JP2007250802A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】変圧器の発熱を抑制し、変圧器及び周辺部品の熱劣化を防止し、変圧器収納室の小型化を実現することを可能とする。
【解決手段】基板処理装置は、基板を処理する処理室と、処理室を加熱する加熱装置と、加熱装置に接続される電源供給ラインと、電源供給ラインに設けられる変圧器と、変圧器を収納する変圧器収納室とを備える。変圧器収納室は、変圧器収納室内に冷却気体を供給する第1の冷却気体供給手段と、変圧器収納室内に供給された冷却気体を導いて前記変圧器収納室内の局所へ供給する冷却気体流路と、局所供給された冷却気体を変圧器に供給する第2の冷却気体供給手段とを有する。
【選択図】 図1
【解決手段】基板処理装置は、基板を処理する処理室と、処理室を加熱する加熱装置と、加熱装置に接続される電源供給ラインと、電源供給ラインに設けられる変圧器と、変圧器を収納する変圧器収納室とを備える。変圧器収納室は、変圧器収納室内に冷却気体を供給する第1の冷却気体供給手段と、変圧器収納室内に供給された冷却気体を導いて前記変圧器収納室内の局所へ供給する冷却気体流路と、局所供給された冷却気体を変圧器に供給する第2の冷却気体供給手段とを有する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、変圧器を備えた基板処理装置に関する。
ウェハに対して熱処理を行う装置として基板処理装置が知られている。この基板処理装置は、装置本体と、装置本体へ電力等を供給するユーティリティユニット(用力ユニット)とから構成されている(例えば、特許文献1参照)。
ユーティリティユニットには、処理炉内に処理ガスを供給するためのガス供給ユニット、処理炉のヒータ等に電源を供給する電源供給ユニット、駆動部のコントローラなどを含む制御ユニット、処理炉内を真空排気するための排気ユニット等が設けられている。
上記電源供給ユニットには外部電源が接続される。この外部電源電圧が装置本体内で必要とされる電圧と異なる場合には、変圧器(トランス)が必要となり、基板処理装置とは別体にトランスボックスと呼ばれる変圧器収納室が設けられる。この変圧器収納室に設けられたトランスは発熱するために、従来は、トランスのコイル外周に冷却ジャケット等の水冷機構を設置して冷却水による冷却を行ったり、あらかじめ発熱を抑えた余裕のある大きいトランスを使用したりしていた。
特開2001−210602号公報
しかしながら上述した従来技術には次のような問題があった。
(1)変圧器のコイル外周に冷却ジャケットを設置して冷却水による冷却を行うものでは、変圧器のコイル間を直接冷却できないため、コイル間に熱溜まり箇所が生じ、変圧器自体の発熱を有効に抑制することができなかった。このため、変圧器自体の発熱による変圧器収納室内の温度上昇によって、変圧器収納室内の周辺機器は耐熱以上の環境にさらされて部品寿命を縮める原因となっていた。また、変圧器収納室外のパネル温度も上がるという不具合もあった。
(2)あらかじめ発熱を抑えた余裕のある大きい変圧器を使用したものでは、変圧器収納室の大型化が避けられないが、近年の基板処理装置の市場動向としては、省エネルギー化や設置面積の省スペース化の要請があり、必要以上に大きい変圧器収納室は需要が少なくなってきているため、時代の要請に応えることができなかった。
(1)変圧器のコイル外周に冷却ジャケットを設置して冷却水による冷却を行うものでは、変圧器のコイル間を直接冷却できないため、コイル間に熱溜まり箇所が生じ、変圧器自体の発熱を有効に抑制することができなかった。このため、変圧器自体の発熱による変圧器収納室内の温度上昇によって、変圧器収納室内の周辺機器は耐熱以上の環境にさらされて部品寿命を縮める原因となっていた。また、変圧器収納室外のパネル温度も上がるという不具合もあった。
(2)あらかじめ発熱を抑えた余裕のある大きい変圧器を使用したものでは、変圧器収納室の大型化が避けられないが、近年の基板処理装置の市場動向としては、省エネルギー化や設置面積の省スペース化の要請があり、必要以上に大きい変圧器収納室は需要が少なくなってきているため、時代の要請に応えることができなかった。
本発明の課題は、上述した従来技術の問題点を解消して、変圧器の発熱を抑制し、変圧器及び周辺部品の熱劣化を防止し、変圧器収納室の小型化を実現することが可能な基板処理装置を提供することにある。
本発明は、基板を処理する処理室と、該処理室を加熱する加熱装置と、該加熱装置に接続される電源供給ラインと、該電源供給ラインに設けられる変圧器と、該変圧器を収納する変圧器収納室とを備える基板処理装置であって、前記変圧器収納室は、該変圧器収納室内に冷却気体を供給する第1の冷却気体供給手段と、前記変圧器収納室内に供給された前記冷却気体を導いて前記変圧器収納室内の局所へ供給する冷却気体流路と、前記局所供給された前記冷却気体を前記変圧器に供給する第2の冷却気体供給手段とを有することを特徴とする基板処理装置である。
第1の冷却気体供給手段により変圧器収納室内に冷却気体が供給される。変圧器収納室内に供給された冷却気体は、冷却気体流路により導かれて変圧器収納室内の局所に供給される。局所供給された冷却気体は第2の冷却気体供給手段により変圧器に供給される。
したがって、変圧器収納室内に供給した冷却気体を変圧器に直接供給することができるので、変圧器に熱溜まり箇所がなくなり、変圧器の発熱を抑制することができ、変圧器収納室の温度も下げることができる。それに伴い変圧器の占有面積も抑えることができるので、変圧器収納室を小型化できる。
第1の冷却気体供給手段により変圧器収納室内に冷却気体が供給される。変圧器収納室内に供給された冷却気体は、冷却気体流路により導かれて変圧器収納室内の局所に供給される。局所供給された冷却気体は第2の冷却気体供給手段により変圧器に供給される。
したがって、変圧器収納室内に供給した冷却気体を変圧器に直接供給することができるので、変圧器に熱溜まり箇所がなくなり、変圧器の発熱を抑制することができ、変圧器収納室の温度も下げることができる。それに伴い変圧器の占有面積も抑えることができるので、変圧器収納室を小型化できる。
本発明によれば、変圧器の発熱を抑制し、変圧器及び周辺部品の熱劣化を防止し、変圧器収納室の小型化を実現することができる。
以下に本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。
[第1の実施の形態]
本実施の形態による基板処理装置は、半導体などのウェハに対して酸化膜の形成、ドーパントの拡散、アニールあるいはCVDといったプロセス処理を行う。この基板処理装置は、減圧CVD処理炉(処理炉ともいう)を有する装置本体と、装置本体へ電力等を供給するユーティリティユニットとから構成されている。基板処理装置には、ユーティリティユニットが装置本体と別置きにされた別体型と、ユーティリティユニットが装置本体と一体化された一体化型とがある。
本実施の形態による基板処理装置は、半導体などのウェハに対して酸化膜の形成、ドーパントの拡散、アニールあるいはCVDといったプロセス処理を行う。この基板処理装置は、減圧CVD処理炉(処理炉ともいう)を有する装置本体と、装置本体へ電力等を供給するユーティリティユニットとから構成されている。基板処理装置には、ユーティリティユニットが装置本体と別置きにされた別体型と、ユーティリティユニットが装置本体と一体化された一体化型とがある。
図4に実施の形態によるユーティリティユニット別体型の基板処理装置の斜視図を示す。装置本体には、図示しない処理炉やボート、ボートエレベータ等が設けられている。この装置本体の構成は、後述する図5で詳細に説明する。ユーティリティボックス52には、処理炉内に処理ガスを供給するためのガス供給ユニット11、処理炉のヒータ等に電源を供給する電源供給ユニット12、駆動部のコントローラなどを含む制御ユニット13、処理炉内を真空排気するための排気ユニット14等が設けられており、装置本体51とユーティリティボックス52との間には、配管やケーブル等が引き回されている。
また、図5にユーティリティ一体型の基板処理装置を示す。筐体20内の前部には、外部との間でウェハカセット(基板カセット)Cの搬入出を行うカセットステージ1が設けられ、筐体20内の後部上方には、ウェハに対して所定の処理(CVD)を行う縦型の処理炉10が設けられている。処理炉10は、ヒータ101と、その内部の反応管100とから構成されている。また、筐体20内のカセットステージ1の後側には、ウェハカセットCを搬送するカセットローダ2と、ウェハカセットCを保管するカセット棚3と、ウェハカセットCを一時的に保管するバッファカセット棚4と、ウェハカセットCの中からウェハを取り出してボート7に移載するウェハ移載機(基板移載手段)5及び移載エレベータ6とが設けられ、処理炉10の下側には、ウェハが搭載されたボート7を処理炉10の反応管100に対して出し入れするボートエレベータ8が設けられている。
ユーティリティユニットとしては、処理炉10に処理ガスを供給するガス供給ユニット11と、処理炉10のヒータ101や各種駆動部あるいは制御部等に対して電源を供給する電源供給ユニット12と、駆動部のコントローラや各種計器類などを含む制御ユニット13と、処理炉10内を真空排気するための排気ユニット(図示せず)とが設けられており、これらは全て装置本体の筐体20の内部、あるいは筐体20の外部に直接一体的に装備されている。
図2は上述した何れのタイプの基板処理装置に共通する装置本体に設けられる処理炉の概略構成図である。
基板処理装置を構成する処理炉は、外管(アウタチューブ)103と内管(インナーチューブ)104とからなる反応管100と、反応管100内の処理室90を加熱する加熱装置としてのヒータ101とから構成される。
さらに、ヒータ101の温度を検出するヒータ熱電対102と、外管103と内管104の間の温度を検出するカスケード熱電対105と、処理室90内で熱処理するための基板としてのウェハ200を搭載したボート106と、ヒータ熱電対102及びカスケード熱電対105の検出温度と、設定温度Yとからヒータ101への操作量Z(電力値)を演算して求める温度コントローラ(温度制御部)107と、外部電源108の電圧を変圧する変圧器としてのトランス110と、トランス110で変圧された電力を上記操作量Zに応じて制御する電力制御部としてのサイリスタ制御器120と、サイリスタ制御器120を介してトランス110とヒータ101とを接続してサイリスタ制御器120からヒータ101に制御電力を供給する電源供給ライン130とから構成される。
基板処理装置を構成する処理炉は、外管(アウタチューブ)103と内管(インナーチューブ)104とからなる反応管100と、反応管100内の処理室90を加熱する加熱装置としてのヒータ101とから構成される。
さらに、ヒータ101の温度を検出するヒータ熱電対102と、外管103と内管104の間の温度を検出するカスケード熱電対105と、処理室90内で熱処理するための基板としてのウェハ200を搭載したボート106と、ヒータ熱電対102及びカスケード熱電対105の検出温度と、設定温度Yとからヒータ101への操作量Z(電力値)を演算して求める温度コントローラ(温度制御部)107と、外部電源108の電圧を変圧する変圧器としてのトランス110と、トランス110で変圧された電力を上記操作量Zに応じて制御する電力制御部としてのサイリスタ制御器120と、サイリスタ制御器120を介してトランス110とヒータ101とを接続してサイリスタ制御器120からヒータ101に制御電力を供給する電源供給ライン130とから構成される。
ヒータ101は、処理室内温度(炉内温度)をより高精度に制御するためにゾーン分割されており、図示例のように4ゾーン分割の場合には、上部から順にU,CU,CL,Lゾーンなどと呼ばれる。それぞれのゾーンごとに、ヒータ熱電対102とカスケード熱電対105が設置されている。この減圧CVD処理炉における温度制御の目的は、熱処理するためのウェハ200に、より近い場所(炉内)に設置してあるカスケード熱電対105の検出温度を、温度制御部107にフィードバックして設定温度Yと一致させることである。
次に、上述した減圧CVD処理炉で、一般に使用される処理シーケンスについて説明する。処理シーケンスは図示しない統括制御部により、温度制御部107を制御することによって実行される。図3(a)は、減圧CVD処理炉で行われるプロセス処理の1例のフローチャートを示し、図3(b)は、そのときの炉内の温度変化の概略を示したものである。
ステップS1は、炉内温度を比較的低い目標温度T0に維持させる処理である。そのために、温度制御部107に設定温度として目標温度T0を設定し、ヒータ熱電対102及びカスケード熱電対105の検出温度が目標温度T0となるように、温度制御部107は操作量Zを求める。この操作量Zに基づいてサイリスタ制御器120がヒータ101に電源供給ライン130を介して制御電力を供給し、炉内温度を比較的低い目標温度T0に維持させる。以下のステップで行われる温度制御も上述したのと同様な温度制御部107によるフィードバック制御によって行われる。なお、このステップS1では、ボート106はまだ炉内へ挿入されていない。ステップS2は、複数のウェハ200を搭載したボート106を炉内に挿入する処理(ボートロード)である。このとき、炉内温度を目標温度T0に維持させるようにしても、炉内温度は一時的に目標温度T0よりも低下する。
ステップS1は、炉内温度を比較的低い目標温度T0に維持させる処理である。そのために、温度制御部107に設定温度として目標温度T0を設定し、ヒータ熱電対102及びカスケード熱電対105の検出温度が目標温度T0となるように、温度制御部107は操作量Zを求める。この操作量Zに基づいてサイリスタ制御器120がヒータ101に電源供給ライン130を介して制御電力を供給し、炉内温度を比較的低い目標温度T0に維持させる。以下のステップで行われる温度制御も上述したのと同様な温度制御部107によるフィードバック制御によって行われる。なお、このステップS1では、ボート106はまだ炉内へ挿入されていない。ステップS2は、複数のウェハ200を搭載したボート106を炉内に挿入する処理(ボートロード)である。このとき、炉内温度を目標温度T0に維持させるようにしても、炉内温度は一時的に目標温度T0よりも低下する。
ステップS3は、目標温度T0からウェハ200に成膜処理等のプロセス処理を施すための処理温度T1まで徐々に炉内の温度を上昇させる処理(ランプアップ)である。ステップS4はウェハ200にプロセス処理を施すために炉内の温度を処理温度T1に安定させた後、ウェハ200にプロセス処理を施す。プロセス処理後のステップS5は、処理温度T1から再び比較的低い目標温度T0まで徐々に炉内の温度を下降させる処理(ランプダウン)である。ステップS6は、プロセス処理が施されたウェハ200を搭載しているボート106を炉内から引き出す処理である。このときも炉内温度は、ステップS2のときほどではないが、一時的に低下する。
炉内から引き出されたボート106から処理済のウェハ200が払い出され、未処理のウェハ200が新たにボート106に搭載され、これらの未処理のウェハ200に対して上記ステップS1〜S6が繰り返される。
炉内から引き出されたボート106から処理済のウェハ200が払い出され、未処理のウェハ200が新たにボート106に搭載され、これらの未処理のウェハ200に対して上記ステップS1〜S6が繰り返される。
ところで、上述したユーティリティユニットに設けられる電源供給ユニット12内に、前述したサイリスタ制御器120が設けられる。サイリスタ制御器120に接続される上述したトランス110は、電源供給ユニット12に接続される外部電源108の電圧が装置本体内で必要とされる内部供給電圧と相違する場合に、相違する電圧を変換するために設けられる。トランス110は、通常、基板処理装置とは別体に変圧器収納室としてのトランスボックス内に収納される。
図1は上記のトランス110を収納するトランスボックス31の透視斜視図を示す。
トランスボックス31の本体は、上部が閉じ底部が開放した上下に長い直方体をしており、4枚の側面板(31c、31e…)と天板とで構成されている。底部は、一部が熱を外部に排出する開口部31aとなっている。トランスボックス31の本体は、床面より多少、例えば50mm程度ジャッキアップされている。
この開口部31aにトランス110が取り付けられている。このトランス110は、ヨーク111とコイル112を有するトランス本体113とから構成される。トランス110のコイル112は、ヨーク111の中心部に渦巻き状に巻かれており、上部から見ると、トランスボックス31本体の正面側(側面板31e側)部分と背面側(側面板31eと反対側の側面板側)部分とがヨーク111から突き出している。
トランスボックス31の本体は、上部が閉じ底部が開放した上下に長い直方体をしており、4枚の側面板(31c、31e…)と天板とで構成されている。底部は、一部が熱を外部に排出する開口部31aとなっている。トランスボックス31の本体は、床面より多少、例えば50mm程度ジャッキアップされている。
この開口部31aにトランス110が取り付けられている。このトランス110は、ヨーク111とコイル112を有するトランス本体113とから構成される。トランス110のコイル112は、ヨーク111の中心部に渦巻き状に巻かれており、上部から見ると、トランスボックス31本体の正面側(側面板31e側)部分と背面側(側面板31eと反対側の側面板側)部分とがヨーク111から突き出している。
トランスボックス31の正面となる側面板31eの上部には、冷却気体として例えば外気(白抜き矢印で示す)をトランスボックス31内に供給するめの外気取込口32が設けられている。なお、外気としては常温の空気の他に冷却した空気でもよい。また、冷却気体として、外気の他に常温または冷却した不活性ガスを挙げることができる。
外気取込口32には、第1の冷却気体供給手段としての吸気ファン33が設けられている。吸気ファン33は、トランスボックス31外からトランスボックス31内に冷却気体としての外気を供給するように構成されている。
また、外気取込口32には、吸気ファン33を覆うファンボックス34がトランスボックス31内に突出するように設けられ、吸気ファン33により供給された外気を一旦、ファンボックス34内に取り込むようになっている。
また、外気取込口32には、吸気ファン33を覆うファンボックス34がトランスボックス31内に突出するように設けられ、吸気ファン33により供給された外気を一旦、ファンボックス34内に取り込むようになっている。
ファンボックス34の底部に複数、図示例では2つの排気口35、36が設けられている。各排気口35、36には、吸気ファン33から供給される外気をトランスボックス31内に局所供給する冷却気体流路としてのダクト37、38がそれぞれ接続されている。ここで、局所供給とは、外気をガイドして特定の場所に集中的に供給することをいう。特定の場所とは、トランス110を冷却するのに最適な場所である。ダクト37、38は、例えばフレキシブルチューブ等から構成することができる。
2つのダクト37、38は、それぞれ空冷ファン39、40に取り付けられ、ダクト37、38でガイドされる外気が空冷ファン39、40にそれぞれ局所供給されるようになっている。この空冷ファン39、40のファン能力は吸気ファン33と同等か、それより小さくてもよい。
空冷ファン39は、トランス110の近傍、例えば、トランス110の上方であって、渦巻き状に構成されているコイル112の背面側部分を見降ろす位置に設けられている。空冷ファン40は、同じくトランス110の近傍、例えば、トランス110の上方であって、渦巻き状に構成されているコイル112の正面側部分を見降ろす位置に設けられている。
したがって、空冷ファン39及び40にそれぞれ局所供給された外気は、白抜き矢印B及びCで示すように、コイル112の背面部分及び正面側部分に上方から供給されるようになっている。
空冷ファン39は、トランス110の近傍、例えば、トランス110の上方であって、渦巻き状に構成されているコイル112の背面側部分を見降ろす位置に設けられている。空冷ファン40は、同じくトランス110の近傍、例えば、トランス110の上方であって、渦巻き状に構成されているコイル112の正面側部分を見降ろす位置に設けられている。
したがって、空冷ファン39及び40にそれぞれ局所供給された外気は、白抜き矢印B及びCで示すように、コイル112の背面部分及び正面側部分に上方から供給されるようになっている。
なお、空冷ファン39の上方に、水平面に対して所定角度傾斜した支持板42は、図示しないケーブルを支えるためのものである。
次に、上述したようなトランスボックス31の作用を説明する。
トランスボックス31の上部に設けた吸気ファン33によって常時外気が内部に供給される。供給された外気は、一旦、ファンボックス34内に取り込まれた後、ダクト37、38によって外気を下方に導かれて空冷ファン39及び40に局所供給される。局所供給された外気は、空冷ファン39、及び40により、トランス110の発熱部であるコイル112の背面部分及び正面側部分に供給され、これらの部分を集中的に冷却する。冷却により発生した熱はトランスボックス31の底部に設けた開口部31aから外部へ排出される。
トランスボックス31の上部に設けた吸気ファン33によって常時外気が内部に供給される。供給された外気は、一旦、ファンボックス34内に取り込まれた後、ダクト37、38によって外気を下方に導かれて空冷ファン39及び40に局所供給される。局所供給された外気は、空冷ファン39、及び40により、トランス110の発熱部であるコイル112の背面部分及び正面側部分に供給され、これらの部分を集中的に冷却する。冷却により発生した熱はトランスボックス31の底部に設けた開口部31aから外部へ排出される。
以上述べたように、第1の実施の形態によれば、従来の水冷による冷却を空冷とすることで、従来必要とされた水冷機構を不要とすることができる。また、トランス110のコイル間に常に一定の温度の外気を送り込むことができるので、コイル112間に熱溜まり箇所がなくなり、トランス110自体の発熱を抑制することができる。それに伴いトランスボックス31内の雰囲気温度の上昇を抑制でき、トランスボックス31外パネルの温度も室温程度に下げることができるので、周辺機器の劣化を抑制して周辺機器部品の寿命を延ばすことができる。また必要以上に占有していたトランス110の面積も最低限に抑えることができ、トランスボックス31の小型化を実現できる。
また、通常、熱は上方に逃げるため、ボックスの下方から吸気してボックスの上方へ排気する冷却方式が採用され、上方から吸気して下方へ排気する方式は、冷却効果が低くなるため採用されないのが普通である。しかし、本実施の形態では、ダクトによる局所供給を実現しているので(吸気局所供給方法)、上方から吸気して下方へ排気する方式を採用しながら、通常の冷却方式と同等の冷却効果を得ることができる。したがって、特にボックスの構造上、ボックス下方からボックスの上方へ外気を流せないような構造の場合に、本実施の形態は有効である。
また、本実施の形態は、吸気局所供給方法を採用しているので、単に、空冷ファンのみで冷却する場合のように、トランスボックス31内での渦の発生などのトラブルが生じ難く、したがってトランス110を有効に冷却することができる。また、吸気局所供給方法は、同じ空冷方式であっても内部の熱した空気を排気ファンによって単に外部に排気する方法に比べて、トランス110を有効に冷却することができる。また、吸気局所供給方法は、排気と吸気とを併用する方法と比べても、騒音とコストの点で有利である。
また、本実施の形態は、吸気局所供給方法を採用しているので、単に、空冷ファンのみで冷却する場合のように、トランスボックス31内での渦の発生などのトラブルが生じ難く、したがってトランス110を有効に冷却することができる。また、吸気局所供給方法は、同じ空冷方式であっても内部の熱した空気を排気ファンによって単に外部に排気する方法に比べて、トランス110を有効に冷却することができる。また、吸気局所供給方法は、排気と吸気とを併用する方法と比べても、騒音とコストの点で有利である。
また、本実施の形態では、吸気ファン33によりトランスボックス31内に供給した外気を、ダクト37、38へ送り込むことによって、2系統に分流させ、加熱部分が2箇所の分れているコイル112の表面側部分と背面側部分とに導いているので、トランス110を均一に冷却することができる。
また、空冷ファン39、40によって、それらの下流に集中して強い気流を生じさせるので、渦巻き上に構成されたコイル112間の隙間に効率良く外気を送り、まわりの空気を強制的に対流させたり、コイル112の熱を底部の開口部31aへ排気したりすることができる。これによって、コイル112間に熱の溜まり箇所が生じるのを防止できるので、効率の良い冷却が可能となる。
また、空冷ファン39、40によって、それらの下流に集中して強い気流を生じさせるので、渦巻き上に構成されたコイル112間の隙間に効率良く外気を送り、まわりの空気を強制的に対流させたり、コイル112の熱を底部の開口部31aへ排気したりすることができる。これによって、コイル112間に熱の溜まり箇所が生じるのを防止できるので、効率の良い冷却が可能となる。
また、本実施の形態によれば、上流側に共通の吸気ファン33を、下流側に空冷ファン39、40をそれぞれぞれ設置して、正常運転時は各系統で2台のファンを一緒に稼働させ、外気を供給してトランスを冷却している。このため、仮に共通の吸気ファン33が故障して稼働しなくなる異常運転時であっても、残る空冷ファン39、40のみでトランス110を冷却させることができる。反対に、下流側の空冷ファン39、40の一方、または他方、あるいは両方が稼働しなくなっても、吸気ファン33のみでトランス110を冷却することができる。
また、実施の形態のように、トランスボックス31底部に放熱用の開口部を設けると、多数のトランスボックス31を隙間無く横に並べたり(多連にしたり)、背面を壁に押しつけたりしても、放熱を確保できる。この点で、トランスボックスの側面に放熱孔を設けるのは、放熱が確保できないため、好ましくない。
また、上述した第1の実施の形態では、ファンボックス34の側面に開口孔を設けない場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、ファンボックス34の側面にスリット等の開口孔を設けるようにし、トランスボックス31の上方へも吸気ファン33から吸気された冷却気体の一部を流すようにしてもよい。この際、吸気ファン33の吸気容量は、ダクト37、38および開口孔へ吸気される量が十分確保されるように設定するのが好ましい。
また、例えば、空冷ファン39の上方の支持板42には、ケーブルのみならず、例えば電装品を設けるようにしてもよい。
また、上述した第1の実施の形態では、ファンボックス34の側面に開口孔を設けない場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、ファンボックス34の側面にスリット等の開口孔を設けるようにし、トランスボックス31の上方へも吸気ファン33から吸気された冷却気体の一部を流すようにしてもよい。この際、吸気ファン33の吸気容量は、ダクト37、38および開口孔へ吸気される量が十分確保されるように設定するのが好ましい。
また、例えば、空冷ファン39の上方の支持板42には、ケーブルのみならず、例えば電装品を設けるようにしてもよい。
なお、上述した第1の実施の形態では、電源供給ユニット12とは別体にトランスボックス31を設けた基板処理装置について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図4に示すユーティリティユニット別体型の基板処理装置の電源供給ユニット12内にトランスボックス31を一体的に設けたものにも適用可能である。また、トランスボックス31が小さい場合には、図5に示すユーティリティ一体型の基板処理装置の電源供給ユニット12内にトランスボックス31を一体的に設けたものにも適用可能である。
[第2の実施の形態]
ところで、上述した第1の実施の形態においては、トランス110の温度に関係なく、常時、吸気ファン33及び空冷ファン39を稼働してトランス110を冷却するようにしているが、トランス110の温度に応じて、吸気ファン33及び空冷ファン39を制御してトランス110を冷却するようにすることも可能である。
ところで、上述した第1の実施の形態においては、トランス110の温度に関係なく、常時、吸気ファン33及び空冷ファン39を稼働してトランス110を冷却するようにしているが、トランス110の温度に応じて、吸気ファン33及び空冷ファン39を制御してトランス110を冷却するようにすることも可能である。
第2の実施の形態は、そのようなトランス110の温度に応じて、吸気ファン33及び空冷ファン39を稼働制御するようにしたものである。
図6に示すように、トランス110にトランス本体113の温度を検出する温度センサ41を設け、この温度センサ41による検出温度に基づいて、吸気ファン33、空冷ファン39を制御する冷却制御手段45を設ける。これにより吸気ファン33、空冷ファン39の効率的な運用を制御するようにする。
具体的には、図7に示すように、冷却制御手段45は、温度センサ41の検知温度が80℃未満か否かを判定する(ステップ701)。検知温度が80℃未満のときは、トランスボックス31内に外気を供給する吸気ファン33のみを稼働させてトランス110を冷却する(ステップ702)。
温度センサ41の検知温度が80℃以上のときは、さらに検知温度が130℃以上か否かを判定する(ステップ703)。検知温度が130°未満のときは、吸気ファン33に加えて、一方のダクト37から局所供給される外気をトランス本体113に供給する空冷ファン39をも稼働させて、2つの吸気ファン33、及び空冷ファン39によってトランス110を冷却する(ステップ704、705)。
ステップ703で検知温度が130℃以上である場合には、トランス110の温度異常と判定し、アラームを発生させるとともに基板処理装置の電源をシャットダウンさせたり、処理室90内への処理ガスの供給に替えて不活性ガスを供給したりする等のエラー処理をする(ステップ706)。
この第2の実施の形態によれば、トランス110の温度に応じて、吸気ファン33及び空冷ファン39を制御するので、より省エネルギー化がはかれ、トランス110の発熱を有効に抑制し、トランス110及び周辺部品の熱劣化をさらに防止することが可能となる。
図6に示すように、トランス110にトランス本体113の温度を検出する温度センサ41を設け、この温度センサ41による検出温度に基づいて、吸気ファン33、空冷ファン39を制御する冷却制御手段45を設ける。これにより吸気ファン33、空冷ファン39の効率的な運用を制御するようにする。
具体的には、図7に示すように、冷却制御手段45は、温度センサ41の検知温度が80℃未満か否かを判定する(ステップ701)。検知温度が80℃未満のときは、トランスボックス31内に外気を供給する吸気ファン33のみを稼働させてトランス110を冷却する(ステップ702)。
温度センサ41の検知温度が80℃以上のときは、さらに検知温度が130℃以上か否かを判定する(ステップ703)。検知温度が130°未満のときは、吸気ファン33に加えて、一方のダクト37から局所供給される外気をトランス本体113に供給する空冷ファン39をも稼働させて、2つの吸気ファン33、及び空冷ファン39によってトランス110を冷却する(ステップ704、705)。
ステップ703で検知温度が130℃以上である場合には、トランス110の温度異常と判定し、アラームを発生させるとともに基板処理装置の電源をシャットダウンさせたり、処理室90内への処理ガスの供給に替えて不活性ガスを供給したりする等のエラー処理をする(ステップ706)。
この第2の実施の形態によれば、トランス110の温度に応じて、吸気ファン33及び空冷ファン39を制御するので、より省エネルギー化がはかれ、トランス110の発熱を有効に抑制し、トランス110及び周辺部品の熱劣化をさらに防止することが可能となる。
[第3の実施の形態]
第3の実施の形態は、第2の実施の形態をさらに一歩進めたもので、プロセス処理シーケンスに応じて、吸気ファン33及び空冷ファン39の運用を制御するようにしたものである。
具体的には、冷却制御手段45によって次のように運用する。図3に示すように、ステップS1、ステップS4、ステップS5の工程では、吸気ファン33のみを稼働させる。また、ステップS2のウェハ挿入工程と、ステップS3の昇温工程と、ステップS6のウェハ引出し工程では、吸気ファン33、及び空冷ファン39を稼働させるようにする。つまり、処理室90内の温度が安定している工程であるステップS1、ステップS4に比べて、処理室90内の温度を昇温させるために大容量の電力を供給する必要のある工程が含まれているステップS2、ステップS3、及びステップS6の工程時に、トランス110をより有効に冷却するように、吸気ファン33、空冷ファン39を両方稼働させる。なお、温度降下工程のステップS5では、ヒータ101に電力は供給されていない状態なので、吸気ファン33の稼働のみで足りる。
第3の実施の形態は、第2の実施の形態をさらに一歩進めたもので、プロセス処理シーケンスに応じて、吸気ファン33及び空冷ファン39の運用を制御するようにしたものである。
具体的には、冷却制御手段45によって次のように運用する。図3に示すように、ステップS1、ステップS4、ステップS5の工程では、吸気ファン33のみを稼働させる。また、ステップS2のウェハ挿入工程と、ステップS3の昇温工程と、ステップS6のウェハ引出し工程では、吸気ファン33、及び空冷ファン39を稼働させるようにする。つまり、処理室90内の温度が安定している工程であるステップS1、ステップS4に比べて、処理室90内の温度を昇温させるために大容量の電力を供給する必要のある工程が含まれているステップS2、ステップS3、及びステップS6の工程時に、トランス110をより有効に冷却するように、吸気ファン33、空冷ファン39を両方稼働させる。なお、温度降下工程のステップS5では、ヒータ101に電力は供給されていない状態なので、吸気ファン33の稼働のみで足りる。
この第3の実施の形態によれば、プロセス処理シーケンスに応じて、吸気ファン33及び空冷ファン39を制御するので、さらに省エネルギー化がはかれ、トランス110の発熱を有効に抑制し、トランス110及び周辺部品の熱劣化をさらに防止することが可能となる。
A 外気(冷却気体)
31 トランスボックス(変圧器収納室)
33 吸気ファン(第1の冷却気体供給手段)
37、38 ダクト(冷却気体流路)
39 空冷ファン(第2の冷却気体供給手段)
90 処理室
101 ヒータ(加熱装置)
110 トランス(変圧器)
130 電源供給ライン
200 ウェハ(基板)
31 トランスボックス(変圧器収納室)
33 吸気ファン(第1の冷却気体供給手段)
37、38 ダクト(冷却気体流路)
39 空冷ファン(第2の冷却気体供給手段)
90 処理室
101 ヒータ(加熱装置)
110 トランス(変圧器)
130 電源供給ライン
200 ウェハ(基板)
Claims (1)
- 基板を処理する処理室と、
該処理室を加熱する加熱装置と、
該加熱装置に接続される電源供給ラインと、
該電源供給ラインに設けられる変圧器と、
該変圧器を収納する変圧器収納室と、
を備える基板処理装置であって、
前記変圧器収納室は、
該変圧器収納室内に冷却気体を供給する第1の冷却気体供給手段と、
前記変圧器収納室内に供給された前記冷却気体を導いて前記変圧器収納室内の局所へ供給する冷却気体流路と、
前記局所供給された前記冷却気体を前記変圧器に供給する第2の冷却気体供給手段と
を有することを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006071811A JP2007250802A (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006071811A JP2007250802A (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | 基板処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007250802A true JP2007250802A (ja) | 2007-09-27 |
Family
ID=38594774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006071811A Pending JP2007250802A (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007250802A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102800462A (zh) * | 2011-05-23 | 2012-11-28 | 苏州沃能电力设备有限公司 | 一种用于干式变压器的散热装置 |
JP2018101741A (ja) * | 2016-12-21 | 2018-06-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
CN116153826A (zh) * | 2023-04-23 | 2023-05-23 | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 | 化学气相沉积设备用负载锁定设备 |
-
2006
- 2006-03-15 JP JP2006071811A patent/JP2007250802A/ja active Pending
Cited By (6)
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KR20180072572A (ko) * | 2016-12-21 | 2018-06-29 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102205383B1 (ko) | 2016-12-21 | 2021-01-19 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
CN116153826A (zh) * | 2023-04-23 | 2023-05-23 | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 | 化学气相沉积设备用负载锁定设备 |
CN116153826B (zh) * | 2023-04-23 | 2023-06-27 | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 | 化学气相沉积设备用负载锁定设备 |
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