JP2013545626A - 自動化されたハンドリング装置、特にハンドリングロボットから熱を排出する装置、並びにこの装置の使用 - Google Patents
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Abstract
Description
ゆえに本発明の課題は、上に述べた従来技術を出発点として、請求項1の前提部に記載された、自動化されたハンドリング装置、特にハンドリングロボットから熱を排出する装置を改良して、自動化されたハンドリング装置、特にハンドリングロボットが、特に、特別な清浄状態もしくは空気の質が要求される、又は、例えば塵埃のような不純物が特に高いレベルで存在する、領域もしくは室において、使用することができるようにすることである。さらに、比較的高い温度での運転も可能であることが望まれており、このような高い温度によって、さもないと、通常これに関連した、駆動部分の高い温度に基づいて、ハンドリング装置が停止してしまうことがある。
Claims (10)
- 自動化されたハンドリング装置(100)、特にハンドリングロボット(10)から熱を排出する装置(30)であって、前記ハンドリング装置(100)の構造体(20)と、前記ハンドリング装置(100)の、少なくとも1つの発熱する装置(21,22)、特に駆動装置とを備えた装置(30)において、
空気を排出するサクション装置(31)又は空気を供給する正圧装置(41)が設けられており、該サクション装置(31)又は該正圧装置(41)は、前記少なくとも1つの発熱する装置(21,22)に作用接続されて配置されていることを特徴とする装置。 - 前記構造体(20)は、少なくともほぼ気密な構造体(20)として形成されており、前記サクション装置(31)又は前記正圧装置(41)は、特にコラム(11)の領域において前記構造体(20)に接続されている、請求項1記載の装置。
- 前記構造体(20)の内部に、前記サクション装置(31)又は前記正圧装置(41)に連結された、特にチューブ状又は管状のエレメント(34)が設けられ、該エレメント(34)は、前記構造体(20)の内部に配置された発熱する装置(21,22)に作用接続されている、請求項1又は2記載の装置。
- 前記エレメント(34)は、フレキシブルなチューブとして形成されていて、1mm〜5mmの内径、特に3mm〜4mmの内径を有する、請求項3記載の装置。
- 前記エレメント(34)は、該エレメント(34)の長手方向に少なくとも1つのパーフォレーション(35)、好ましくは多数のパーフォレーション(35)を有する、請求項3又は4記載の装置。
- 前記パーフォレーション(35)のサイズもしくは直径もしくは数が、前記エレメント(34)の長手方向において変化する、請求項5記載の装置。
- 前記エレメント(34)は、前記ハンドリング装置(100)の空気力式に運転される駆動装置(22)への接続装置である、請求項3から6までのいずれか1項記載の装置。
- 前記構造体(20)は、センサ機能を有しかつ衝突保護体として作用する被覆体(25)によって取り囲まれている、請求項3から7までのいずれか1項記載の装置。
- 空気の清浄に対して高い要求を課せられている室、特に無塵室における、請求項1から8までのいずれか1項記載の装置(30)の使用であって、この場合該装置(30)はサクション装置(31)を有する、装置(30)の使用。
- 粒子又は攻撃的な媒体によって汚染された室における、請求項1から8までのいずれか1項記載の装置(30)の使用であって、この場合該装置(30)は正圧装置(41)を有する、装置(30)の使用。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018086703A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット |
JP2019147237A (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | ニッタ株式会社 | 把持装置及び産業用ロボット |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015017282B3 (de) | 2015-10-08 | 2021-09-16 | Franka Emika Gmbh | Robotersystem und Verfahren zur Steuerung eines Robotersystems |
GB2550396B (en) | 2016-05-19 | 2021-08-18 | Cmr Surgical Ltd | Cooling a surgical robot arm |
DE202016005868U1 (de) * | 2016-09-23 | 2016-11-11 | Kuka Roboter Gmbh | Manipulatorsystem mit Mitteln zur Erzeugung eines Luftstroms |
JP7027775B2 (ja) | 2017-09-29 | 2022-03-02 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット |
DE102018206019B4 (de) * | 2018-04-19 | 2021-01-21 | Kuka Deutschland Gmbh | Robotersystem und Verfahren zum Betreiben des Robotersystems |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60127996A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-08 | 松下電器産業株式会社 | 工業用ロボツトの塵埃飛散防止装置 |
JPS6174678U (ja) * | 1984-10-24 | 1986-05-20 | ||
JPS61103798A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-22 | 多摩川精機株式会社 | ロボツトア−ム |
JPS61125791A (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-13 | フアナツク株式会社 | 内圧防爆構造の工業用ロボツト |
JPS61191891U (ja) * | 1985-05-24 | 1986-11-29 | ||
JPS6263088A (ja) * | 1985-09-10 | 1987-03-19 | 川崎重工業株式会社 | 工業用ロボツトの防塵防液構造 |
JPH0241889A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-13 | Toshiba Corp | クリーンロボット |
JPH0452452A (ja) * | 1990-06-21 | 1992-02-20 | Tonen Corp | 一様性気体流形成装置 |
JPH04372390A (ja) * | 1991-06-14 | 1992-12-25 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 真空チャンバ用産業ロボット装置 |
JPH07246587A (ja) * | 1994-03-11 | 1995-09-26 | Yaskawa Electric Corp | 多関節形産業用ロボットの冷却構造 |
JPH0811085A (ja) * | 1994-06-28 | 1996-01-16 | Toyota Motor Corp | ロボット |
JPH11512798A (ja) * | 1995-09-26 | 1999-11-02 | フラウンホーファー−ゲゼルシャフト、ツール、フェルデルング、デァ、アンゲヴァンテン、フォルシュング、エー、ファウ | マイクロモータ及びマイクロポンプ |
JP2003011079A (ja) * | 2001-06-27 | 2003-01-15 | Tokai Univ | ロボットの関節制動装置 |
JP2008006535A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
JP2008051475A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Softbank Mobile Corp | サーバー室の熱管理システム |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03184688A (ja) * | 1989-12-12 | 1991-08-12 | Fanuc Ltd | レーザロボットの冷却構造 |
FR2681977B1 (fr) * | 1991-09-30 | 1993-12-31 | Framatome | Dispositif de refroidissement adaptable sur un telemanipulateur et son utilisation pour une intervention dans un milieu hostile a temperature elevee. |
US5814960A (en) * | 1993-06-08 | 1998-09-29 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Arm drive device for industrial robot |
SE515130C2 (sv) * | 1995-02-24 | 2001-06-11 | Abb Ab | Robotutrustning |
DE10162412A1 (de) * | 2001-12-19 | 2003-07-10 | Kuka Roboter Gmbh | Einrichtung und Verfahren zum Sichern von Vorrichtungen mit frei im Raum beweglichen Teilen |
DE10357609A1 (de) * | 2003-12-10 | 2005-07-21 | Kuka Roboter Gmbh | Handhabungsgerät wie Industrieroboter und Verfahren zum Beeinflussen einer Umgebungsbedingung in einem solchen |
DE202005002475U1 (de) | 2005-02-15 | 2006-06-22 | Heiligensetzer, Peter, Dr.-Ing. | Kollisionskraftmindernde Schaumstoffabdeckung für Industrieroboter |
EP1920893A1 (en) * | 2006-11-10 | 2008-05-14 | Abb Research Ltd. | Industrial robot with radiation heat reflecting surface and air flow generating device |
-
2010
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2011
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Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60127996A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-08 | 松下電器産業株式会社 | 工業用ロボツトの塵埃飛散防止装置 |
JPS6174678U (ja) * | 1984-10-24 | 1986-05-20 | ||
JPS61103798A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-22 | 多摩川精機株式会社 | ロボツトア−ム |
JPS61125791A (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-13 | フアナツク株式会社 | 内圧防爆構造の工業用ロボツト |
JPS61191891U (ja) * | 1985-05-24 | 1986-11-29 | ||
JPS6263088A (ja) * | 1985-09-10 | 1987-03-19 | 川崎重工業株式会社 | 工業用ロボツトの防塵防液構造 |
JPH0241889A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-13 | Toshiba Corp | クリーンロボット |
JPH0452452A (ja) * | 1990-06-21 | 1992-02-20 | Tonen Corp | 一様性気体流形成装置 |
JPH04372390A (ja) * | 1991-06-14 | 1992-12-25 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 真空チャンバ用産業ロボット装置 |
JPH07246587A (ja) * | 1994-03-11 | 1995-09-26 | Yaskawa Electric Corp | 多関節形産業用ロボットの冷却構造 |
JPH0811085A (ja) * | 1994-06-28 | 1996-01-16 | Toyota Motor Corp | ロボット |
JPH11512798A (ja) * | 1995-09-26 | 1999-11-02 | フラウンホーファー−ゲゼルシャフト、ツール、フェルデルング、デァ、アンゲヴァンテン、フォルシュング、エー、ファウ | マイクロモータ及びマイクロポンプ |
JP2003011079A (ja) * | 2001-06-27 | 2003-01-15 | Tokai Univ | ロボットの関節制動装置 |
JP2008006535A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
JP2008051475A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Softbank Mobile Corp | サーバー室の熱管理システム |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018086703A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット |
JP2019147237A (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | ニッタ株式会社 | 把持装置及び産業用ロボット |
JP7112210B2 (ja) | 2018-02-28 | 2022-08-03 | ニッタ株式会社 | 把持装置及び産業用ロボット |
Also Published As
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