JP2002210690A - 高温加熱処理室におけるロボットハンドの冷却装置 - Google Patents

高温加熱処理室におけるロボットハンドの冷却装置

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JP2002210690A
JP2002210690A JP2001005669A JP2001005669A JP2002210690A JP 2002210690 A JP2002210690 A JP 2002210690A JP 2001005669 A JP2001005669 A JP 2001005669A JP 2001005669 A JP2001005669 A JP 2001005669A JP 2002210690 A JP2002210690 A JP 2002210690A
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JP
Japan
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robot hand
heat treatment
temperature heat
treatment chamber
high temperature
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JP2001005669A
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English (en)
Inventor
Kazuhiro Imai
和弘 今井
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Imai Seisakusho Co Ltd
Original Assignee
Imai Seisakusho Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高温加熱処理室におけるロボット
ハンドの構成材質の熱変形、熱損傷、劣化を防止し、メ
ンテナンス、交換作業の煩を回避し、ロボットハンドの
ライフサイクルを飛躍的に向上させ、もって、高温加熱
処理作業の効率、生産性を高め得る高温加熱処理室にお
けるロボットハンドの冷却装置を提供することにある。 【解決手段】 高温加熱処理室におけるロボット
ハンドの冷却装置において、該ロボットハンド上面に水
路溝を穿設し、該水路溝中に管状部材を挿入することに
より該水路溝中に温度、水圧、流量を調節自在に冷却水
を導通可能とし、該管状部材の上部を被覆する蓋部を備
えることを特徴とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高温度加熱処理室
に進入するロボットハンドに冷却水を通して冷却する高
温加熱処理室におけるロボットハンドの冷却装置発明に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来提供されている、高温加熱処理室に
進入するロボットハンドは、その耐熱対策として、ロボ
ットハンド全体を構成する使用材質を耐熱能力の高い材
質に選択することにより達成する方法が採用されてい
る。
【0003】しかしながら、かかる従来方法によれば、
高温加熱処理下での環境であるため、選択材質に制限が
あり、生産コストの増大を招来することとなった。
【0004】一方、選択可能な耐熱材質であっても、高
温加熱処理室における作業は極めて高温下でなされ、か
つ急激な冷却を要するなど過酷な環境であるため、熱変
形の進行が早く、このため、他部材までの熱損傷を誘発
し、冷却性能の低下など本来の熱処理作業に著しい損害
を与える結果となる。
【0005】したがって、ロボットハンドのメンテナン
ス、交換などの作業が煩雑となり、かつ、ロボットハン
ドのライフサイクルが短くなり、生産コストが増大す
る。
【0006】また、材質の劣化は、塵を発生させるた
め、高温加熱処理作業に支障を及ぼすこととなる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる問題点
に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、
高温加熱処理室におけるロボットハンドの構成材質の熱
変形、熱損傷、劣化を防止し、メンテナンス、交換作業
の煩を回避し、ロボットハンドのライフサイクルを飛躍
的に向上させ、もって、高温加熱処理作業の効率、生産
性を高め得る高温加熱処理室におけるロボットハンドの
冷却装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、高温加熱処理室におけるロボットハンドの
冷却装置において、該ロボットハンド上面に水路溝を穿
設し、該水路溝中に管状部材を挿入することにより該水
路溝中に温度、水圧、流量を調節自在に冷却水を導通可
能とし、該管状部材の上部を被覆する蓋部を備えること
を特徴とするものである。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
き説明する。
【0010】図1〜図4に示した実施例は、高温加熱処
理室に進入するロボットハンドの一実施例であり、本発
明に係る高温加熱処理室におけるロボットハンドの冷却
装置は、図示した扁平状の形状に限定されない。
【0011】図2に示されたように、ロボットハンド
(R)の上面に、冷却水の水路経路溝(1)が穿設され
る。
【0012】該水路経路溝(1)は、ロボットハンド略
全周にわたり形成されることが望ましく、このように形
成させることにより、冷却水をロボットハンド全体に導
通可能となり、冷却機能を万全とすることが可能とな
る。
【0013】図3に示される管状部材(2)は、該水路
経路溝(1)に挿入される。したがって、管状部材
(2)は、ロボットハンドに穿設された水路経路溝
(1)と略同形に形成される。
【0014】該管状部材(2)には、冷却水が導通され
ることにより、ロボットハンド全体が効率良く冷却され
る。
【0015】また、冷却水は、作業に応じて、その温
度、水圧、流量を調節自在となるため、高温度かつ広範
囲の作業においても、効果的な冷却を果たすことが可能
となる。
【0016】図4に示される蓋部(3)は、管状部材
(2)全体を被覆するものであり、作業中の落下を防止
するため、ロボットハンド本体にネジ(N)などを介し
固着されているものである。
【0017】かかる蓋部を設けることにより、冷却水が
導通する管状部材が高温加熱処理室に直接露出すること
がないため、急冷による結露を防止することが可能とな
る。
【0018】
【発明の効果】本発明は上記に詳述したように構成され
るから、以下に記載される効果を奏するものである。
【0019】高温加熱処理室におけるロボットハンドの
耐久性を高めそのライフサイクルを飛躍的に向上するこ
とが可能となる。
【0020】高温加熱処理室におけるロボットハンドの
メンテナンス作業を極力抑えることができ極めて効率的
な作業を達成することが可能となる。
【0021】冷却水の温度、水圧、流量を調節すること
ができるため、多様な温度下、広範囲での作業において
も、冷却の万全を期すことが可能となる。
【0022】冷却水が導通する管状部材が蓋部により被
覆されているため、高温加熱処理室に直接露出すること
がないので、急冷による結露を防止することが可能とな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る高温加熱処理室におけるロボット
ハンドの冷却装置の一実施例を示す平面図。
【図2】本発明に係る高温加熱処理室におけるロボット
ハンドの冷却装置の水路経路溝を形成したロボットハン
ド本体の一実施例を示す斜視図。
【図3】本発明に係る高温加熱処理室におけるロボット
ハンドの冷却装置の管状部材の一実施例を示す斜視図。
【図4】本発明に係る高温加熱処理室におけるロボット
ハンドの冷却装置の蓋部を示す斜視図。
【符号の説明】
R ロボットハンド 1 水路経路溝 2 管状部材 3 蓋部 N ネジ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】高温加熱処理室におけるロボットハンド
    (R)において、該ロボットハンド(R)上面に水路経
    路溝(1)を穿設し、該水路経路溝(1)中に管状部材
    (2)を挿入することにより該水路経路溝(1)中に温
    度、水圧、流量を調節自在に冷却水を導通可能とし、該
    管状部材(2)の上部を被覆する蓋部(3)を備えるこ
    とを特徴とする、高温加熱処理室におけるロボットハン
    ドの冷却装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004268298A (ja) * 2003-03-05 2004-09-30 Seiko Epson Corp 液体収容袋及び液体噴射装置
JP2007091433A (ja) * 2005-09-29 2007-04-12 Nidec Sankyo Corp ロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボット
CN106363665A (zh) * 2016-11-30 2017-02-01 广西大学 一种具有水冷功能的夹持手爪
CN106393068A (zh) * 2016-10-31 2017-02-15 苏州立源信智能科技有限公司 一种水循环恒温桁架机器人
CN111730642A (zh) * 2020-07-08 2020-10-02 浙江俊博汽车部件有限公司 一种汽车离合器配件生产线全自动机械臂

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60121433U (ja) * 1984-01-26 1985-08-16 三菱電機株式会社 把持装置
JPH11176910A (ja) * 1997-10-07 1999-07-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60121433U (ja) * 1984-01-26 1985-08-16 三菱電機株式会社 把持装置
JPH11176910A (ja) * 1997-10-07 1999-07-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004268298A (ja) * 2003-03-05 2004-09-30 Seiko Epson Corp 液体収容袋及び液体噴射装置
JP2007091433A (ja) * 2005-09-29 2007-04-12 Nidec Sankyo Corp ロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボット
JP4731267B2 (ja) * 2005-09-29 2011-07-20 日本電産サンキョー株式会社 ロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボット
CN106393068A (zh) * 2016-10-31 2017-02-15 苏州立源信智能科技有限公司 一种水循环恒温桁架机器人
CN106363665A (zh) * 2016-11-30 2017-02-01 广西大学 一种具有水冷功能的夹持手爪
CN111730642A (zh) * 2020-07-08 2020-10-02 浙江俊博汽车部件有限公司 一种汽车离合器配件生产线全自动机械臂

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