JP2009160710A - ロボットコントローラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コントローラ筐体1の全体を収納するシャーシ2を備え、一端がコントローラ筐体1内部に連通し、他端がシャーシの外部空間に連通した第1のダクト11と、一端がコントローラ筐体1内部に連通し、他端がシャーシ2の外部空間に連通し、内部に排気用ファン31を有する第2のダクト21と、一端がコントローラ筐体1とシャーシ2とで囲まれた空間に連通し、他端が外部空間に連通した第3のダクト12と、一端がコントローラ筐体1とシャーシ2とで囲まれた空間に連通し、他端が外部空間に連通し、内部に排気用ファン32を有する第4のダクトで構成した。
【選択図】図1
Description
そこで、産業用ロボットのコントローラからの発熱を装置に影響のない場所へと排気するために、従来はファンやダクトが用いられている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1では、コントローラ内で暖められた気体をダクトを用い、装置に影響の少ない場所へと排気するよう構成されている。
また、コントローラ搭載空間の温度上昇を抑制するために、コントローラに風量の大きなファンを搭載する、もしくはコントローラ自身を断熱材で構成するなどの方法が上記の手段以外にも考えられる。しかし、露光装置などへの組込み用コントローラの場合、装置自体のフットプリントの小型化が進んでいるので、大きな容量のファンを取り付けるスペースが確保できないこと、また、クリーンルームという設置環境により使用できる素材が限られることなどから、限られたスペース・限られた素材で効率よく排熱を行う必要がある。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、産業用ロボットコントローラからの発熱を、その搭載空間から外気へ極限まで排熱すること、またコントローラ筐体表面からの放熱についても外気へ排熱し、産業用コントローラ搭載空間内の温度上昇を防ぐことができ、かつ、限られた装置のスペースに搭載できるよう省スペースで排熱を行う方法を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、産業用ロボットを制御するロボットコントローラにおいて、発熱体を収納したコントローラ筐体と、前記コントローラ筐体の全体を収納するシャーシと、一端が前記コントローラ筐体内部に連通し、他端が前記シャーシの外部空間に連通した第1のダクトと、一端が前記コントローラ筐体内部に連通し、他端が前記シャーシの外部空間に連通し、内部に排気用ファンを有する第2のダクトと、一端が前記コントローラ筐体と前記シャーシとで囲まれた空間に連通し、他端が外部空間に連通した第3のダクトと、一端が前記コントローラ筐体と前記シャーシとで囲まれた空間に連通し、他端が外部空間に連通し、内部に排気用ファンを有する第4のダクトを備えたロボットコントローラとするものである。
また、請求項2に記載の発明は、前記第1のダクトと前記第2のダクトは、前記コントローラ筐体の対向する面においてそれぞれが互いに離れた位置に設置され、前記第3のダクトと前記第4のダクトは、前記シャーシの対向する面においてそれぞれが互いに離れた位置に設置された請求項1記載のロボットコントローラとするものである。
また、請求項3に記載の発明は、前記シャーシが前記コントローラ筐体を支持する固定部材に、防振ゴムが用いられた請求項1記載のロボットコントローラとするものである。
また、請求項4に記載の発明は、前記第2のダクトの前記排気用ファンの近傍と、前記第4のダクトの前記排気用ファンの近傍と、に温度センサがそれぞれ設けられ、前記温度センサで検知された温度に応じて前記第2のダクトの前記排気用ファンと前記第4のダクトの前記排気用ファンのON/OFFを制御する請求項1記載のロボットコントローラとするものである。
また、請求項5に記載の発明は、請求項1記載のロボットコントローラを搭載した半導体露光装置とするものである。
また、請求項2に記載の発明によると、効率よくコントローラ筐体内部及びシャーシ内部の気体を排気できる。
また、請求項3に記載の発明によると、コントローラの振動がシャーシ外部に伝わることを抑制できる。
また、請求項4に記載の発明によると、温度により排気用ファンのON/OFF駆動を制御できるので、排気用ファン駆動用の電力を省力化することができ、発熱の低減及び電源の小型化を図ることができる。
コントローラ筐体1には、半導体製造装置に設置される基板搬送用ロボットやロボットの外部軸(基板のアライメント装置やロボットの走行軸)を制御する機器が収容されていて、各機器から電流による発熱が発生する。
シャーシ2は、コントローラ筐体1を数箇所の固定部材23によってその内壁において支持している。固定部材23は断熱効果の高い樹脂を用いているが、防振効果の高いゴム製を用いてもよい。また、シャーシ2は後述するダクト12、22以外、コントローラ筐体1をほぼ密閉して内包するよう構成されている。 ダクト11はコントローラ筐体1に接続される吸気用ダクトである。その一端はシャーシ2よりも外部の外気に連通され、他端はコントローラ筐体1の内部に連通されている。
ダクト12はシャーシ2に接続される吸気用ダクトである。その一端は外気に連通され、他端はシャーシ2の筐体内部に連通されている。
ダクト21はコントローラ筐体1に接続される排気用ダクトである。その一端はシャーシ2よりも外部に連通され、他端はコントローラ筐体1の筐体内部に連通されている。外気に連通される一端は、産業用ロボットコントローラ3が設置される装置の外部まで導出される。また、その他端(コントローラ筐体1側)には排気用ファン31が取り付けられており、コントローラ筐体1内部の気体をダクト21によって強制排気できるようになっている。排気用ファン31はコントローラ筐体1内部の電源に接続されていて、産業用ロボットコントローラ3の稼動時に常時稼動して排気を行う。 ダクト22はシャーシ2に接続される排気用ダクトである。その一端は外気に連通され、他端はシャーシ2の筐体内部に連通されている。外気に連通される一端は、産業用ロボットコントローラ3が設置される装置の外部まで導出される。また、その他端(シャーシ2側)には排気用ファン32が取り付けられており、シャーシ2筐体内壁とコントローラ筐体1外部とで囲まれた空間の気体を強制排気できるようになっている。排気用ファン32はコントローラ筐体1内部の電源に接続されていて、産業用ロボットコントローラ1の稼動時に常時稼動して排気を行う。なお、ダクト21とダクト22とは、それぞれの一端付近で1つのダクトとして接続されてもよい。
なお、排気用ファン31,32は以下の数式から導かれる風量にてファン容量を選定する。
Q[m^3/hour]=W[W]/1.163×ΔT[℃]×Cp[kcal/kg・℃]×γ[kg/m^3]
Q :風量
ΔT:入排気の温度差
Cp:比熱
γ :比重
図中白矢印のように、排気用ファン31の作用によって、ダクト11から装置が設置されているクリーンルーム内の温度一定の外気を取り入れ、コントローラ筐体1内部の発熱をダクト21にて強制排熱する。さらに図中黒矢印のように、排気用ファン32の作用によって、ダクト12からクリーンルーム内の温度一定の外気を取り入れ、コントローラ筐体1表面から放熱された熱をダクト22にて強制排熱する。
コントローラ筐体1内部で発生する発熱は排気用ファン31によってダクト21へ引くことで排熱できるが、排気用ファン31のみではコントローラ筐体1の表面から放熱されてしまう熱は排熱できない。そこで、本発明ではコントローラ筐体1全体をシャーシ2で覆い、コントローラ筐体1の表面から放熱されてしまう熱をシャーシ2とコントローラ1筐体との間の空間で閉じ込め、排気用ファン32及びダクト22を用いて装置外へ排熱することによって、産業用ロボットコントローラ3が搭載される空間の温度上昇を効果的に防ぐことができる。
また、図1のようにダクト11とダクト21及びダクト12とダクト22を、それぞれ対角線上に配置することにより効率よく排熱を行うように構成している。すなわち、コントローラ筐体1において、ダクト11が設けられる面と対向する面にダクト21が設置され、それぞれの面において互いのダクトがなるべく離れる位置に設置されることで、コントローラ筐体1内部の気体が排気用ファンによってまんべんなく排気されるようになっている。ダクト12とダクト22もシャーシ2において同様な配置になっている。
図2に示すように、産業用ロボットコントローラ3に目標温度(T)とその設置環境に応じた上限設定温度(T1),下限設定温度(T2)を予め定め、上限設定温度T1が検知されると排気用ファン31、32をONし、下限設定温度T2が検知されると排気用ファン31、32をOFFさせる。
ここでは第1温度センサ41の上限設定温度TA1と下限設定温度TA2、及び第2温度センサ42の上限設定温度TB1と下限設定温度TB2、をそれぞれ設定し、センサによって検出される温度により排気用ファン31,32の電源のON/OFFを制御する。排気用ファン31,32のON/OFF制御により、排気用ファン31,32自身からの発熱を削減することもできる。
また、温度に応じて排気用ファン31,32の電源電圧を連続的に可変することで、ファン風量を連続的に可変してもよい。
2 シャーシ
3 産業用ロボットコントローラ
11 (第1の)ダクト
12 (第3の)ダクト
21 (第2の)ダクト
22 (第4の)ダクト
23 固定部材
31 排気用ファン
32 排気用ファン
41 温度センサ(排気用ファン31の吸気口に搭載)
42 温度センサ(排気用ファン32の吸気口に搭載)
Claims (5)
- 産業用ロボットを制御するロボットコントローラにおいて、
発熱体を収納したコントローラ筐体と、
前記コントローラ筐体の全体を収納するシャーシと、
一端が前記コントローラ筐体内部に連通し、他端が前記シャーシの外部空間に連通した第1のダクトと、
一端が前記コントローラ筐体内部に連通し、他端が前記シャーシの外部空間に連通し、内部に排気用ファンを有する第2のダクトと、
一端が前記コントローラ筐体と前記シャーシとで囲まれた空間に連通し、他端が外部空間に連通した第3のダクトと、
一端が前記コントローラ筐体と前記シャーシとで囲まれた空間に連通し、他端が外部空間に連通し、内部に排気用ファンを有する第4のダクトを備えたことを特徴とするロボットコントローラ。 - 前記第1のダクトと前記第2のダクトは、前記コントローラ筐体の対向する面においてそれぞれが互いに離れた位置に設置され、
前記第3のダクトと前記第4のダクトは、前記シャーシの対向する面においてそれぞれが互いに離れた位置に設置されたことを特徴とする請求項1記載のロボットコントローラ。 - 前記シャーシが前記コントローラ筐体を支持する固定部材に、防振ゴムが用いられたことを特徴とする請求項1記載のロボットコントローラ。
- 前記第2のダクトの前記排気用ファンの近傍と、前記第4のダクトの前記排気用ファンの近傍と、に温度センサがそれぞれ設けられ、
前記温度センサで検知された温度に応じて前記第2のダクトの前記排気用ファンと前記第4のダクトの前記排気用ファンのON/OFFを制御することを特徴とする請求項1記載のロボットコントローラ。 - 請求項1記載のロボットコントローラを搭載したことを特徴とする半導体露光装置。
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