JPH0220918U - - Google Patents

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JPH0220918U
JPH0220918U JP10022688U JP10022688U JPH0220918U JP H0220918 U JPH0220918 U JP H0220918U JP 10022688 U JP10022688 U JP 10022688U JP 10022688 U JP10022688 U JP 10022688U JP H0220918 U JPH0220918 U JP H0220918U
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Landscapes

  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例に係るクリーンルー
ム用フイルタダクトユニツトを斜視図である。第
2図は第1図に於ける立断面図である。第3図は
従来の全面ラミナーフロー方式によるクリーンル
ームの概略構成を示す正面図である。第4図は従
来のコンベンシヨナル方式によるクリーンルーム
の概要を示す正面図である。第5図は出願人によ
り先に出願されたクリーンルームの透視斜視図で
ある。第6図は従来のセパレータタイプのエアフ
イルタを示す断面図である。 主要な部分の符号の説明、1……クリーンルー
ム、1n……室内、2……天井隅用フイルタダク
ト、3……天井用フイルタダクト、4……整流部
材、20……クリーンルーム用エアフイルタ、3
0,31……パンチング板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. セパレータが配設されていないクリーンルーム
    用エアフイルタの両面に、少なくとも一側に湾曲
    部を有する多孔板を配設したことを特徴とするク
    リーンルーム用フイルタダクトユニツト。
JP1988100226U 1988-07-27 1988-07-27 Expired - Lifetime JPH0538821Y2 (ja)

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JP1988100226U JPH0538821Y2 (ja) 1988-07-27 1988-07-27

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JPH0220918U true JPH0220918U (ja) 1990-02-13
JPH0538821Y2 JPH0538821Y2 (ja) 1993-09-30

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JPWO2004114378A1 (ja) * 2003-06-19 2006-07-27 北海道ティー・エル・オー株式会社 クリーンユニット、クリーンユニットシステム、機能ユニット、機能ユニットシステム、材料処理方法、素子製造方法、細胞系育成方法および植物体育成方法
JP2015196117A (ja) * 2014-03-31 2015-11-09 日本無機株式会社 フィルタエレメント、フィルタエレメント組立体、および空気清浄システム

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