JPS61213541A - クリ−ンベンチ - Google Patents
クリ−ンベンチInfo
- Publication number
- JPS61213541A JPS61213541A JP5687985A JP5687985A JPS61213541A JP S61213541 A JPS61213541 A JP S61213541A JP 5687985 A JP5687985 A JP 5687985A JP 5687985 A JP5687985 A JP 5687985A JP S61213541 A JPS61213541 A JP S61213541A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- outer circumferential
- mesh
- circumferential part
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は無塵空間を作り出すクリーンペンチに関するも
のである。
のである。
従来の技術
従来、この種のクリーンペンチは、第３図、第４図に示
すような構成であった。外装体１の上部には送風機２、
送風機２の下流側に設けた吹き出しチャ／バー３、吹出
しチャンバー３の下流側に配置された空気を清浄化する
フィルター４、フィルター１部に設けられた格子状の整
流板５、整流板６上面に設けられた風速調整用のメツジ
ュロを内蔵しており、上記フィルター４とメツジュロと
の間にサブチャンバー７が設けられている。８はフィル
ター４により塵を取り除かれた無塵の作業空間である。
すような構成であった。外装体１の上部には送風機２、
送風機２の下流側に設けた吹き出しチャ／バー３、吹出
しチャンバー３の下流側に配置された空気を清浄化する
フィルター４、フィルター１部に設けられた格子状の整
流板５、整流板６上面に設けられた風速調整用のメツジ
ュロを内蔵しており、上記フィルター４とメツジュロと
の間にサブチャンバー７が設けられている。８はフィル
ター４により塵を取り除かれた無塵の作業空間である。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、このような従来の構成ではメツｌユ６の
開口率が一定であるため、通風抵抗がメツジュロ全面に
わたり同一となり、送風機２により送り出された空気は
、大半がフィルター４直下のＡ部を通過し作業空間８へ
と流入する。そのため、作業空間８内において入部下流
側は風速が速く、８部下流側は風速が遅くなるので作業
空間８内に乱流域を生じ、微細粉塵がスムーズに除去さ
れないという問題点を有していた。
開口率が一定であるため、通風抵抗がメツジュロ全面に
わたり同一となり、送風機２により送り出された空気は
、大半がフィルター４直下のＡ部を通過し作業空間８へ
と流入する。そのため、作業空間８内において入部下流
側は風速が速く、８部下流側は風速が遅くなるので作業
空間８内に乱流域を生じ、微細粉塵がスムーズに除去さ
れないという問題点を有していた。
本発明はこのような問題点を解決するもので、作業空間
内の風速を均一化し、乱流域を生じさせないことを目的
とするものである。
内の風速を均一化し、乱流域を生じさせないことを目的
とするものである。
問題点を解決するための手段
この問題を解決するために本発明のクリーンベンチは、
送風機の下流側に配置したフィルター下部に設けられ蛇
格子状の整流板と、この整流板上面に取り付けられたメ
ツシュを備え、上記メツシュの開口率をフィルター開口
直下部は小さく、フィルター開口直下部の外周側は大き
くした構成である。
送風機の下流側に配置したフィルター下部に設けられ蛇
格子状の整流板と、この整流板上面に取り付けられたメ
ツシュを備え、上記メツシュの開口率をフィルター開口
直下部は小さく、フィルター開口直下部の外周側は大き
くした構成である。
作 用
この構成により、メツシュ゛の通風抵抗がフィルター直
下部では大きく、外周側では小さくなるので、通風抵抗
の低い外周側へも気流の流れが生じるため、整流板全域
から、均一な吹出風速で作業空間へ空気を流出すること
ができる。
下部では大きく、外周側では小さくなるので、通風抵抗
の低い外周側へも気流の流れが生じるため、整流板全域
から、均一な吹出風速で作業空間へ空気を流出すること
ができる。
実施例
以下、本発明の実施例について第１図にもとづき説明す
る。なお、外装体１．送風機２．吹出しチャンバー３．
フィルター４．整流板５．サブチャンバー７は従来と同
一の構成要件であり、説明は省略する。メツシュ９はフ
ィルター直下部のＡ部と、その外周部に当るＢ部とで開
口率を変えている。すなわちＡ部は開口率を小さく、Ｂ
部は開口率を大きくし、整流板５の上面にすき間の生じ
ないよう密着させている。
る。なお、外装体１．送風機２．吹出しチャンバー３．
フィルター４．整流板５．サブチャンバー７は従来と同
一の構成要件であり、説明は省略する。メツシュ９はフ
ィルター直下部のＡ部と、その外周部に当るＢ部とで開
口率を変えている。すなわちＡ部は開口率を小さく、Ｂ
部は開口率を大きくし、整流板５の上面にすき間の生じ
ないよう密着させている。
上記構成において、フィルター４を通過した空気はサブ
チャンバー７内において、垂直下方Ａ部方向のみならず
、通風抵抗の低いＢ部方向への流れを生じるため、Ａ部
、Ｂ部両方から均一な吹出し風速の気流がメツジュロ、
整流板５を通り、作業空間８へと流入する。したがって
、作業空間８内に乱流域は発生せず、垂直層流が得られ
る。
チャンバー７内において、垂直下方Ａ部方向のみならず
、通風抵抗の低いＢ部方向への流れを生じるため、Ａ部
、Ｂ部両方から均一な吹出し風速の気流がメツジュロ、
整流板５を通り、作業空間８へと流入する。したがって
、作業空間８内に乱流域は発生せず、垂直層流が得られ
る。
発明の効果
以上、実施例から明らかなように本発明によれば、整流
板上面に取り付けられたメツシュの開口率をフィルター
直下部とその外周部とで変えているため、従来気流の流
れにくかった外周部へも気流の流れが生じ、作業空間全
域にわたシ均−風速の垂直層流が得られる。さらに、整
流板よりもフィルター面積を小さくすることができ、ま
たサブチャンバーも小さくできるので、外装体上部を小
型、軽量化することができる。
板上面に取り付けられたメツシュの開口率をフィルター
直下部とその外周部とで変えているため、従来気流の流
れにくかった外周部へも気流の流れが生じ、作業空間全
域にわたシ均−風速の垂直層流が得られる。さらに、整
流板よりもフィルター面積を小さくすることができ、ま
たサブチャンバーも小さくできるので、外装体上部を小
型、軽量化することができる。
第１図は本発明の実施例におけるクリーンベンチの整流
板とメツシュの拡大図、第２図は従来のクリーンベンチ
の整流板とメツシュの拡大図、第３図は同横断面図であ
る。 ５・・・・・・整流板、９・・・・・・メツシュ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
板とメツシュの拡大図、第２図は従来のクリーンベンチ
の整流板とメツシュの拡大図、第３図は同横断面図であ
る。 ５・・・・・・整流板、９・・・・・・メツシュ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
Claims (1)
- 送風機の下流側に配置したフィルター下部に設けられた
格子状の整流板と、この整流板上面に取り付けられたメ
ッシュを備え、上記メッシュの開口率をフィルター開口
直下部は小さく、フィルター開口直下部の外周側は大き
くしたクリーンベンチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5687985A JPS61213541A (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 | クリ−ンベンチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5687985A JPS61213541A (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 | クリ−ンベンチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61213541A true JPS61213541A (ja) | 1986-09-22 |
Family
ID=13039698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5687985A Pending JPS61213541A (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 | クリ−ンベンチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61213541A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01142839U (ja) * | 1988-03-26 | 1989-09-29 | ||
| US5113749A (en) * | 1990-08-03 | 1992-05-19 | Perbix Kenneth E | Air curtain producing an outward ramping effect for use with an access way or enclosure |
| US7207502B2 (en) | 2003-11-14 | 2007-04-24 | Benq Corporation | Velocity profile modifying device for nozzles |
| JP2008157607A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-10 | Ind Technol Res Inst | 層流形クリーンルームの気流供給システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5133348A (ja) * | 1974-09-17 | 1976-03-22 | Yodogawa Seiki Kogyo Kk | Netsupujunkanshikikansosochiniokeru haikiryohoho |
-
1985
- 1985-03-20 JP JP5687985A patent/JPS61213541A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5133348A (ja) * | 1974-09-17 | 1976-03-22 | Yodogawa Seiki Kogyo Kk | Netsupujunkanshikikansosochiniokeru haikiryohoho |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01142839U (ja) * | 1988-03-26 | 1989-09-29 | ||
| US5113749A (en) * | 1990-08-03 | 1992-05-19 | Perbix Kenneth E | Air curtain producing an outward ramping effect for use with an access way or enclosure |
| US7207502B2 (en) | 2003-11-14 | 2007-04-24 | Benq Corporation | Velocity profile modifying device for nozzles |
| JP2008157607A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-10 | Ind Technol Res Inst | 層流形クリーンルームの気流供給システム |
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