KR940020489A - 기판 냉각장치 및 기판 열처리장치 - Google Patents

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Abstract

기판을 지지해서 냉각하는 냉각 플레이트를 설치한 처리실내의 천장측에 보조냉각 플레이트를 설치하고, 이 보조냉각 플레이트에 의해 냉각 플레이트 상에 지지된 기판의 상방으로 되는 처리실 내의 대기온도를 냉각 플레이트에서 기판(W)을 냉각하고자 하는 목표온도로 냉각한다. 이것에 의해 고온 처리된 기판을 목표온도로 고속으로 냉각함과 동시에 그 냉각 후에 있어서 기판의 면내 온도분포의 균일성을 향상한다.

Description

기판 냉각장치 및 기판 열처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 관한 기판 열처리장치의 실시예를 나타내는 전체 종단면도.
제2도는 기판 냉각장치의 주요부 평면도.
제3도는 면내 온도분포의 균일성을 나타내는 그래프이다.

Claims (18)

  1. 기판을 수용하는 처리실과, 상기 처리실내에서 상기 기판을 지지하는 냉각 플레이트수단과, 상기 냉각 플레이트수단 상에 지지된 상기 기판을 냉각하는 주 냉각수단을 구비하는 기판 냉각장치에 있어서, 상기 처리실은 상기 기판을 냉각하기 위해 상기 냉각 플레이트 수단상에 지지된 상기 기판의 상방에 배치된 보조냉각수단을 포함하도록한 기판 냉각장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보조냉각수단은 상기 냉각 플레이트수단 상에 지지된 상기 기판의 상방의 대기온도를 상기 기판이 상기 냉각 플레이트 수단에 의해 냉각하고자 하는 목표온도로 냉각하도록 한 기판 냉각장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 주 냉각수단은 펠티에 소자를 구비하는 기판 냉각장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 냉각 플레이트 수단은 상기 기판을 밀착해서 지지하도록 구성되는 기판 냉각장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 냉각 플레이트 수단은 상기 기판을 미소한 간격으로 유사한 상태에서 지지하도록 구성되는 기판 냉각장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 보조냉각 수단은 상기 냉각 플레이트 수단상에 지지된 상기 기판과 대향하는 하면을 가지는 수냉식 보조냉각 플레이트를 구비하는 기판 냉각장치.
  7. 기판을 가열하는 기판 가열장치와, 상기 기판을 냉각하기 위한 기판 냉각장치를 구비하는 기판 열 처리장치에있어서, 상기 기판 냉각장치는, 상기 기판을 수용하기 위한 처리실과, 상기 처리실 내에서 상기 기판을 지지하기 위한 냉각 플레이트수단과, 상기 냉각 플레이트수단 상에 지지되는 상기 기판을 냉각하기 위한 주냉각수단을 구비하고, 상기 처리실은 상기 기판을 냉각하기 위해 상기 냉각 플레이트수단 상에 지지되는 상기 기판의 상방에 배치된 보조냉각수단을 구비하는 기판 열처리장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 보조냉각수단은 상기 냉각 플레이트수단 상에 지지된 상기 기판의 상방의 대기온도를 상기 기판이 상기 냉각 플레이트수단에 의해 냉각하고자 하는 목표온도로 냉각하도록 한 기판 열처리장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 주냉각수단은 펠티에 소자를 구비하는 기판 열처리장치.
  10. 제7항에 있어서, 상기 냉각 플레이트수단은 상기 기판을 밀착해서 지지하도록 구성되는 기판 열처리장치.
  11. 제7항에 있어서, 상기 냉각 플레이트수단은 상기 기판을 미소한 간격으로 유지한 상태에서 지지하도록 구성되는 기판 열처리장치.
  12. 제7항에 있어서, 상기 보조냉각수단은 상기 냉각 플레이트수단 상에 지지된 상기 기판과 대향하는 하면을 가지는 수냉식 보조냉각 플레이트를 구비하는 기판 열처리장치.
  13. 제7항에 있어서, 상기 기판 냉각장치는 상기 기판 가열장치에 인접해서 배치되는 기판 열처리장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 기판 냉각장치는 상기 기판 가열장치에 수직방향으로 인접해서 배치되는 기판 열처리장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 기판 냉각장치는 상기 기판 가열장치 아래에 배치되는 기판 열처리장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 기판 냉각장치 및 상기 기판 가열장치는 단일 케이싱 내에 배치되는 기판 열처리장치.
  17. 기판을 수용하는 처리실과, 상기 처리실내에서 상기 기판을 지지하는 냉각 플레이트수단과, 상기 냉각 플레이트수단 상에 지지된 상기 기판을 냉각하는 주냉각수단을 구비하는 기판 냉각장치에 있어서, 상기 처리실은 상기 기판을 냉각하기 위해 상기 냉각 플레이트수단의 상방에 배치된 보조냉각수단을 구비하는 기판 냉각장치.
  18. 제17항에 있어서, 상기 냉각수단은 상기 기판이 냉각하고자 하는 목표온도에 대응하는 온도로 냉각되는 기판 냉각장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940001810A 1993-02-12 1994-02-01 기판 냉각장치 및 기판 열처리장치 KR0142808B1 (ko)

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