CN112239082A - 工业用机器人及工业用机器人的控制方法 - Google Patents

Abstract

一种工业用机器人及其控制方法，即使装载于手上且在真空中搬运的搬运对象物的温度变得更高，也能够抑制搬运对象物与目标到达位置的偏差，确保搬运对象物的搬运精度。该工业用机器人(1)具备：臂(4)，其具有多个臂部(20、21)，并且在前端侧以能够转动的方式连接手(3)；主体部(5)，其以能够转动的方式连接臂；臂驱动机构，其使臂相对于主体部伸缩；以及温度传感器(43、44)，其检测臂部(20、21)各自的温度。手及臂配置于真空中，臂的内部为大气压，温度传感器(43、44)配置于臂部各自的内部的中心部。在工业用机器人中，在臂进行伸缩动作时，基于温度传感器的检测结果控制臂驱动机构，调节臂的伸缩量。

Description

工业用机器人及工业用机器人的控制方法

技术领域

本发明涉及一种在真空中搬运搬运对象物的工业用机器人。另外，本发明涉及该工业用机器人的控制方法。

背景技术

目前，已知一种在真空中搬运玻璃基板的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具备装载玻璃基板的手、在前端侧以能够转动的方式连接手的臂、以及以能够转动的方式连接臂的基端侧的主体部。手及臂配置于真空中。臂形成为中空状。形成为中空状的臂的内部空间为大气压。

在专利文献1所记载的工业用机器人中，因为臂的内部空间为大气压，所以能够从臂的内部对臂进行冷却来抑制臂的温度上升。因此，在该工业用机器人中，即使装载于手上并在真空中搬运的玻璃基板的温度变高，也能够抑制臂的热膨胀，其结果是，能够抑制装载于手上来搬运的玻璃基板与目标到达位置的偏差，确保玻璃基板的搬运精度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014－144527号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的工业用机器人中，如果装载于手上并在真空中搬运的玻璃基板的温度变得更高，则可能难以抑制臂的温度上升，并且难以抑制臂的热膨胀。另外，如果难以抑制臂的热膨胀，则可能装载于手上来搬运的玻璃基板与目标到达位置的偏差变大，玻璃基板的搬运精度降低。即，在专利文献1所记载的工业用机器人中，如果装载于手上并在真空中搬运的玻璃基板的温度变得更高，则玻璃基板的搬运精度可能降低。

因此，本发明的技术问题在于提供一种工业用机器人，即使装载于手上并在真空中搬运的搬运对象物的温度变得更高，也能够抑制搬运对象物与目标到达位置的偏差，确保搬运对象物的搬运精度。另外，本发明的技术问题在于提供一种工业用机器人的控制方法，即使装载于手上并在真空中搬运的搬运对象物的温度变得更高，也能够抑制搬运对象物与目标到达位置的偏差，确保搬运对象物的搬运精度。

用于解决技术问题的方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人，其为对搬运对象物进行搬运的工业用机器人，其特征在于，具备：手，其装载搬运对象物；臂，其具有以能够相对转动的方式相连接的多个臂部，并且在前端侧以能够转动的方式连接手；主体部，其以能够转动的方式连接臂的基端侧；臂驱动机构，其使臂相对于主体部伸缩；多个温度传感器，其检测多个臂部各自的温度；以及控制部，其控制工业用机器人，手及臂配置于真空中，臂形成为中空状，臂的内部空间为大气压，温度传感器配置于多个臂部各自的内部的中心部，在臂进行伸缩动作时，控制部基于多个温度传感器的检测结果控制臂驱动机构，调节臂的伸缩量。

另外，为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人的控制方法，所述工业用机器人具备：手，其装载搬运对象物；臂，其具有以能够相对转动的方式相连接的多个臂部，并且在前端侧以能够转动的方式连接手；主体部，其以能够转动的方式连接臂的基端侧；臂驱动机构，其使臂相对于主体部伸缩；以及多个温度传感器，其配置于多个臂部各自的内部的中心部并检测多个臂部各自的温度，手及臂配置于真空中，臂形成为中空状，臂的内部空间为大气压，工业用机器人的控制方法的特征在于，在臂进行伸缩动作时，基于多个温度传感器的检测结果控制臂驱动机构，调节臂的伸缩量。

在本发明中，在臂进行伸缩动作时，基于配置于多个臂部各自的内部并检测多个臂部各自的温度的多个温度传感器的检测结果控制臂驱动机构，调节臂的伸缩量。因此，在本发明中，在臂进行伸缩动作时，能够使臂以与基于温度传感器的检测结果确定的臂的热膨胀量相对应的伸缩量进行伸缩。因此，在本发明中，即使装载于手上并在真空中搬运的搬运对象物的温度变得更高使得臂发生热膨胀，也能够抑制搬运对象物与目标到达位置的偏差，确保搬运对象物的搬运精度。

另外，在本发明中，因为多个温度传感器分别配置于多个臂部各自的内部的中心部，所以与多个温度传感器分别配置于多个臂部各自的内部的端部侧的情况相比，能够比较高精度地测定多个臂部各自的温度。因此，在本发明中，能够基于多个温度传感器的检测结果高精度地确定臂的热膨胀量。另外，在本发明中，在臂进行伸缩动作时，能够使臂以与高精度地确定的臂的热膨胀量相对应的伸缩量伸缩，因此，即使装载于手上并在真空中搬运的搬运对象物的温度变得更高使得臂发生热膨胀，也能够有效地抑制搬运对象物与目标到达位置的偏差，提高搬运对象物的搬运精度。

在本发明中，优选的是，手具备多个垫，所述垫形成有供搬运对象物的端部的下表面接触的接触面，在垫上形成有多个接触面和多个台阶面，所述多个接触面配置成阶梯状，所述多个台阶面与接触面的端部连接，并且搬运对象物的端面能够与台阶面接触。如果这样构成，则即使提高手的移动速度(即，臂的伸缩速度)，也能够通过台阶面防止装载于手上的搬运对象物从手上掉落。因此，能够加快手的移动速度，其结果是，能够缩短由工业用机器人搬运的搬运对象物的搬运时间。

在本发明中，例如，搬运对象物形成为长方形的平板状，手具备供搬运对象物的端部的下表面接触的橡胶制的多个第二垫，垫由硬质的树脂材料形成，配置于避开搬运对象物的四个角的位置。在这种情况下，能够通过在橡胶制的多个第二垫和搬运对象物之间产生的摩擦力抑制装载于手上的搬运对象物在手移动时的偏移。

发明效果

如上所述，在本发明中，即使装载于手上并在真空中搬运的搬运对象物的温度变得更高，也能够抑制搬运对象物与目标到达位置的偏差，确保搬运对象物的搬运精度。

附图说明

图1(A)是本发明的实施方式的工业用机器人的俯视图，图1(B)是图1(A)所示的工业用机器人的侧视图。

图2是用于从侧面说明图1(A)和图1(B)所示的工业用机器人的内部构造的剖视图。

图3是用于说明图1(A)和图1(B)所示的工业用机器人的结构的框图。

图4是图1(A)的E部的放大图。

图5(A)是图4所示的垫的俯视图，图5(B)是图5(A)所示的垫的侧视图。

附图标记说明

1…机器人(工业用机器人)；2…基板(玻璃基板、搬运对象物)；3…手；4…臂；5…主体部；7…臂驱动机构；9…控制部；20、21…臂部；40、41…内部空间；43、44…温度传感器；50…垫；50a…接触面；50b…台阶面；51…垫(第二垫)

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的整体结构及臂的内部结构)

图1(A)是本发明的实施方式的工业用机器人1的俯视图，图1(B)是图1(A)所示的工业用机器人1的侧视图。图2是用于从侧面说明图1(A)和图1(B)所示的工业用机器人1的内部构造的剖视图。图3是用于说明图1(A)和图1(B)所示的工业用机器人1的结构的框图。

本实施方式的工业用机器人1(以下，设为“机器人1”)例如是用于搬运作为搬运对象物的有机EL(有机电致发光)显示器用的玻璃基板2(以下，设为“基板2”)的水平多关节型机器人。玻璃基板2形成为长方形的平板状。本实施方式的机器人1在真空中搬运温度较高的基板2。机器人1具备：装载基板2的手3、在前端侧以能够转动的方式连接手3的臂4、以及以能够转动的方式连接臂4的基端侧的主体部5。

另外，机器人1具备：使主体部5上升和下降的升降机构6、使臂4相对于主体部5在水平方向上伸缩的臂驱动机构7、使手3相对于臂4转动的手驱动机构8、以及控制机器人1的控制部9。主体部5及升降机构6收容在形成为大致有底圆筒状的壳体12中。在壳体12的上端固定有形成为圆盘状的凸缘13。在凸缘13上形成有配置后述的中空转动轴29的上端侧部分的贯通孔。

手3及臂4配置于主体部5的上侧。另外，手3及臂4配置于凸缘13的上侧。在本实施方式中，机器人1的比凸缘13的下端面靠上侧的部分配置于真空区域VR中。即，手3及臂4配置于真空中。另一方面，机器人1的比凸缘13的下端面靠下侧的部分配置于大气区域AR中(大气中)。

手3具备连接至臂4的基部15和装载基板2的两个手叉16。手叉16具备两根叉主体17。叉主体17形成为细长的直线的棒状。两根叉主体17以相互隔开规定的间隔的状态平行配置。另外，叉主体17的基端固定于基部15。两个手叉16中的一个手叉16的两根叉主体17从基部15向水平方向的一方侧突出。另一个手叉16的两根叉主体17朝向水平方向的另一侧(相反侧)突出。关于手3的具体结构，将在后面描述。

臂4具备多个臂部20、21。本实施方式的臂4由臂部20和臂部21这两个臂部20、21构成。臂部20、21形成为中空状。即，臂4形成为中空状。具体地说，臂4整体形成为中空状。另外，臂部20、21由铝合金等轻量的金属材料形成。臂部20的基端侧以能够转动的方式连接到主体部5。在臂部20的前端侧，以能够转动的方式连接有臂部21的基端侧。即，臂部20和臂部21以相互能够相对转动的方式相连接。在臂部21的前端侧以能够转动的方式连接有手3。

臂部20以从主体部5向水平方向的一侧延伸的方式安装于主体部5。臂部21配置于比臂部20靠上侧的位置。另外，手3配置于比臂部21靠上侧的位置。臂部21相对于臂部20的转动中心和臂部20相对于主体部5的转动中心之间的距离与臂部21相对于臂部20的转动中心和手3相对于臂部21的转动中心之间的距离相等。

升降机构6具备丝杆轴22、与丝杠轴22卡合的螺母部件23、以及使丝杠轴22旋转的电动机24。丝杠轴22经由带轮及传动带与电动机24连接。电动机24与控制部9电连接。螺母部件23经由规定的托架安装于主体部5。在本实施方式中，当电动机24旋转时，丝杠轴22旋转，主体部5与螺母部件23一起上升和下降。

臂驱动机构7具备用于使臂部20相对于主体部5转动的电动机26和使臂部21相对于臂部20转动的电动机27。电动机26、27与控制部9电连接。电动机26配置于壳体12的内部。电动机26安装于主体部5。电动机27配置于臂部20的前端侧的内部。电动机27安装于臂部20。

另外，臂驱动机构7具备将电动机26的旋转减速并传递到臂部20的减速器28和固定于减速器28的输出轴上的中空转动轴29。减速器28是中空减速器。在减速器28的输入轴上，经由带轮及传动带连接有电动机26。在减速器28的输出轴上固定有中空转动轴29的下端，在中空转动轴29的上端固定有臂部20的基端侧的下表面。主体部5具备以使中空转动轴29能够旋转的方式支承中空转动轴29的保持部件30。在保持部件30上固定有减速器28的壳体。在臂部20和主体部5的连接部配置有防止空气流入真空区域VR的磁性流体密封件及波纹管。

再者，臂驱动机构7具备将电动机27的旋转减速并传递到臂部21的减速器31和固定在减速器31的输出轴上的中空转动轴32。减速器31是中空减速器，配置于臂部20的前端部的内部。在减速器31的输入轴上经由带轮及传动带连接有电动机27。在减速器31的输出轴上固定有中空转动轴32的下端，中空转动轴32的上端固定于臂部21的基端侧的下表面。减速器31的壳体固定于臂部20的前端侧。

手驱动机构8具备用于使手3相对于臂部21转动的电动机35。电动机35与控制部9电连接。电动机35配置于臂部20的前端侧的内部。另外，电动机35安装于臂部20。另外，手驱动机构8具备将电动机35的旋转减速并传递到手3的减速器36、固定于减速器36的输出轴上的中空转动轴37、以及配置于减速器31及中空转动轴32的内周侧的中空转动轴38。

减速器36为中空减速器，配置于臂部21的前端部的内部。在中空转动轴38的下端部，经由带轮及传动带连接有电动机35。减速器36的输入轴和中空转动轴38的上端部经由带轮及传动带连接。在减速器36的输出轴上固定有中空转动轴37的下端，中空转动轴37的上端固定于手3的基部15的下表面。减速器36的壳体固定于臂部21的前端侧。

如上所述，臂部20及臂部21形成为中空状。臂部20的内部空间40被封闭，内部空间40的压力为大气压。另外，臂部21的内部空间41也被封闭，内部空间41的压力也为大气压。即，臂4的内部空间40、41为大气压。在臂部20和臂部21的连接部及臂部21和手3的连接部配置有防止空气流入真空区域VR的磁性流体密封件。此外，内部空间40和内部空间41经由中空转动轴38的内周侧相通。另外，在臂部20的基端侧的下表面形成有与中空转动轴29的内周侧相通的贯通孔，内部空间40与处于大气压的主体部5的内部相通。

在臂部20的内部配置有检测臂部20的温度的温度传感器43，在臂部21的内部配置有检测臂部21的温度的温度传感器44。即，机器人1具备检测多个臂部20、21各自的温度的多个温度传感器43和44。具体地说，机器人1具备检测两个臂部20、21各自的温度的两个温度传感器43和44。

温度传感器43配置于臂部20的内部的中心部。另外，温度传感器43直接安装于构成臂部20的下表面的下表面部的上表面，直接检测臂部20的温度。温度传感器44配置于臂部21的内部的中心部。另外，温度传感器44直接安装于构成臂部21的下表面的下表面部的上表面，直接检测臂部21的温度。温度传感器43、44与控制部9电连接。

此外，温度传感器43可以安装于构成臂部20的侧面的侧面部的内侧面，也可以安装于构成臂部20的上表面的上表面部的下表面。同样地，温度传感器44可以安装于构成臂部21的侧面的侧面部的内侧面，也可以安装于构成臂部21的上表面的上表面部的下表面。另外，温度传感器43也可以通过检测臂部20的内部的温度来间接地检测臂部20的温度。同样地，温度传感器44也可以通过检测臂部21的内部的温度来间接地检测臂部21的温度。

在本实施方式中，在臂4进行伸缩动作时(具体地说，臂4伸缩以搬运基板2时)，控制部9基于温度传感器43和44的检测结果控制臂部驱动机构7，调节臂4的伸缩量。即，在臂4进行伸缩动作时，控制部9基于温度传感器43和44的检测结果控制电动机26和27的旋转量，调节臂4的伸缩量。即，在臂4进行伸缩动作时，控制部9基于温度传感器43和44的检测结果，使臂部21和手3的连接部分的控制上的移动完成位置偏移。

具体地说，在臂4进行伸缩动作之前，控制部9基于由温度传感器43检测出的臂部20的温度计算臂部20的热膨胀量，并且基于由温度传感器44检测出的臂部21的温度计算臂部21的热膨胀量，在臂4进行伸缩动作时，基于算出的臂部20、21的热膨胀量控制电动机26和27的旋转量。此外，在臂4进行伸缩动作时，控制部9基于温度传感器43和44的检测结果控制手驱动机构8的电动机35的旋转量，还调节手3相对于臂部21的转动量。

(手的结构)

图4是图1(A)的E部的放大图。图5(A)是图4所示的垫50的俯视图，图5(B)是图5(A)所示的垫50的侧视图。

如上所述，手3具备基部15和两个手叉16，手叉16具备两根叉主体17。在以下的说明中，将从上下方向观察时的叉主体17的长度方向(图4的X方向)设为左右方向，将与上下方向和左右方向正交的方向(图4的Y方向)设为前后方向。在本实施方式中，装载于手叉16上的基板2的端面与左右方向或前后方向大致平行。

手叉16除了叉主体17之外，还具备固定于叉主体17的前端侧的多个叉部48。多个叉部48以从两根叉主体17朝向前后方向的外侧延伸的方式固定于叉主体17。另外，多个叉部48以在左右方向上隔开规定间隔的状态平行配置。例如，五个叉部48以在左右方向上隔开规定间隔的状态配置。基板2装载于手叉16的配置有叉部48的部分。

在多个叉部48的前端部(前后方向的外侧端部)的上表面安装有供基板2的端部的下表面接触的多个垫50和51。另外，在两根叉主体17的上表面也安装有供基板2的端部的下表面接触的多个垫50。即，手3具备基板2的端部的下表面接触的多个垫50和51。垫51由橡胶形成。例如，垫51由氟橡胶形成。在垫51上载置有基板2的端部。本实施方式的垫51为第二垫。

垫50由硬质的树脂材料形成。例如，垫50由聚醚醚酮(PEEK)形成。垫50形成为大致长方体块状。在垫50上形成有供基板2的端部的下表面接触的(即，载置基板2的端部的)接触面50a。具体地说，在垫50上形成有配置成阶梯状的多个接触面50a。例如，在垫50上形成有配置成阶梯状的三个接触面50a。接触面50a为与上下方向正交的平面。

另外，在垫50上形成有与接触面50a的端部连接的多个台阶面50b。台阶面50b是平行于上下方向的平面，基板2的端面能够与台阶面50b接触。在本实施方式中，形成有三个台阶面50b。另外，在垫50上形成有贯通孔50c，该贯通孔50c供用于将垫50固定到叉部48或叉主体17上的螺丝(图示省略)插入。此外，在图4中省略贯通孔50c的图示。

在本实施方式中，两个垫50固定于一根叉主体17上。具体地说，在叉主体17的左右方向上的中心部和叉主体17的前端部这两个部位固定有垫50。另外，垫50被固定在固定于一根叉主体17上的五个叉部48中的两个叉部48的前端部，垫51固定在剩余的三个叉部48的前端部。固定垫50的叉部48和固定垫51的叉部48在左右方向上交替排列。

另外，在本实施方式中，垫50被配置在装载于垫50、51上的基板2的载荷难以施加的位置，垫51配置在载置于垫50、51上的基板2的载荷比较容易施加的位置。具体地说，垫50配置于避开基板2的四个角的位置。

固定于叉主体17的左右方向上的中心部的垫50的台阶面50b成为与左右方向正交的平面，装载于手3上的基板2的左右方向的一端面能够与该台阶面50b接触。固定于叉主体17的前端部的垫50的台阶面50b成为与左右方向正交的平面，装载于手3上的基板2的左右方向的另一端面能够与该台阶面50b接触。

另外，安装在配置于前后方向的一侧的叉主体17上的叉部48所固定的垫50的台阶面50b为与前后方向正交的平面，装载于手3上的基板2的前后方向的一端面能够与该台阶面50b接触。安装在配置于前后方向的另一侧的叉主体17上的叉部48所固定的垫50的台阶面50b为与前后方向正交的平面，装载于手3上的基板2的前后方向的另一端面能够与该台阶面50b接触。

(本实施方式的主要效果)

如上所述，在本实施方式中，在臂4进行伸缩动作之前，控制部9基于由温度传感器43检测出的臂部20的温度计算臂部20的热膨胀量，并且基于由温度传感器44检测出的臂部21的温度计算臂部21的热膨胀量，在臂4进行伸缩动作时，基于算出的臂部20和21的热膨胀量控制电动机26和27的旋转量，调节臂4的伸缩量。

即，在本实施方式中，在臂4进行伸缩动作时，使臂4以与基于温度传感器43和44的检测结果确定的臂4的热膨胀量相对应的伸缩量伸缩。因此，在本实施方式中，即使装载于手3上并在真空中搬运的基板2的温度变得更高使得臂4发生热膨胀，也能够抑制基板2与目标到达位置的偏差，确保基板2的搬运精度。

另外，在本实施方式中，温度传感器43配置于臂部20的内部的中心部，且温度传感器44配置于臂部21的内部的中心部，因此，与温度传感器43配置于臂部20的内部的端部侧且温度传感器44配置于臂部21的内部的端部侧的情况相比，能够比较高精度地测定臂部20和21各自的温度。

因此，在本实施方式中，能够基于温度传感器43和44的检测结果高精度地确定臂4的热膨胀量。另外，在本实施方式中，在臂4进行伸缩动作时，能够使臂4以与高精度地确定的臂4的热膨胀量相对应的伸缩量伸缩，因此，即使装载于手3上并在真空中搬运的基板2的温度变得更高使得臂4发生热膨胀，也能够有效地抑制基板2从目标到达位置的偏移，提高基板2的搬运精度。

在本实施方式中，基板2的左右方向的一端面能够与固定于叉主体17的中心部的垫50的台阶面50b接触，基板2的左右方向的另一端面能够与固定于叉主体17的前端部的垫50的台阶面50b接触。另外，在本实施方式中，基板2的前后方向的一端面能够与安装在配置于前后方向的一侧的叉主体17上的叉部48所固定的垫50的台阶面50b接触，基板2的前后方向的另一端面能够与安装在配置于前后方向的另一侧的叉主体17上的叉部48所固定的垫50的台阶面50b接触。

因此，在本实施方式中，即使加快手3的移动速度(即，臂4的伸缩速度)或臂4相对于主体部5的回旋速度，也能够通过台阶面50b防止装载于手3上的基板2从手3上掉落。因此，在本实施方式中，能够加快手3的移动速度或臂4相对于主体部5的回旋速度，其结果是，能够缩短由机器人1搬运的基板2的搬运时间。

在本实施方式中，橡胶制的垫51配置于载置在垫50和51上的基板2的载荷相对容易施加的位置。因此，在本实施方式中，能够通过在橡胶制的垫51和基板2之间产生的摩擦力抑制装载于手3上的基板2在手3移动时的偏移。

(另一实施方式)

上述的实施方式是本发明的最佳方式的一例，但不限于此，在不变更本发明的主旨的范围内能够实施各种变形。

在上述的实施方式中，也可以以利用一台电动机的动力使臂部21相对于臂部20转动并且使手3相对于臂部21转动的方式构成动力传递机构。另外，也可以以利用一台电动机的动力使臂部20相对于主体部5转动并且使臂部21相对于臂部20转动的方式构成动力传递机构，也可以以利用一台电动机动力使臂部20相对于主体部5转动、使臂部21相对于臂部20转动并且使手3相对于臂部21转动的方式构成动力传递机构。

在上述的实施方式中，机器人1也可以具备基端侧以能够转动的方式连接于主体部5的两根臂4。在这种情况下，手3以能够转动的方式连接到两根臂4各自的前端侧。另外，在上述的实施方式中，臂4也可以由三个以上的臂部构成。在这种情况下，在三个以上的臂部各自的内部的中心部配置有检测三个以上的臂部各自的温度的温度传感器。

在上述的实施方式中，叉部48也可以不固定于叉主体17。另外，在上述的实施方式中，手3具有的手叉16的数量也可以是一个。另外，在上述的实施方式中，手3也可以由连接至臂4的基部和从基部向水平方向的一侧延伸的多个叉(例如，四根叉)构成。

在上述的实施方式中，垫51也可以取代垫50安装于叉部48的上表面及叉主体17的上表面，垫50也可以取代垫51安装于叉部48的上表面。另外，在上述的实施方式中，也可以通过机器人1搬运有机EL显示器用的基板2以外的搬运对象物。例如，也可以通过机器人1搬运液晶显示器用的玻璃基板或半导体晶片等。

Claims (4)

1.一种工业用机器人，其对搬运对象物进行搬运，其特征在于，具备：

手，所述手装载所述搬运对象物；

臂，所述臂具有以能够相对转动的方式相连接的多个臂部，并且在前端侧以能够转动的方式连接所述手；

主体部，所述主体部以能够转动的方式连接所述臂的基端侧；

臂驱动机构，所述臂驱动机构使所述臂相对于所述主体部伸缩；

多个温度传感器，所述多个温度传感器检测多个所述臂部各自的温度；以及

控制部，所述控制部控制所述工业用机器人，

所述手及所述臂配置于真空中，

所述臂形成为中空状，

所述臂的内部空间为大气压，

所述温度传感器配置于多个所述臂部各自的内部的中心部，

在所述臂进行伸缩动作时，所述控制部基于多个所述温度传感器的检测结果控制所述臂驱动机构，调节所述臂的伸缩量。

2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

所述手具备多个垫，所述垫形成有供所述搬运对象物的端部的下表面接触的接触面，

在所述垫上形成有多个所述接触面和多个台阶面，所述多个所述接触面配置成阶梯状，所述多个台阶面与所述接触面的端部连接，并且所述搬运对象物的端面能够与所述台阶面接触。

3.根据权利要求2所述的工业用机器人，其特征在于，

所述搬运对象物形成为长方形的平板状，

所述手具备供所述搬运对象物的端部的下表面接触的橡胶制的多个第二垫，

所述垫由硬质的树脂材料形成，且配置于避开所述搬运对象物的四个角的位置。

4.一种工业用机器人的控制方法，

所述工业用机器人具备：手，所述手装载搬运对象物；臂，所述臂具有以能够相对转动的方式相连接的多个臂部，并且在前端侧以能够转动的方式连接所述手；主体部，所述臂的基端侧以能够转动的方式连接到所述主体部；臂驱动机构，所述臂驱动机构使所述臂相对于所述主体部伸缩；以及多个温度传感器，所述多个温度传感器配置于多个所述臂部各自的内部的中心部，并检测多个所述臂部各自的温度，所述手及所述臂配置于真空中，所述臂形成为中空状，所述臂的内部空间为大气压，其特征在于，

在所述臂进行伸缩动作时，基于多个所述温度传感器的检测结果控制所述臂驱动机构，调节所述臂的伸缩量。

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