JPS61104102U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61104102U JPS61104102U JP18808984U JP18808984U JPS61104102U JP S61104102 U JPS61104102 U JP S61104102U JP 18808984 U JP18808984 U JP 18808984U JP 18808984 U JP18808984 U JP 18808984U JP S61104102 U JPS61104102 U JP S61104102U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- space
- forming
- ceiling surface
- layer
- clean room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
第１図は、本考案の垂直層流式クリーンルーム
の略断面図である。 １……天井面、２……天井裏空間、３……ＨＥ
ＰＡフイルター、４……プレナムチヤンバー、５
……清浄空間プレナムチヤンバー、６……多孔板
、７……スラブ、８……クリーンルーム空間、９
……盲板、１０……床面、１１……多孔板、１２
……吸引チヤンバー、１３……スラブ、１４……
ダクト、１５……循環送風機。
の略断面図である。 １……天井面、２……天井裏空間、３……ＨＥ
ＰＡフイルター、４……プレナムチヤンバー、５
……清浄空間プレナムチヤンバー、６……多孔板
、７……スラブ、８……クリーンルーム空間、９
……盲板、１０……床面、１１……多孔板、１２
……吸引チヤンバー、１３……スラブ、１４……
ダクト、１５……循環送風機。
Claims (1)
- 垂直層流式クリーンルームのルーム平面積を包
含する天井面１の上方に天井裏空間２を形成し、
この天井裏空間２をＨＥＰＡフイルターの層３に
よつて上部プレナム空間４と清浄空気プレナム空
間５とに分割し、天井面１の全面または一部の面
を多孔板６で形成してなる垂直層流式クリーンル
ームの天井部の構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18808984U JPS61104102U (ja) | 1984-12-13 | 1984-12-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18808984U JPS61104102U (ja) | 1984-12-13 | 1984-12-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61104102U true JPS61104102U (ja) | 1986-07-02 |
Family
ID=30745560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18808984U Pending JPS61104102U (ja) | 1984-12-13 | 1984-12-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61104102U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58129125A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-02 | Hitachi Ltd | 清浄作業室 |
| JPS59157432A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-06 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 組替式局所環境制御室 |
-
1984
- 1984-12-13 JP JP18808984U patent/JPS61104102U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58129125A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-02 | Hitachi Ltd | 清浄作業室 |
| JPS59157432A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-06 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 組替式局所環境制御室 |