JPH0733855Y2 - クリーンルームの天井フィルター装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、クリーンルームの天井フィルター装置に関す
る。

〔従来の技術〕

従来、半導体生産工場等では、層流型クリーンルームが
使用され、室内の清浄度を向上している。

このようなクリーンルームとしては、例えば、特開平2-
111411号公報等に開示されるようなものが知られてい
る。

第７図は、このようなクリーンルームを示すもので、符
号11は、天井に配設されるフィルタフレームを示してい
る。

このフィルタフレーム11は、第８図に示すように、みぞ
形鋼から形成されており、矩形状の枠が形成されてい
る。

そして、このようなフィルタフレーム11が、第７図に示
したように、その溝部13を上方に開口した状態で天井に
配設され、フィルタフレーム11により形成される開口部
15の上方には、HEPAフィルタ17（High Efficiency Part
iculate Airfilter）が配置されている。

即ち、HEPAフィルタ17の外周に形成された脚部19が、フ
ィルタフレーム11の溝部13内に挿入され、この状態で、
溝部13に充填材21が充填され、HEPAフィルタ17がフィル
タフレーム11間に架け渡されている。これにより、フィ
ルタフレーム11の開口部15がHEPAフィルタ17により気密
状態とされている。

以上のように構成されたクリーンルームでは、送風機に
より供給された循環空気が、HEPAフィルタ17を通過して
清浄化され、このように清浄化された空気がクリーンル
ーム内に層流状態で吹き出される。即ち、HEPAフィルタ
17を通過した清浄空気の降下風速は、室内の清浄度，用
途等により、0.4m/s〜0.25m/sに設定されている。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかしながら、半導体生産工場等では、しばしば生産機
器のレイアウト変更や、生産機器の新旧の入れ換えが行
なわれ、清浄空気の降下速度を小さくする必要が生じる
ことがある。

即ち、第９図に示すように、生産機器23の上面がHEPAフ
ィルタ17の近傍に位置していると、生産機器23の直上の
HEPAフィルタ17から吹き出した清浄空気は、生産機器23
の上面に衝突し、この生産機器23の上面に沿って横方向
に逃げ、生産機器23の側方における清浄空気の層流状態
を乱して乱流状態とし、クリーンルーム内に微細な塵が
舞い上がる虞があった。

本考案は上記のような問題点を解決するためになされた
もので、クリーンルーム内に吹き出される清浄空気の降
下速度を容易に小さくすることができるクリーンルーム
の天井フィルター装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本考案のクリーンルームの天井フィルター装置は、天井
に配設されるフィルタフレーム間に、HEPAフィルタを架
け渡してなるクリーンルームの天井フィルター装置にお
いて、前記フィルタフレーム間に、多数の吹出小孔が形
成されたシャッタ固定部材を前記HEPAフィルタよりも下
方に架け渡すとともに、このシャッタ固定部材の上部に
複数の下側吹出部を有する断面く字状の下部シャッタ板
を載置し、この下部シャッタ板上に、前記下側吹出部と
重合する複数の上側吹出部を有する断面く字状の上部シ
ャッタ板をスライド可能に重置してなるものである。

〔作用〕

本考案のクリーンルームの天井フィルター装置では、下
部シャッタ板上の上部シャッタをスライドさせることに
より、下側吹出部と上側吹出部が重合する割合が変化さ
れ、これらの下側吹出部と上側吹出部を通過する清浄空
気の吹出量が制限されて、シャッタ固定部材の吹出小孔
からクリーンルーム内に吹き出される。

〔実施例〕 以下、本考案の詳細を図面に示す一実施例について説明
する。

第１図および第２図は本考案のクリーンルームの天井フ
ィルター装置を示すもので、図において、符号31は、天
井に配設されるフィルタフレームを示している。

このフィルタフレーム31はみぞ形鋼から形成されてお
り、矩形状の枠が形成されている。

そして、このようなフィルタフレーム31が、その溝部33
を上方に開口した状態で天井に配設されており、フィル
タフレーム31により形成される開口部35の上方には、HE
PAフィルタ37（High Efficiency Particulate Airfilte
r）が配置されている。

即ち、HEPAフィルタ37は、フィルタ本体39と、このフィ
ルタ本体39の外周を取り囲むように固定された脚部41と
から構成されており、このように構成されたHEPAフィル
タ37の脚部41がフィルタフレーム31間に架け渡されてい
る。

HEPAフィルタ37の脚部41は、フィルタフレーム31の溝部
33内に挿入され、この状態で、溝部33に充填材43が充填
され、これにより、フィルタフレーム31の開口部35がHE
PAフィルタ37により気密状態とされている。

そして、フィルタフレーム31の開口部35には、シャッタ
装置45が配置されている。

このシャッタ装置45は、シャッタ固定部材47と、断面く
字状の下部シャッタ板49と、断面く字状の上部シャッタ
板51とから構成されている。

シャッタ固定部材47はHEPAフィルタ37よりも下方に配置
され、第３図に示すように、厚さ0.3〜0.4mmのアルミニ
ウムまたはステンレス製からなる薄板を断面コ字状に折
曲して形成されている。

このシャッタ固定部材47は、多数の吹出小孔53が形成さ
れた底板55と、この底板55の左右両側に形成された側部
57,59と、これらの側部57,59に形成された鍔部61とから
構成されている。

側部57,59と底板55との角度θは95度乃至100度程度とな
るように折曲されており、側部57,59を押し狭めて、フ
ィルタフレーム31の開口部35に収容される。側部57,59
が形成されていない側の底板55は、第４図に示すよう
に、折り返されて折返部63が形成され、この部分が補強
され、この部分からの清浄空気の漏出が阻止されてい
る。

このシャッタ固定部材47は、第１図に示したように、鍔
部61が、フィルタフレーム31のフランジ部65に係止さ
れ、これにより、シャッタ固定部材47がフィルタフレー
ム31に固定されている。

また、下部シャッタ板49は矩形山形状の薄板から形成さ
れ、第５図に示すように、下部シャッタ板49には、複数
の楕円状の下側吹出部67が形成されている。これらの下
側吹出部67は、パンチング孔を楕円状の領域内に多数形
成することにより構成されている。

この下部シャッタ板49は、第１図に示したように、上方
に突出するようにして、シャッタ固定部材47に載置され
ている。

さらに、上部シャッタ板51は、第６図に示すように、矩
形山形状の薄板から形成され、この上部シャッタ板51に
は、複数の楕円状の上側吹出部69が形成されている。こ
れらの上側吹出部69は、楕円状の挿通孔とされている。

上部シャッタ板51は、第２図に示したように、下部シャ
ッタ板49よりも小さく形成されており、下部シャッタ板
49上にスライド可能に重置されている。

即ち、上部シャッタ板51をスライドすることにより、下
側吹出部67と上側吹出部69が重合するように形成され、
これにより、清浄空気の吹出量が制限される。

また、下部シャッタ板49には、第５図に示したように、
スライド方向に案内孔71が形成されており、この案内孔
71には、第１図に示したように、上部シャッタ板51の下
方に突出して配置された、例えば、ボルトからなる突出
部材73が挿入されている。

この突出部材73は、上部シャッタ板51を挿通し、下部シ
ャッタ板49の案内孔71を挿通しており、この案内孔71を
挿通した突出部材73にナット75が螺合されている。

以上のように構成されたクリーンルームの天井フィルタ
ー装置では、生産機器のレイアウト変更や、生産機器の
新旧の入れ換え等により、生産機器の上面がHEPAフィル
タ37の近傍に位置するようになった場合には、シャッタ
固定部材47の側部57,59を押し狭めて、フィルタフレー
ム31の開口部35に挿入し、側部57,59に形成された鍔部6
1を、フィルタフレーム31のフランジ部65の上面に係止
し、シャッタ装置45をフィルタフレーム31に取り付け
る。

この際には、生産機器の上面とHEPAフィルタ37との距離
により、予め、上部シャッタ板51をスライドしてナット
75を締め付け、下側吹出部67と上側吹出部69の重合度が
設定されている。

そして、以上のように構成されたクリーンルームの天井
フィルター装置では、下部シャッタ板49上の上部シャッ
タ板51をスライドさせることにより、下側吹出部67と上
側吹出部69が重合する割合が変化し、これらの下側吹出
部67と上側吹出部69を通過する清浄空気の吹出量が制限
されて、シャッタ固定部材47の吹出小孔53からクリーン
ルーム内に吹き出される。

しかして、以上のように構成されたクリーンルームの天
井フィルター装置では、フィルタフレーム31間に、多数
の吹出小孔53が形成されたシャッタ固定部材47をHEPAフ
ィルタ37よりも下方に架け渡すとともに、このシャッタ
固定部材47の上部に複数の下側吹出部67を有する断面く
字状の下部シャッタ板49を載置し、この下部シャッタ板
49上に、下側吹出部67と重合する複数の上側吹出部69を
有する断面く字状の上部シャッタ板51をスライド可能に
重置したので、下部シャッタ板49上の上部シャッタ51を
スライドさせることにより、下側吹出部67と上側吹出部
69が重合する割合が変化し、これらの下側吹出部67と上
側吹出部69を通過する清浄空気を吹出量が制限されて、
シャッタ固定部材47の吹出小孔53からクリーンルーム内
に吹き出され、HEPAフィルタ37から吹き出される清浄空
気の降下速度が低減され、クリーンルーム内に吹き出さ
れる清浄空気の降下速度を容易に小さくすることができ
る。

これにより、生産機器のレイアウト変更や、生産機器の
新旧の入れ換えにより、生産機器の上面がHEPAフィルタ
37の近傍に位置するようになった場合でも、シャッタ装
置45をフィルタフレーム31に装着することにより、フィ
ルター抵抗を増加させ、清浄空気の降下速度を小さくす
ることができ、生産機器の近傍の層流状態を乱すことを
防止することができる。

また、シャッタ固定部材47の側部57,59を押し狭めて、
フィルタフレーム31の開口部35に挿入し、側部57,59に
形成された鍔部61を、フィルタフレーム31のフランジ部
65の上面に係止することにより、シャッタ装置45がフィ
ルタフレーム31に取り付けられるので、シャッタ装置45
をフィルタフレーム31に容易に取り付けることができ
る。

尚、上記実施例では、下側吹出部67を、パンチング孔を
楕円状の領域内に多数形成することにより構成した例に
ついて説明したが、本考案は上記実施例の限定されるも
のではなく、例えば、下側吹出部を、上側吹出部と同様
に楕円状の挿通孔としても、上記実施例とほぼ同様の効
果を得ることができる。

〔考案の効果〕

本考案のクリーンルームの天井フィルター装置では、フ
ィルタフレーム間に、多数の吹出小孔が形成されたシャ
ッタ固定部材とHEPAフィルタよりも下方に架け渡すとと
もに、このシャッタ固定部材の上部に複数の下側吹出部
を有する断面く字状の下部シャッタ板を載置し、この下
部シャッタ板上に、下側吹出部と重合する複数の上側吹
出部を有する断面く字状の上部シャッタ板をスライド可
能に重置したので、下部シャッタ板上の上部シャッタを
スライドさせることにより、下側吹出部と上側吹出部が
重合する割合が変化し、これらの下側吹出部と上側吹出
部を通過する清浄空気の吹出量が制限されて、シャッタ
固定部材の吹出小孔からクリーンルーム内に吹き出さ
れ、クリーンルーム内に吹き出される清浄空気の降下速
度を容易に小さくすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のクリーンルームの天井フィルター装置
を示す縦断面図である。 第２図は下側吹出部と上側吹出部が重合している状態を
示す平面図である。 第３図は第１図のシャッタ固定部材を示す斜視図であ
る。 第４図は第３図の底板の折返部およびその近傍を示す縦
断面図である。 第５図は下部シャッタ板を示す平面図である。 第６図は上部シャッタ板を示す平面図である。 第７図は従来のクリーンルームの天井フィルター装置を
示す縦断面図である。 第８図は第７図のフィルタフレームを示す斜視図であ
る。 第９図はHEPAフィルタの近傍に生産機器が配置された場
合を示す縦断面図である。 〔主要な部分の符号の説明〕 31……フィルタフレーム 37……HEPAフィルタ 47……シャッタ固定部材 49……下部シャッタ板 51……上部シャッタ板 53……吹出小孔 67……下側吹出部 69……上側吹出部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】天井に配設されるフィルタフレーム間に、
   HEPAフィルタを架け渡してなるクリーンルームの天井フ
   ィルター装置において、前記フィルタフレーム間に、多
   数の吹出小孔が形成されたシャッタ固定部材を前記HEPA
   フィルタよりも下方の位置に架け渡すとともに、このシ
   ャッタ固定部材の上部に複数の下側吹出部を有する断面
   く字状の下部シャッタ板を載置し、この下部シャッタ板
   上に、前記下側吹出部と重合する複数の上側吹出部を有
   する断面く字状の上部シャッタ板をスライド可能に重置
   してなることを特徴とするクリーンルームの天井フィル
   ター装置。