JPS6399141U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6399141U JPS6399141U JP19336686U JP19336686U JPS6399141U JP S6399141 U JPS6399141 U JP S6399141U JP 19336686 U JP19336686 U JP 19336686U JP 19336686 U JP19336686 U JP 19336686U JP S6399141 U JPS6399141 U JP S6399141U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- area
- ceiling surface
- clean room
- work area
- tunnel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims 1
- 210000000744 eyelid Anatomy 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
第１図は従来のトンネル状クリーンルームの一
例を示すトンネル軸に直角方向の略断面図、第２
図は従来のトンネル状クリーンルームの他の例を
示す第１図同様の略断面図、第３図は本考案に従
うトンネル状クリーンルームの清浄空気吹出構造
の例を示す略断面図、第４図は本考案に従うトン
ネル状クリーンルームの清浄空気吹出構造の他の
例を示す略断面図、そして第５図は本考案に従う
ＨＥＰＡフイルタの構造例を図解的に示した斜視
図である。 ２，３……側壁、４……第一天井、５……床面
、６，７……フアン、１０……アイリツド、１２
……フイルタ濾材、Ａ……プロセス域、Ｂ……作
業域、Ｐ……給気プレナム、Ｍ……作業機械類、
ａ……プロセス域Ａに対応する天井面のＨＥＰＡ
フイルタ、ｂ……作業域Ｂに対応する天井面のＨ
ＥＰＡフイルタ、ｃ……プロセス域Ａと作業域Ｂ
の中間の天井面の層厚が連続的に変化したＨＥＰ
Ａフイルタ。
例を示すトンネル軸に直角方向の略断面図、第２
図は従来のトンネル状クリーンルームの他の例を
示す第１図同様の略断面図、第３図は本考案に従
うトンネル状クリーンルームの清浄空気吹出構造
の例を示す略断面図、第４図は本考案に従うトン
ネル状クリーンルームの清浄空気吹出構造の他の
例を示す略断面図、そして第５図は本考案に従う
ＨＥＰＡフイルタの構造例を図解的に示した斜視
図である。 ２，３……側壁、４……第一天井、５……床面
、６，７……フアン、１０……アイリツド、１２
……フイルタ濾材、Ａ……プロセス域、Ｂ……作
業域、Ｐ……給気プレナム、Ｍ……作業機械類、
ａ……プロセス域Ａに対応する天井面のＨＥＰＡ
フイルタ、ｂ……作業域Ｂに対応する天井面のＨ
ＥＰＡフイルタ、ｃ……プロセス域Ａと作業域Ｂ
の中間の天井面の層厚が連続的に変化したＨＥＰ
Ａフイルタ。
Claims (1)
- トンネル形状のクリーンルーム内にその軸に沿
う方向にプロセス域Ａと作業域Ｂとを平行に形成
し、天井面にＨＥＰＡフイルタ層を設置すると共
にその背後に給気プレナムＰを形成したクリーン
ルームにおいて、プロセス域Ａに対応する天井面
から作業域Ｂに対応する天井面に向けて漸次濾材
面積が減少するようにＨＥＰＡフイルタの層厚を
変化させたことを特徴とするクリーンルームの清
浄空気吹出構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19336686U JPH0325074Y2 (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19336686U JPH0325074Y2 (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6399141U true JPS6399141U (ja) | 1988-06-27 |
| JPH0325074Y2 JPH0325074Y2 (ja) | 1991-05-31 |
Family
ID=31149323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19336686U Expired JPH0325074Y2 (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0325074Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-12-16 JP JP19336686U patent/JPH0325074Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0325074Y2 (ja) | 1991-05-31 |