JP2009160710A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 産業用ロボットを制御するロボットコントローラにおいて、
   発熱体を収納したコントローラ筐体と、
   前記コントローラ筐体の全体を収納するシャーシと、を備え、
   前記コントローラ筐体の内部空間を排気する第１の排熱機構と、
   前記コントローラ筐体と前記シャーシとで囲まれた空間を排気する第２の排熱機構と、
   を備えたことを特徴とするロボットコントローラ。
2. 前記第１の排熱機構が、一端が前記コントローラ筐体内部に連通し、他端が前記シャーシの外部空間に連通した第１のダクトと、一端が前記コントローラ筐体内部に連通し、他端が前記シャーシの外部空間に連通し、内部に排気用ファンを有する第２のダクトと、を備え、
   前記第２の排熱機構が、一端が前記コントローラ筐体と前記シャーシとで囲まれた空間に連通し、他端が外部空間に連通した第３のダクトと、一端が前記コントローラ筐体と前記シャーシとで囲まれた空間に連通し、他端が外部空間に連通し、内部に排気用ファンを有する第４のダクトと、
   を備えたことを特徴とする請求項１記載のロボットコントローラ。
3. 前記第１のダクトと前記第２のダクトは、前記コントローラ筐体の対向する面においてそれぞれが互いに離れた位置に設置され、
   前記第３のダクトと前記第４のダクトは、前記シャーシの対向する面においてそれぞれが互いに離れた位置に設置されたこと、
   を特徴とする請求項２記載のロボットコントローラ。
4. 前記シャーシが前記コントローラ筐体を支持する固定部材に、防振ゴムが用いられたこと、
   を特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載のロボットコントローラ。
5. 前記第２のダクトの前記排気用ファンの近傍と、前記第４のダクトの前記排気用ファンの近傍と、に温度センサがそれぞれ設けられ、
   前記温度センサで検知された温度に応じて前記第２のダクトの前記排気用ファンと前記第４のダクトの前記排気用ファンのＯＮ／ＯＦＦを制御すること、
   を特徴とする請求項２乃至４いずれかに記載のロボットコントローラ。
6. 請求項１乃至５いずれかに記載のロボットコントローラを搭載したことを特徴とする半導体露光装置。