JP2013545626A - 自動化されたハンドリング装置、特にハンドリングロボットから熱を排出する装置、並びにこの装置の使用 - Google Patents

自動化されたハンドリング装置、特にハンドリングロボットから熱を排出する装置、並びにこの装置の使用 Download PDF

Info

Publication number
JP2013545626A
JP2013545626A JP2013543668A JP2013543668A JP2013545626A JP 2013545626 A JP2013545626 A JP 2013545626A JP 2013543668 A JP2013543668 A JP 2013543668A JP 2013543668 A JP2013543668 A JP 2013543668A JP 2013545626 A JP2013545626 A JP 2013545626A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
handling
heat
positive pressure
equipment
suction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2013543668A
Other languages
English (en)
Inventor
シュライヒ ペーター
プファイファー−シェーア コリンナ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of JP2013545626A publication Critical patent/JP2013545626A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0054Cooling means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0075Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
    • B25J19/0079Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa using an internal pressure system

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

本発明は、自動化されたハンドリング装置(100)、特にハンドリングロボット(10)から熱を排出する装置(30)であって、前記ハンドリング装置(100)の構造体(20)と、前記ハンドリング装置(100)の、少なくとも1つの発熱する装置(21,22)、特に駆動装置とを備えた装置(30)に関する。本発明によれば、空気を排出するサクション装置(31)又は空気を供給する正圧装置(41)が設けられており、該サクション装置(31)又は該正圧装置(41)は、前記少なくとも1つの発熱する装置(21,22)に作用接続されて配置されている。

Description

本発明は、請求項1の前提部に記載された装置、すなわち、自動化されたハンドリング装置、特にハンドリングロボットから熱を排出する装置であって、前記ハンドリング装置の構造体と、前記ハンドリング装置の、少なくとも1つの発熱する装置、特に駆動装置とを備えた装置に関する。本発明はさらに、本発明による装置の使用に関する。
請求項1の前提部に記載されたハンドリング装置は、既に一般的に公知であり、例えば、工場において部材を組み立てるための全自動化されたハンドリングロボットとして使用される。最も簡単もしくは単純な場合には、駆動装置の熱は、ハンドリング装置の構造体の熱放射によって周囲に排出される。典型的な発熱する装置は、ハンドリング装置の加熱する駆動装置であり、これらの駆動装置は例えば、グリップアームを運動させるため又はワーク又はこれに類したものを旋回させるために必要である。ハンドリング装置の構造体を介して行われる、熱の純然たる放射の他に、ハンドリング装置内に存在する空気が、発熱する装置によって加熱され、特に、例えば駆動軸又はこれに類したものの領域における非シール性によって、ハンドリング装置から逃げることによっても、熱は、ハンドリング装置の周囲に放出される。
さらにDE202005002475U1から、工業ロボットに、衝突力を緩和するフォーム材料カバーを設けることが、公知である。工業ロボットのこのような構成では、熱が限られたある程度の値でしか周囲に放出され得ない、という問題が生じる。それというのは、ハンドリング装置内に配置された部材の負荷は、ハンドリング装置の比較的高い内部温度によって高められ、このことは特に、電子部品において臨界的になり得るからである。
さらに別の問題点としては次のことが挙げられる。すなわちこの場合、ハンドリング装置の、通常非シール性を有する軸駆動部を介して、特に、例えば塵埃の多い製造工場においてハンドリング装置が使用されている場合には、塵埃、汚れ又はこれに類したものが、ハンドリング装置の内部に達し、これによってハンドリング装置の機能性もしくは耐用寿命が減じられてしまう。空気清浄状態に対して高い要求が課せられる製造室内において、例えば、製薬工業又は半導体工業における製造室内において、ハンドリング装置を使用する場合には、逆に、ハンドリング装置の上記のような非シール性によって、汚染された空気が、ハンドリング装置の構造体の内部から、製造装置もしくは製造室内に達してしまう、おそれがある。
発明の開示
ゆえに本発明の課題は、上に述べた従来技術を出発点として、請求項1の前提部に記載された、自動化されたハンドリング装置、特にハンドリングロボットから熱を排出する装置を改良して、自動化されたハンドリング装置、特にハンドリングロボットが、特に、特別な清浄状態もしくは空気の質が要求される、又は、例えば塵埃のような不純物が特に高いレベルで存在する、領域もしくは室において、使用することができるようにすることである。さらに、比較的高い温度での運転も可能であることが望まれており、このような高い温度によって、さもないと、通常これに関連した、駆動部分の高い温度に基づいて、ハンドリング装置が停止してしまうことがある。
この課題を解決するために、本発明では請求項1の特徴部記載のように構成した。すなわち本発明の構成では、冒頭に述べた装置において、空気を排出するサクション装置又は空気を供給する正圧装置が設けられており、該サクション装置又は該正圧装置は、少なくとも1つの発熱する装置に作用接続されて配置されている。
本発明は、ハンドリング装置内における少なくとも1つの発熱する装置に作用接続されて配置されている、空気を排出もしくは供給するサクション装置又はブロー装置を設ける、という思想に基づいている。これによって、従来技術とは異なり、熱を能動的に、吸込みもしくは吹出しによってハンドリング装置から排除するという可能性が得られる。この結果、追加的に、ハンドリング装置の熱負荷もしくは構成部材の熱負荷が減じられる。
自動化されたハンドリング装置から熱を排出する本発明による装置の別の好適な態様は、従属請求項に記載されている。本発明の枠内には、請求項、明細書及び/又は図面に開示された特徴のうちの少なくとも2つから成るすべての組合せが、含まれる。
本発明の装置において、構造体が、少なくともほぼ気密な構造体として形成されており、サクション装置又は正圧装置が、特にコラムの領域において構造体に接続されているとハンドリング装置の気密な構造体において、十分に大きな空気流を生ぜしめ、これによって、構造体内において発生する熱を、少なくとも、熱が損傷もしくは不都合な影響を及ぼさない領域に排出することができる、構造的に特に簡単な構成を有する装置が得られる。
一般的に非気密性に形成されたハンドリング装置において、熱を排出する空気を、熱が発生する場所に到達させるために、本発明の特に好適な態様では、構造体の内部に、サクション装置又は正圧装置に連結された、特にチューブ状又は管状のエレメントが設けられ、該エレメントは、構造体の内部に配置された発熱する装置に作用接続されている。
この場合特に好適な態様では、エレメントは、該エレメントの長手方向に少なくとも1つのパーフォレーション、好ましくは複数のパーフォレーションを有する。このように構成されていると、エレメントの全長にわたって、暖められた空気を吸い出すこと、もしくは臨界的な箇所に冷却空気を供給することが可能になる。
この場合、パーフォレーションのサイズもしくは直径もしくは数が、エレメントの長手方向において変化すると、均一な熱流が得られる。
例えば空気力式に操作されるグリップアームを有するハンドリング装置が、公知である。このような空気力操作式のグリップアームは、接続チューブを用いて操作もしくは運転され、この接続チューブを介して負圧もしくは正圧がグリップアームに導かれる。従って本発明の別の態様では、エレメントは、ハンドリング装置の空気力式に運転される駆動装置への接続装置である。すなわち、いずれにせよ駆動装置を運転するために必要なチューブは、同時に、熱を排出するために使用される。これによって、ハンドリング装置の構造体の内部空間における所要スペースを増大させる必要がなくなり、追加的な投資コストの高騰を最小にすることができる。
本発明の別の態様では、構造体は、センサ機能を有する被覆体によって取り囲まれている。このような構造体は通常、外部に対して断熱作用を有しているので、本発明による装置は、ハンドリング装置の構成部材が臨界的な温度に達することなく、ハンドリング装置を運転することができる。
本発明はまた、空気の清浄に対して高い要求を課せられている室、特に無塵室における、本発明による装置の使用、並びに、汚染された室における、本発明による装置の使用にも関する。
次に図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を説明する。
ハンドリングロボットとして形成された、無塵室内におけるハンドリング装置を示す概略図である。 熱を排出するためにチューブ状のエレメントを使用した、ハンドリング装置の変化実施形態を示す部分図である。
同じ機能を有する同じ部材は、図面において同一符号で示されている。
図1には、ハンドリングロボット10として形成された自動化されたハンドリング装置100が略示されている。このハンドリングロボット10は、用途を制限されるものではないが、例えば製造室1内における部材の取付けもしくは組立てのために働く。
ハンドリングロボット10は、コラム11を有し、このコラム11は、製造室1の床に結合されている。コラム11の上端面には、第1の旋回アーム12が配置されていて、この旋回アーム12は、回転軸線13において旋回可能に支持されている。第1の旋回アーム12には、コラム11とは反対の側に、第2の旋回アーム14が配置されており、この第2の旋回アーム14は、回転軸線15において旋回可能である。第2の旋回アーム14は例えば、グリップフィンガ17を備えたグリップ装置16を有する。ハンドリングロボット10の上に述べた構成部材は、ハンドリングロボット10の(外側の)構造体20を形成する。ハンドリングロボット10の構造体20の内部、つまり例えば、コラム11もしくは第2の旋回アーム14の内部には、駆動装置21,22として形成された発熱する装置が配置されている。第1の駆動装置21はこの場合、コラム11における第1の旋回アーム12の回転のために働き、これに対して第2の駆動装置22は例えば、グリップアーム16のグリップフィンガ17を操作する空気力式の駆動装置として働く。
追加的に、構造体20は単に略示されたセンサ機能を有する被覆体(sensorische Verkleidung)25によって取り囲まれていてもよい。この被覆体25はこの場合構造体20を少なくとも部分的に、しかしながら好ましくは全体的に取り囲んでいて、例えばハンドリングロボット10の近傍に存在する物体又は人間との、該ハンドリングロボット10の衝突が明らかになった場合に、ハンドリングロボット10の運転を相応に適合させるため、例えば停止させるために、働く。そのために被覆体25は図示されていないセンサ装置、例えば接近センサ、変形センサ又はこれに類したセンサを有する。
発熱する駆動装置21,22から熱を排出するために、ハンドリングロボット10は装置30を有する。この装置30は、図1に示した実施形態ではサクション装置31を有し、このサクション装置31は、第1の管路32を介してコラム11に接続されていて、つまりコラム11内において開口している。第2の管路33はサクション装置31を、製造室1の外部における周囲に接続している。第1の管路32はコラム11に密に、つまりシール作用をもって接続されていて、僅かな寸法だけコラム11内に進入している(図2)。サクション装置31を用いて、構造体20の内部に存在する、駆動装置21,22によって加熱された空気が、構造体20から吸い出され、製造室1の外部における周囲に排出される。第1の管路32が僅かな寸法だけコラム11内に進入しているこのような実施形態は、構造体20がその内部において、コラム11内における第1の管路32の接続箇所の領域において生じる負圧が、駆動装置21,22にまで作用するように構成されていることを前提とする。このようになっていない場合には、図2に示すように、第1の管路32は、構造体20の内部に配置された中空エレメント34、例えばフレキシブルなチューブ又は管に連結されていてよい。中空エレメント34はこの場合、1mm〜5mmの内径、特に3mm〜4mmの内径を有することができる。さらに中空エレメント34の壁には、パーフォレーション35が形成されており、これらのパーフォレーション35の配置形態もしくはサイズは、特に発熱する駆動装置21,22の領域における空気を吸い込むことができるように、設定されている。
また、パーフォレーション35の数及びサイズは、接続箇所36からチューブ端部37に向かって増大するようになっていてよく、このように構成されていると、構造体20の内部において該構造体20の如何なる箇所においても、空気を均一に吸い込むことができる。
発熱する駆動装置21,22から熱を排出するサクション装置31が設けられている、装置30の構成は、シールされた構造体20において好適に使用することができる。この場合特に、軸駆動部、つまりコラム11と第1の旋回アーム12との間の接続箇所、第1の旋回アーム12と第2の旋回アーム14との間の接続箇所、及び第2の旋回アーム14とグリップアーム16との間の接続箇所は、シール作用をもって形成されている。さらにサクション装置31は、ハンドリングロボット10が清浄に対してより高い要求を課せられている製造室1の内部にある場合には、シールされていない構造体20においても使用される。例えばこの場合、製薬工業における製造室1や、又は半導体素子の加工時における製造室1が挙げられる。このような製造室1では、サクション装置31の使用によって、ハンドリングロボット10がその廃熱を製造室1内に放出しないことが、保証される。さらにサクション装置31は、センサ皮膚(Sensorhaut)とも呼ばれる上述のようなセンサ機能を有する被覆体25が使用される場合にも、好適である。それというのは、被覆体25は通常、構造体20の熱を外部に対して遮蔽するので、このような被覆体25は、発熱する駆動装置21,22の熱の放出もしくは放射を少なくとも困難にするからである。
上に述べた実施形態では、エレメント34は別体の追加的なエレメントとして形成されている。しかしながらまた、エレメント34を同時に例えばグリップアーム16用の第2の駆動装置22を駆動するために使用することも、可能もしくは好適である。この場合エレメント34は、空気力式に運転されるグリップアーム16の制御もしくは空気供給のために働く。この場合エレメント34は、(追加的な)パーフォレーション35を有し、この場合このことは、もちろん、グリップアーム16の空気力式の駆動装置の設計時もしくは操作時に考慮される。
製造室1が、例えば塵埃のような粒子によって又は攻撃的な媒体によって空気の質が影響を受けるような室である場合には、サクション装置31の代わりに、圧縮空気を生ぜしめる正圧装置41を使用することが好適である。この正圧装置41もまた好ましくは、第2の管路33を備えており、この第2の管路33は、(清浄な)空気を製造室1の外部領域から吸い込む。圧縮空気を発生させる正圧装置41を使用する場合には、構造体20が非シール性を有することが有利もしくは必要である。このように構成されていると、正圧装置41によって構造体20内に吹き込まれた圧縮空気が構造体20から逃げる、つまり流出することができる。このことは通常、上に述べた軸駆動部の領域における非シール性によって達成される。このことには、次のような特別な利点、すなわち圧縮空気の使用によって製造室1から、塵埃や不都合な媒体を含有する空気が構造体20内に進入することを防止できるという利点、つまり特に、軸駆動部を圧縮空気によって、塵埃又はこれに類したものから保護するという利点がある。
上に述べたハンドリング装置100もしくはハンドリングロボット10は、本発明の思想を逸脱することなしに、種々様々な変化形もしくは変化態様が可能である。

Claims (10)

  1. 自動化されたハンドリング装置(100)、特にハンドリングロボット(10)から熱を排出する装置(30)であって、前記ハンドリング装置(100)の構造体(20)と、前記ハンドリング装置(100)の、少なくとも1つの発熱する装置(21,22)、特に駆動装置とを備えた装置(30)において、
    空気を排出するサクション装置(31)又は空気を供給する正圧装置(41)が設けられており、該サクション装置(31)又は該正圧装置(41)は、前記少なくとも1つの発熱する装置(21,22)に作用接続されて配置されていることを特徴とする装置。
  2. 前記構造体(20)は、少なくともほぼ気密な構造体(20)として形成されており、前記サクション装置(31)又は前記正圧装置(41)は、特にコラム(11)の領域において前記構造体(20)に接続されている、請求項1記載の装置。
  3. 前記構造体(20)の内部に、前記サクション装置(31)又は前記正圧装置(41)に連結された、特にチューブ状又は管状のエレメント(34)が設けられ、該エレメント(34)は、前記構造体(20)の内部に配置された発熱する装置(21,22)に作用接続されている、請求項1又は2記載の装置。
  4. 前記エレメント(34)は、フレキシブルなチューブとして形成されていて、1mm〜5mmの内径、特に3mm〜4mmの内径を有する、請求項3記載の装置。
  5. 前記エレメント(34)は、該エレメント(34)の長手方向に少なくとも1つのパーフォレーション(35)、好ましくは多数のパーフォレーション(35)を有する、請求項3又は4記載の装置。
  6. 前記パーフォレーション(35)のサイズもしくは直径もしくは数が、前記エレメント(34)の長手方向において変化する、請求項5記載の装置。
  7. 前記エレメント(34)は、前記ハンドリング装置(100)の空気力式に運転される駆動装置(22)への接続装置である、請求項3から6までのいずれか1項記載の装置。
  8. 前記構造体(20)は、センサ機能を有しかつ衝突保護体として作用する被覆体(25)によって取り囲まれている、請求項3から7までのいずれか1項記載の装置。
  9. 空気の清浄に対して高い要求を課せられている室、特に無塵室における、請求項1から8までのいずれか1項記載の装置(30)の使用であって、この場合該装置(30)はサクション装置(31)を有する、装置(30)の使用。
  10. 粒子又は攻撃的な媒体によって汚染された室における、請求項1から8までのいずれか1項記載の装置(30)の使用であって、この場合該装置(30)は正圧装置(41)を有する、装置(30)の使用。
JP2013543668A 2010-12-16 2011-12-09 自動化されたハンドリング装置、特にハンドリングロボットから熱を排出する装置、並びにこの装置の使用 Pending JP2013545626A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010063223.6 2010-12-16
DE102010063223A DE102010063223A1 (de) 2010-12-16 2010-12-16 Einrichtung zum Abführen von Wärme aus einer automatisierten Handhabungseinrichtung, insbesondere einem Handhabungsroboter, und Verwendung der Einrichtung
PCT/EP2011/072346 WO2012080134A1 (de) 2010-12-16 2011-12-09 Einrichtung zum abführen von wärme aus einer automatisierten handhabungseinrichtung, insbesondere einem handhabungsroboter, und verwendung der einrichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2013545626A true JP2013545626A (ja) 2013-12-26

Family

ID=45315808

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013543668A Pending JP2013545626A (ja) 2010-12-16 2011-12-09 自動化されたハンドリング装置、特にハンドリングロボットから熱を排出する装置、並びにこの装置の使用

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20130345862A1 (ja)
EP (1) EP2651610B1 (ja)
JP (1) JP2013545626A (ja)
DE (1) DE102010063223A1 (ja)
WO (1) WO2012080134A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018086703A (ja) * 2016-11-29 2018-06-07 セイコーエプソン株式会社 ロボット
JP2019147237A (ja) * 2018-02-28 2019-09-05 ニッタ株式会社 把持装置及び産業用ロボット

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015017282B3 (de) 2015-10-08 2021-09-16 Franka Emika Gmbh Robotersystem und Verfahren zur Steuerung eines Robotersystems
GB2550396B (en) 2016-05-19 2021-08-18 Cmr Surgical Ltd Cooling a surgical robot arm
DE202016005868U1 (de) * 2016-09-23 2016-11-11 Kuka Roboter Gmbh Manipulatorsystem mit Mitteln zur Erzeugung eines Luftstroms
JP7027775B2 (ja) 2017-09-29 2022-03-02 セイコーエプソン株式会社 ロボット
DE102018206019B4 (de) * 2018-04-19 2021-01-21 Kuka Deutschland Gmbh Robotersystem und Verfahren zum Betreiben des Robotersystems

Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60127996A (ja) * 1983-12-15 1985-07-08 松下電器産業株式会社 工業用ロボツトの塵埃飛散防止装置
JPS6174678U (ja) * 1984-10-24 1986-05-20
JPS61103798A (ja) * 1984-10-29 1986-05-22 多摩川精機株式会社 ロボツトア−ム
JPS61125791A (ja) * 1984-11-26 1986-06-13 フアナツク株式会社 内圧防爆構造の工業用ロボツト
JPS61191891U (ja) * 1985-05-24 1986-11-29
JPS6263088A (ja) * 1985-09-10 1987-03-19 川崎重工業株式会社 工業用ロボツトの防塵防液構造
JPH0241889A (ja) * 1988-07-29 1990-02-13 Toshiba Corp クリーンロボット
JPH0452452A (ja) * 1990-06-21 1992-02-20 Tonen Corp 一様性気体流形成装置
JPH04372390A (ja) * 1991-06-14 1992-12-25 Shin Meiwa Ind Co Ltd 真空チャンバ用産業ロボット装置
JPH07246587A (ja) * 1994-03-11 1995-09-26 Yaskawa Electric Corp 多関節形産業用ロボットの冷却構造
JPH0811085A (ja) * 1994-06-28 1996-01-16 Toyota Motor Corp ロボット
JPH11512798A (ja) * 1995-09-26 1999-11-02 フラウンホーファー−ゲゼルシャフト、ツール、フェルデルング、デァ、アンゲヴァンテン、フォルシュング、エー、ファウ マイクロモータ及びマイクロポンプ
JP2003011079A (ja) * 2001-06-27 2003-01-15 Tokai Univ ロボットの関節制動装置
JP2008006535A (ja) * 2006-06-29 2008-01-17 Nidec Sankyo Corp 産業用ロボット
JP2008051475A (ja) * 2006-08-28 2008-03-06 Softbank Mobile Corp サーバー室の熱管理システム

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03184688A (ja) * 1989-12-12 1991-08-12 Fanuc Ltd レーザロボットの冷却構造
FR2681977B1 (fr) * 1991-09-30 1993-12-31 Framatome Dispositif de refroidissement adaptable sur un telemanipulateur et son utilisation pour une intervention dans un milieu hostile a temperature elevee.
US5814960A (en) * 1993-06-08 1998-09-29 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Arm drive device for industrial robot
SE515130C2 (sv) * 1995-02-24 2001-06-11 Abb Ab Robotutrustning
DE10162412A1 (de) * 2001-12-19 2003-07-10 Kuka Roboter Gmbh Einrichtung und Verfahren zum Sichern von Vorrichtungen mit frei im Raum beweglichen Teilen
DE10357609A1 (de) * 2003-12-10 2005-07-21 Kuka Roboter Gmbh Handhabungsgerät wie Industrieroboter und Verfahren zum Beeinflussen einer Umgebungsbedingung in einem solchen
DE202005002475U1 (de) 2005-02-15 2006-06-22 Heiligensetzer, Peter, Dr.-Ing. Kollisionskraftmindernde Schaumstoffabdeckung für Industrieroboter
EP1920893A1 (en) * 2006-11-10 2008-05-14 Abb Research Ltd. Industrial robot with radiation heat reflecting surface and air flow generating device

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60127996A (ja) * 1983-12-15 1985-07-08 松下電器産業株式会社 工業用ロボツトの塵埃飛散防止装置
JPS6174678U (ja) * 1984-10-24 1986-05-20
JPS61103798A (ja) * 1984-10-29 1986-05-22 多摩川精機株式会社 ロボツトア−ム
JPS61125791A (ja) * 1984-11-26 1986-06-13 フアナツク株式会社 内圧防爆構造の工業用ロボツト
JPS61191891U (ja) * 1985-05-24 1986-11-29
JPS6263088A (ja) * 1985-09-10 1987-03-19 川崎重工業株式会社 工業用ロボツトの防塵防液構造
JPH0241889A (ja) * 1988-07-29 1990-02-13 Toshiba Corp クリーンロボット
JPH0452452A (ja) * 1990-06-21 1992-02-20 Tonen Corp 一様性気体流形成装置
JPH04372390A (ja) * 1991-06-14 1992-12-25 Shin Meiwa Ind Co Ltd 真空チャンバ用産業ロボット装置
JPH07246587A (ja) * 1994-03-11 1995-09-26 Yaskawa Electric Corp 多関節形産業用ロボットの冷却構造
JPH0811085A (ja) * 1994-06-28 1996-01-16 Toyota Motor Corp ロボット
JPH11512798A (ja) * 1995-09-26 1999-11-02 フラウンホーファー−ゲゼルシャフト、ツール、フェルデルング、デァ、アンゲヴァンテン、フォルシュング、エー、ファウ マイクロモータ及びマイクロポンプ
JP2003011079A (ja) * 2001-06-27 2003-01-15 Tokai Univ ロボットの関節制動装置
JP2008006535A (ja) * 2006-06-29 2008-01-17 Nidec Sankyo Corp 産業用ロボット
JP2008051475A (ja) * 2006-08-28 2008-03-06 Softbank Mobile Corp サーバー室の熱管理システム

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018086703A (ja) * 2016-11-29 2018-06-07 セイコーエプソン株式会社 ロボット
JP2019147237A (ja) * 2018-02-28 2019-09-05 ニッタ株式会社 把持装置及び産業用ロボット
JP7112210B2 (ja) 2018-02-28 2022-08-03 ニッタ株式会社 把持装置及び産業用ロボット

Also Published As

Publication number Publication date
EP2651610A1 (de) 2013-10-23
WO2012080134A1 (de) 2012-06-21
US20130345862A1 (en) 2013-12-26
DE102010063223A1 (de) 2012-06-21
EP2651610B1 (de) 2014-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013545626A (ja) 自動化されたハンドリング装置、特にハンドリングロボットから熱を排出する装置、並びにこの装置の使用
JP4731267B2 (ja) ロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボット
US8418780B2 (en) Power tool
JP5416666B2 (ja) 安全キャビネット
WO2021007929A1 (zh) 内置式双向气泵自调控气流蠕动柔性机器人
JP7206678B2 (ja) ロードポート装置、半導体製造装置及びポッド内雰囲気の制御方法
TW201308425A (zh) 光罩淨化裝置及光罩淨化方法
JP2008264973A (ja) 吸着ハンド及び吸着装置並びにワークの吸着方法
TWI412397B (zh) 熱回收裝置
JP2011021874A (ja) チャンバー装置、これを備えたロボットセルおよびチャンバールームの換気方法
JP4225208B2 (ja) アイソレータシステム
JPH0225573A (ja) 処理装置
JP2008286497A (ja) ファンフィルタユニット
JP5850663B2 (ja) 乾燥装置
JP6208583B2 (ja) 空気清浄機
KR102177618B1 (ko) 로봇암 보호장치
KR101358079B1 (ko) 송풍 장치
JP6504151B2 (ja) 加工装置
JP2009160710A (ja) ロボットコントローラ
TW202146190A (zh) 具有徑向氣簾及/或內部容積控制的晶圓搬運機器人
KR20150059704A (ko) 설비 전방 단부 모듈
JP6875320B2 (ja) 安全キャビネット
JP6134217B2 (ja) 空気清浄機
JP2001284426A (ja) ウェハの昇降装置
JP3354849B2 (ja) クリーンルーム

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130920

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130716

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140428

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140430

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140714

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20141104

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20150204

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150507

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20150706