JPS63148040A - クリ−ンベンチの清浄方法 - Google Patents
クリ−ンベンチの清浄方法Info
- Publication number
- JPS63148040A JPS63148040A JP29227486A JP29227486A JPS63148040A JP S63148040 A JPS63148040 A JP S63148040A JP 29227486 A JP29227486 A JP 29227486A JP 29227486 A JP29227486 A JP 29227486A JP S63148040 A JPS63148040 A JP S63148040A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、クリーンベンチの底面給気天井排出式の空
気清浄方法に関する。
気清浄方法に関する。
従来、半導体ウェハーなどを処理するために、清浄な空
気を流す作業空間を備えた器材として、第４図又は第５
図に示すようなりリーンベンチが使用されている。
気を流す作業空間を備えた器材として、第４図又は第５
図に示すようなりリーンベンチが使用されている。
そして、クリーンベンチの空気清浄方法は、第４図に見
られるように、クリーンルーム内に設置されたベンチ本
体ｌに前面を開口した作業空間２が形成されており、下
部前面に開口し、プレフィルタ３を有する吸入穴４から
吸い込まれた室内の空気ａは、送Ｘ機５によって前記作
業空間２の上背部ダクト６を通って上方へ送られ、上部
に設置されたＨ Ｅ Ｐ Ａ （Ｈｉｇｈ ＥｆｆＳｃ
ｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒｆｉｌｔｅ
ｒ） ７で超清浄空気Ａとなりルーパー８により整疏化
されて作業空間２内へ流下し、前面を蔽って垂設された
透明板９の下方からクリーンルーム内へ排出される天井
給気前面排出式のもの、又は第５図に見られるように、
背部ダクト１０を通った室内の空気ａが、作業空間２の
背面に設置したＨＥＰＡ７から該作業空間２へ超清浄空
気Ａとなって吹き出しそのまま前面へ排出する背面給気
前面排出式のものが用いられているが、底面給気天井排
出式の空気清浄方法は未だ採用されていないのが現状で
ある。
られるように、クリーンルーム内に設置されたベンチ本
体ｌに前面を開口した作業空間２が形成されており、下
部前面に開口し、プレフィルタ３を有する吸入穴４から
吸い込まれた室内の空気ａは、送Ｘ機５によって前記作
業空間２の上背部ダクト６を通って上方へ送られ、上部
に設置されたＨ Ｅ Ｐ Ａ （Ｈｉｇｈ ＥｆｆＳｃ
ｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒｆｉｌｔｅ
ｒ） ７で超清浄空気Ａとなりルーパー８により整疏化
されて作業空間２内へ流下し、前面を蔽って垂設された
透明板９の下方からクリーンルーム内へ排出される天井
給気前面排出式のもの、又は第５図に見られるように、
背部ダクト１０を通った室内の空気ａが、作業空間２の
背面に設置したＨＥＰＡ７から該作業空間２へ超清浄空
気Ａとなって吹き出しそのまま前面へ排出する背面給気
前面排出式のものが用いられているが、底面給気天井排
出式の空気清浄方法は未だ採用されていないのが現状で
ある。
（発明が解決しようとする問題点）
従来のクリーンベンチの清浄方法は、上記のようなもの
であるため、作業内容により作業空間にある装置などか
ら発熱があり、あるいは該作業空開山で窒素、水素、酸
素などのガス類を使用することも多く空気よりも軽いカ
スが発生する場合に天井給気前面排出の方法にあっては
、給気が１ ｍ ／ ｓ ｅ ｃ以下の風速であるに比
べ熱気等の発生上昇気流が速く、また、作業空間の前面
大半を透明板で遮蔽されているため、該空間内上部に滞
留して排出されず、しかも視認しがたいので最終的に効
率の低下することから判明するということとて、とかく
見過されやすい不都合がある。
であるため、作業内容により作業空間にある装置などか
ら発熱があり、あるいは該作業空開山で窒素、水素、酸
素などのガス類を使用することも多く空気よりも軽いカ
スが発生する場合に天井給気前面排出の方法にあっては
、給気が１ ｍ ／ ｓ ｅ ｃ以下の風速であるに比
べ熱気等の発生上昇気流が速く、また、作業空間の前面
大半を透明板で遮蔽されているため、該空間内上部に滞
留して排出されず、しかも視認しがたいので最終的に効
率の低下することから判明するということとて、とかく
見過されやすい不都合がある。
したがって、このような場合には、背面給気前面排出式
のクリーンベンチを使用するが、この方法でも熱気等が
気流を乱し、清浄度の低下を防止することはできない。
のクリーンベンチを使用するが、この方法でも熱気等が
気流を乱し、清浄度の低下を防止することはできない。
この発明は、以上の事情に着目してなされたもので、発
熱等による悪気流を本来の吹出し気流に添わせてすみや
かに作業空間外へυ１出し、これらの問題点を解決する
ことを目的としている。
熱等による悪気流を本来の吹出し気流に添わせてすみや
かに作業空間外へυ１出し、これらの問題点を解決する
ことを目的としている。
この発明に係るクリーンベンチの清浄方法は、従来の構
想と全く異った作業空間の底部から超清浄空気を吹き出
し、天井部から排出させる方法を提供するものである。
想と全く異った作業空間の底部から超清浄空気を吹き出
し、天井部から排出させる方法を提供するものである。
（作用）
この発明の清浄方法によれば、本来の吹出し超清浄空気
の流れ方向を熱気流等の木質に添った上昇方向とするた
め換気気流を乱すことなく迅速に作業空間外へ熱気流等
が排出されるのて、高度の清浄度を極めて容易に維持す
ることかできる。
の流れ方向を熱気流等の木質に添った上昇方向とするた
め換気気流を乱すことなく迅速に作業空間外へ熱気流等
が排出されるのて、高度の清浄度を極めて容易に維持す
ることかできる。
以下、この発明を適用する第１実施例を第１図に基づい
て説明する。なお、従来例と同一の部材や相当部分は同
一の符号を用い、その説明は省略する。
て説明する。なお、従来例と同一の部材や相当部分は同
一の符号を用い、その説明は省略する。
本第１実施例のクリーンベンチは、送風機５がベンチ本
体１１の上部に位置するもので、その概略縦断面図を示
す第１図に見られるように、送風機５により送り出され
た熱気等排出気ｅは、背部ダクト１２を下降し、該通路
１２の下端部に設置されたＨＥＰＡ７を通過して超清浄
空気Ａとなって底部タフ１−１３へ進み、作業空間２の
底板２Ｓに穿設された多数の給気孔（図面省略）から前
記作業空間２へ吹き出し、作業内容により作業空間２の
上方へ上昇するガス類や熱気等Ｎを伴なって、吸出孔（
図示省略）多数を有する天井板２ｔから上部ダクト１４
を介して送風機５に吸入され、以上の経路を通る循環気
流の動作により作業空間２に所在する被処理物や装置（
共に図示省略）に対する超清浄風が維持されるわけであ
る。
体１１の上部に位置するもので、その概略縦断面図を示
す第１図に見られるように、送風機５により送り出され
た熱気等排出気ｅは、背部ダクト１２を下降し、該通路
１２の下端部に設置されたＨＥＰＡ７を通過して超清浄
空気Ａとなって底部タフ１−１３へ進み、作業空間２の
底板２Ｓに穿設された多数の給気孔（図面省略）から前
記作業空間２へ吹き出し、作業内容により作業空間２の
上方へ上昇するガス類や熱気等Ｎを伴なって、吸出孔（
図示省略）多数を有する天井板２ｔから上部ダクト１４
を介して送風機５に吸入され、以上の経路を通る循環気
流の動作により作業空間２に所在する被処理物や装置（
共に図示省略）に対する超清浄風が維持されるわけであ
る。
次に第２実施例を第２図に基づいて説明する。
本第２実施例のクリーンベンチは、送風機５がベンチ本
体２１の下部に位置するもので、その概略縦断面図を示
す第２図に見られるように、循環気流は、送風機５−（
熱気等排出気ｅ）−底部ダクト２３（該ダクト２３内に
設置されたＨＥＰＡ７を含む）−（超清浄空気Ａ）−底
板２ｓ一作業空間２（超清浄空気Ａに熱気等Ｎを合流）
−天井板２を−（熱気等排出気ｅ）−上背部ダクト２６
−送風機５の経路により循環動作して第１実施例に述べ
たと同様に超清浄風が維持される。
体２１の下部に位置するもので、その概略縦断面図を示
す第２図に見られるように、循環気流は、送風機５−（
熱気等排出気ｅ）−底部ダクト２３（該ダクト２３内に
設置されたＨＥＰＡ７を含む）−（超清浄空気Ａ）−底
板２ｓ一作業空間２（超清浄空気Ａに熱気等Ｎを合流）
−天井板２を−（熱気等排出気ｅ）−上背部ダクト２６
−送風機５の経路により循環動作して第１実施例に述べ
たと同様に超清浄風が維持される。
次に、第３実施例を第３図に基づいて説明する。
本第３実施例のクリーンベンチは、熱気等排出気ｅを廃
棄するもので、その概略縦断面図を示す第３図に見られ
るように、室内の空気ａは、プレフィルタ３及び吸入穴
４を介して送風機５に吸入され底部ダクト３３に送り込
まれ、ＨＥＰＡ７を通って超清浄空気Ａとなって底板２
ｓから作業空間２へ吹き出される。そして熱気等Ｎを伴
ない天井板２ｔから吸い出され熱気等排出気ｅとして上
背部ダクト３６を通り、該ダクト３６の下部に設置され
た排風機３５により排出管（図示省略）を介してクリー
ンルーム外へ廃棄される。したがフて、本第３実施例で
は、熱気等排出気ｅを含む循環気流を用いないので、作
業空間２の空気清浄度は、前記実施例に比べより精度の
高いものが得られるものである。
棄するもので、その概略縦断面図を示す第３図に見られ
るように、室内の空気ａは、プレフィルタ３及び吸入穴
４を介して送風機５に吸入され底部ダクト３３に送り込
まれ、ＨＥＰＡ７を通って超清浄空気Ａとなって底板２
ｓから作業空間２へ吹き出される。そして熱気等Ｎを伴
ない天井板２ｔから吸い出され熱気等排出気ｅとして上
背部ダクト３６を通り、該ダクト３６の下部に設置され
た排風機３５により排出管（図示省略）を介してクリー
ンルーム外へ廃棄される。したがフて、本第３実施例で
は、熱気等排出気ｅを含む循環気流を用いないので、作
業空間２の空気清浄度は、前記実施例に比べより精度の
高いものが得られるものである。
以上説明したようにこの発明は、クリーンベンチの空気
を清浄する方法として、作業空間に対し底板から天井板
に抜けるように超清浄空気を流通させ、該空間内に発生
するガス類や熱気等を上昇気流に添わせて作業空間外へ
すみやかに排出する方法としたため、超清浄空気流を乱
すことなく良好な層流が得られ、前記熱気等も停滞させ
ることなく直ちに排除するので、作業空間の超清浄度を
常に高精度に維持し、良品質の被処理物が得られるとい
う効果がある。
を清浄する方法として、作業空間に対し底板から天井板
に抜けるように超清浄空気を流通させ、該空間内に発生
するガス類や熱気等を上昇気流に添わせて作業空間外へ
すみやかに排出する方法としたため、超清浄空気流を乱
すことなく良好な層流が得られ、前記熱気等も停滞させ
ることなく直ちに排除するので、作業空間の超清浄度を
常に高精度に維持し、良品質の被処理物が得られるとい
う効果がある。
第１図は、この発明を適用した第１実施例のクリーンベ
ンチの概略縦断面図、第２図は、同じく′ｆＪ２実施例
の第１図相当図、第３図は、同じく第３実施例の第１図
相当図、第４図は、従来の天井給気前面排出方法を用い
たクリーンベンチの概略縦断面図、第５図は、従来の背
面給気前面排出方法を用いたクリーンベンチの概略断面
図である。 １１．２１．３１−−−ベンチ本体 ２−−一作業空間 ２ｓ−ｍ−底板 ２を一一一天井板 ７−−−ＨＥＰＡ Ａ−−一超清浄空気
ンチの概略縦断面図、第２図は、同じく′ｆＪ２実施例
の第１図相当図、第３図は、同じく第３実施例の第１図
相当図、第４図は、従来の天井給気前面排出方法を用い
たクリーンベンチの概略縦断面図、第５図は、従来の背
面給気前面排出方法を用いたクリーンベンチの概略断面
図である。 １１．２１．３１−−−ベンチ本体 ２−−一作業空間 ２ｓ−ｍ−底板 ２を一一一天井板 ７−−−ＨＥＰＡ Ａ−−一超清浄空気
Claims (1)
- ベンチ本体の前面に開口した作業空間に対し、フィルタ
を経て超清浄化された空気を底部から吹き出し、天井部
から排出することを特徴としたクリーンベンチの清浄方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29227486A JPS63148040A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | クリ−ンベンチの清浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29227486A JPS63148040A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | クリ−ンベンチの清浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63148040A true JPS63148040A (ja) | 1988-06-20 |
Family
ID=17779629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29227486A Pending JPS63148040A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | クリ−ンベンチの清浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63148040A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EA016131B1 (ru) * | 2009-06-29 | 2012-02-28 | Закрытое Акционерное Общество "Ламинарные Системы" | Устройство обеззараживания воздуха, например, в ламинарном боксе |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61122433A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-10 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | クリ−ンドライベンチ |
-
1986
- 1986-12-10 JP JP29227486A patent/JPS63148040A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61122433A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-10 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | クリ−ンドライベンチ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EA016131B1 (ru) * | 2009-06-29 | 2012-02-28 | Закрытое Акционерное Общество "Ламинарные Системы" | Устройство обеззараживания воздуха, например, в ламинарном боксе |
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