JPH0144655Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、例えば半導体製造工場等の建築内
部のクリーン・ルームに於ける還気用仕切パネル
の提供に係わる。

半導体製造工場のクリーン・ルームにあつては
極く微細な塵の存在も許されず、常時空気清浄機
によつて空気が循環され、この際に、塵の徹底的
除去を行なわなければならず、環気要領も、所謂
ダウンフローと称して、上方から吹き付けの空気
は、レイズドフロアーに穿設の還気孔群に向け、
なるべく垂直降下の流路で循環させるとして、作
業台上を水平方向に流れた場合に生じる塵の製品
上への付着を排するとの考えが採られている。

この様な事情から、空気清浄機の空気取入路を
形成する還気用仕切パネルも従来は、下側に所定
高の開口部を形成する短寸パネルを天井より吊下
していたものが、還流の際、空気が横方向に流れ
ることのない様にするために床にまで届かせると
共にその際にはパネル下部に穿孔の還気孔群もレ
タンエアー調整のためにその数を制約したものと
するようになつた。

しかして、空間を仕切るという機能上クリー
ン・ルームとメンテ室とを間仕切るところのパー
テイシヨンとほとんど変わらないことから、転用
が行なわれたりして対応されているが、還気用仕
切パネルは、空間を仕切るといつても別段隔壁の
如く大げさなものではなく、本来空気取入路形成
のために垂れていればよい簡便なものであること
並びに製品により接近していることから上記のパ
ーテイシヨンでは不都合な面もあり、専用のもの
の開発が望まれているのが実情である。

本案は、叙上の実情に鑑みなされたもので、そ
の要旨とするところは、空気清浄機とレイズドフ
ロアー間に取付、取外し自在に架設のパネル体で
あつて、その周枠内に所定の区画用内枠を架設し
てパネル全体を分割し、当該各パネル分割部は、
その用途に応じて固定若しくはパツキンに対して
止め具にて圧着された着脱自在とすると共に当該
着脱自在の分割部としては特殊型材に帯電防止処
理済みのシートを貼つたパネル、空気の還気口用
パンチング板、無パンチング板等の障子構造のパ
ネルとして、軽量で簡便に部分的取外し可能であ
り、特殊ガス配管等の貫通の施工がしやすいこと
及びそのレイアウト変更にも容易に対応出来、発
塵がなく帯電性が小さい等の効果を奏するクリー
ン・ルーム用仕切パネルを提供した点にある。

以下、これを実施例図にもとづいて詳細に説明
する。

先ず、上記の還気用仕切パネルの取付態様を第
１図で説明すると、同図中１はクリーン・ルー
ム、２はメンテ室（又はパワーゾーンと称され
る）、３は当該クリーン・ルーム１の天井に取り
付けの空気清浄機、４はクリーン・ルーム１の室
内に敷設のレイズドフロアーを夫々示し、還気用
仕切パネル５は図示の如く、該空気清浄機３とレ
イズドフロアー４間に架設される。

図中矢印は空気の循環方向を示すが、図示例で
は、還気用仕切パネル５の下部にも還気孔群が穿
設されていて、ここからもレイズドフロアー４を
介する主路の他にサブの還気路が形成されている
場合で、当然のことながら上記還気孔群はダウン
フローの層流状態を確保すべく設計されてある。

かかる還気用仕切パネル５を既述の如く従来は
パーテイシヨンの転用で対応していたのである
が、上記の還気孔群や特殊ガス配管等の貫通孔を
穿設するのに、ジグソーを使用して時間がかか
り、かつ、パーテイシヨン表面の鉄粉や石膏ボー
ドの粉が散乱するので、その始末をせねばならな
い不便があつた。

第２図、第３図は本案パネルの通常フロアー、
レイズドフロアーでのバリエーシヨンを示し、い
ずれも、周枠１０内に所定の区画用内枠１１，…
…を架設して枠取りされ、これ等の各区画部に第
４図に示すパネル分割部１２，１３，１４，１
５、等が夫々組込まれてなるもので、１２は上部
アクリルパネル（照明用他）、１３は中間点検用
パネル、１４はレイズドフロアー用ユーテイリテ
イ貫通パネル、１５はレイズドフロアー用レタン
エアー調整用パネルであり、その詳細は後述す
る。

該周枠１０、区画用内枠１１は第２図、第３図
に於いて示される如く先端にボルトＢ係止部を付
設の特殊Ｔ型アルミ型材Ｔにて構成し、既述のパ
ネル１２〜１５周縁部を図示の如く、既述の係止
装置のボルトＢに対して組付けた押止用チヤンネ
ルＣを介したナツトＮ止めとすることで着脱自在
としている（第２図イ、第３図イ）。

第２図のバリエーシヨンに於いては、仕切パネ
ルの下部は還気路形成のために吹き抜けであり、
又、その着脱自在の構成は、上部はイ図に示す如
くパネル上部に突設のボルト１６，……を天井側
に配設の取付用板部１７に差し込み止め１８と
し、又、下部は、通常フロアー１９に配設のアジ
ヤスター２０がパネル下端に付形のフランジ２１
に組付くものとしてなる。

尚、第２図ホに於いて、図中２２は該分割部受
載のため周枠１０に取付けのアングルである。

又、第３図のバリエーシヨンに於いては、仕切
パネルの下部は、レイズドフロアー４を採用のた
めパネル１４，１５等で閉塞されており、かつ、
その着脱自在の構成は、上部は第２図と同じであ
るが、下部はスポンジパツキン２３をシーリング
したものとしてある。

パネル１２〜１５を第４図で説明する。

ａ図は、照明用等に使用のアクリルパネル１２
を示し、チヤンネルよりなる周枠１２ａの受溝に
対してアクリル板１２ｂをパツキン１２ｃを介し
て嵌着してなるものである。

このパネルの用途は、上部に使用して照明用の
パネルとして使用する他、下部パネルにおいて、
排気用ダクト等貫通部が大きい場合の保持パネル
として、又、ケーブル等軟質材料による貫通の保
持パネルとして使用する。

ｂ図は中間点検用パネル１３を示し、チヤンネ
ルよりなる周枠１３ａの周縁に対して軟質シート
１３ｂを貼着してなるもので、図中１３ｃは補強
桟である。

ｃ図は、レイズドフロアー用ユーテイリテイ貫
通パネル１４を示し、チヤンネルよりなる周枠１
４ａの周縁に対して帯電防止シートよりなるフイ
ルム１４ｂを貼着してなるものである。

当該パネル１４は、下部に配され、その柔軟性
をもつて細径のユーテイリテイの差し通し貫通を
許す。尚、大径、軟質材料（電気ケーブル等）が
貫通の場合は、ａ図のものを必要個所に装着す
る。

ｄ図はレイズドフロアー用レタンエアー調整用
パネル１５を示し、チヤンネルよりなる周枠１５
ａに付形の受溝部に対して、上下端に溝係合部を
付形のアクリルパンチング板１５ｂを嵌合させて
なるもので、第３図に示される如く、ユーテイリ
テイ貫通個所を一部該フイルム１４ｂに置換する
としてもよいものである。

しかして、叙上構成よりなる本案品にあつては
以下列記の如き諸効果が奏されることとなる。

すなわち、 (1) 軽量で容易に取付、取外し可能。

(2) 特殊配管等小径の配管はシートを貫通する型
で施工出来、又、大口径の排気ダクト等はシー
トをハードのアクリ板等に入れかえ貫通処理可
能又、レイアウト変更時はシートの貼変えによ
り、安価、簡便に対応出来る。

(3) シートを帯電防止処理ずみ合成樹脂シートを
使用することにより、発塵がなく、低帯電性壁
体の構成が可能。

【図面の簡単な説明】

第１図はクリーン・ルームに於ける還気用仕切
パネルの取付態様図、第２図は本案品の通常フロ
アーでのバリエーシヨンを示し、イ図は拡大縦断
図、ロ図は正面組付図、ハ図はロ図中囲線ハ部の
平断図、ニ図は側端アジヤスト盲板の非段付と段
付の場合のデイテイール、ホ図はロ図中囲線ホ部
のデイテイールを示す平、正、側面図、ヘ図はロ
図中囲線ヘ部の拡大詳示図、第３図は本案品のレ
イズドフロアーでのバリエーシヨンを示し、イ図
は拡大縦断図、ロ図は正面組付図、ハ図はロ図中
囲線ハ部の平断面図、第４図は本案分割部の各
正、縦断側面図である。 １０……周枠、１１……区画用内枠、Ｔ……ア
ルミ型材、Ｃ……押止用チヤンネル、Ｂ……ボル
ト、Ｎ……ナツト、１２，１３，１４，１５……
パネル。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 空気清浄機とレイズドフロアー間に取付、取外
   し自在に架設のパネル体であつて、その周枠内に
   所定の区画用内枠を架設してパネル全体を分割
   し、当該各パネル分割部は、その用途に応じて固
   定若しくはパツキンに対して止め具にて圧着され
   た着脱自在とすると共に当該着脱自在の分割部と
   しては特殊型材に帯電防止処理済みのシートを貼
   つたパネル、空気の還気口用パンチング板、無パ
   ンチング板等の障子構造のパネルとしてなること
   を特徴とするクリーン・ルーム用還気用仕切パネ
   ル。