KR930006120B1 - 기판온도 조절장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

기판온도 조절장치

제1도는 본 발명의 실시예에 있어서의 진공박막형성장치의 기판헤드에 있어서의 냉각수로를 도시한 도면,

제2도는 실시예에 있어서의 기판헤드부의 단면도,

제3도는 종래의 기판헤드부의 요부단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 제1유로급수구 2 : 제1유로급수구

3 : 제2유로급수구 4 : 제1 2 유로배수구

7 : 기판 8 : 기판헤드

9 : 기판호울더

본 발명은, 임의로 설정한 소정온도로 유지하고 실온 대상물의 어떠한 장소에 있어서도 온도가 같게 할 수 있는 것으로서, 진공박막형성장치등의 기판헤드나 음극(cathode)등의 온도조절장치에 관한 것이다.

이하, 상기한 박막형성장치의 기판헤드부에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 제3도는 종래의 기판헤드부의 단면도이다. 동도면에 있어서 (8)은 기판(7)을 냉각하기 위한 기판헤드이다. (9)는 기판(7)을 기판헤드(8)에 밀착시키는 기판 호울더이다. (10)은 냉각수의 급수구이고(11)은 배수구이다.

이상과 같이 구성된 박막형성장치의 기판헤드에 대해서 이하 그 동작에 대해서 설명한다.

기판(7)를 기판호울더(9)에 의해서 기판헤드(8)에 밀착시킨 상태에서, 급수구(10)으로부터 냉각수를 유입시켜, 화살표시와 같은 계통로를 통과하여, 기판헤드(8)을 냉각하고, 그열을 기판(7)에 전달하여, 배수구(11)로부터 유출되어진다.

그러나 상기와 같은 구성에서는, 기판헤드의 직경이 크게 됨에 따라서, 바깥쪽과 안쪽에서의 온도차나 온도얼룩이 발생한다고 하는 과제를 가지고 있었다.

그리하여 본 발명은, 이 과제를 해결하기 위하여 온도차나 온도얼룩이 없는 기판 온도조절장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 냉각매체가 순환하게 되는 기판헤드상에 기판을 고정하고, 상기 기판을 소망의 온도로 유지하게 되는 기판온도조절장치에 있어서, 상기 기판헤드에 매체의 급수유로를 2계통 설치하고, 제1계통은 상기 기판헤드의 끝단부에 급수부가 있고, 기판헤드의 중앙부에 배수구가 있으며, 제2계통은 헤드의 중앙부에 급수구가 있고, 끝단부에 배수구가 있는 기판온도조절장치이다.

본 발명은 상기한 구성에 의해, 복수개의 유로이고 이들 유로를 서로 인접시킨 후에, 유체의 흐름방향을 서로 반대로 하므로서, 동일면상에서의 온도차나 온도얼룩을 방지할 수 있다.

이하 본 발명의 실시예에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다.

제1도는 본 발명의 실시에에 있어서의 진공박막형성장치의 기판헤드부에 있어서의 냉각수로를 도시한 것이다.

제2도는 기판헤드의 단면도를 도시한 것이다.

제1도에 있어서(1)은 제1유로의 급수구이며, (2)는 그 배수구이다. (3)은 제2유로의 급수구이며, (4)는 그 배수구이다. (5)는 제1유로, (6)은 제2유로이다.

제2도에 있어서 (8)은 기판(7)을 기판호울더(9)에 의해 밀착시켜 냉각시키기 위한 기판헤드이다.

이상과 같이 구성된 진공박막형성장치의 기판헤드에 있어서의 냉각수의 흐름에 대해서 설명한다.

제1유로급수구(1)과 제2유로급수구(3)에서 냉각수를 넣고, 각각 제1유로(5)와, 제2유로(6)의 스크로울형상의 홈을 흐르고, 기판헤드(8)을 냉각하고, 하부에 기판 호울더(9)에 의해 밀착시킨 기판(7)에 열을 전달하고 제1유로배수구(2), 제2유로배수구(4)로부터 배출되어간다.

이상과 같이 본 실시예에 의하면, 기판헤드내의 냉각수유로(5,6)를 스크로울 형상으로 서로 인접하게 하므로서, 기판헤드의 온도를 온도차나 온도얼룩없이 균일하게 유지할 수 있다.

또한 본 실시예에서는 2개의 유로(5,6)를 스크로울형상으로 인접시킨 예를들었으나, 이것은 복수개 유로로서, 동일면상에 서로 인접하게된 것이라면 어떠한 형상이라도 된다. 또, 진공박막장치의 기판헤드에서 설명하였으나 이것도 음극부이거나 증발원이거나 온도조절을 행하는 모든 것에 응용할 수 있다.

이상과 같이 본 발명은, 온도조절장치에 있어서 동일면상에 서로 인접한 복수개의 유로를 가지고, 하나는 기점을 급수구, 종점을 배수구로하고, 또하나는 종점을 급수구, 기점을 배수구로 엇갈리게 배열하므로서, 동일면상에서의 온도차나 온도얼룩을 방지할 수 있다.

Claims (2)

1. 냉각매체가 순환하게 되는 기판헤드상에 기판을 고정하고, 상기 기판을 소망의 온도로 유지하게 되는 기판온도조절장치에 있어서, 상기 기판헤드의 매체의 급수유로를 2계통 설치하고, 제1계통은 상기 기판헤드의 끝단부에 급수구(1)가 있고, 기판헤드의 중앙부(2)에 배수가 있으며, 제2계통은 헤드의 중앙부(3)에 급수구가 있고, 끝단부(4)에 배수구가 있는 것을 특징으로 하는 기판온도조절장치.
2. 제1항에 있어서, 유로부가 스크로울형상으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판온도조절장치.

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