JPS6395036U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6395036U JPS6395036U JP19156486U JP19156486U JPS6395036U JP S6395036 U JPS6395036 U JP S6395036U JP 19156486 U JP19156486 U JP 19156486U JP 19156486 U JP19156486 U JP 19156486U JP S6395036 U JPS6395036 U JP S6395036U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- ceiling surface
- filter layer
- hepa filter
- work area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 210000000744 eyelid Anatomy 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
第1図は従来のトンネル形状のクリーンルーム
の代表例を示す長軸に直角方向の略断面図、第2
図は本考案のクリーンルームの例を示す長軸に直
角方向の略断面図、第3図は本考案のクリーンル
ームの他の例を示す長軸に直角方向の略断面図、
第4図は本考案に従う傾斜HEPAフイルタ層の
例を示す略断面図、第5図は本考案に従う傾斜H
EPAフイルタ層の他の例を示す略断面図である
。 1……傾斜HEPAフイルタ層、2,3……側
壁、4……第一天井、5……床面、6,7……フ
アン、8……プロセス域に対応する天井面の水平
方向のHEPAフイルタ、9……作業域に対応す
る天井面の水平方向のHEPAフイルタ、10…
…アイリツド、11……盲板、12……作業域中
央部の天井面のHEPAフイルタ、A……プロセ
ス域、B……作業域、P……給気プレナム、M…
…製造機器類。
の代表例を示す長軸に直角方向の略断面図、第2
図は本考案のクリーンルームの例を示す長軸に直
角方向の略断面図、第3図は本考案のクリーンル
ームの他の例を示す長軸に直角方向の略断面図、
第4図は本考案に従う傾斜HEPAフイルタ層の
例を示す略断面図、第5図は本考案に従う傾斜H
EPAフイルタ層の他の例を示す略断面図である
。 1……傾斜HEPAフイルタ層、2,3……側
壁、4……第一天井、5……床面、6,7……フ
アン、8……プロセス域に対応する天井面の水平
方向のHEPAフイルタ、9……作業域に対応す
る天井面の水平方向のHEPAフイルタ、10…
…アイリツド、11……盲板、12……作業域中
央部の天井面のHEPAフイルタ、A……プロセ
ス域、B……作業域、P……給気プレナム、M…
…製造機器類。
Claims (1)
- トンネル形状のクリーンルーム内にその軸に沿
う方向にプロセス域Aと作業域Bとを平行に形成
し、天井面にHEPAフイルタ層を設置すると共
にその背後の天井裏に給気プレナムPを形成した
クリーンルームにおいて、プロセス域Aに対応す
る天井面から作業域Bに対応する天井面に向けて
上り傾斜をもつ傾斜HEPAフイルタ層を設置し
たことを特徴とするクリーンルーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986191564U JPH0347158Y2 (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986191564U JPH0347158Y2 (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6395036U true JPS6395036U (ja) | 1988-06-18 |
JPH0347158Y2 JPH0347158Y2 (ja) | 1991-10-07 |
Family
ID=31145818
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986191564U Expired JPH0347158Y2 (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0347158Y2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63111913A (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-17 | Shinryo Air Conditioning Co Ltd | 放射気流型空気清浄装置 |
-
1986
- 1986-12-12 JP JP1986191564U patent/JPH0347158Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63111913A (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-17 | Shinryo Air Conditioning Co Ltd | 放射気流型空気清浄装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0347158Y2 (ja) | 1991-10-07 |
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