 있다.

제1 회동체(11)와 제2 회동체(41)의 상측부(42) 사이에는, 고리 형상의 씰 부재(47)가 설치되어 있다. 자세하게는, 제2 회동체(41)의 상측부(42)에는 고리 형상의 홈이 형성되어 있고, 이러한 홈에 씰 부재(47)가 끼워진 상태로 설치되어 있다. 또한, 제2 회동체(41)의 상측부(42)와 기단 측 암(30)의 상부 내주면 사이에는, 고리 형상의 씰 부재(35)가 설치되어 있다. 자세하게는, 기단 측 암(30)의 상부 내주면에는 고리 형상의 홈이 형성되어 있고, 이러한 홈에 씰 부재(35)가 끼워진 상태로 설치되어 있다.

제1 회동체(11)의 개구단에는, 그 개구를 막도록 플레이트(18)가 볼트(19)에 의해 고정되어 있다. 플레이트(18)의 중앙에는, 제1 유체용 통로(12)에 연통하고, 제1 유체용 통로(12) 보다 소경인 공급 통로(21)가 설치되어 있다. 상기 공급 장치(64)의 공급구는 공급 통로(21)에 접속되어 있다. 이러한 구성에서, 공급 장치(64)로부터 토출된 냉각용 유체는 공급 통로(21)를 통해서 제1 회동체(11)의 제1 유체용 통로(12)에 공급되도록 되어 있다. 이에 따라서, 냉각용 유체로 제1 회동체(11)가 냉각되고, 제1 암(10)로부터 제1 회동체(11)로의 열전도에 의해 제1 암(10)을 냉각할 수 있다.

또한, 제1 회동체(11)의 제1 유체용 통로(12)에 연통하는 제2 유체용 통로(22)의 하류단이, 내부 공간(30a)으로 통하는 제3 유체용 통로(50)의 상류단에 연통되어 있다. 이를 통해서, 제1 유체용 통로(12)에 공급된 냉각용 유체가 제2 유체용 통로(22)를 통해서 제3 유체용 통로(50)에 유입되기 때문에, 이러한 냉각용 유체에 의해 제2 회동체(41)가 냉각된다. 이에 따라서, 제2 암(40)으로부터 제2 회동체(41)로의 열전도에 의해 제2 암(40)을 냉각할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시예의 로봇(100)에 따르면, 공급 장치(64)에 의해서, 제1 암(10)을 지지하는 제1 회동체(11)의 제1 유체용 통로(12)에 냉각용 유체가 공급되기 때문에, 제1 회동체(11)가 냉각용 유체로 냉각되고, 제1 암(10)로부터 제1 회동체(11)로의 열전도에 의해 제1 암(10)을 냉각할 수 있다. 또한, 제1 유체용 통로(12)에 연통하는, 제1 회동체(11)의 제2 유체용 통로(22)의 하류단이 제2 회동체(41)에 설치된 제3 유체용 통로(50)에 연통되어 있다. 이를 통해서, 제1 유체용 통로(12)의 냉각용 유체가 제2 유체용 통로(22)를 통해 제3 유체용 통로(50)에 유입되기 때문에, 이 냉각용 유체에 의해 제2 회동체(41)가 냉각된다. 이에 따라서, 제2 암(40)으로부터 제2 회동체(41)로의 열전도에 의해 제2 암(40)을 냉각할 수 있다. 또한, 제3 유체용 통로(50)에 공급된 냉각용 유체를 기단 측 암(30)의 내부 공간(30a)으로 배출할 수 있다. 이에 따라서, 냉각용 유체의 유로를 형성할 수 있어서, 냉각용 유체의 고임이 생기는 것을 억제할 수 있기 때문에, 냉각용 유체의 냉각성이 훼손되는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. 나아가, 제1 유체용 통로(12)에 냉각용 유체를 공급하는 것만으로 제1 암(10) 및 제2 암(40)의 쌍방을 냉각할 수 있는 구성으로 되어 있다. 이상에 따라서, 배관을 설치하지 않고, 복수의 암을 간단한 구성으로 냉각할 수 있다.

여기서, 제1 회동체(11)와 제2 회동체(41) 사이에서 공간(48)으로 유입된 냉각용 유체는 내측륜부(32)와 중륜부(45) 사이를 통과한 후, 내부 공간(30a)으로 배출되는 경우도 있다. 마찬가지로, 상기의 공간(48)으로 유입된 냉각용 유체는 중륜부(45)와 외측륜부(31) 사이를 통과한 후, 내부 공간(30a)으로 배출되는 경우도 있다. 이에 따라서도, 냉각용 유체의 유로가 형성되고, 냉각용 유체의 고임이 생기는 것이 더 억제된다.

또한, 본 실시예와 같이, 진공 환경에서는 대류에 의한 방열이 없어서 열이 쌓이기 쉽지만, 상술한 구성에 의해 제1 암(10) 및 제2 암(40)을 양호하게 냉각할 수 있다.

(변형예)

상기 설명으로부터, 당업자에게는, 본 발명의 많은 개량이나 다른 실시 형태가 분명할 것이다. 따라서, 상기 설명은 예시로서만 해석되어야 하며, 본 발명을 실행하는 최선의 형태를 당업자에게 교시할 목적으로 제공된 것이다. 본 발명의 사상을 벗어나지 않고 그 구조 및/또는 기능의 상세를 실질적으로 변경할 수 있다.

상기 실시예에서는, 제1 회동체(11)에 제1 암(10)이 지지되고, 제2 회동체(41)에 제2 암(40)이 지지되도록 구성하였지만, 이에 한정되는 것이 아니고, 제1 회동체(11) 및 제2 회동체(41)에 각각 핸드(H)가 회동 가능하게 지지되어도 좋다.

또한, 공급 장치(64)를 제3 유체용 통로(50)에 접속하고, 유체를 제3 유체용 통로(50), 제2 유체용 통로(22), 제1 유체용 통로(12)의 순으로 보내도 좋다.

또한, 제1 유체용 통로(12) 및 제3 유체용 통로(50) 중 어느 일방에 직접 또는 간접적으로 공급 장치(64)가 접속되고, 제1 유체용 통로(12) 및 제3 유체용 통로(50) 중 어느 타방이 기단 측 암(30)의 내부 공간(30a)에 연통하여도 좋다.

또한, 상기 실시예에서는, 제1 암(10) 및 제2 암(40)을 진공 중에 배치하고 있지만, 이에 한정되는 것이 아니고, 제1 암(10) 및 제2 암(40)을 예를 들어 대기 중에 배치하여 고온의 반송물(W)을 반송하는 경우에도 본 발명을 동일하게 적용할 수 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 냉각용 유체로서 공기를 이용하도록 하였지만, 이에 한정되지 않고, 예를 들어 질소 가스나 아르곤 등의 다른 냉각용 유체를 채용하여도 좋다.

또한, 상기 실시예에서는, 제1 회동체(11)를 바닥이 있는 통 형상으로 형성하였지만, 이에 한정되지 않고, 바닥이 없는 통 형상으로 형성하여도 좋다.

나아가, 상기 실시예에서는, 반송하는 반송물(W)의 온도를 800 ℃로 하였지만, 반송물(W)의 온도는 대기보다 고온이라면 좋다.

10: 제1 암
11: 제1 회동체
12: 제1 유체용 통로
22: 제2 유체용 통로
30: 기단 측 암
30a: 내부 공간
34: 구멍부
40: 제2 암
40a: 구멍부
41: 제2 회동체
50: 제3 유체용 통로
60: 제1 모터
62: 제2 모터
64: 공급 장치
100: 로봇
H: 핸드
W: 반송물

Claims (5)

1. 회동 가능하게 구성되고, 반송물을 반송하는 제1 암과,
   회동 가능하게 구성되고, 반송물을 반송하는 제2 암과,
   상기 제1 암을 지지하여 회동 가능하게 구성되는 동시에, 제1 유체용 통로와 상기 제1 유체용 통로에 연통하는 적어도 1 개의 제2 유체용 통로를 구비하는 제1 회동체와,
   내부 공간을 구비하고, 상기 제1 회동체의 일부가 삽입되어 배치되는 구멍부를 구비하는 기단 측 암과,
   상기 제2 암을 지지하여 회동 가능하게 구성되는 동시에, 일방 단이 상기 제2 유체용 통로에 연통되고 타방 단이 상기 내부 공간에 연통하는 제3 유체용 통로를 구비하고, 상기 구멍부의 내주면과 상기 제1 회동체 사이에 적어도 그 일부가 배치되는 통 형상의 제2 회동체와,
   상기 내부 공간에 배치되어 상기 제1 유체용 통로의 상류 측에 접속되는 동시에, 상기 제1 유체용 통로에 유체를 공급하는 공급 장치와,
   상기 제1 회동체를 직접 또는 간접적으로 회전시키는 제1 모터와,
   상기 제2 회동체를 직접 또는 간접적으로 회전시키는 제2 모터를 구비하는 것을 특징으로 하는 로봇.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1 암은 상기 제2 암의 상방에 배치되고,
   상기 제1 회동체는 상기 제2 암에 설치된 구멍부에 삽통된 상태에서 상기 제1 암을 지지하고 있으며,
   상기 제2 회동체의 상부는 상기 제1 회동체의 상단보다 낮은 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 로봇.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제1 암 및 상기 제2 암은 진공 중에 배치되고, 상기 내부 공간은 대기압으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 로봇.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 반송물의 온도가 100 ℃ 이상인 것을 특징으로 하는 로봇.
5. 반송물을 반송하는 제1 핸드와,
   반송물을 반송하는 제2 핸드와,
   상기 제1 핸드가 직접 또는 간접적으로 장착되는 제1 암과,
   상기 제2 핸드가 직접 또는 간접적으로 장착되는 제2 암과,
   내부 공간, 및 상기 내부 공간과 외부 공간을 연통하는 구멍부를 구비하는 기단 측 암과,
   상기 제1 암 또는 상기 제1 핸드를 회동 가능하게 지지하는 동시에, 제1 유체용 통로 및 상기 제1 유체용 통로에 연통하는 제2 유체용 통로를 구비하는 제1 회동체와,
   상기 제2 암 또는 상기 제2 핸드를 회동 가능하게 지지하는 동시에, 상기 제2 유체용 통로에 연통하는 제3 유체용 통로를 구비하는 제2 회동체와,
   상기 내부 공간에 배치되고, 상기 제1 유체용 통로 및 상기 제3 유체용 통로 중 어느 일방에 직접 또는 간접적으로 접속되어 유체를 공급하는 공급 장치를 구비하고,
   상기 제1 회동체의 적어도 일부가 상기 구멍부에 삽입되어 배치되고,
   상기 제2 회동체의 적어도 일부가 상기 구멍부의 내주면과 상기 제1 회동체 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 로봇.

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