JPH057762A - 真空チヤンバのガス供給用アダプタの冷却装置 - Google Patents
真空チヤンバのガス供給用アダプタの冷却装置Info
- Publication number
- JPH057762A JPH057762A JP16491891A JP16491891A JPH057762A JP H057762 A JPH057762 A JP H057762A JP 16491891 A JP16491891 A JP 16491891A JP 16491891 A JP16491891 A JP 16491891A JP H057762 A JPH057762 A JP H057762A
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- JP
- Japan
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- gas supply
- vacuum chamber
- gas
- tip wall
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- Pending
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- Heat-Exchange Devices With Radiators And Conduit Assemblies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガス供給用アダプタを効率よく冷却すること
ができ、しかも、そのための加工などを簡単に行うこ
と。 【構成】 ガス供給用アダプタ7の先端壁10を、厚肉
の先端壁本体13と、この先端壁本体13に接合されて
いる薄肉の被覆板14とにより構成し、この被覆板14
に対向する前記先端壁本体13の表面に冷却媒体流通用
溝15を形成し、前記先端壁本体13と被覆板14のい
ずれか一方に多数の前記ガス供給孔19を形成するとと
もに、他方に前記ガス供給孔19に連通するガス流路1
8を形成し、冷却媒体流通用溝15を、実質的にガス供
給用アダプタ7の壁内に埋設することになり、良好な熱
交換効率によりガス供給用アダプタ7を冷却するように
したもの。
ができ、しかも、そのための加工などを簡単に行うこ
と。 【構成】 ガス供給用アダプタ7の先端壁10を、厚肉
の先端壁本体13と、この先端壁本体13に接合されて
いる薄肉の被覆板14とにより構成し、この被覆板14
に対向する前記先端壁本体13の表面に冷却媒体流通用
溝15を形成し、前記先端壁本体13と被覆板14のい
ずれか一方に多数の前記ガス供給孔19を形成するとと
もに、他方に前記ガス供給孔19に連通するガス流路1
8を形成し、冷却媒体流通用溝15を、実質的にガス供
給用アダプタ7の壁内に埋設することになり、良好な熱
交換効率によりガス供給用アダプタ7を冷却するように
したもの。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体や薄膜の製造な
どの一部の工程に用いられる真空チャンバに係り、特
に、真空チャンバ本体内に反応ガスを供給するガス供給
用アダプタの冷却装置に関する。
どの一部の工程に用いられる真空チャンバに係り、特
に、真空チャンバ本体内に反応ガスを供給するガス供給
用アダプタの冷却装置に関する。
【0002】
【従来の技術】前述した半導体などの製造に利用される
真空チャンバとしては、軽量でしかも高真空を維持する
ためにアルミニウムが用いられることがある。
真空チャンバとしては、軽量でしかも高真空を維持する
ためにアルミニウムが用いられることがある。
【0003】そして、このような真空チャンバによる半
導体ウエハの処理は、あらかじめ真空チャンバ本体内に
半導体ウエハを収納しておき、まず、この真空チャンバ
本体内をガスの反応を促進するため加熱するとともに、
真空チャンバ本体内を高真空にして、真空チャンバ本体
内に存在するガスを限りなく0に近づける。そして、真
空チャンバ本体内が所定の真空度ならびに所定の温度に
到達したら、真空チャンバ本体に装着されているガス供
給用アダプタを介して真空チャンバ本体内に反応ガスを
供給する。
導体ウエハの処理は、あらかじめ真空チャンバ本体内に
半導体ウエハを収納しておき、まず、この真空チャンバ
本体内をガスの反応を促進するため加熱するとともに、
真空チャンバ本体内を高真空にして、真空チャンバ本体
内に存在するガスを限りなく0に近づける。そして、真
空チャンバ本体内が所定の真空度ならびに所定の温度に
到達したら、真空チャンバ本体に装着されているガス供
給用アダプタを介して真空チャンバ本体内に反応ガスを
供給する。
【0004】ところで、前述したようにガスの反応を促
進するため真空チャンバ本体内を加熱すると、真空チャ
ンバ本体やガス供給用アダプタの壁面からガスが真空チ
ャンバ本体内に放出されることになるため、真空チャン
バ本体内を所定の真空度にするまでに時間が掛かってし
まうことになる。
進するため真空チャンバ本体内を加熱すると、真空チャ
ンバ本体やガス供給用アダプタの壁面からガスが真空チ
ャンバ本体内に放出されることになるため、真空チャン
バ本体内を所定の真空度にするまでに時間が掛かってし
まうことになる。
【0005】このため、従来から、真空チャンバ本体や
ガス供給用アダプタを冷却して、真空チャンバ本体内を
加熱したときに、真空チャンバ本体やガス供給用アダプ
タの壁面からのガスの放出量を抑制するようにしてい
た。
ガス供給用アダプタを冷却して、真空チャンバ本体内を
加熱したときに、真空チャンバ本体やガス供給用アダプ
タの壁面からのガスの放出量を抑制するようにしてい
た。
【0006】このうち、ガス供給用アダプタを冷却する
ための従来の冷却装置は、ガス供給用アダプタの先端面
に、内部を冷却水が流通する金属製のパイプを取付ける
ようにしていた。
ための従来の冷却装置は、ガス供給用アダプタの先端面
に、内部を冷却水が流通する金属製のパイプを取付ける
ようにしていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来のもののように、ガス供給用アダプタの先端面
に、金属製のパイプを取付け、このパイプ内に冷却水を
流通することによりガス供給用アダプタを冷却するので
は、パイプがガス供給用アダプタの外側に取付けられて
いるため熱交換効率が悪いし、また、金属製のパイプを
自由に湾曲することが困難であるため、ガス供給用アダ
プタの先端面におけるパイプの配設状態も冷却のために
十分な長さのパイプを配設することができなかった。さ
らに、ガス供給用アダプタの先端面に、円形断面からな
る金属製のパイプを取付ける作業は、煩雑で作業効率が
悪かった。
た従来のもののように、ガス供給用アダプタの先端面
に、金属製のパイプを取付け、このパイプ内に冷却水を
流通することによりガス供給用アダプタを冷却するので
は、パイプがガス供給用アダプタの外側に取付けられて
いるため熱交換効率が悪いし、また、金属製のパイプを
自由に湾曲することが困難であるため、ガス供給用アダ
プタの先端面におけるパイプの配設状態も冷却のために
十分な長さのパイプを配設することができなかった。さ
らに、ガス供給用アダプタの先端面に、円形断面からな
る金属製のパイプを取付ける作業は、煩雑で作業効率が
悪かった。
【0008】本発明は、前述した従来のものにおける問
題点を克服し、ガス供給用アダプタを効率よく冷却する
ことができ、しかも、そのための加工などを簡単に行う
ことができる真空チャンバのガス供給用アダプタの冷却
装置を提供することを目的とする。
題点を克服し、ガス供給用アダプタを効率よく冷却する
ことができ、しかも、そのための加工などを簡単に行う
ことができる真空チャンバのガス供給用アダプタの冷却
装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため本発明の真空チャンバのガス供給用アダプタの冷却
装置は、真空チャンバ本体に装着され、先端壁に形成さ
れた多数のガス供給孔を介して真空チャンバ本体内に反
応ガスを供給するガス供給用アダプタを有する真空チャ
ンバにおいて、前記ガス供給用アダプタの先端壁を、厚
肉の先端壁本体と、この先端壁本体に接合されている薄
肉の被覆板とにより構成し、この被覆板に対向する前記
先端壁本体の表面に冷却媒体流通用溝を形成し、前記先
端壁本体と被覆板のいずれか一方に多数の前記ガス供給
孔を形成するとともに、他方に前記ガス供給孔に連通す
るガス流路を形成したことを特徴としている。
ため本発明の真空チャンバのガス供給用アダプタの冷却
装置は、真空チャンバ本体に装着され、先端壁に形成さ
れた多数のガス供給孔を介して真空チャンバ本体内に反
応ガスを供給するガス供給用アダプタを有する真空チャ
ンバにおいて、前記ガス供給用アダプタの先端壁を、厚
肉の先端壁本体と、この先端壁本体に接合されている薄
肉の被覆板とにより構成し、この被覆板に対向する前記
先端壁本体の表面に冷却媒体流通用溝を形成し、前記先
端壁本体と被覆板のいずれか一方に多数の前記ガス供給
孔を形成するとともに、他方に前記ガス供給孔に連通す
るガス流路を形成したことを特徴としている。
【0010】
【作用】前述した構成からなる本発明のガス供給用アダ
プタの冷却装置によれば、ガス供給用アダプタの先端壁
本体に形成した冷却媒体流通用溝を被覆板により密閉
し、冷却媒体流通用溝内に冷却媒体を流通してガス供給
用アダプタを冷却するようにしているので、冷却媒体流
通用溝は、実質的にガス供給用アダプタの壁内に埋設さ
れることになり、良好な熱交換効率によりガス供給用ア
ダプタを冷却することができる。
プタの冷却装置によれば、ガス供給用アダプタの先端壁
本体に形成した冷却媒体流通用溝を被覆板により密閉
し、冷却媒体流通用溝内に冷却媒体を流通してガス供給
用アダプタを冷却するようにしているので、冷却媒体流
通用溝は、実質的にガス供給用アダプタの壁内に埋設さ
れることになり、良好な熱交換効率によりガス供給用ア
ダプタを冷却することができる。
【0011】
【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例により説明
する。
する。
【0012】図1は、本発明に係るガス供給用アダプタ
の冷却装置を備えた真空チャンバの全体の概略を示すも
のであり、アルミニウムあるいはアルミニウム合金から
なる底壁2、周壁3および頂壁4により気密に形成され
ている真空チャンバ本体1には、図示しない半導体ウエ
ハをその内部空所5に対し出し入れするための開閉自在
な開口(図示せず)が形成されている。また、前記頂壁
4には中央開口6が形成されており、この中央開口6内
には、ガス供給用アダプタ7が配設されている。
の冷却装置を備えた真空チャンバの全体の概略を示すも
のであり、アルミニウムあるいはアルミニウム合金から
なる底壁2、周壁3および頂壁4により気密に形成され
ている真空チャンバ本体1には、図示しない半導体ウエ
ハをその内部空所5に対し出し入れするための開閉自在
な開口(図示せず)が形成されている。また、前記頂壁
4には中央開口6が形成されており、この中央開口6内
には、ガス供給用アダプタ7が配設されている。
【0013】前記ガス供給用アダプタ7は、頂壁8、周
壁9および先端壁10とにより囲繞された平面円形のガ
ス充填室11を有しており、このガス充填室11には、
図示しないガス供給源と連通されているガス供給管12
が接続されている。
壁9および先端壁10とにより囲繞された平面円形のガ
ス充填室11を有しており、このガス充填室11には、
図示しないガス供給源と連通されているガス供給管12
が接続されている。
【0014】前記先端壁10は、図2および図3に詳示
されているように、ろう付けなどにより相互に接合され
た同形で厚肉の先端壁本体13と薄肉の被覆板14とに
より全体として円盤状に形成されており、このうち先端
壁本体13の下面13Aには、冷却媒体の一例としての
冷却水を流通させる冷却水流通用溝15がエンドミル
(図示せず)などによる切削で形成されている。この冷
却水流通用溝15は、平行に形成されている複数の直線
溝15A,15A…と、隣位の1対の直線溝15A,1
5Aの端部間をいわゆる千鳥状に連通する複数の円弧溝
15B,15B…とにより両端部を有し全体として蛇行
する形状をなす1本の溝に形成されている。そして、前
記冷却水流通用溝15の一端部には、前記ガス充填室1
1を介してガス供給用アダプタ7の外部に導出されてい
る冷却水供給管16が接続されており、また、前記冷却
水流通用溝15の他端部には、同じく前記ガス充填室1
1を介してガス供給用アダプタ7の外部に導出されてい
る冷却水排出管17が接続されている。さらに、前記先
端壁本体13には、前記ガス充填室11内のガスを前記
被覆板14側に供給するための多数の大径のガス流路1
8,18…が、前記冷却水流通用溝13と交差しないよ
うに整列状に形成されている。
されているように、ろう付けなどにより相互に接合され
た同形で厚肉の先端壁本体13と薄肉の被覆板14とに
より全体として円盤状に形成されており、このうち先端
壁本体13の下面13Aには、冷却媒体の一例としての
冷却水を流通させる冷却水流通用溝15がエンドミル
(図示せず)などによる切削で形成されている。この冷
却水流通用溝15は、平行に形成されている複数の直線
溝15A,15A…と、隣位の1対の直線溝15A,1
5Aの端部間をいわゆる千鳥状に連通する複数の円弧溝
15B,15B…とにより両端部を有し全体として蛇行
する形状をなす1本の溝に形成されている。そして、前
記冷却水流通用溝15の一端部には、前記ガス充填室1
1を介してガス供給用アダプタ7の外部に導出されてい
る冷却水供給管16が接続されており、また、前記冷却
水流通用溝15の他端部には、同じく前記ガス充填室1
1を介してガス供給用アダプタ7の外部に導出されてい
る冷却水排出管17が接続されている。さらに、前記先
端壁本体13には、前記ガス充填室11内のガスを前記
被覆板14側に供給するための多数の大径のガス流路1
8,18…が、前記冷却水流通用溝13と交差しないよ
うに整列状に形成されている。
【0015】前記先端壁本体13の前記冷却水流通用溝
15を密閉するために先端壁本体13の下面13Aに接
合されている前記被覆板14には、前記各ガス流路18
と対応する部位にそれぞれ小径でノズル状のガス供給孔
19が形成されており、各ガス流路18およびガス供給
孔19を介して前記ガス充填室11内のガスが前記内部
空所5内に供給されるようになっている。
15を密閉するために先端壁本体13の下面13Aに接
合されている前記被覆板14には、前記各ガス流路18
と対応する部位にそれぞれ小径でノズル状のガス供給孔
19が形成されており、各ガス流路18およびガス供給
孔19を介して前記ガス充填室11内のガスが前記内部
空所5内に供給されるようになっている。
【0016】なお、前記真空チャンバ本体1の壁面も図
示しない冷却手段により冷却可能とされている。
示しない冷却手段により冷却可能とされている。
【0017】つぎに、前述した構成からなる本実施例の
作用について説明する。
作用について説明する。
【0018】真空チャンバによる半導体ウエハの処理
は、あらかじめ真空チャンバ本体1の内部空所5内に半
導体ウエハ(図示せず)を収納しておき、まず、この真
空チャンバ本体1内をガスの反応を促進するため加熱す
るとともに、真空チャンバ本体1内を高真空にして、真
空チャンバ本体1内に存在するガスを限りなく0に近づ
ける。そして、真空チャンバ本体1内が所定の真空度な
らびに所定の温度に到達したら、真空チャンバ本体1に
装着されているガス供給用アダプタ7のガス充填室11
にガス供給管12からガスを供給することにより、先端
壁10を構成する先端壁本体13の各ガス流路18およ
び被覆板14の各ガス供給孔19を介して真空チャンバ
本体1の内部空所5内に反応ガスを供給する。
は、あらかじめ真空チャンバ本体1の内部空所5内に半
導体ウエハ(図示せず)を収納しておき、まず、この真
空チャンバ本体1内をガスの反応を促進するため加熱す
るとともに、真空チャンバ本体1内を高真空にして、真
空チャンバ本体1内に存在するガスを限りなく0に近づ
ける。そして、真空チャンバ本体1内が所定の真空度な
らびに所定の温度に到達したら、真空チャンバ本体1に
装着されているガス供給用アダプタ7のガス充填室11
にガス供給管12からガスを供給することにより、先端
壁10を構成する先端壁本体13の各ガス流路18およ
び被覆板14の各ガス供給孔19を介して真空チャンバ
本体1の内部空所5内に反応ガスを供給する。
【0019】そして、前記加熱のとき、真空チャンバ本
体1の内部空所5の高真空を維持するために、前記真空
チャンバ本体1の壁面を図示しない冷却手段により冷却
するとともに、ガス噴射パネル10に形成されている冷
却水流通用溝15に冷却水供給管16から冷却水を供給
し、この冷却水と外側の先端壁本体13および被覆板1
4の壁面との間で熱交換を行ってガス供給用アダプタ7
を冷却し、ガスの発生を抑制する。なお、先端壁本体1
3および被覆板14の壁面との間で熱交換を行ったのち
の冷却水は、冷却水排出管17から排出される。
体1の内部空所5の高真空を維持するために、前記真空
チャンバ本体1の壁面を図示しない冷却手段により冷却
するとともに、ガス噴射パネル10に形成されている冷
却水流通用溝15に冷却水供給管16から冷却水を供給
し、この冷却水と外側の先端壁本体13および被覆板1
4の壁面との間で熱交換を行ってガス供給用アダプタ7
を冷却し、ガスの発生を抑制する。なお、先端壁本体1
3および被覆板14の壁面との間で熱交換を行ったのち
の冷却水は、冷却水排出管17から排出される。
【0020】ところで、前記冷却水流通用溝15は、先
端壁10のほぼ全域に形成されているので、ガス供給用
アダプタ7を良好に冷却することができる。
端壁10のほぼ全域に形成されているので、ガス供給用
アダプタ7を良好に冷却することができる。
【0021】このように本実施例によれば、先端壁本体
13のほぼ全域に蛇行状に形成された冷却水流通用溝1
5内を流通する冷却水によりガス供給用アダプタ7を良
好に冷却してガスの発生を抑制できる。また、先端壁本
体13の冷却水流通用溝15は切削加工により形成され
ているので、加工を簡単に行うことができる。
13のほぼ全域に蛇行状に形成された冷却水流通用溝1
5内を流通する冷却水によりガス供給用アダプタ7を良
好に冷却してガスの発生を抑制できる。また、先端壁本
体13の冷却水流通用溝15は切削加工により形成され
ているので、加工を簡単に行うことができる。
【0022】なお、本発明は、前述した実施例に限定さ
れるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能であ
る。たとえば、先端壁を構成する先端壁本体と被覆板の
いずれが真空チャンバ本体に面していてもよいし、ま
た、小径のガス供給孔は、先端壁本体と被覆板のいずれ
に形成してもよい。さらに、ガス供給孔に連通するガス
流路は、ガスの流れを阻害しなければ、複数のガス供給
孔に1つのガス流路を対向させるなど種々の形状に形成
することができる。さらにまた、冷却媒体は、実施例の
冷却水に限定されるものではない。
れるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能であ
る。たとえば、先端壁を構成する先端壁本体と被覆板の
いずれが真空チャンバ本体に面していてもよいし、ま
た、小径のガス供給孔は、先端壁本体と被覆板のいずれ
に形成してもよい。さらに、ガス供給孔に連通するガス
流路は、ガスの流れを阻害しなければ、複数のガス供給
孔に1つのガス流路を対向させるなど種々の形状に形成
することができる。さらにまた、冷却媒体は、実施例の
冷却水に限定されるものではない。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ガ
ス供給用アダプタを効率よく冷却することができ、しか
も、そのための加工などを簡単に行うことができるとい
う効果を奏することができる。
ス供給用アダプタを効率よく冷却することができ、しか
も、そのための加工などを簡単に行うことができるとい
う効果を奏することができる。
【図1】本発明の冷却装置を適用した真空チャンバの実
施例を示す概略説明図
施例を示す概略説明図
【図2】図1の要部の詳細平面図
【図3】図2のIII-III 線による断面図
1 真空チャンバ本体 5 内部空所 7 ガス供給用アダプタ 10 先端壁 11 ガス充填室 12 ガス供給管 13 先端壁本体 14 被覆板 15 冷却水流通用溝 16 冷却水供給管 17 冷却水排出管 18 ガス流路 19 ガス供給孔
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 真空チャンバ本体に装着され、先端壁に
形成された多数のガス供給孔を介して真空チャンバ本体
内に反応ガスを供給するガス供給用アダプタを有する真
空チャンバにおいて、前記ガス供給用アダプタの先端壁
を、厚肉の先端壁本体と、この先端壁本体に接合されて
いる薄肉の被覆板とにより構成し、前記先端壁本体に冷
却媒体流通用溝を形成し、前記先端壁本体と被覆板のい
ずれか一方に多数の前記ガス供給孔を形成するととも
に、他方に前記ガス供給孔に連通するガス流路を形成し
たことを特徴とする真空チャンバのガス供給用アダプタ
の冷却装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16491891A JPH057762A (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | 真空チヤンバのガス供給用アダプタの冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16491891A JPH057762A (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | 真空チヤンバのガス供給用アダプタの冷却装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH057762A true JPH057762A (ja) | 1993-01-19 |
Family
ID=15802330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16491891A Pending JPH057762A (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | 真空チヤンバのガス供給用アダプタの冷却装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH057762A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07201488A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-08-04 | Ngk Insulators Ltd | 放熱装置 |
CN114086230A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-02-25 | 常熟永祥镀铝有限公司 | 用于铝型材表面染色的方法 |
-
1991
- 1991-07-05 JP JP16491891A patent/JPH057762A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07201488A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-08-04 | Ngk Insulators Ltd | 放熱装置 |
CN114086230A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-02-25 | 常熟永祥镀铝有限公司 | 用于铝型材表面染色的方法 |
CN114086230B (zh) * | 2021-12-31 | 2023-10-03 | 常熟永祥镀铝有限公司 | 用于铝型材表面染色的方法 |
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