JPH0262341U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0262341U JPH0262341U JP4002389U JP4002389U JPH0262341U JP H0262341 U JPH0262341 U JP H0262341U JP 4002389 U JP4002389 U JP 4002389U JP 4002389 U JP4002389 U JP 4002389U JP H0262341 U JPH0262341 U JP H0262341U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- cover body
- air
- narrow strip
- clean room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
第１図は従来のクリーンルームにおけるフイル
ターボツクスの設置状態を示す平面図、第２図は
従来のクリーンルーム内の塵埃の飛散状態を示す
断面図、第３図ないし第６図は本考案に係るクリ
ーンルームの実施例を示すものであつて、第３図
はクリーンルームの平面図、第４図は断面図、第
５図は要部断面図、第６図はその側面図、第７図
は清浄空気吹出し用カバー体の斜視図である。 １，１ａ，１ｂ，１ｃ……：クリーンベンチ、
２，２ａ，２ｂ，２ｃ…：フイルターボツクス、
３：超高精密空気過器、４：天井、５：空気吸
込口、６：床、７：清浄空気吹出し用カバー体、
８：小孔、９：蛍光灯。
ターボツクスの設置状態を示す平面図、第２図は
従来のクリーンルーム内の塵埃の飛散状態を示す
断面図、第３図ないし第６図は本考案に係るクリ
ーンルームの実施例を示すものであつて、第３図
はクリーンルームの平面図、第４図は断面図、第
５図は要部断面図、第６図はその側面図、第７図
は清浄空気吹出し用カバー体の斜視図である。 １，１ａ，１ｂ，１ｃ……：クリーンベンチ、
２，２ａ，２ｂ，２ｃ…：フイルターボツクス、
３：超高精密空気過器、４：天井、５：空気吸
込口、６：床、７：清浄空気吹出し用カバー体、
８：小孔、９：蛍光灯。
Claims (1)
- クリーンルーム内に設けられたクリーンベンチ
間の狭い帯状空間部や通路等となる狭い帯状の空
間部の天井に設置され、かつ超高精密空気過器
が内蔵せしめられた多数のフイルターボツクスを
複数台宛一組となし、その一組となされた複数台
のフイルターボツクスの吹出口をそれぞれ一括し
て、無数の小孔が全面にわたつて穿設された多孔
板の四辺を折曲して大略箱型状となした清浄空気
吹出し用カバー体でそれぞれ覆う一方、前記クリ
ーンベンチ間の狭い帯状空間部や通路等となる狭
い帯状の空間部の床には、前記カバー体を通して
それぞれ吹出された空気を吸込んで循環させるた
めの空気吸込口を設けたことを特徴とするクリー
ンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4002389U JPH0262341U (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4002389U JPH0262341U (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0262341U true JPH0262341U (ja) | 1990-05-09 |
Family
ID=31266503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4002389U Pending JPH0262341U (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0262341U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5131567U (ja) * | 1974-08-29 | 1976-03-08 | ||
| JPS5629732B2 (ja) * | 1974-10-03 | 1981-07-10 | ||
| JPS56162335A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |
-
1989
- 1989-04-06 JP JP4002389U patent/JPH0262341U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5131567U (ja) * | 1974-08-29 | 1976-03-08 | ||
| JPS5629732B2 (ja) * | 1974-10-03 | 1981-07-10 | ||
| JPS56162335A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |