JPS60144544A - 清浄空間形成方法 - Google Patents
清浄空間形成方法Info
- Publication number
- JPS60144544A JPS60144544A JP59000320A JP32084A JPS60144544A JP S60144544 A JPS60144544 A JP S60144544A JP 59000320 A JP59000320 A JP 59000320A JP 32084 A JP32084 A JP 32084A JP S60144544 A JPS60144544 A JP S60144544A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean
- space
- flow speed
- air flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は１例えば半導体装置製造において用いられるク
リーンベンチ内の清浄度を常に一定に維持することので
きる清浄空間形成方法に関する。
リーンベンチ内の清浄度を常に一定に維持することので
きる清浄空間形成方法に関する。
近時、電子工業、精密工業においては、構成部品や機構
が、すこぶる精緻になり、高い製品歩留の達成が一層困
難となりつつある。□この製品歩留の低下の最大の原因
の一つとして、作業空間に浮遊している塵埃の存在や１
“ある。そこで、従来においては１作業をクリーンベン
チによって形成される清浄空間にて行うことによ抄、塵
埃の影響を回避していた。上記クリーンベンチとは、一
般に。
が、すこぶる精緻になり、高い製品歩留の達成が一層困
難となりつつある。□この製品歩留の低下の最大の原因
の一つとして、作業空間に浮遊している塵埃の存在や１
“ある。そこで、従来においては１作業をクリーンベン
チによって形成される清浄空間にて行うことによ抄、塵
埃の影響を回避していた。上記クリーンベンチとは、一
般に。
清浄な層流空気を一方向より例えば風速０．５ｍ／秒で
送風し、その下流側に清浄空間を形成する作業台のこと
である。この清浄空間は、クリーンベンチ内部をエアー
カーテンによね外部の塵埃により汚染された空間より隔
絶することにより得られる。
送風し、その下流側に清浄空間を形成する作業台のこと
である。この清浄空間は、クリーンベンチ内部をエアー
カーテンによね外部の塵埃により汚染された空間より隔
絶することにより得られる。
ところで、上記エアーカーテンは、第１図に示すように
、清浄空気の風速を例えば１．５ｍ／秒と内部よりも早
くすることにより得られる。したがって、内側の清浄空
間とエアーカーテンとの境界部には、風速すなわち単位
時間当の風ｔ（以下、たんに風量とよぶ。）の落差つま
抄不連続的な速度差（風量差）が存在する。その結果、
エアーカーテンと内側の清浄空間との間に乱流や渦流が
生じ □やすい。これら乱流や渦流が発生した場合には
。
、清浄空気の風速を例えば１．５ｍ／秒と内部よりも早
くすることにより得られる。したがって、内側の清浄空
間とエアーカーテンとの境界部には、風速すなわち単位
時間当の風ｔ（以下、たんに風量とよぶ。）の落差つま
抄不連続的な速度差（風量差）が存在する。その結果、
エアーカーテンと内側の清浄空間との間に乱流や渦流が
生じ □やすい。これら乱流や渦流が発生した場合には
。
清浄空間内部にて均一な風速（風量）を得ることができ
ず、クリーンベンチ内部に設置した装置に付着している
塵埃を巻き上げることにより、清浄度の低下を惹起する
。
ず、クリーンベンチ内部に設置した装置に付着している
塵埃を巻き上げることにより、清浄度の低下を惹起する
。
本発明は、上記事情を勘案してなされたもので。
クリーンベンチにて高い清浄度を常に一定に維持するこ
とのできる清浄空間形成方法を提供することを目的とす
る。
とのできる清浄空間形成方法を提供することを目的とす
る。
エアーベンチの作業空間の開口部側に形成されるエアー
カーテンの風量を作業空間内部にいくにつれて漸減させ
るようにしたものである。
カーテンの風量を作業空間内部にいくにつれて漸減させ
るようにしたものである。
以下１本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。
第２図は、本実施例の清浄空間形成方法に用いられるク
リーンベンチを示している。筐体（１）の上部は天井部
（２）となっている。この天井部（２）は、送風機（３
）を挾んで、上部がブリフィルタ（４）、下部がファイ
ナルフィルタ（５）となっている。上記ブリフィルタ（
４）は１例えば５μｍ以上の塵埃を除去するためのもの
である。また、上記ファイナルフィルタ（５）は、例え
ば０．３μｍ以上の微小塵埃を除去するだめのものであ
る。一方、筐体（１）の下部には１図示せぬ排気ダクト
が内設された作業台（６）が設けられている。しかして
、この作業台（６）と天井部（２）との間に作業空間（
力が形成されるようになっている。
リーンベンチを示している。筐体（１）の上部は天井部
（２）となっている。この天井部（２）は、送風機（３
）を挾んで、上部がブリフィルタ（４）、下部がファイ
ナルフィルタ（５）となっている。上記ブリフィルタ（
４）は１例えば５μｍ以上の塵埃を除去するためのもの
である。また、上記ファイナルフィルタ（５）は、例え
ば０．３μｍ以上の微小塵埃を除去するだめのものであ
る。一方、筐体（１）の下部には１図示せぬ排気ダクト
が内設された作業台（６）が設けられている。しかして
、この作業台（６）と天井部（２）との間に作業空間（
力が形成されるようになっている。
この作業空間（７）は−側部（８）が開口している。さ
らに、ファイナルフィルタ（５）の下部には、風量調整
板（９）が密接して配設されている。この風量調整板（
９）には、多数の通気孔が均一に分散して穿設されてい
る。この通気孔の内径は、側部（８）側の縁部から内部
に向って階段的に徐々に小さくなるように設定されてい
る。
らに、ファイナルフィルタ（５）の下部には、風量調整
板（９）が密接して配設されている。この風量調整板（
９）には、多数の通気孔が均一に分散して穿設されてい
る。この通気孔の内径は、側部（８）側の縁部から内部
に向って階段的に徐々に小さくなるように設定されてい
る。
つぎＫ、上記構成のクリーンベンチを用いて本実施例の
清浄空間形成方法について述べる。まず、送風機（３）
を起動し、外部の空気をブリフィルタ（４）及びファイ
ナルフィルタ（５）を経由して作業空間（力に吹き出さ
せる。このとき、外部の空気に含有されている塵埃は、
ブリフィルタ（４）及びファイナルフィルタ（５）に回
収され、清浄度の高い空気が清浄空気として作業空間（
７）に吹き出され、さらに作業台（６）に設けられてい
るダクトにより外部へ排出される。このときの作業空間
（７）（おける清浄空気の風速分布が、第３図に示され
ている。すなわち。
清浄空間形成方法について述べる。まず、送風機（３）
を起動し、外部の空気をブリフィルタ（４）及びファイ
ナルフィルタ（５）を経由して作業空間（力に吹き出さ
せる。このとき、外部の空気に含有されている塵埃は、
ブリフィルタ（４）及びファイナルフィルタ（５）に回
収され、清浄度の高い空気が清浄空気として作業空間（
７）に吹き出され、さらに作業台（６）に設けられてい
るダクトにより外部へ排出される。このときの作業空間
（７）（おける清浄空気の風速分布が、第３図に示され
ている。すなわち。
風量調整板（９）により、側部（８）の風速（風量）が
内部の風速（風量）よりもはるかに大きく、その結果と
して作業空間（７）の開口側にエアーカーテン（１１が
形成されている。したがって１作業中間（力内部−テン
（１０）における風速（風量）は、作業空間（７）内部
にいくほど階段的に徐々に小さくなっている。
内部の風速（風量）よりもはるかに大きく、その結果と
して作業空間（７）の開口側にエアーカーテン（１１が
形成されている。したがって１作業中間（力内部−テン
（１０）における風速（風量）は、作業空間（７）内部
にいくほど階段的に徐々に小さくなっている。
その結果、外気よりの塵埃の巻き込みに対する抗力が強
くなる。また清浄空間αＤとエアーカーテンａ呻との間
に風速（風量）の急激な落差がなくなり。
くなる。また清浄空間αＤとエアーカーテンａ呻との間
に風速（風量）の急激な落差がなくなり。
乱流又は渦流の発生を抑制して１作業中間内部に設置し
た装置からの塵埃の巻き上りと側部（８）からの巻き込
みが少なくなる。これらの諸効果が相俟って１作業中間
（７）内の清浄度を常に高いレベルに維持することがで
きる。
た装置からの塵埃の巻き上りと側部（８）からの巻き込
みが少なくなる。これらの諸効果が相俟って１作業中間
（７）内の清浄度を常に高いレベルに維持することがで
きる。
なお、上記実施例≦おいては、エアーカーテン（１０）
の風速（風量）制御は、風量調整板（９）により行うよ
うにしているが、送風機を複数個用いることによっても
同様の効果を上げることができる。また、上記実施例に
おいては片側だけにエアーカーテンを形成しているが、
第４図に示すように１作業中間（７）の対向する両側を
開口させ、開口部分にそれぞれ内部に向って風速（風量
）が漸減するエアーカーテン０１）、（１（１１を形成
するようにしてもよい。
の風速（風量）制御は、風量調整板（９）により行うよ
うにしているが、送風機を複数個用いることによっても
同様の効果を上げることができる。また、上記実施例に
おいては片側だけにエアーカーテンを形成しているが、
第４図に示すように１作業中間（７）の対向する両側を
開口させ、開口部分にそれぞれ内部に向って風速（風量
）が漸減するエアーカーテン０１）、（１（１１を形成
するようにしてもよい。
さらにまた、エアーカーテンＱＯ）、ＱＯ）の風速（風
量）分布は、階段状でなく、第３図の１点鎖線で示すよ
うに、連続的に変化させても、同様の効果を奏すること
ができる。
量）分布は、階段状でなく、第３図の１点鎖線で示すよ
うに、連続的に変化させても、同様の効果を奏すること
ができる。
本発明の清浄空間形成方法は、クリーンベンチの開口部
分に形成されるエアーカーテンの風速（風量）分布を内
部にいくにつれ漸減させるようにしたので、外気よりの
塵埃の巻き込みに対する抵抗力が大きくなる。さらに、
内部の清浄空間とエアーカーテンとの境界部に風速の急
激な落差がなくなり、乱流又は渦流の発生による清浄度
の低下を抑止することができる。これらの諸効果が相俟
って、高い清浄度の清浄空間を安定して形成することが
できる。
分に形成されるエアーカーテンの風速（風量）分布を内
部にいくにつれ漸減させるようにしたので、外気よりの
塵埃の巻き込みに対する抵抗力が大きくなる。さらに、
内部の清浄空間とエアーカーテンとの境界部に風速の急
激な落差がなくなり、乱流又は渦流の発生による清浄度
の低下を抑止することができる。これらの諸効果が相俟
って、高い清浄度の清浄空間を安定して形成することが
できる。
第１図は従来の清浄空間形成方法を説明するための風速
と位置との関係を示すグラフ、第２図は本発明の一実施
例の清浄空間形成方法に用いられるクリーンベンチの概
略図、第３図は第２図のクリーンベンチ内に形成される
作業空間の風速と位置との関係を示すグラフ、第４図は
本発明の他の実施例の清浄空間形成方法を説明するため
の風速と位置との関係を示すグラフである。 （３）：送風機、 （４） ：プリフィルタ。 （５）：ファイナルフィルタ、 （７）：作業空間。 （１０） ：エアーカーテン、αυ：清浄空間。 代理人 弁理士 則近憲佑 （ほか１名）（７） 第１図
と位置との関係を示すグラフ、第２図は本発明の一実施
例の清浄空間形成方法に用いられるクリーンベンチの概
略図、第３図は第２図のクリーンベンチ内に形成される
作業空間の風速と位置との関係を示すグラフ、第４図は
本発明の他の実施例の清浄空間形成方法を説明するため
の風速と位置との関係を示すグラフである。 （３）：送風機、 （４） ：プリフィルタ。 （５）：ファイナルフィルタ、 （７）：作業空間。 （１０） ：エアーカーテン、αυ：清浄空間。 代理人 弁理士 則近憲佑 （ほか１名）（７） 第１図
Claims (1)
- エアーベンチに設けられた作業空間の開口部側にエアー
カーテンを形成することにより上記作業空間内に清浄度
の高い清浄空間を形成する清浄空間形成方法において、
上記エアーカーテンの風速を上記作業空間内部にいくに
従って漸減させることを□特徴とする清浄空間形成方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59000320A JPS60144544A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 清浄空間形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59000320A JPS60144544A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 清浄空間形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60144544A true JPS60144544A (ja) | 1985-07-30 |
Family
ID=11470611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59000320A Pending JPS60144544A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 清浄空間形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60144544A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63251741A (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-19 | Nagano Pref Gov Roudou Kijiyun Kyokai Rengokai | 流速勾配エアカ−テン装置 |
| JPH0273533U (ja) * | 1988-11-24 | 1990-06-05 | ||
| US7297050B2 (en) | 2001-05-14 | 2007-11-20 | Acanthe | Method and device for diffusing a protective flux with regard to a surrounding environment |
-
1984
- 1984-01-06 JP JP59000320A patent/JPS60144544A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63251741A (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-19 | Nagano Pref Gov Roudou Kijiyun Kyokai Rengokai | 流速勾配エアカ−テン装置 |
| JPH0273533U (ja) * | 1988-11-24 | 1990-06-05 | ||
| US7297050B2 (en) | 2001-05-14 | 2007-11-20 | Acanthe | Method and device for diffusing a protective flux with regard to a surrounding environment |
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