TWI399271B - 產業用機器人 - Google Patents

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TWI399271B
TWI399271B TW096123168A TW96123168A TWI399271B TW I399271 B TWI399271 B TW I399271B TW 096123168 A TW096123168 A TW 096123168A TW 96123168 A TW96123168 A TW 96123168A TW I399271 B TWI399271 B TW I399271B
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TW
Taiwan
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arm
cooling
detecting sensor
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English (en)
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Inventor
Takayuki Yazawa
Masago Shiba
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Nidec Sankyo Corp
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
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    • B25J19/0054Cooling means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J13/00Controls for manipulators
    • B25J13/08Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI474903B (zh) * 2010-09-01 2015-03-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 機器人及機器人臂部件

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5420892B2 (ja) * 2008-12-27 2014-02-19 株式会社ニューフレアテクノロジー 荷電粒子ビーム描画装置
JP5370093B2 (ja) * 2009-11-17 2013-12-18 大日本印刷株式会社 関節補助装置
CN102380877B (zh) 2010-08-30 2014-07-09 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 机器人及机器人臂部件
DE102010063223A1 (de) * 2010-12-16 2012-06-21 Robert Bosch Gmbh Einrichtung zum Abführen von Wärme aus einer automatisierten Handhabungseinrichtung, insbesondere einem Handhabungsroboter, und Verwendung der Einrichtung
JP5959221B2 (ja) * 2011-11-16 2016-08-02 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP5609857B2 (ja) * 2011-12-20 2014-10-22 株式会社安川電機 搬送ロボット
JP6173677B2 (ja) * 2012-08-09 2017-08-02 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットの原点位置復帰方法
CN105127985B (zh) * 2013-01-07 2017-09-01 日本电产三协株式会社 工业用机器人
JP6313963B2 (ja) * 2013-01-07 2018-04-18 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP6449762B2 (ja) * 2013-09-13 2019-01-09 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP6273114B2 (ja) 2013-09-13 2018-01-31 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
CN107871682A (zh) * 2016-09-27 2018-04-03 北京北方华创微电子装备有限公司 传输腔室及半导体加工设备
JP6994334B2 (ja) * 2017-09-21 2022-01-14 株式会社ディスコ 加工装置
CN109227599A (zh) * 2018-04-04 2019-01-18 深圳众为兴技术股份有限公司 一种机器人的散热方法及机器人
CN108818621A (zh) * 2018-08-23 2018-11-16 广东龙甲奥通机器人有限公司 带冷却系统的耐高温机器人
CN108748273A (zh) * 2018-08-28 2018-11-06 埃夫特智能装备股份有限公司 一种机器人内部温度调节系统
CN108858286A (zh) * 2018-09-29 2018-11-23 北京力升高科科技有限公司 一种机器人内部冷却系统
JP2020069577A (ja) * 2018-10-31 2020-05-07 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
CN110238340B (zh) * 2019-06-20 2020-09-29 温州大学激光与光电智能制造研究院 智能装夹锻造系统
JP2021019071A (ja) * 2019-07-19 2021-02-15 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法
KR102272294B1 (ko) 2019-12-23 2021-07-02 주식회사 코아로봇 가상축 인터페이스를 갖는 로봇제어장치 및 그 장치의 구동방법
WO2023139937A1 (ja) * 2022-01-19 2023-07-27 東京エレクトロン株式会社 基板搬送システム

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04372390A (ja) * 1991-06-14 1992-12-25 Shin Meiwa Ind Co Ltd 真空チャンバ用産業ロボット装置
JPH05309589A (ja) * 1992-05-12 1993-11-22 Mitsubishi Electric Corp 産業用ロボット
JP2000068219A (ja) * 1998-06-08 2000-03-03 Kokusai Electric Co Ltd 被処理物搬送装置、半導体製造装置及び被処理物の処理方法
TW484198B (en) * 1999-09-06 2002-04-21 Tokyo Electron Ltd Transfer apparatus and accommidating apparatus for semiconductor process, and semiconductor processing system

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04195085A (ja) * 1990-11-28 1992-07-15 Hitachi Ltd ディスプレイ装置
JPH0699388A (ja) * 1992-09-18 1994-04-12 Hitachi Ltd 真空用ロボット
JP3401776B2 (ja) * 1995-11-29 2003-04-28 株式会社安川電機 産業用ロボット

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04372390A (ja) * 1991-06-14 1992-12-25 Shin Meiwa Ind Co Ltd 真空チャンバ用産業ロボット装置
JPH05309589A (ja) * 1992-05-12 1993-11-22 Mitsubishi Electric Corp 産業用ロボット
JP2000068219A (ja) * 1998-06-08 2000-03-03 Kokusai Electric Co Ltd 被処理物搬送装置、半導体製造装置及び被処理物の処理方法
TW484198B (en) * 1999-09-06 2002-04-21 Tokyo Electron Ltd Transfer apparatus and accommidating apparatus for semiconductor process, and semiconductor processing system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI474903B (zh) * 2010-09-01 2015-03-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 機器人及機器人臂部件

Also Published As

Publication number Publication date
JP4617278B2 (ja) 2011-01-19
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