JP2015190029A - 真空蒸着装置並びにルツボ搬入出機構及びルツボ搬入出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、蒸発源からルツボを搬入出する際の作業を容易に作業効率の向上させる真空蒸着装置並びにルツボ搬入出機構及びルツボ搬入出方法を提供する。【解決手段】本発明は、蒸着材料を収納するルツボと、ルツボの周囲に設けられたルツボを加熱する加熱手段と、加熱した外部に漏えいするのを防ぐ断熱手段と、ルツボの長手方向に設けられた複数のノズルと、複数のノズル側に開口部を備え、ルツボ、加熱手段及び断熱手段と内在するハウジングと、を備えた蒸発源を有し、蒸着源は、ルツボをズレないようにする拘束部と、ルツボを蒸発源に搬入する際に、ルツボが保持される被保持部とハウジングの所定の位置に呼び込むガイド部と、を有する。【選択図】 図３

Description

真空下において蒸着材料を加熱して蒸発させ、基板上に蒸着材料の薄膜を形成するための真空蒸着装置並びに蒸着材料を収納するルツボを蒸発源から搬入出するルツボ搬入出機構及びルツボ搬入出方法に関するものである。

有機ＥＬの共通電極層や有機発光層は、たとえば真空蒸着によって形成する。真空蒸着装置は、その内部を10^-3〜10^-6Ｐａの真空度を保ち、形成すべき層の蒸着材料が収納されたルツボ並びにルツボを加熱するヒータを含む蒸発源を配置している。加熱された蒸着材料が蒸発し、蒸発した蒸着材料を例えばノズルから噴出させ、ノズルに対応するように成膜対象であるガラス基板（以下基板）を配置し、ノズルから蒸発した蒸着材料の分子を基板に蒸着する。

蒸発源は材料補充など定期的なメンテナンスを行う。その際、真空蒸着装置内を大気雰囲気にし、ルツボを蒸発源から取り出し、作業を行う必要がある。

ルツボを取り扱う技術として特許文献１がある。特許文献１では、石英ガラスルツボを相対する２方向から狭持し、掛止する手段を設け、石英ガラスルツボをハンドリングする技術が開示されている。

特開２０１１−４２５０２号公報

しかしながら、有機ＥＬ共通電極層や有機発光層を形成する蒸発源では、ルツボの周囲には、ルツボを加熱するためのヒータ及び熱反射板であるリフレクタが配置されている。ルツボ搬入出作業は、このヒータ及びリフレクタが破損しないよう気をつけながらルツボを蒸発源から取り出し、またもとの位置に取付ける作業である。

さらに、昨今では、基板大型化による蒸発源の大型化および蒸着材料の大容量化の傾向がある一方、多元蒸着（２種類以上の蒸着材料による共蒸着）の必要性が求められており、蒸発源にはコンパクトな設計を要求されている。このため、ルツボとヒータ・リフレクタの隙間は狭くなっており、このような状態でヒータ及びリフレクタが破損しないよう気をつけながらルツボを蒸発源から取り出し、またもとの位置に取付けるルツボ搬入出作業は、より一層困難な作業になりつつある。

従って、本発明は、蒸発源からルツボを搬入出する際の作業を容易に作業効率の向上させる真空蒸着装置並びにルツボ搬入出機構及びルツボ搬入出方法を提供することにある。

本発明は、上記目的を達成するために、少なくとも以下の特徴を有する。
本発明は、蒸着材料を収納するルツボと、ルツボの周囲に設けられたルツボを加熱する加熱手段と、熱が外部に漏えいするのを防ぐ断熱手段と、ルツボの長手方向に設けられた複数のノズルと、複数のノズル側に開口部を備え、ルツボ、加熱手段及び断熱手段と内在するハウジングと、を備えた蒸発源であって、蒸着源は、ルツボをズレないようにする拘束部と、ルツボを蒸発源に搬入する際に、ルツボが保持される被保持部とハウジングの所定の位置に呼び込むガイド部と、を有する。

また、本発明は、ハウジングの開口部の反対側内壁に設けられ、尖端部と尖端部の根元側に柱部を有するガイド拘束ピンと、ガイド拘束ピンに対応した位置に設けられ、柱部と係合可能なガイド拘束係合部と、を有し、ガイド部は、ガイド拘束係合部と尖端部で構成され、拘束部は、ガイド拘束係合部と柱部とで構成してもよい。

さらに、本発明は、上述の蒸発源のルツボを蒸発源に搬入するルツボ搬入出機構であって、ハウジングを覆い、下面にハウジングの所定の位置にセット可能とするセットガイド有する平板状の基板ベースと、ルツボの長手方向の両端側に一対設けられ、一端を基板ベースの垂直に固定されたリニアレールとリニアレール上を移動するリニアスライダを備えた昇降ベースガイド機構と、一対の昇降ベースガイド機構の他端を連結し固定する上部支持枠と、基板ベースと平行な面と、面上を摺動し被保持部と係合するルツボ保持部とを有し、一対のリニアスライダに固定され、ルツボを基板ベースと平行に昇降する昇降ベースと、昇降ベースを昇降させる昇降手段と、を有する。

また、本発明は、ルツボ搬入出機構によってルツボをリニア蒸発源に搬入出するルツボ搬入出方法であって、ハウジングにルツボ搬入出機構がセットされる前に、第１のリニア駆動手段によって昇降ベースを上部に移動させ、ハウジングにルツボ搬入出機構がセットされた後に、第２にリニア駆動手段でルツボ保持部と被保持部と係合させ、第１のリニア駆動手段で昇降ベースを上昇または下降させ、その後、第２のリニア駆動手段でルツボ保持部と被保持部と係合を解除させる。

本発明によれば、蒸発源からルツボを搬入出する際の作業を容易に作業効率の向上させる真空蒸着装置並びにルツボ搬入出機構及びルツボ搬入出方法を提供できる。

本発明の第１の実施形態を示し、蒸発源からルツボを搬入出する際の作業を容易にする搬入出手段を有する蒸発源とそれを用いた真空蒸着装置とを示す図である。 実施形態１における蒸発源の内部基本構造の詳細を示し、蒸発源の長手方向の側面図である。 実施形態１における蒸発源の内部基本構造の詳細を示し、蒸発源の短手方向の断面図である。 本発明の第２の実施形態を示し、ルツボ搬入出機構の第１の実施例の蒸発源の長手方向における断面図である。 本発明の第３の実施形態であるルツボ搬入出方法の実施例であり、ルツボを蒸発源に搬入する搬入フローを示す図である。 本発明の第３の実施形態であるルツボ搬入出方法の実施例であり、ルツボを蒸発源から搬出する搬出フローを示す図である。 本発明の第４の実施形態を示し、ルツボ搬入出機構の第２の実施例の蒸発源の長手方向における断面図である。

以下、本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。
（第１の実施形態）
図１は第１の実施形態を示し、蒸発源からルツボを搬入出する際の作業を容易にする搬入出手段を有する蒸発源４とそれを用いた真空蒸着装置１と示す図である。

真空蒸着装置１は、真空チャンバ２の内部を真空排気するための真空ポンプ３がバルブ７を介して接続されており、10^-3〜10^-5Paオーダの真空度が維持される。真空チャンバ２は密閉容器で、その内部にはノズル３４を直線上に複数有し、一方向に長いリニア蒸発源４と蒸着対象の基板５が配置され、蒸発源４から放出された蒸着材料２１(図２参照)の帯状の蒸気をガラス基板５に吹き付ける。蒸発源４は、蒸着材料２１を蒸発させノズル３４から基板５に吹き付けながら、ルツボ２２の長手方向と直角方向（紙面に対して手前奥側）の少なくとも一方に移動し成膜を行う。成膜速度の検出には水晶振動子に蒸着材料を付着させて検出するレートセンサ２６を用いる。基板５は、図示しない搬送ロボットによってゲートバルブ６を介して真空チャンバ内に搬入出される。

図２、図３は本実施形態１における蒸発源４の内部基本構造の詳細を示す図である。図２は、蒸発源４(ルツボ)の長手方向の側面図である。図３は蒸発源４の短手方向の断面図である。以下、図1乃至図３を用いて本実施形態１における蒸発源４を説明する。

蒸発源４は、冷却機能を有するハウジング２７の内部に、蒸着材料２１が封入し蒸気の噴出孔であるノズル３４を有するルツボ２２が収納されている。蒸発源４の内部にはルツボ２２を加熱するためのヒータ２３が設けられ、ヒータ２３に通電することでルツボ２２及び蒸着材料２１を加熱し、蒸着材料２１を蒸発させる。また、加熱効率の向上を図るため、蒸発源４の内部にルツボ２２及びヒータ２３を取り囲むように断熱手段２４を設けることが望ましい。冷却機能は他に設けてよい。以下、冷却機能を有するハウジングを単にハウジング２７という。

断熱手段２４は、図２、図３に示すようにルツボ２２の底部外側に設けた底部断熱手段２４ｂと、ルツボ２２の短手方向外側両側に設けた短手側部断熱手段２４ｙと、ルツボ２２の長手方向側両側外側に設けた長手側部断熱手段２４ｓと、を有する。

断熱手段２４は、熱伝導性の低いいわゆる断熱材を用いたものでもよいし、図３に示すように複数の平行平板を非接触で複数枚配置したリフレクタ２４ｒとしてもよい。リフレクタ２４ｒの断熱効率を高くするには、構成する平板の表面を鏡面に研磨すること、金・銀・アルミニウム、銅等の輻射率の低い金属の表面を持つことが望ましい。ステンレス鋼等で平板を作っても構わない。

ルツボ２２は、蒸着材料２１の充填など定期メンテナンスをする必要がある。そのときは、ルツボ上面にある図示しない部材を取外し、ルツボ２２を取り出し作業を行う。対象基板の大型化による蒸発源４の大型化、蒸着材料２１の大容量化と、コンパクトな設計の要求によって、ルツボ２２と周囲のヒータ及びリフレクタの隙間は狭くなっており、ぶつけて破損などしないようにする機構が必要である。

そのためには、蒸発源４には、ルツボ２２の蒸発源４ヘの搬入出の際に、ルツボ２２を所定に呼び込むガイド部４１、ルツボ２２が蒸発源４内でズレないための拘束部４２と、を有する。また、ルツボ２２は、外部から搬入出するために後述するルツボ搬入出機構の吊部と係合し、ルツボ２２を保持する被保持部４３を有する。

本実施形態１では、図１に示すようにガイド部４１、及び拘束部４２として、ルツボ２２の底部に設けられた複数のガイド拘束係合部であるガイド拘束孔２２ｈと、ガイド拘束孔２２ｈに対応して設けられハウジング２７の開口部の反対側内壁、本例では内壁底部に設けられたガイド拘束ピン２７ｐとを有する。ガイド部４１は、ガイド拘束孔２２ｈと、ルツボ２２が搬入されるときに、ガイド拘束孔２２ｈをガイドするガイド拘束ピン２７ｐの尖端部２７ｇとで構成される。拘束部４２は、ガイド拘束孔２２ｈと、尖端部２７ｇにガイドされルツボ２２が蒸発源４にセットされるときに、ガイド拘束孔２２ｈが噛み合うガイド拘束ピン２７の根元側円柱部２７ｒとで構成される。ガイド拘束ピン２７の形状は、円柱に限らず角柱であってもよい。

本実施形態１では、ガイド部４１と拘束部４２に、図1に示すように、ルツボ２２の長手方向両側に長手方向中央部と中央部両側の計３箇所ずつ設けられている。

ガイド部４１、拘束部４２を構成する部品、本例ではガイド拘束ピン２７ｐは、蒸着材料２１を加熱するルツボ２２と接触すると高温となる。この熱をハウジング２７に逃がさないために、ルツボ２２と接触するガイド拘束ピン２７ｐは、断熱材で構成するか表面を断熱部材でコーテングするなどの対策を行うことが望ましい。

また、ルツボ２２は高温に加熱され熱膨張するため、特に拘束部の部品についてはルツボ膨張時の逃げを設けるなど考慮することも必要となる。このことは、蒸発源４の長手方向に対して特に必要である。本例では、中央部に設けたガイド拘束孔２２ｈは、ガイド拘束ピン２７ｐの根元側円柱部２７ｒとルツボ２２とで、ルツボ２２の長手方向と短手方向の位置を共に拘束し、固定するように噛み合わせる。しかし、中央部両側に対称に設けたガイド拘束孔２２ｈは、ルツボ２２が長手方向に膨張してもガイド拘束ピン２７ｐが逃げられるように、ルツボ２２の中央部に向けて細長い楕円形状とし、膨張の少ない短手方向を拘束する。本例ではガイド拘束ピン２７ｐを３箇所設けたが、固定する役目を果たすピンとルツボの熱膨張を考慮したピン２本あればルツボを拘束することができる。またはそれ以上でもかまわない。

また、本例では、中央部以外の設けたガイド拘束孔２２ｈとガイド拘束ピン２７ｐは、ルツボ２２の長手方向ではなく、短手方向に設けてもよい。さらに、本例では、ガイド拘束孔２２ｈをルツボ２２の長手方向両側に設けたが、ルツボ２２の長手方向側面にガイド拘束係合部として溝を設けてもよい。

さらに、均一な蒸着を行うのに最も重要なのはルツボ温度の均一化であり、ルツボ２２に加工を行う箇所は、ルツボ２２の温度分布に影響を及ぼさない、または影響の少ない箇所に設けることが必要である。本例では、ガイド拘束孔２２ｈを可能限り短手方向に外側に、両側のガイド拘束孔２２ｈは、ルツボ２２の加熱の端部降下を避けるために端部より内側に設けている。

上記で説明したガイド部４１と拘束部４２は、ルツボ２２に設けたガイド拘束孔２２ｈと先端にテーパを有する尖端形状のガイド拘束ピン２７ｐを用いたが、ルツボ２２の外形をガイドする、または拘束するなど他の方法でもかまわない。

次に、被保持部４３を説明する。本実施形態１における被保持部４３は、ルツボ２２の上部の長手方向端部の短手方向の一部または全長に亘って設けられた、後述するルツボ搬入出機構のルツボ保持部５３と係合する形状を有する。また、被保持部４３には、ルツボ２２の短手方向の中心位置を示す図示しないマークが印されている。さらに、被保持部４３は、本例ではノズル３４が設けられているノズルプレート３５に軒のように突き出た形状に加工される。このときの被保持部４３の形状はルツボ２２の重量のバランスを考慮した形状とし、被保持部４３の位置はルツボ２２の温度分布に影響しない位置とすることが必要である。

また、ルツボ２２の材料としてはセラミックや高融点金属などが多く使われるが、セラミック材料は一般的に脆性が高く、また高融点金属の場合は高温状態で再結晶化が起こり、使っているうちに脆化するので被保持部４３の加工箇所は断面積の大きさに留意し、また応力集中の起こらない形状とすることも必要となる。

さらに、昇温効率の観点からヒータ２３及び断熱手段２４をルツボ２２になるべく接近させ、且つ接触させないことが重要であるので、ルツボ保持を目的とする被保持部４３の位置及び形状は、ルツボ２２の横または上など外側に突出することは望ましくない。
なお、被保持部４３の位置は、上記の他、ノズル３４とノズルの間などが考えられる。

以上説明した実施形態１によれば、ルツボ２２を搬入出させることができる蒸発源を提供できる。

実施形態１の真空蒸着装置１は、基板５を水平状態で蒸発源４上に保持し、紙面に対して手前奥側に蒸発源を移動させる方式を示している。しかし、蒸気の放出する方向と被蒸着対象の基板５の姿勢は変更しても構わない。また、加熱方式は抵抗加熱方式を示しているが、抵抗加熱方式、ランプ方式等、方式はいずれでもよい。

次に、ルツボ２２を蒸発源４に搬入出するルツボ搬入出機構及びルツボ搬入出方法を説明する。

（第２の実施形態）
図４は本発明の第２の実施形態２を示し、ルツボ搬入出機構５０の第１の実施例５０Ａの蒸発源４の長手方向における断面図である。ルツボ搬入出機構５０Ａは、一人の作業員が持ち運び可能なルツボ２２を対象とし、作業員がヒータ２３やリフレクタ２４ｒ等の断熱手段２４を傷つけることなく、手動でルツボ２２を蒸発源４から搬入出するのを補助する装置である。

ルツボ搬入出機構５０Ａは、長方形の基台ベース５６と、基台ベース５６の両側に設けられ、ルツボ２２を矢印Ａ方向に昇降させる円筒軸状のリニアレールであるリニアシャフト５０、円筒軸をスライドするリニアスライダであるリニアブッシュ５１と、からなる昇降ベースガイド機構５４ｇと、両側のリニアシャフト５０との上部を支持する上部支持枠５７と、を有する。基台ベース５６、リニアシャフト５０及び上部支持枠５７を矢印Ｃ方向から見た形状は、基台ベース５６を底辺とする逆Ｔの字状である。なお、昇降ベースガイド機構５４ｇとしては、リニアブッシュのほか、方形状のレール上移動するリニアガイド、またはスプラインシャフトを用いてもよい。

基台ベース５６の長手方向の下面両側には、ルツボ搬入出機構５０Ａをハウジング２７の内部側面に係合し、セットできるように位置決めするセットガイド５５が設けられている。また、基台ベース５６には、嵌め込む位置を確認できるように、セットガイド５５の両端等の係合部が見えるように窓５６ａが設けられている。両側のセットガイド５５間距離及びセットガイド５５の短手方向の長さは、ハウジング２７の内側の長手方向及び短手方向の距離に規定される。

セットガイド５５は、上記した形状の他、ハウジング２７の四隅内部または外部で規定できるＬ字状の形状であってもよい。但し、ハウジング２７の四隅内部に設けた方がヒータ２３または断熱手段２４と干渉しない自由度が高いので好ましい。また、上記の例では、ルツボ保持部５３でルツボ２２を挟み込むように固定しているが、ネジとタップまたはフックのような形状でもよい。

ルツボ搬入出機構５０Ａは、基台ベース５６の上部側に平行に設けられ、矢印Ａ方向に昇降する昇降ベース５４を有する。昇降ベース５４は、両側のリニアシャフト５０に沿って移動するリニアブッシュ５１を固定し、ルツボ２２の被保持部４３と係合するコの字状のルツボ保持部５３を矢印Ｂ方向に移動可能とする間隙５４ａを有する。また、昇降ベース５４は、リニアブッシュ５１の外側に、作業員が把持でき、リニアブッシュ５１、即ち昇降ベース５４を昇降させるハンドル５２を有する。

ハンドル５２は、リニアブッシュ５１または図４に示すように昇降ベース５４に設けられている。また、ハンドル５２は、矢印Ｄの方向に回転させることによってリニアブッシュ５１をリニアシャフト５０に固定する固定機構を設けてもよい。
ルツボ保持部５３は、その上部に昇降ベース５４に支持され作業員の操作によって矢印Ｂ方向に移動可能な摺動部５３ｂと、その下部に、摺動部５３ｂの移動によって、ルツボ２２の被保持部４３と係合する係合部５３ａと、を有する。摺動部５３ｂには、ハウジング２７の短手方向の中心位置に対応する図示しないマークを有する。または、自動的に位置合わせできるように、ルツボ保持部５３と被保持部４３に互いにかみ合う凹凸部を設ける。

以上説明した実施形態２によれば、人が持ち運び可能なルツボを搬入させることが可能なルツボ搬入出機構を提供できる。

（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態３を示し、実施形態２に示したルツボ搬入出機構５０Ａにより、実施形態１に示したルツボ２２を蒸発源４に搬入出するルツボ搬入出方法の実施例である。図５は、ルツボ２２を蒸発源４に搬入する搬入フローを示す図である。図６は、ルツボ２２を蒸発源４から搬出する搬出フローを示す図である。搬入フローから説明する。

搬入フローにおいて、まず、作業員は、昇降ベース５４をルツボ搬入出機構５０Ａの上部に移動し、ハンドル５２を操作し、昇降ベース５４をリニアシャフト５０に固定する(ステップＳ１)。固定後、作業員は、ルツボ搬入出機構５０Ａを持ち、窓５６ａから嵌め合い位置を確認しながら、ハウジング２７にセットする(ステップＳ２)。セット後、蒸着材料２１が挿入されたルツボ２２をルツボ搬入出機構５０Ａに固定するために、作業員は、ルツボ２２を保持し、ルツボ保持部５３を移動させ、その係合部５３ａを被保持部４３に挿入し、ルツボ２２を支持する(ステップＳ３)。必要ならばルツボ２２及びルツボ保持部５３にそれぞれ設けられたマークが一致するようにルツボ位置を補正する。挿入後、ハンドル５２を両手で把持しながら昇降ベース５４の固定を解除する(ステップＳ４)。

次に、作業員は、両ハンドル５２を把持しながら昇降ベース５４を基台ベース５６の位置まで降下させ、ルツボ２２をハウジング２７、即ち蒸発源４にセットする(ステップＳ５)。ステップＳ３、Ｓ４においては、所定の位置近くセットされたルツボ２２は、両サイドのリニアシャフト５０とリニアブッシュ５１によってルツボ２２をスムーズに、ヒータ２３や断熱手段２４を破損させることなく降下できる。また、ルツボ２２とハウジング２７に設けられたガイド部４１と拘束部４２によって、ルツボ２２を昇降ベース５４にセットしたときのずれを吸収し、所定の位置にセットできる。

作業員は、蒸発源４にルツボ２２をセット後、ルツボ保持部５３を移動させ、その係合部５３ａを被保持部４３から取り出す(ステップＳ６)。その後、作業員は、ルツボ搬入出機構５０Ａをハウジング２７から取り除く(ステップＳ７)。

次に、搬出フローを説明する。作業員はルツボ２２が冷却するのを待って以下の処理を行う。搬出フローにおいて、まず、作業員は、窓５６ａから嵌め合い位置を確認できるように、昇降ベース５４をルツボ搬入出機構５０Ａの上部に移動し、昇降ベース５４をリニアシャフト５０に固定する(ステップＳ１１)。次に、固定後、作業員は、ルツボ搬入出機構５０Ａを持ち、窓５６ａから嵌め合い位置を確認しながら、ハウジング２７にセットする(ステップＳ１２)。セット後、作業員は、昇降ベース５４を基台ベース５６に降下させる(ステップＳ１３)。降下後、作業員は、ルツボ２２を保持し、ルツボ保持部５３を移動させ、その係合部５３ａを被保持部４３に挿入し、ルツボ２２を保持する(ステップＳ１４)。

挿入後、作業員はハンドル５２を両手に持って、昇降ベース５４をルツボ２２を取り出せる所定の高さに移動させ、昇降ベース５４をリニアシャフト５０に固定する(ステップＳ１５)。ステップ１５の移動において、ルツボ２２は、リニアシャフト５０とリニアブッシュ５１に触れることなく上昇でき、ヒータ２３や断熱手段２４を破損させることはない。

昇降ベース５４を固定後、作業員は、ルツボ２２を保持しながら、ルツボ保持部５３を移動させ、その係合部５３ａを被保持部４３から外し、ルツボ２２の保持を解除し(ステップＳ１６)、ルツボ２２をルツボ搬入出機構５０Ａから外す(ステップＳ１７)。

以上説明したように実施形態３によれば、ヒータ２３や断熱手段２４を破損させることなく、しかも効率よくルツボ２２を蒸発源４から搬入出できる。

また、以上説明したように実施形態３によれば、効率よく、また再現性よくルツボ２２を蒸発源４から搬入出できる方法を提供できる。

以上説明した実施形態３では、ルツボ２２が冷却するのを待って、ルツボ２２を搬出させたが、ルツボ搬入出機構５０Ａからの着脱を搬送ロボットあるいはクレーン等で行うことによって、蒸着後まだ十分に温度が下がっていない蒸発源４に対しても、作業者はルツボ２２の脱着が安全に行えるので、装置停止時間の短縮を図れる。

（第４の実施形態）
図７は本発明の第４の実施形態４を示し、ルツボ搬入出機構５０の第２の実施例５０Ｂの蒸発源４の長手方向おける断面図である。基板５が大型化すると、ルツボ２２も長く大型化し、人手では、ルツボ２２を持ち運びできない。そこで、ルツボ搬入出機構５０Ａヘの搬入出、昇降ベース５４の昇降、ルツボ保持部５３の移動を自動化する。ルツボ搬入出機構５０ヘの搬入出は、搬送ロボットやクレーンなどと協調制御して行う。

従って、実施形態４のルツボ搬入出機構の第２の実施例５０Ｂの実施形態３のルツボ搬入出機構の第１の実施例５０Ａと異なる点は、昇降ベース５４の昇降及びルツボ保持部５３の被保持部４３との係合を自動化した点である。その為に昇降ベースガイド機構５４ｇと、ルツボ保持部５３をそれぞれ駆動する昇降ベース駆動部５４ｒ及び保持部駆動部５３ｒを有する。その他の点は、第１の実施例５０Ａと同じである。

昇降ベース駆動部５４ｒは、上部支持枠５７に固定されたモータ５４ｍ、一端をモータ５４ｍの駆動シャフトに連結され、他端を基台ベース５６に回転可能に支持されたボールネジ５４ｂと、昇降ベース５４に固定され、ボールネジ５４ｂの回転によって昇降ベース５４を昇降させる５４ｎを有する。昇降ベース５４は、昇降ベースガイド機構５４ｇにガイドされながら、昇降ベース駆動部５４ｒに安定して昇降できる。

保持部駆動部５３ｒ、昇降ベース駆動部５４ｒと同様に、昇降ベース５４に設けられた駆動モータ５３ｍ、ボールネジ５３ｂと、ルツボ保持部５３に固定されボールネジ５３ｂによって移動するナット５３ｎを有する。ルツボ保持部５３は、保持部駆動部５３ｒの移動によって、被保持部４３との係合が可能となる。

ルツボ搬入出機構５０Ｂの蒸発源４の搬入出フローは、搬送ロボット等の協調制御以外は、実質的に同じである。例えば、ルツボ保持部５３をルツボ２２を支持可能にセットし、そのセット可能状態で、搬送ロボットで挿入し、或いは、クレーンで保持して人的に挿入し、ルツボ保持部５３と被保持部４３とを係合させる。

以上、実施形態４によれば、人が持ち運びできないルツボを蒸発源に搬入させることが可能なルツボ搬入出機構を提供できる。

以上、本発明の実施形態について述べたが、本発明は記述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術思想に基づいて各種の変形及び変更が可能となる。

１：真空蒸着装置 ２：真空チャンバ
３：真空ポンプ ４：蒸発源
５：基板 ６：ゲートバルブ
７：バルブ ２１：蒸着材料
２２：ルツボ ２２ｈ：ガイド拘束孔
２３：ヒータ ２４：断熱手段
２４ｂ：底部断熱手段 ２４ｓ：長手側部断熱手段
２４ｒ：リフレクタ ２４ｙ：短手側部断熱手段
２６：レートセンサ ２７：ハウジング
２７ｐ：ガイド拘束ピン ２７ｒ：ガイド拘束ピンの根元側円柱部
２７ｇ：ガイド拘束ピンの尖端部 ３４：ノズル
４１：ガイド部 ４２：拘束部
４３：被保持部 ５０Ａ：ルツボ搬入出機構
５０Ｂ：ルツボ搬入出機構（自動化） ５０：リニアシャフト
５１：リニアブッシュ ５２：ハンドル
５３：ルツボ保持部 ５３ａ：ルツボ保持部 係合部
５３ｂ：ルツボ保持部・摺動部 ５３ｒ：保持部駆動部
５４：昇降ベース ５４ａ：ルツボ保持部移動用の隙間
５４ｇ：昇降ベースガイド機構 ５４ｒ：昇降ベース駆動部
５５：セットガイド ５６：基台ベース
５６ａ：位置確認用の窓 ５７：上部支持枠

Claims (12)

1. 蒸着材料を収納するルツボと、前記ルツボの周囲に設けられた前記ルツボを加熱する加熱手段と、熱を外部に漏えいするのを防ぐ断熱手段と、前記ルツボの長手方向に設けられた複数のノズルと、複数の前記ノズル側に開口部を備え、前記ルツボ、前記加熱手段及び前記断熱手段と内在するハウジングと、を備えた蒸発源を有し、
   前記蒸着源は、前記ルツボをズレないようにする拘束部と、前記ルツボを前記蒸発源に搬入する際に、前記ルツボが保持される被保持部と前記ハウジングの所定の位置に呼び込むガイド部と、を有する、
   ことを特徴とする真空蒸着装置。
2. 請求項１に記載の真空蒸着装置であって、
   前記ハウジングの前記開口部の反対側内壁に設けられ、尖端部と前記尖端部の根元側に柱部を有するガイド拘束ピンと、前記ガイド拘束ピンに対応した位置に設けられ、前記柱部と係合可能なガイド拘束係合部と、を有し、
   前記ガイド部は、前記ガイド拘束係合部と前記尖端部で構成され、前記拘束部は、前記前記ガイド拘束係合部と前記柱部とで構成される、
   ことを特徴とする真空蒸着装置。
3. 請求項２に記載の真空蒸着装置であって、
   前記拘束部は、前記ルツボの長手方向の両側側面側または側面の前記長手方向中央部に設けられ、前記ルツボの位置を前記長手方向と前記ルツボの短手方向の位置を共に拘束する第１の前記拘束部と、前記中央部以外の位置に設けられ前記長手方向の位置を拘束する第２の拘束部を有する、
   ことを特徴とする真空蒸着装置。
4. 請求項３に記載の真空蒸着装置であって、
   第２の前記拘束部は、前記長手方向に前記中央部に対して対称の位置に１組以上設けられた、または前記ルツボの短手方向の両側側面側または側面の位置に設けられた、
   ことを特徴とする真空蒸着装置。
5. 請求項２乃至４のいずれかに記載の真空蒸着装置であって、
   前記ガイド拘束係合部は、溝または貫通しない孔である、
   ことを特徴とする真空蒸着装置。
6. 請求項１乃至４のいずれかに記載の真空蒸着装置であって
   前記被保持部は、複数の前記ノズルが設けられているノズルプレートの前記長手方向端部に突き出た形状を有する、
   ことを特徴とする真空蒸着装置。
7. 請求項１乃至６のいずれかに記載の真空蒸着装置のルツボを前記蒸発源に搬入するルツボ搬入出機構であって、
   前記ハウジングを覆い、下面に前記ハウジングの所定の位置にセット可能とするセットガイド有する平板状の基板ベースと、
   前記ルツボの前記長手方向の両端側に一対設けられ、一端を前記基板ベースの垂直に固定されたリニアレールと前記リニアレール上を移動するリニアスライダを備えた昇降ベースガイド機構と、
   一対の前記昇降ベースガイド機構の他端を連結し固定する上部支持枠と、
   前記基板ベースと平行な面と、前記面上を摺動し前記被保持部と係合するルツボ保持部とを有し、一対の前記リニアスライダに固定され、前記ルツボを前記基板ベースと平行に昇降する昇降ベースと、
   前記昇降ベースを昇降させる昇降手段と、を有する、
   ことを特徴とするルツボ搬入出機構。
8. 請求項７に記載のルツボ搬入出機構であって、
   前記セットガイドは、前記ハウジングの側面内部と係合し、前記基板ベースを固定する手段であり、前記基板ベースに前記係合部が見える窓を設けた、
   ことを特徴とするルツボ搬入出機構。
9. 請求項７または８に記載のルツボ搬入出機構であって、
   前記ルツボ保持部は、前記被保持部と位置合わせ可能な位置合わせ手段を有する、
   ことを特徴とするルツボ搬入出機構。
10. 請求項７に記載のルツボ搬入出機構であって、
    前記昇降手段は、前記昇降ベースまたは前記リニアスライダに設けられたハンドルである、
    ことを特徴とするルツボ搬入出機構。
11. 請求項７に記載のルツボ搬入出機構であって、
    前記昇降手段は、前記昇降ベースガイド機構に平行に設けられ第１のリニア駆動手段であり、前記ルツボ保持部は、前記面に設けられた第２のリニア駆動手段で前記面上を摺慟する、
    ことを特徴とするルツボ搬入出機構。
12. 請求項１１に記載のルツボ搬入出機構によって前記ルツボを前記リニア蒸発源に搬入出するルツボ搬入出方法であって、
    前記ハウジングに前記ルツボ搬入出機構がセットされる前に、前記第１のリニア駆動手段によって昇降ベースを上部に移動させ、
    前記ハウジングに前記ルツボ搬入出機構がセットされた後に、第２にリニア駆動手段で前記ルツボ保持部と前記被保持部と係合させ、
    前記第１のリニア駆動手段で前記昇降ベースを上昇または下降させ、
    その後、第２のリニア駆動手段で前記ルツボ保持部と前記被保持部と係合を解除させる、
    ことを特徴とするルツボ搬入方法。

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