JP2006071167A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

【課題】清浄室内に設置した生産装置に対応して清浄空気を送風する。
【解決手段】空気清浄装置６によって清浄室５内のほぼ水平方向に向けて供給した清浄空気を生産装置１０に対して送風している。このため生産装置１０に水平に載置されたガラス基板Ｇに沿って清浄空気が流れる。この結果ガラス基板Ｇの上方に処理部１０ｂがあっても清浄空気が妨げられることがなく処理部１０ｂからの発塵などを洗い流して常にガラス基板Ｇを清浄空気でシールする。またガラス基板Ｇに溶剤を含んだ薬液を塗布する工程が行われた場合には、ほぼ水平方向に向けて供給した清浄空気によって上部に溶剤が拡散する割合を減少する。またほぼ水平方向の気流を主にした循環換気を行う空気経路を備えているため床または天井チャンバーが不要となりスペース効率を向上することができ、ダクト工事にかかる建築コストを低減できる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、清浄室内に設置した生産装置に対応して清浄空気を送風するクリーンルームに関するものである。

従来のクリーンルームは、天井に設けたサプライチャンバーにフレームを介して多数のＦＦＵ（Fan Filter Unit）を設置してある。床にはレタンチャンバーが設けてあり、側部にはサプライチャンバーとレタンチャンバーとの間に通じるレタンダクトが設けてある。そして、ＦＦＵによって上方から床に向けて清浄室内に清浄空気を供給し、レタンチャンバー、レタンダクトおよびサプライチャンバーを介して空気を循環させている（例えば、特許文献１参照）。

特開平５−２９６５１０号公報

ところで、液晶工場では、大型液晶装置の普及に伴ってガラス基板の大型化が進んでいる。すなわち、ガラス基板の大きさに合わせて生産装置も大型化している。また、ガラス基板のガラス面を処理するために生産装置には、ガラス基板を水平に載置した上に処理部が必要であり、この処理部も大型化している。

しかしながら、従来のクリーンルームでは、上方から供給される清浄空気が処理部によって妨げられてガラス面に届かないため、汚染粒子がガラス面上で滞留してしまいガラス基板の汚染が懸念される。

また、ガラス面にレジストなどの溶剤を含んだ薬液を塗布する工程において、従来のクリーンルームでは、溶剤が循環気流の全体に拡散してしまうことになる。すなわち、有機溶剤を除去して循環使用をする場合には処理風量が膨大となる。

また、生産装置の大型化、ガラス基板の搬送スペースの拡大によって、清浄領域を拡大する必要があるため工場の建設コストが高くなってしまう。

本発明は、上記実情に鑑みて、清浄室内に設置した生産装置に対応して清浄空気を送風することができ、また清浄領域のスペース効率を向上することができるクリーンルームを提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明の請求項１に係るクリーンルームは、清浄室内のほぼ水平方向に向けて供給した清浄空気を生産装置に対して送風する水平方向空気清浄手段を有して循環換気を行う空気経路を備えたことを特徴とする。

本発明の請求項２に係るクリーンルームは、上記請求項１において、前記空気経路は前記水平方向空気清浄手段を接続した側部チャンバーと、当該側部チャンバーに連通する天井チャンバーとを有して循環換気を行う態様で構成してあり、前記天井チャンバーには前記清浄室内の下方に向けて清浄空気を供給する下方向空気清浄手段を接続して、当該下方向空気清浄装置が供給した清浄空気を前記生産装置に生産部品を搬送する搬送装置に対して送風することを特徴とする。

本発明の請求項３に係るクリーンルームは、上記請求項１において、前記生産装置に生産部品を搬送する搬送装置の上方にて垂下する隔板を設けたことを特徴とする。

本発明の請求項４に係るクリーンルームは、上記請求項１〜３のいずれか一つにおいて、前記生産装置の内部に設けた空気導通路と、当該空気導通路を前記清浄室内で開口する空気吸込部と、前記空気導通路を介して前記清浄室から空気を排出する排出ダクトとを備えて循環換気を行うことを特徴とする。

本発明の請求項５に係るクリーンルームは、上記請求項４において、前記空気吸込部は前記生産装置に生産部品を搬送する搬送装置の下側位置に向けて開口する下側位置空気吸込口を有してなることを特徴とする。

本発明の請求項６に係るクリーンルームは、上記請求項１〜５のいずれか一つにおいて、前記生産装置から生じる有機ガスを吸込み、当該有機ガスを除去した空気を前記空気経路に送風する有機ガス除去手段を備えたことを特徴とする。

本発明の請求項７に係るクリーンルームは、上記請求項１〜６のいずれか一つにおいて、前記生産装置は部品載置面の上部に生産部品の処理を行う処理部を有してなり、前記部品載置面と処理部との間に清浄空気を案内する空気流案内手段を備えたことを特徴とする。

本発明の請求項８に係るクリーンルームは、上記請求項１〜７のいずれか一つにおいて、前記水平方向空気清浄手段は複数の空気清浄装置からなり、各空気清浄装置の空気吹出口の間を渡って当該空気吹出口を覆う整流手段を設けたことを特徴とする。

本発明に係るクリーンルームは、水平方向空気清浄手段によって清浄室５内のほぼ水平方向に向けて供給した清浄空気を生産装置に対して送風している。このため、生産装置に水平に載置された生産部品に沿って清浄空気が流れる。この結果、生産部品の上方に処理部があっても清浄空気が妨げられることがなく、当該処理部からの発塵などを洗い流して、常に生産部品を清浄空気でシールすることができる。

生産部品に溶剤を含んだ薬液を塗布する工程が行われた場合には、ほぼ水平方向に向けて供給した清浄空気によって上部に溶剤が拡散する割合を減少することができる。

ほぼ水平方向の気流を主にした循環換気を行うため、床および天井のチャンバーを設けるためのパーテションが不要となる。この結果、設備コストを削減することができ、さらにクリーンルームに必要な階高を低くでき、建築コストが低減でき施工期間を短くすることが可能である。特に、床のリターンスペースを要さないため、コンクリートの床に生産装置などを直接設置できるので、防振対策が不要になる。

ほぼ水平方向の気流を主にした循環換気を行う空気経路を備えているため、従来の天井に設けていた空気清浄装置の台数を削減して天井フレームを簡易な構成にすることができる。

また、本発明に係るクリーンルームは、下方向空気清浄手段によって清浄室内の下方に向けて供給した清浄空気を搬送装置に対して送風している。このため、搬送装置にある生産部品を清浄に保ち、かつ、搬送装置の発塵の舞い上がりを防止することができる。

また、本発明に係るクリーンルームは、隔板によって清浄室内の下方向であって搬送装置に向けて清浄空気を送風している。すなわち、天井から清浄空気を供給することなく水平方向からの清浄空気を搬送装置に送風することができる。さらに、隔板を設けたことによって、空気清浄装置を設ける天井フレームおよび天井チャンバーが不要になる。この結果、設備コストのおよび建築コストを低減することができる。

また、本発明に係るクリーンルームは、清浄室内の空気を空気吸込部から導通路を介して接続ダクトを経由させて生産装置の内部を介して循環換気している。このため、クリーンルーム内に別途レターン設備を設けなくてもよいので設備コストのおよび建築コストを低減することができる。

また、本発明に係るクリーンルームは、前記空気吸込部が搬送装置の下側位置に向けて開口する下側位置空気吸込口を有してなる。このため、下側位置空気吸込口１３Ａａによって搬送装置の下側位置の空気を吸込んで、搬送装置に向けて下方に送風した空気の流れをほとんど変えずに吸込むので、搬送装置からの発塵の拡散を防ぐことが可能になり、下方に送風された清浄空気で搬送装置にある生産部品をシールすることができる。

また、本発明に係るクリーンルームは、生産部品に溶剤を含んだ薬液を塗布する工程が行われた場合に、有機ガス除去手段によって生産装置から空気流を濃い有機ガス濃度のまま捕集できるので有機ガスの除去効率が高い。すなわち、清浄室全体から有機ガスを捕集する大がかりな手段と比較して、少ない風量で多くの有機ガスを捕集することでコストを低減した上で清浄室内の作業環境を良好に保つことができる。

また、本発明に係るクリーンルームは、部品載置面と処理部との間に清浄空気を案内する空気流案内手段を備えたことにより、部品載置面に載置した生産部品に対して清浄気流をより速く、より一様にして案内する。このため、生産装置の発塵粒子を速やかに押し流すことができる。

また、本発明に係るクリーンルームは、整流手段が各空気清浄装置の間の間隙によって生じる気流を一様にして通過させるので、生産装置に載置した生産部品に向けて安定した気流の清浄空気を送風することができる。また、整流手段によって各空気清浄装置の間の間隙によって生じる気流を一様にするので、小風量の空気清浄装置を密接して設けずに、大風量の空気清浄装置を間隔をおいて設けられるため、空気清浄装置の台数を減らして設備コストおよび消費エネルギーコストを低減することができる。

以下に添付図面を参照して、本発明に係るクリーンルームの好適な実施例を詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。

図１は本発明に係るクリーンルームの実施例１を示す構成図である。図１に示すように実施例１におけるクリーンルームは、生産室１の建築天井１ａに沿ってクリーンルーム天井を構成する天井フレーム２ａが設けてあり、建築天井１ａと天井フレーム２ａとの間に天井チャンバー３が形成してある。また、クリーンルームは、生産室１において対向する両側壁１ｂに沿ってそれぞれ側壁フレーム２ｂがそれぞれ設けてあり、側壁１ｂと側壁フレーム２ｂとの間に側部チャンバー４がそれぞれ形成してある。側壁フレーム２ｂは、床１ｃと天井フレーム２ａとの間に渡って設けてある。すなわち、クリーンルームは、天井チャンバー３および各側部チャンバー４を図１に示すように門形に連通し、天井フレーム２ａ、各側壁フレーム２ｂおよび床１ｃによって囲まれる態様で清浄室５を画成している。

側壁フレーム２ｂの一方には、水平方向空気清浄手段が設けてある。水平方向空気清浄手段は、単数もしくは複数の空気清浄装置６を側壁フレーム２ｂの一方に沿って取り付けてなる。空気清浄装置６は、ＦＦＵ（Fan Filter Unit）であり、空気吸込口６ａを側壁フレーム２ｂの一方側に設けた一方の側部チャンバー４内に向け、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタを有した空気吹出口６ｂを清浄室５内に向けて設けてある。そして、空気清浄装置６は、一方の側部チャンバー４から空気を吸込んで清浄処理した空気を清浄室５内に吹出す。また、側壁フレーム２ｂの一方において、水平方向空気清浄手段の最下位置の空気清浄装置６と床１ｃとの間には、一方の側部チャンバー４に通じる下側空気吸込部７が設けてある。なお、水平方向空気清浄手段は、上下方向に並設した複数の空気清浄装置６をキャスターを備えた共通の支持枠台に載せて配置することで移動が容易になる。

側壁フレーム２ｂの他方には、他方の側部チャンバー４に通じる対向側空気吸込部８が設けてある。

水平方向空気清浄手段は、上述したように空気清浄装置６によって一方の側部チャンバー４から空気を吸込んで清浄処理した空気を清浄室５内のほぼ水平方向に向けて吹出す。これにより、清浄室５内の空気が対向側空気吸込部８から他方の側部チャンバー４に至り、天井チャンバー３を介して一方の側部チャンバー４に経由して再び水平方向空気清浄手段によって清浄空気として清浄室５内に吹出される。このように、実施例１におけるクリーンルームは、図１の紙面に垂直な方向に生産ラインが形成されており、この生産ラインを清浄化するためにチューブ状の空気経路が形成されている。また、下側空気吸込部７からは、清浄室５の空気が一方の側部チャンバー４に至って再び水平方向空気清浄手段によって清浄空気として清浄室５内に吹出される。

天井フレーム２ａには、下方向空気清浄手段が設けてある。下方向空気清浄手段は、単数もしくは複数の空気清浄装置９を天井フレーム２ａに沿って取り付けてなる。空気清浄装置９は、ＦＦＵ（Fan Filter Unit）であり、空気吸込口９ａを天井フレーム２ａ側に設けた天井チャンバー３内に向け、空気吹出口９ｂを清浄室５内に向けて設けてある。そして、空気清浄装置９は、天井チャンバー３から空気を吸込んで清浄処理した空気を清浄室５内に吹出す。

下方向空気清浄手段は、上述したように空気清浄装置９によって天井チャンバー３から空気を吸込んで清浄処理した空気を清浄室５内の下方向に向けて吹出す。これにより、清浄室５の空気が対向側空気吸込部８から他方の側部チャンバー４に至り、天井チャンバー３に経由して再び下方向空気清浄手段によって清浄空気として清浄室５内に吹出される。

上記クリーンルームには、その清浄室５内における床１ｃに、例えば液晶工場などにおいて生産部品としてのガラス基板Ｇを生産する生産装置１０が設置してある。生産装置１０は、その上部にガラス基板Ｇを水平にして載置する部品載置面１０ａを有している。部品載置面１０ａの上方には、ガラス基板Ｇのガラス面を処理するための処理部１０ｂが配設してある。処理部１０ｂは、例えばガラス基板Ｇのガラス面にレジストなどの溶剤を含んだ薬液を塗布する工程を含む。この生産装置１０は、水平方向空気清浄手段における空気清浄装置６の空気吹出口６ｂの近傍に設置してあり、部品載置面１０ａの高さと空気清浄装置６の空気吹出口６ｂの高さとを水平な配置にしてある。すなわち、水平方向空気清浄手段の空気清浄装置６によって清浄室５内に吹出された清浄空気は、生産装置１０の部品載置面１０ａに沿って水平方向から供給される。なお、空気清浄装置６を複数設けた場合、各空気清浄装置６を同じ風量で運転せず、必要に応じてそれぞれ風量を変えてもよい。

また、クリーンルームには、その清浄室５内における床１ｃに、生産装置１０の部品載置面１０ａ上にガラス基板Ｇを搬送する搬送装置１１が設置してある。この搬送装置１１は、下方向空気清浄手段における空気清浄装置９の空気吹出口９ｂの直下に設置してある。すなわち、下方向空気清浄手段の空気清浄装置９によって清浄室５内に吹出された清浄空気は、搬送装置１１に対して上方から供給される。なお、空気清浄装置９を複数設けた場合、各空気清浄装置９を同じ風量で運転せず、必要に応じてそれぞれ風量を変えてもよい。空気清浄装置９からの吹出し風向きも、垂直下方のみに限定されるものではない。例えば水平方向に吹出された気流を勘案し、水平気流の上流側へ向けた下方気流として吹出してもよい。

なお、側部チャンバー４には、熱交換手段１２が配置してある。熱交換手段１２は、ＦＣＵ（Fan Coil Unit）であって清浄室５から得た空気を吸込んで冷暖房負荷を熱処理（熱除去）した空気を側部チャンバー４内に吹出す。また、図には明示しないが熱交換手段１２は、天井チャンバー３内に設けてあってもよい。

このように構成した実施例１におけるクリーンルームでは、水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）によって清浄室５内のほぼ水平方向に向けて供給した清浄空気を生産装置１０に対して送風している。このため、生産装置１０の部品載置面１０ａに水平に載置されたガラス基板Ｇのガラス面に沿って清浄空気が流れる。この結果、ガラス基板Ｇの上方にある処理部１０ｂによって清浄空気が妨げられることがなく、当該処理部１０ｂからの発塵などを洗い流して、常にガラス基板Ｇのガラス面を清浄空気でシールすることが可能になる。

実施例１におけるクリーンルームでは、処理部１０ｂによってガラス基板Ｇのガラス面にレジストなどの溶剤を含んだ薬液を塗布する工程が行われた場合に、ほぼ水平方向に向けて供給した清浄空気によって上部に溶剤が拡散する割合を減少することが可能になる。

実施例１におけるクリーンルームでは、下方向空気清浄手段（空気清浄装置９）によって清浄室５内の下方に向けて供給した清浄空気を搬送装置１１に対して送風している。このため、搬送装置１１にあるガラス基板Ｇのガラス面を清浄に保ち、かつ、搬送装置１１の発塵の舞い上がりを防止することが可能になる。

実施例１におけるクリーンルームでは、下側空気吸込部７から清浄室５の空気を側部チャンバー４に排出している。このため、生産装置１０の発塵が著しい場合に、この発塵の舞い上がりを防止することが可能になる。

実施例１におけるクリーンルームでは、ほぼ水平方向の気流を主にした循環換気を行う。このため、従来の床および天井のチャンバーを設けるためのパーテションが不要となる。この結果、設備コストを削減することができ、さらにクリーンルームに必要な階高を低くでき、建築コストが低減でき施工期間を短くすることが可能である。特に、床のリターンスペースを要さないため、コンクリートの床１ｃに生産装置１０および搬送装置１１を直接設置できるので、防振対策が不要になる。

実施例１におけるクリーンルームでは、ほぼ水平方向の気流を主にした循環換気を行うため、従来の天井に設けていたＦＦＵの台数を削減して天井フレーム２ａを簡易な構成にすることが可能になる。

図２は本発明に係るクリーンルームの実施例２を示す構成図、図３は本発明に係るクリーンルームの実施例２の変形例を示す構成図である。なお、以下に説明する実施例２において、上述した実施例１と同一または同等部分には、同一符号を付して説明を省略する。

図２に示すように実施例２におけるクリーンルームは、生産室１の建築天井１ａに沿ってクリーンルーム天井を構成する天井フレーム２ａが設けてあり、建築天井１ａと天井フレーム２ａとの間に天井チャンバー３が形成してある。また、クリーンルームは、生産室１において対向する一方の側壁１ｂに沿って側壁フレーム２ｂが設けてあり、側壁１ｂと側壁フレーム２ｂとの間に側部チャンバー４が形成してある。側壁フレーム２ｂは、床１ｃと天井フレーム２ａとの間に渡って設けてある。すなわち、クリーンルームは、天井チャンバー３および側部チャンバー４を図２に示すように略逆Ｌ字形に連通し、天井フレーム２ａ、側壁フレーム２ｂおよび床１ｃによって囲まれる態様で清浄室５を画成している。そして、側壁フレーム２ｂには水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）が設けてあり、天井フレーム２ａには下方向空気清浄手段（空気清浄装置９）が設けてある。なお、図２には明示しないが、側部チャンバー４には、熱交換手段１２が配置してある。

清浄室５に設置された生産装置１０には、その内部に空気を導通する導通路１３が設けてある。導通路１３は、空気吸込部１３Ａによって清浄室５内で水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）と相反する側であって搬送装置１１に向けて開口してある。また、導通路１３は、接続ダクト１３Ｂによって下側空気吸込部７を介して側部チャンバー４に接続してある。

水平方向空気清浄手段は、空気清浄装置６によって側部チャンバー４から空気を吸込んで清浄処理した空気を清浄室５内のほぼ水平方向であって生産装置１０に向けて吹出す。これにより、清浄室５の空気が生産装置１０における空気吸込部１３Ａから導通路１３を介して接続ダクト１３Ｂを経由して下側空気吸込部７から側部チャンバー４に至り再び水平方向空気清浄手段によって清浄空気として清浄室５内に吹出される。このように、実施例２におけるクリーンルームは、各チャンバー３，４および生産装置１０の内部を介して清浄室５の循環換気を行う空気経路を形成している。

下方向空気清浄手段は、空気清浄装置９によって天井チャンバー３から空気を吸込んで清浄処理した空気を清浄室５内の下方向であって搬送装置１１に向けて吹出す。これにより、清浄室５の空気が生産装置１０における空気吸込部１３Ａから導通路１３を介して接続ダクト１３Ｂを経由して下側空気吸込部７から側部チャンバー４に至り再び水平方向空気清浄手段によって清浄空気として清浄室５内に吹出される。

このように構成した実施例２におけるクリーンルームでは、水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）によって清浄室５内のほぼ水平方向に向けて供給した清浄空気を生産装置１０に対して送風している。このため、生産装置１０の部品載置面１０ａに水平に載置されたガラス基板Ｇのガラス面に沿って清浄空気が流れる。この結果、ガラス基板Ｇの上方にある処理部１０ｂによって清浄空気が妨げられることがなく、当該処理部１０ｂからの発塵などを洗い流して、常にガラス基板Ｇのガラス面を清浄空気でシールすることが可能になる。

実施例２におけるクリーンルームでは、処理部１０ｂによってガラス基板Ｇのガラス面にレジストなどの溶剤を含んだ薬液を塗布する工程が行われた場合に、ほぼ水平方向に向けて供給した清浄空気によって上部に溶剤が拡散する割合を減少することが可能になる。

実施例２におけるクリーンルームでは、下方向空気清浄手段（空気清浄装置９）によって清浄室５内の下方に向けて供給した清浄空気を搬送装置１１に対して送風している。このため、搬送装置１１にあるガラス基板Ｇのガラス面を清浄に保ち、かつ、搬送装置１１の発塵の舞い上がりを防止することが可能になる。

実施例２におけるクリーンルームでは、ほぼ水平方向の気流を主にした循環換気を行う。このため、従来の床および天井のチャンバーを設けるためのパーテションが不要となる。この結果、設備コストを削減することができ、さらにクリーンルームに必要な階高を低くでき、建築コストが低減でき施工期間を短くすることが可能である。特に、床のリターンスペースを要さないため、コンクリートの床１ｃに生産装置１０および搬送装置１１を直接設置できるので、防振対策が不要になる。

実施例２におけるクリーンルームでは、ほぼ水平方向の気流を主にした循環換気を行う空気経路を備えているため、従来の天井に設けていたＦＦＵの台数を削減して天井フレーム２ａを簡易な構成にすることが可能になる。

特に、実施例２におけるクリーンルームでは、清浄室５内の空気を生産装置１０の内部を介して循環換気している。このため、実施例１と比較して図１で示す側壁フレーム２ｂの他方、および側壁フレーム２ｂの他方で設けた他方の側部チャンバー４および対向側空気吸込部８が不要になる。この結果、実施例１と比較して設備コストのおよび建築コストを低減することが可能である。

ところで、実施例２の変形例におけるクリーンルームは、図３に示すように生産室１の建築天井１ａに沿ってクリーンルーム天井を構成する天井フレーム２ａが設けてあり、建築天井１ａと天井フレーム２ａとの間に天井チャンバー３が形成してある。また、クリーンルームは、生産室１において対向する両側壁１ｂに沿ってそれぞれ側壁フレーム２ｂがそれぞれ設けてあり、側壁１ｂと側壁フレーム２ｂとの間に側部チャンバー４がそれぞれ形成してある。側壁フレーム２ｂは、床１ｃと天井フレーム２ａとの間に渡って設けてある。すなわち、クリーンルームは、天井チャンバー３および各側部チャンバー４を図３に示すように門形に連通し、天井フレーム２ａ、各側壁フレーム２ｂおよび床１ｃによって囲まれる態様で清浄室５を画成している。そして、側壁フレーム２ｂには水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）が設けてあり、天井フレーム２ａには下方向空気清浄手段（空気清浄装置９）が設けてある。また、清浄室５の中央には搬送装置１１が設置してあり、その両側（周囲）に図２で示した生産装置１０を配置してある。なお、図３には明示しないが、側部チャンバー４には、熱交換手段１２が配置してある。このように構成した実施例２の変形例におけるクリーンルームでは、少数の搬送装置１１に対して多数の生産装置１０を用いるクリーンルームにおいて、効率良く空気清浄を行うことが可能である。

図４は本発明に係るクリーンルームの実施例３を示す構成図である。なお、以下に説明する実施例３において、上述した実施例１と同一または同等部分には、同一符号を付して説明を省略する。

図４に示すように実施例３におけるクリーンルームは、生産室１において対向する両側壁１ｂに沿ってそれぞれ側壁フレーム２ｂがそれぞれ設けてあり、側壁１ｂと側壁フレーム２ｂとの間に側部チャンバー４がそれぞれ形成してある。各側壁フレーム２ｂは、建築天井１ａと床１ｃとの間に渡って設けてある。すなわち、クリーンルームは、各側部チャンバー４を図４に示すように両側に配置し、建築天井１ａ、床１ｃおよび各側壁フレーム２ｂによって囲まれる態様で清浄室５を画成している。なお、図４には明示しないが、側部チャンバー４には、熱交換手段１２が配置してある。

各側壁フレーム２ｂには、水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）がそれぞれ設けてある。また、清浄室５の中央には搬送装置１１が設置してあり、その両側（周囲）に生産装置１０を配置してある。

清浄室５に設置された生産装置１０には、その内部に空気を導通する導通路１３が設けてある。導通路１３は、空気吸込部１３Ａによって清浄室５内で水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）と相反する側であって搬送装置１１に向けて開口してある。また、導通路１３は、接続ダクト１３Ｂによって下側空気吸込部７を介して側部チャンバー４に接続してある。

空気吸込部１３Ａは、搬送装置１１の下側位置に向けて延在して開口する下側位置空気吸込口１３Ａａと、生産装置１０における部品載置面１０ａの縁部の位置にて開口する上側位置空気吸込口１３Ａｂとを有してなる。

また、建築天井１ａには、搬送装置１１の上方にて垂下する隔板１４が設けてある。

水平方向空気清浄手段は、空気清浄装置６によって側部チャンバー４から空気を吸込んで清浄処理した空気を清浄室５内のほぼ水平方向であって生産装置１０に向けて吹出す。これにより、清浄室５の空気が生産装置１０における下側位置空気吸込口１３Ａａおよび上側位置空気吸込口１３Ａｂから導通路１３を介して接続ダクト１３Ｂを経由して下側空気吸込部７から側部チャンバー４に至り再び水平方向空気清浄手段によって清浄空気として清浄室５内に吹出される。また、下側位置空気吸込口１３Ａａでは搬送装置１１の下側位置の空気を吸込み、上側位置空気吸込口１３Ａｂでは生産装置１０における部品載置面１０ａの縁部の位置の空気を吸込む。このように、実施例３におけるクリーンルームは、側部チャンバー４および生産装置１０の内部を介して清浄室５の循環換気を行う空気経路を形成している。

水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）によって清浄室５内に供給された清浄空気は、隔板１４によって清浄室５内の下方向であって搬送装置１１に向けて送風されて、下側位置空気吸込口１３Ａａおよび上側位置空気吸込口１３Ａｂから導通路１３を介して接続ダクト１３Ｂを経由して下側空気吸込部７から側部チャンバー４に至り再び水平方向空気清浄手段によって清浄空気として清浄室５内に吹出される。

このように構成した実施例３におけるクリーンルームでは、水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）によって清浄室５内のほぼ水平方向に向けて供給した清浄空気を生産装置１０に対して送風している。このため、生産装置１０の部品載置面１０ａに水平に載置されたガラス基板Ｇのガラス面に沿って清浄空気が流れる。この結果、ガラス基板Ｇの上方にある処理部１０ｂによって清浄空気が妨げられることがなく、当該処理部１０ｂからの発塵などを洗い流して、常にガラス基板Ｇのガラス面を清浄空気でシールすることが可能になる。

実施例３におけるクリーンルームでは、処理部１０ｂによってガラス基板Ｇのガラス面にレジストなどの溶剤を含んだ薬液を塗布する工程が行われた場合に、ほぼ水平方向に向けて供給した清浄空気によって上部に溶剤が拡散する割合を減少することが可能になる。

実施例３におけるクリーンルームでは、ほぼ水平方向の気流を主にした循環換気を行う。このため、従来の床および天井のチャンバーを設けるためのパーテションが不要となる。この結果、設備コストを削減することができ、さらにクリーンルームに必要な階高を低くでき、建築コストが低減でき施工期間を短くすることが可能である。特に、床のリターンスペースを要さないため、コンクリートの床１ｃに生産装置１０および搬送装置１１を直接設置できるので、防振対策が不要になる。

特に、実施例３におけるクリーンルームでは、隔板１４によって清浄室５内の下方向であって搬送装置１１に向けて清浄空気を送風している。すなわち、実施例１および実施例２の下方向空気清浄手段（空気清浄装置９）を要さずに、対向して供給された清浄空気を不規則に混合させずに下方に送風することが可能になる。このため、搬送装置１１にあるガラス基板Ｇのガラス面を清浄に保ち、かつ、搬送装置１１の発塵の舞い上がりを防止することが可能になる。さらに、隔板１４を設けたことによって、実施例１および実施例２の下方向空気清浄手段（空気清浄装置９）、および下方向空気清浄手段を設ける天井フレーム２ａおよび天井チャンバー３が不要になる。この結果、実施例１および実施例２と比較して設備コストおよび建築コストを低減することが可能である。

また、実施例３におけるクリーンルームでは、下側位置空気吸込口１３Ａａによって搬送装置１１の下側位置の空気を吸込み、上側位置空気吸込口１３Ａｂによって生産装置１０における部品載置面１０ａの縁部の位置の空気を吸込んでいる。このため、下側位置空気吸込口１３Ａａが隔板１４によって搬送装置１１に向けて送風した空気の流れをほとんど変えずに吸込むので、搬送装置１１からの発塵の拡散を防ぐことが可能になり、下方に送風された清浄空気で搬送装置１１にあるガラス基板Ｇをシールすることが可能になる。また、上側位置空気吸込口１３Ａｂが生産装置１０にあるガラス基板Ｇのガラス面上を流れる空気を吸込むので、当該ガラス基板Ｇをガラス面に沿って送風された清浄空気でシールすることが可能になる。

図５は本発明に係るクリーンルームの実施例４を示す構成図である。なお、以下に説明する実施例４において、上述した実施例１と同一または同等部分には、同一符号を付して説明を省略する。

図５に示すように実施例４におけるクリーンルームは、実施例１〜実施例３の構成において、生産装置１０に係り有機ガス除去手段を設けてある。有機ガス除去手段は、有機ガス吸込口１５ａ、ダクト１５ｂ、ファン１５ｃおよび有機ガス除去部１５ｄを有してなる。

有機ガス吸込口１５ａは、水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）と相反する側（下流側）であって生産装置１０における部品載置面１０ａの縁部の位置にて開口してある。この有機ガス吸込口１５ａは、上述した実施例３における上側位置空気吸込口１３Ａｂに換えて設けてもよい。

ダクト１５ｂは、有機ガス吸込口１５ａに一端が接続してあって、他端が側部チャンバー４に接続してある。ダクト１５ｂは、本実施例４では、図５に示すように水平方向空気清浄手段を接続した一方の側部チャンバー４に接続してあるが、他方の側部チャンバー４に接続してあってもよく、あるいは天井チャンバー３に接続してあってもよい。また、ダクト１５ｂは、図５では、床１ｃを貫通する経路で配置してあるが、この経路に限定する必要はない。

ファン１５ｃは、ダクト１５ｂの中途部に設けてある。ファン１５ｃは、有機ガス吸込口１５ａから空気を吸込んでダクト１５ｂの他端から排気する態様で送風する。

有機ガス除去部１５ｄは、ダクト１５ｂの中途部であってファン１５ｃによる送風の下流側に設けてある。有機ガス除去部１５ｄは、有機溶剤を含んだ空気の有機溶剤を除去する。

このように構成した実施例４におけるクリーンルームでは、処理部１０ｂによってガラス基板Ｇのガラス面にレジストなどの溶剤を含んだ薬液を塗布する工程が行われた場合に、有機ガス吸込口１５ａから生産装置１０における部品載置面１０ａの清浄空気の下流側で有機ガスを吸込んで、有機ガス除去部１５ｄで有機溶剤を除去した空気を側部チャンバー４（または天井チャンバー３）に排気する。このように、有機ガス除去手段は、生産装置１０の部品載置面１０ａに沿って送風された空気流を部品載置面１０ａの位置で捕集するので、発揮する溶剤の大半を捕集して除去する。このため、濃い有機ガス濃度のまま捕集できるので有機ガスの除去効率が高い。すなわち、清浄室５全体から有機ガスを捕集する大がかりな手段と比較して、少ない風量で多くの有機ガスを捕集することでコストを低減した上で清浄室５内の作業環境を良好に保つことが可能になる。

図６は本発明に係るクリーンルームの実施例５を示す構成図、図７は本発明に係るクリーンルームの実施例５を示す斜視図である。なお、以下に説明する実施例５において、上述した実施例１と同一または同等部分には、同一符号を付して説明を省略する。

図６に示すように実施例６におけるクリーンルームは、実施例１〜実施例４の構成において、生産装置１０に係り空気流案内手段を設けてある。空気流案内手段は、整流フード１６ａおよび整流板１６ｂを有してなる。

整流フード１６ａは、生産装置１０の処理部１０ｂにおいて、水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）と対向する側（上流側）に設けてある。整流フード１６ａは、図６および図７に示すように空気清浄装置６の空気吹出口６ｂに向く側と、生産装置１０の部品載置面１０ａに向く側のみに開放した門型の覆いを形成してある。

整流板１６ｂは、生産装置１０の部品載置面１０ａにおいて、水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）と対向する側（上流側）の縁部に設けてある。整流板１６ｂは、空気清浄装置６に向かって部品載置面１０ａよりも下側に湾曲（あるいは傾斜）して形成してある。

このように構成した実施例５におけるクリーンルームでは、水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）から清浄室５内に送風された清浄空気は、整流フード１６ａによって処理部１０ｂの側方に拡散することなく、生産装置１０の部品載置面１０ａに載置されたガラス基板Ｇのガラス面に向かう清浄気流となって流される。また、水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）から清浄室５内に送風された清浄空気は、生産装置１０の部品載置面１０ａの縁部で剥離することなく、部品載置面１０ａに向かう清浄気流となって流れる。このように、空気流案内手段は、ガラス基板Ｇのガラス面に対して清浄気流をより速く、より一様にして案内する。このため、生産装置１０の発塵粒子を速やかに押し流すことが可能になる。

図８は本発明に係るクリーンルームの実施例６を示す構成図である。なお、以下に説明する実施例６において、上述した実施例１と同一または同等部分には、同一符号を付して説明を省略する。

図８に示すように実施例６におけるクリーンルームは、実施例１〜実施例５の構成において、水平方向空気清浄手段（空気清浄装置６）に係り整流手段を設けてある。整流手段は、水平方向空気清浄手段が複数の空気清浄装置６を有する場合、各空気清浄装置６の空気吹出口６ｂの間を渡って各空気吹出口６ｂを覆うパンチング板（あるいはメッシュ板）１７からなる。

各空気清浄装置６は側壁フレーム２ｂに設けてあるが、それぞれの間には支持枠（図示せず）を要する。すなわち、各空気清浄装置６（各空気吹出口６ｂ）の間に間隙が生じる。この隙間には、気流が生じないので乱れが生じる。パンチング板１７は、気流の乱れを押さえて一様な気流にして通過させる。

このように構成した実施例６におけるクリーンルームでは、整流手段が各空気清浄装置６の間の間隙によって生じる気流を一様にして通過させるので、生産装置１０の部品載置面１０ａに載置したガラス基板Ｇに向けて安定した気流の清浄空気を送風することが可能になる。また、整流手段によって各空気清浄装置６の間の間隙によって生じる気流を一様にするので、小風量の空気清浄装置６を密接して設けずに、大風量の空気清浄装置６を間隔をおいて設けることが可能になる。このため、空気清浄装置６の台数を減らして設備コストおよび消費エネルギーコストを低減する。

本発明に係るクリーンルームの実施例１を示す構成図である。 本発明に係るクリーンルームの実施例２を示す構成図である。 本発明に係るクリーンルームの実施例２の変形例を示す構成図である。 本発明に係るクリーンルームの実施例３を示す構成図である。 本発明に係るクリーンルームの実施例４を示す構成図である。 本発明に係るクリーンルームの実施例５を示す構成図である。 本発明に係るクリーンルームの実施例５を示す斜視図である。 本発明に係るクリーンルームの実施例６を示す構成図である。

符号の説明

１ 生産室
１ａ 建築天井
１ｂ 側壁
１ｃ 床
２ａ 天井フレーム（クリーンルーム天井）
２ｂ 側壁フレーム
３ 天井チャンバー
４ 側部チャンバー
５ 清浄室
６ 空気清浄装置
６ａ 空気吸込口
６ｂ 空気吹出口
７ 下側空気吸込部
８ 対向側空気吸込部
９ 空気清浄装置
９ａ 空気吸込口
９ｂ 空気吹出口
１０ 生産装置
１０ａ 部品載置面
１０ｂ 処理部
１１ 搬送装置
１２ 熱交換手段
１３ 導通路
１３Ａ 空気吸込部
１３Ａａ 下側位置空気吸込口
１３Ａｂ 上側位置空気吸込口
１３Ｂ 接続ダクト
１４ 隔板
１５ａ 有機ガス吸込口
１５ｂ ダクト
１５ｃ ファン
１５ｄ 有機ガス除去部
１６ａ 整流フード
１６ｂ 整流板
１７ パンチング板
Ｇ ガラス基板

Claims (8)

1. 清浄室内のほぼ水平方向に向けて供給した清浄空気を生産装置に対して送風する水平方向空気清浄手段を有して循環換気を行う空気経路を備えたことを特徴とするクリーンルーム。
2. 前記空気経路は前記水平方向空気清浄手段を接続した側部チャンバーと、当該側部チャンバーに連通する天井チャンバーとを有して循環換気を行う態様で構成してあり、前記天井チャンバーには前記清浄室内の下方に向けて清浄空気を供給する下方向空気清浄手段を接続して、当該下方向空気清浄装置が供給した清浄空気を前記生産装置に生産部品を搬送する搬送装置に対して送風することを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム。
3. 前記生産装置に生産部品を搬送する搬送装置の上方にて垂下する隔板を設けたことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム。
4. 前記生産装置の内部に設けた空気導通路と、当該空気導通路を前記清浄室内で開口する空気吸込部と、前記空気導通路を介して前記清浄室から空気を排出する排出ダクトとを備えて循環換気を行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載のクリーンルーム。
5. 前記空気吸込部は前記生産装置に生産部品を搬送する搬送装置の下側位置に向けて開口する下側位置空気吸込口を有してなることを特徴とする請求項４に記載のクリーンルーム。
6. 前記生産装置から生じる有機ガスを吸込み、当該有機ガスを除去した空気を前記空気経路に送風する有機ガス除去手段を備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載のクリーンルーム。
7. 前記生産装置は部品載置面の上部に生産部品の処理を行う処理部を有してなり、前記部品載置面と処理部との間に清浄空気を案内する空気流案内手段を備えたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載のクリーンルーム。
8. 前記水平方向空気清浄手段は複数の空気清浄装置からなり、各空気清浄装置の空気吹出口の間を渡って当該空気吹出口を覆う整流手段を設けたことを特徴とする請求項１〜７の何れか一つに記載のクリーンルーム。

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