JPH0325074Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0325074Y2 JPH0325074Y2 JP19336686U JP19336686U JPH0325074Y2 JP H0325074 Y2 JPH0325074 Y2 JP H0325074Y2 JP 19336686 U JP19336686 U JP 19336686U JP 19336686 U JP19336686 U JP 19336686U JP H0325074 Y2 JPH0325074 Y2 JP H0325074Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- area
- hepa filter
- work area
- ceiling
- process area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 14
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 4
- 210000000744 eyelid Anatomy 0.000 description 9
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000012864 cross contamination Methods 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、トンネル形状のクリーンルーム内に
その軸に沿う方向にプロセス域と作業域とを平行
に形成し、天井面にHEPAフイルタ層（高性能
フイルタ層）を設置すると共にその背後の天井裏
に給気プレナムを形成したトンネル状の清浄作業
室の清浄空気吹出構造に関する。
その軸に沿う方向にプロセス域と作業域とを平行
に形成し、天井面にHEPAフイルタ層（高性能
フイルタ層）を設置すると共にその背後の天井裏
に給気プレナムを形成したトンネル状の清浄作業
室の清浄空気吹出構造に関する。
第１図に従来の代表的なトンネル状のクリーン
ルームの空気吹出構造を示す。第１図はトンネル
状クリーンルームの軸とは直角方向の断面を示し
たものであり、図示の断面形状が紙面の表裏方向
に実質上同一寸法をもつて長く延びている。すな
わち、両壁面２と３、第一天井４、床面５が紙面
の表裏方向に互いに平行に延びており、天井部に
は第一天井４から所定の距離を離して第二天井が
形成されている。この第二天井はHEPAフイル
タ層で形成され、このHEPAフイルタ層の裏側
では第一天井４との間で給気プレナムＰが形成さ
れている。この給気プレナムＰにはフアン６，７
から空気が吐出され、天井面のHEPAフイルタ
層を経て室内に清浄空気が吹き出される。室内の
空気は両壁面２，３の裏側に排気され、その一部
または全部がフアン６，７に還気として吸い込ま
れる。
ルームの空気吹出構造を示す。第１図はトンネル
状クリーンルームの軸とは直角方向の断面を示し
たものであり、図示の断面形状が紙面の表裏方向
に実質上同一寸法をもつて長く延びている。すな
わち、両壁面２と３、第一天井４、床面５が紙面
の表裏方向に互いに平行に延びており、天井部に
は第一天井４から所定の距離を離して第二天井が
形成されている。この第二天井はHEPAフイル
タ層で形成され、このHEPAフイルタ層の裏側
では第一天井４との間で給気プレナムＰが形成さ
れている。この給気プレナムＰにはフアン６，７
から空気が吐出され、天井面のHEPAフイルタ
層を経て室内に清浄空気が吹き出される。室内の
空気は両壁面２，３の裏側に排気され、その一部
または全部がフアン６，７に還気として吸い込ま
れる。
室内においては、両壁面２，３に沿う壁近くに
プロセス域Ａが、そして中央部に作業域Ｂがそれ
ぞれ長手方向に形成され、プロセス域Ａには清浄
雰囲気下で作業を行なうことが必要な製造機器類
Ｍが配列され、作業域Ｂでは作業を行なう作業員
の通路または作業場所となる。プロセス域Ａは作
業域Ｂよりも高い清浄度に維持するために、プロ
セス域Ａに対応する天井面に配置するHEPAフ
イルタ８から吹き出される気流の速度の方が、作
業域Ｂに対応する天井面に配置するHEPAフイ
ルタ９のそれより大きくするのが通常である。例
えばプロセス域Ａでは約0.4m／ｓ、作業域Ｂで
は約0.2m／ｓと設定する。またプロセス域Ａで
垂直層流が得られるように通常はアイリツド１０
（垂れ壁）が両域の境界において天井部より垂直
に吊り下げられる。
プロセス域Ａが、そして中央部に作業域Ｂがそれ
ぞれ長手方向に形成され、プロセス域Ａには清浄
雰囲気下で作業を行なうことが必要な製造機器類
Ｍが配列され、作業域Ｂでは作業を行なう作業員
の通路または作業場所となる。プロセス域Ａは作
業域Ｂよりも高い清浄度に維持するために、プロ
セス域Ａに対応する天井面に配置するHEPAフ
イルタ８から吹き出される気流の速度の方が、作
業域Ｂに対応する天井面に配置するHEPAフイ
ルタ９のそれより大きくするのが通常である。例
えばプロセス域Ａでは約0.4m／ｓ、作業域Ｂで
は約0.2m／ｓと設定する。またプロセス域Ａで
垂直層流が得られるように通常はアイリツド１０
（垂れ壁）が両域の境界において天井部より垂直
に吊り下げられる。
第２図は、プロセス域ＡのHEPAフイルタ８
と作業域ＢのHEPAフイルタ９をチヤンバー内
に設置し各チヤンバー内にプレナムＰを形成した
以外は第１図と実質上同じトンネル状の従来のク
リーンルームを示しており、このような構造でも
プロセス域Ａの気流の吹出速度を作業域Ｂのそれ
よりも約２倍程度とし、またアイリツド１０が設
置されるのが通常である。
と作業域ＢのHEPAフイルタ９をチヤンバー内
に設置し各チヤンバー内にプレナムＰを形成した
以外は第１図と実質上同じトンネル状の従来のク
リーンルームを示しており、このような構造でも
プロセス域Ａの気流の吹出速度を作業域Ｂのそれ
よりも約２倍程度とし、またアイリツド１０が設
置されるのが通常である。
以上が従来のトンネル状クリーンルームの代表
的な構造および気流パターンであつた。
的な構造および気流パターンであつた。
従来のクリーントンネルの天井面のHEPAフ
イルタ層は水平に設けられていた。したがつて、
吹出気流は垂直方向に下降することになるが、例
えアイリツドがプロセス域Ａと作業域Ｂとの境に
設けられていても、そのアイリツドは作業位置ま
で下げるわけにはゆかないので、アイリツドの下
方では作業域Ｂとプロセス域Ａとの間で交差汚染
が生じていた。特にプロセス域Ａと作業域Ｂとで
吹出気流の速度が異なる場合に、その速度差によ
つて巻き込み気流が発生し、更にはプロセス域Ａ
に設置される機械の大きさや形状によつて気流に
乱れが生じてトンネルの軸方向およびこれと直角
方向にコンタミネーシヨンが起こり易かつた。ま
た、アイリツドの存在は室内空間を区切るので室
を狭い感じにすると共に場合によつて作業の邪魔
になることもあり、さらに塵埃がこれに付着集積
した場合には汚染源にもなりかねなかつた。
イルタ層は水平に設けられていた。したがつて、
吹出気流は垂直方向に下降することになるが、例
えアイリツドがプロセス域Ａと作業域Ｂとの境に
設けられていても、そのアイリツドは作業位置ま
で下げるわけにはゆかないので、アイリツドの下
方では作業域Ｂとプロセス域Ａとの間で交差汚染
が生じていた。特にプロセス域Ａと作業域Ｂとで
吹出気流の速度が異なる場合に、その速度差によ
つて巻き込み気流が発生し、更にはプロセス域Ａ
に設置される機械の大きさや形状によつて気流に
乱れが生じてトンネルの軸方向およびこれと直角
方向にコンタミネーシヨンが起こり易かつた。ま
た、アイリツドの存在は室内空間を区切るので室
を狭い感じにすると共に場合によつて作業の邪魔
になることもあり、さらに塵埃がこれに付着集積
した場合には汚染源にもなりかねなかつた。
本考案はこのような従来のクリーントンネルの
問題点をHEPAフイルタの設置構造を工夫する
ことによつて解決することを目的とする。
問題点をHEPAフイルタの設置構造を工夫する
ことによつて解決することを目的とする。
前記の目的を達成せんとする本考案の要旨とす
るところは、トンネル形状のクリーンルーム内に
その軸に沿う方向にプロセス域Ａと作業域Ｂとを
平行に形成し、天井面にHEPAフイルタ層を設
置すると共にその背後の天井裏に給気プレナムＰ
を形成したクリーンルームにおいて、プロセス域
Ａに対応する天井面から作業域Ｂに対応する天井
面に向けて漸次濾材面積が減少するように
HEPAフイルタの層厚を変化させたことを特徴
とするクリーンルームの清浄空気吹出構造にあ
る。
るところは、トンネル形状のクリーンルーム内に
その軸に沿う方向にプロセス域Ａと作業域Ｂとを
平行に形成し、天井面にHEPAフイルタ層を設
置すると共にその背後の天井裏に給気プレナムＰ
を形成したクリーンルームにおいて、プロセス域
Ａに対応する天井面から作業域Ｂに対応する天井
面に向けて漸次濾材面積が減少するように
HEPAフイルタの層厚を変化させたことを特徴
とするクリーンルームの清浄空気吹出構造にあ
る。
以下に図面の実施例に従つて本考案の内容を具
体的に説明する。
体的に説明する。
〔実施例〕
第３図は、本考案に従うクリーンルームの清浄
空気吹出構造の一実施例を示したもので、プロセ
ス域Ａに対応する天井面のHEPAフイルタａの
層厚Haを作業域Ｂに対応する天井面のHEPAフ
イルタｂの層厚Hbより厚くすると共に、HEPA
フイルタａとHEPAフイルタｂとの間に、厚み
に変化をもたせたHEPAフイルタｃを設け、各
HEPAフイルタａ，ｂおよびｃの吸込面側を水
平面に整合させた例を示している。また、第４図
は各HEPAフイルタａ，ｂおよびｃの吹出面側
を水平面に整合させた以外は第３図と同様な例を
示している。いずれの例においても、HEPAフ
イルタｃはプロセス域Ａと作業域Ｂとの境界部分
に適当な幅をもつて配置され、プロセス域Ａに対
応する天井面から作業域Ｂに対応する天井面に向
けてHaからHbへと層厚が連続的に減少してい
る。
空気吹出構造の一実施例を示したもので、プロセ
ス域Ａに対応する天井面のHEPAフイルタａの
層厚Haを作業域Ｂに対応する天井面のHEPAフ
イルタｂの層厚Hbより厚くすると共に、HEPA
フイルタａとHEPAフイルタｂとの間に、厚み
に変化をもたせたHEPAフイルタｃを設け、各
HEPAフイルタａ，ｂおよびｃの吸込面側を水
平面に整合させた例を示している。また、第４図
は各HEPAフイルタａ，ｂおよびｃの吹出面側
を水平面に整合させた以外は第３図と同様な例を
示している。いずれの例においても、HEPAフ
イルタｃはプロセス域Ａと作業域Ｂとの境界部分
に適当な幅をもつて配置され、プロセス域Ａに対
応する天井面から作業域Ｂに対応する天井面に向
けてHaからHbへと層厚が連続的に減少してい
る。
第５図は本考案に従うHEPAフイルタの構造
を図解的に示したもので、フレーム１３で枠組み
されたガスケツト１４の開口面積内にフイルタ濾
材１２が屏風状のセパレータ１５を挟んで一定ピ
ツチで折り返しながら装着される点では従来の
HEPAフイルタの構造と変わりはないが、フイ
ルタ濾材１２の折り返しピツチは一定にしながら
折り返し高さを変化させたものである。すなわ
ち、フイルタ濾材１２の折り返しのピツチの幅は
一定にしたうえで、プロセス域Ａに対応する
HEPAフイルタａの折り返し高さHaから作業域
Ｂに対応するHEPAフイルタｂの折り返し高さ
HbまでHEPAフイルタｃの折り返し高さ（つま
りHEPAフイルタの層厚）を連続的に減少させ
たものである。
を図解的に示したもので、フレーム１３で枠組み
されたガスケツト１４の開口面積内にフイルタ濾
材１２が屏風状のセパレータ１５を挟んで一定ピ
ツチで折り返しながら装着される点では従来の
HEPAフイルタの構造と変わりはないが、フイ
ルタ濾材１２の折り返しピツチは一定にしながら
折り返し高さを変化させたものである。すなわ
ち、フイルタ濾材１２の折り返しのピツチの幅は
一定にしたうえで、プロセス域Ａに対応する
HEPAフイルタａの折り返し高さHaから作業域
Ｂに対応するHEPAフイルタｂの折り返し高さ
HbまでHEPAフイルタｃの折り返し高さ（つま
りHEPAフイルタの層厚）を連続的に減少させ
たものである。
この層厚の変化を与えることよつて風量を変化
させることができる。すなわち、第３図や第４図
のように天井面に設置した場合に、給気プレナム
ＰからこのHEPAフイルタを通じて吹き出され
る空気の抵抗はａの領域はｂの領域よりも小さ
く、そしてｃの領域ではａからｂの方向に向けて
漸次大きくなる（フイルタ濾材１２の面積がａか
らｂに向かつて漸次減少するのでこれにつれて抵
抗が漸次増加する）から、プロセス域Ａが作業域
Ｂよりも大きな風速が得られると共に、ｃの領域
ではプロセス域Ａから作業域Ｂに向けて漸次風速
が連続的に減少することになる。
させることができる。すなわち、第３図や第４図
のように天井面に設置した場合に、給気プレナム
ＰからこのHEPAフイルタを通じて吹き出され
る空気の抵抗はａの領域はｂの領域よりも小さ
く、そしてｃの領域ではａからｂの方向に向けて
漸次大きくなる（フイルタ濾材１２の面積がａか
らｂに向かつて漸次減少するのでこれにつれて抵
抗が漸次増加する）から、プロセス域Ａが作業域
Ｂよりも大きな風速が得られると共に、ｃの領域
ではプロセス域Ａから作業域Ｂに向けて漸次風速
が連続的に減少することになる。
したがつて、プロセス域Ａと作業域Ｂとの間の
領域では従来のように風速に段差が生じることな
く、プロセス域Ａの風速から作業域Ｂの風速に連
続して変化する幅を持つた中間帯域が形成される
ことになり、プロセス域Ａと作業域Ｂとの交差汚
染が防止されることになる。
領域では従来のように風速に段差が生じることな
く、プロセス域Ａの風速から作業域Ｂの風速に連
続して変化する幅を持つた中間帯域が形成される
ことになり、プロセス域Ａと作業域Ｂとの交差汚
染が防止されることになる。
この場合、第３図のようにHEPAフイルタａ，
ｂおよびｃの吸込面側を水平面に整合させた配置
ではｃの領域では吹出面が傾斜することになるの
で作業域Ｂに向かう方向の吹出気流がこの中間帯
域で得られるし、第４図のようにHEPAフイル
タａ，ｂおよびｃの吹出面側を水平面に整合させ
た配置では、中間帯域でも垂直方向の吹出気流が
得られることになる。いずれにしても、プロセス
域Ａから作業域Ｂに向かつて段差のない連続した
風速変化の中間帯域が形成され、この中間帯域の
存在によつてプロセス域Ａと作業域Ｂとの気流の
吹出速度差による巻き込み現象が防止される。そ
して、本考案の場合には従来のようなアイリツド
を設置することは本考案の効果をむしろ損なう結
果にもなり、アイリツドは全く不要化する。
ｂおよびｃの吸込面側を水平面に整合させた配置
ではｃの領域では吹出面が傾斜することになるの
で作業域Ｂに向かう方向の吹出気流がこの中間帯
域で得られるし、第４図のようにHEPAフイル
タａ，ｂおよびｃの吹出面側を水平面に整合させ
た配置では、中間帯域でも垂直方向の吹出気流が
得られることになる。いずれにしても、プロセス
域Ａから作業域Ｂに向かつて段差のない連続した
風速変化の中間帯域が形成され、この中間帯域の
存在によつてプロセス域Ａと作業域Ｂとの気流の
吹出速度差による巻き込み現象が防止される。そ
して、本考案の場合には従来のようなアイリツド
を設置することは本考案の効果をむしろ損なう結
果にもなり、アイリツドは全く不要化する。
なお、HEPAフイルタａ，ｂおよびｃは第５
図に図解的に示したように全領域にわたつてフイ
ルタ濾材１２が連続したものを使用してもよい
し、ａ，ｃ，ｂをそれぞれユニツト化したものを
使用して各ユニツトをつなぎ合わせてもよい。
図に図解的に示したように全領域にわたつてフイ
ルタ濾材１２が連続したものを使用してもよい
し、ａ，ｃ，ｂをそれぞれユニツト化したものを
使用して各ユニツトをつなぎ合わせてもよい。
第１図は従来のトンネル状クリーンルームの一
例を示すトンネル軸に直角方向の略断面図、第２
図は従来のトンネル状クリーンルームの他の例を
示す第１図同様の略断面図、第３図は本考案に従
うトンネル状クリーンルームの清浄空気吹出構造
の例を示す略断面図、第４図は本考案に従うトン
ネル状クリーンルームの清浄空気吹出構造の他の
例を示す略断面図、そして第５図は本考案に従う
HEPAフイルタの構造例を図解的に示した斜視
図である。 ２，３……側壁、４……第一天井、５……床
面、６，７……フアン、１０……アイリツド、１
２……フイルタ濾材、Ａ……プロセス域、Ｂ……
作業域、Ｐ……給気プレナム、Ｍ……作業機械
類、ａ……プロセス域Ａに対応する天井面の
HEPAフイルタ、ｂ……作業域Ｂに対応する天
井面のHEPAフイルタ、ｃ……プロセス域Ａと
作業域Ｂの中間の天井面の層厚が連続的に変化し
たHEPAフイルタ。
例を示すトンネル軸に直角方向の略断面図、第２
図は従来のトンネル状クリーンルームの他の例を
示す第１図同様の略断面図、第３図は本考案に従
うトンネル状クリーンルームの清浄空気吹出構造
の例を示す略断面図、第４図は本考案に従うトン
ネル状クリーンルームの清浄空気吹出構造の他の
例を示す略断面図、そして第５図は本考案に従う
HEPAフイルタの構造例を図解的に示した斜視
図である。 ２，３……側壁、４……第一天井、５……床
面、６，７……フアン、１０……アイリツド、１
２……フイルタ濾材、Ａ……プロセス域、Ｂ……
作業域、Ｐ……給気プレナム、Ｍ……作業機械
類、ａ……プロセス域Ａに対応する天井面の
HEPAフイルタ、ｂ……作業域Ｂに対応する天
井面のHEPAフイルタ、ｃ……プロセス域Ａと
作業域Ｂの中間の天井面の層厚が連続的に変化し
たHEPAフイルタ。
Claims (1)
- トンネル形状のクリーンルーム内にその軸に沿
う方向にプロセス域Ａと作業域Ｂとを平行に形成
し、天井面にHEPAフイルタ層を設置すると共
にその背後に給気プレナムＰを形成したクリーン
ルームにおいて、プロセス域Ａに対応する天井面
から作業域Ｂに対応する天井面に向けて漸次濾材
面積が減少するようにHEPAフイルタの層厚を
変化させたことを特徴とするクリーンルームの清
浄空気吹出構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19336686U JPH0325074Y2 (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19336686U JPH0325074Y2 (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6399141U JPS6399141U (ja) | 1988-06-27 |
| JPH0325074Y2 true JPH0325074Y2 (ja) | 1991-05-31 |
Family
ID=31149323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19336686U Expired JPH0325074Y2 (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0325074Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-12-16 JP JP19336686U patent/JPH0325074Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6399141U (ja) | 1988-06-27 |
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