JPS6425643U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6425643U JPS6425643U JP12021987U JP12021987U JPS6425643U JP S6425643 U JPS6425643 U JP S6425643U JP 12021987 U JP12021987 U JP 12021987U JP 12021987 U JP12021987 U JP 12021987U JP S6425643 U JPS6425643 U JP S6425643U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter unit
- fan filter
- fan
- panel
- sealing material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
第１図は、この考案に係るクリーンブースの概
略斜視図。第２図は、この考案に係るクリーンブ
ースの要部断面図。第３図は、従来のクリーンブ
ースの説明図。第４図及び第５図は、従来のクリ
ーンブースにおけるヘパフイルタのフイルタ取付
枠への取付部分を示す説明図。第６図は、従来の
クリーンブースにおけるパネルのフイルタ取付枠
への取付部分を示す説明図。 ６……格子状取付枠、７……流体シール材収納
溝、８……流体シール材、９……フアンフイルタ
ユニツト、１０……フアン、１１……ヘパフイル
タ、１３……パネル、９ａ，１３ａ……外周スカ
ート部。
略斜視図。第２図は、この考案に係るクリーンブ
ースの要部断面図。第３図は、従来のクリーンブ
ースの説明図。第４図及び第５図は、従来のクリ
ーンブースにおけるヘパフイルタのフイルタ取付
枠への取付部分を示す説明図。第６図は、従来の
クリーンブースにおけるパネルのフイルタ取付枠
への取付部分を示す説明図。 ６……格子状取付枠、７……流体シール材収納
溝、８……流体シール材、９……フアンフイルタ
ユニツト、１０……フアン、１１……ヘパフイル
タ、１３……パネル、９ａ，１３ａ……外周スカ
ート部。
Claims (1)
- フアン１０と空気清浄用フイルタ１１とを組合
せて一体化したフアンフイルタユニツト９、この
フアンフイルタユニツト９と同平面形状としたパ
ネル１３に、それぞれ外周スカート部９ａ，１３
ａを設け、天井面に設置された格子状取付枠６の
流体シール材収納溝７に、前記フアンフイルタユ
ニツト９、又はフアンフイルタユニツト９とパネ
ル１３を適宜配置して、それぞれの外周スカート
部９ａ，１３ａを流体シール材８中に浸漬させた
ことを特徴とするクリーンブース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12021987U JPS6425643U (ja) | 1987-08-05 | 1987-08-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12021987U JPS6425643U (ja) | 1987-08-05 | 1987-08-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6425643U true JPS6425643U (ja) | 1989-02-13 |
Family
ID=31366137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12021987U Pending JPS6425643U (ja) | 1987-08-05 | 1987-08-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6425643U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58110938A (ja) * | 1981-12-24 | 1983-07-01 | Takenaka Komuten Co Ltd | 空気清浄ユニツト |
| JPS59157432A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-06 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 組替式局所環境制御室 |
-
1987
- 1987-08-05 JP JP12021987U patent/JPS6425643U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58110938A (ja) * | 1981-12-24 | 1983-07-01 | Takenaka Komuten Co Ltd | 空気清浄ユニツト |
| JPS59157432A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-06 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 組替式局所環境制御室 |