JPH02175869A - 基板冷却装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、任意に設定した温度をムラなく均一に云達す
ることのできるもので、真空薄膜形成装置等の基板ヘッ
ドやカソード等の温度調節装置に関するものである。

従来の技術 以下、上述の薄膜形成装置の基板ヘッド部について図面
を参照して説明する。第３図は従来の基板ヘッド部の断
面図である。同図において８は基板７を冷却するための
基板ヘッドである。９は基板７を基板ヘッド８に密着さ
せる基板ホルダである。１０は冷却水の給水口で１１は
その排水口である。

以上のように構成された薄１戻形成装置の基板ヘッドに
ついて以下その動作について説明する。

基板７を基板ホルダ９で基板ヘッド８に密着させた状態
で、給水口１０より冷却水を流し、矢印のような糸路を
通り、基板ヘッド８を冷却し、その熱を基板７に云達し
、排水口１１より出て行く。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような構成では、基板ヘッドの径が
大きくなるにしたがい、外側と内側での温度差や温度ム
ラできるという課題を有していた。

そこで本発明はこの課題を解決するため、温度差や温度
ムラのない基板温度調節装置を提供するものである。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するため、本発明は給水口、排水口をそ
れぞれ有する流路部を複数個基板保持部に設けてなる基
板温度調節装置である。

作用 本発明は上記した構成により、複数流路で互いにとな９
あわせたうえ、流体の流れ方向を互いに逆にすることで
、同一面上での温度差や温度ムラを防止できる。

実施例 以下本発明の実施例について、図面を参照しながら説明
する。

第１図は本発明の実施例における真空薄膜形成装置の基
板ヘッド部における冷却水路を示すものである。

第２図は基板へ、ドの断面図を示すものである。

第１図において１は第１流路の給水口であり、２はその
排水口である。３は第２流路の給水口であり、４はその
排水口である。６は第１流路、６は第２流路である。

第２図において８は基板７を基板ホルダ９により密着さ
せ冷却するための基板ヘッドである。

以上のように構成された真空薄膜形成装置の基板ヘッド
における冷却水の流れについて説明する。

第１流路給水口１と第２流路給水口３より冷却水を入れ
、それぞれ第１流路６．第２流路６のスクロール状溝を
流れ、基板ヘッド８を冷却し、下部に基板ホルダ９によ
シ密着させた基板５へ熱を云達し、第１流路排水口、第
２流路排水口より出ていく。

以上のように本実施例によれば、基板ヘッド内の冷却水
流路をスクロール状に互いにとなりあわせにすることに
より、基板ヘッドの温度をムラなく均一に保つことがで
きる。

なお本実施例では２つの流路をスクロール状にとなりあ
わせにした例をあげたが、これは複数流路であって、同
一面上に互いにとなシあわせになるようなものであれば
どのような形状でもよい。

又、真空薄膜装置の基板ヘッドで説明したがこれもカソ
ード部であっても蒸発源であっても温度調節の行うすべ
てのものに応用できる。

発明の効果 以上のように本発明は、温度調節装置において同一面上
に互いにとなりあわせの複数流路をもち、１つは起点を
給水口、終点を排水口とし、もう１つは終点を給水口、
起点を排水口と互い違いに並べることにより、同一面上
での温度差や温度ムラを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例における真空薄膜形成装置の基
板ヘッド部における冷却水路を示す図、第２図は実施例
における基板ヘッド部の断面図、第３図は従来の基板ヘ
ッド部の要部断面図である。 １・・・・・・第１流路給水口、２・・・・・・第１流
路排水口、３・・・・・・第２流路給水口、４・・・・
・・第２流路排水口、７・・・・・・基板、８・・・・
・・基板ヘッド、９・・・・・・基板ホルダ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）給水口、排水口をそれぞれ有する流路部を複数個
   基板保持部に設けてなる基板温度調節装置。
2. （２）流路部がスクロール状に配置されている請求項１
   記載の基板温度調節装置。