JPH0753219B2 - クリ−ンル−ム自由空間内に高清浄域を形成する方法およびこの方法に使用するフイルタユニット - Google Patents
クリ−ンル−ム自由空間内に高清浄域を形成する方法およびこの方法に使用するフイルタユニットInfo
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- JPH0753219B2 JPH0753219B2 JP62189568A JP18956887A JPH0753219B2 JP H0753219 B2 JPH0753219 B2 JP H0753219B2 JP 62189568 A JP62189568 A JP 62189568A JP 18956887 A JP18956887 A JP 18956887A JP H0753219 B2 JPH0753219 B2 JP H0753219B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は，クリーンルーム等において，清浄度の高い高
清浄域をこれより清浄度の低い自由空間内に形成する方
法およびこの方法に使用するフイルタユニットに関す
る。
清浄域をこれより清浄度の低い自由空間内に形成する方
法およびこの方法に使用するフイルタユニットに関す
る。
工業用クリーンルームにおいては，ルーム内の自由空間
のうち，特定の区域だけをころ自由空間よりも高い清浄
域に形成することが必要な場合がある。例えば，半導体
工場を例にすると，各種の作業機械やストッカー等から
流れてくるウエハー等の原板，半製品，加工品等を，作
業員が自由に通行可能な自由空間内に，台車や自動搬送
装置によって搬送する通路が設けられるが，かような搬
送通路においても，かような産品の汚染を防止するため
に，作業機械が稼働しているプロセス帯域と同様の高度
な清浄度に維持することが必要となる。
のうち，特定の区域だけをころ自由空間よりも高い清浄
域に形成することが必要な場合がある。例えば，半導体
工場を例にすると，各種の作業機械やストッカー等から
流れてくるウエハー等の原板，半製品，加工品等を，作
業員が自由に通行可能な自由空間内に，台車や自動搬送
装置によって搬送する通路が設けられるが，かような搬
送通路においても，かような産品の汚染を防止するため
に，作業機械が稼働しているプロセス帯域と同様の高度
な清浄度に維持することが必要となる。
一般に，かような製品搬送に供される空間の容積は，ク
リーンルーム全体の容積から比べる非常に僅かである。
そして，この搬送空間は周囲から閉鎖された空間ではな
く，一般には室内に露呈した空間である。このような搬
送空間を高い清浄域に維持するには，クリーンルーム全
体の清浄度を高めるか，或いは自由空間内の搬送空間だ
けを局部的に高い清浄度に維持することが必要となる。
リーンルーム全体の容積から比べる非常に僅かである。
そして，この搬送空間は周囲から閉鎖された空間ではな
く，一般には室内に露呈した空間である。このような搬
送空間を高い清浄域に維持するには，クリーンルーム全
体の清浄度を高めるか，或いは自由空間内の搬送空間だ
けを局部的に高い清浄度に維持することが必要となる。
前者のクリーンルーム全体の清浄度を高めることは可能
であるが，このために空気処理設備が大型化すると言う
問題がある。そして，たとえ室内全体の清浄度が高めら
れたとしても，作業員の存在は常に汚染源となるから，
作業員の通路と搬送空間との間にコンタミネーションが
発生するという問題がある。
であるが，このために空気処理設備が大型化すると言う
問題がある。そして，たとえ室内全体の清浄度が高めら
れたとしても，作業員の存在は常に汚染源となるから，
作業員の通路と搬送空間との間にコンタミネーションが
発生するという問題がある。
一方，後者のように搬送通路だけを自由空間よりも局部
的に高い清浄度に維持させる場合には，垂直層流式クリ
ーンルーム等では，エアーカーテンやアイリッド（垂れ
壁）の使用が提案されたりしている。しかし，搬送通路
の両脇にエアーカーテンを形成して作業員の通路となる
自由空間と搬送通路とのコンタミネーションを防止しよ
うとする場合には，このエアーカーテンによる局部的な
高速気流によって気流の巻き上がりが生じたり，室内の
温湿度の調整の外乱要因となるという問題がある。また
アイリッドやビニールカーテンを吊るす場合には，これ
をできるだけ下方まで垂れるようにしないこと十分に搬
送通路を囲うことができないので，このアイリッドの存
在が作業の邪魔になるという問題がある。そして，搬送
通路だけを自由空間よりも局部的に高い清浄度に維持し
ようとする場合には，製造ラインの変更に応じて空気吹
出設備の変更を要し，これと同時にエアーカーテンやア
イリッドも適宜変更することが必要となり，ライン変更
に伴う追従作業性が悪いという問題がある。
的に高い清浄度に維持させる場合には，垂直層流式クリ
ーンルーム等では，エアーカーテンやアイリッド（垂れ
壁）の使用が提案されたりしている。しかし，搬送通路
の両脇にエアーカーテンを形成して作業員の通路となる
自由空間と搬送通路とのコンタミネーションを防止しよ
うとする場合には，このエアーカーテンによる局部的な
高速気流によって気流の巻き上がりが生じたり，室内の
温湿度の調整の外乱要因となるという問題がある。また
アイリッドやビニールカーテンを吊るす場合には，これ
をできるだけ下方まで垂れるようにしないこと十分に搬
送通路を囲うことができないので，このアイリッドの存
在が作業の邪魔になるという問題がある。そして，搬送
通路だけを自由空間よりも局部的に高い清浄度に維持し
ようとする場合には，製造ラインの変更に応じて空気吹
出設備の変更を要し，これと同時にエアーカーテンやア
イリッドも適宜変更することが必要となり，ライン変更
に伴う追従作業性が悪いという問題がある。
本発明は，クリーンルーム内において，産品の搬送通路
のように自由空間よりも高い清浄度に維持された局部的
に高清浄域を，従来のようにエアーカーテンやアイリッ
ドを使用することなく，またラインの変更などにも自由
に且つ簡単に対応できるように，形成することを目的と
したものである。
のように自由空間よりも高い清浄度に維持された局部的
に高清浄域を，従来のようにエアーカーテンやアイリッ
ドを使用することなく，またラインの変更などにも自由
に且つ簡単に対応できるように，形成することを目的と
したものである。
前記の目的を達成せんとする本発明の要旨とするところ
は，清浄度の高い高清浄域をこれより清浄度の低い自由
空間内に形成する方法において，該高清浄域を覆うに十
分な面積をもつHEPAフイルタ層を，この高清浄域に対応
する天井面に水平方向に配置し，このHEPAフイルタ層と
して，空気抵抗の均一な濾材（材とも略記する）を用
いたうえ，空気吹出面の単位面積当りの材面積が，高
清度域に対応する中央部と該自由空間に隣接する側部と
では互いに相違する材構造としたものを使用し，そし
て，このHEPAフイルタ層の背後に形成した給気プレナム
からこのHEPAフイルタ層を通じて中央部と側部とで吹出
風速を相違させながら下方に給気することを特徴とする
クリーンルーム自由空間内に高清浄域を形成する方法に
ある。そのさい、HEPAフイルタ層の空気吸出面の単位面
積当りの材面積が，高清浄度域に対応する中央部の方
が自由空間に隣接する側部より大きく，該側部における
材面積は縁部にゆくほど漸次減少させる仕方，およ
び，これとは逆に，高清浄度域に対応する中央部の方が
自由空間に隣接する側部より小さく，該側部における
材面積は縁部にゆくほど漸次増大させる仕方を採用する
のがよい。
は，清浄度の高い高清浄域をこれより清浄度の低い自由
空間内に形成する方法において，該高清浄域を覆うに十
分な面積をもつHEPAフイルタ層を，この高清浄域に対応
する天井面に水平方向に配置し，このHEPAフイルタ層と
して，空気抵抗の均一な濾材（材とも略記する）を用
いたうえ，空気吹出面の単位面積当りの材面積が，高
清度域に対応する中央部と該自由空間に隣接する側部と
では互いに相違する材構造としたものを使用し，そし
て，このHEPAフイルタ層の背後に形成した給気プレナム
からこのHEPAフイルタ層を通じて中央部と側部とで吹出
風速を相違させながら下方に給気することを特徴とする
クリーンルーム自由空間内に高清浄域を形成する方法に
ある。そのさい、HEPAフイルタ層の空気吸出面の単位面
積当りの材面積が，高清浄度域に対応する中央部の方
が自由空間に隣接する側部より大きく，該側部における
材面積は縁部にゆくほど漸次減少させる仕方，およ
び，これとは逆に，高清浄度域に対応する中央部の方が
自由空間に隣接する側部より小さく，該側部における
材面積は縁部にゆくほど漸次増大させる仕方を採用する
のがよい。
また，この方法の実施にさいし，天井面に取付けるHEPA
フイルタをユニット化し，このユニットを必要な数だけ
組み合わせることによって，ラインに応じた高清浄域を
自由空間内に融通性よく形成させることかできる。この
ユニットは，方形の平面形状を有するHEPAフイルタ層を
下面に張り渡したボックスにおいて，空気抵抗の均一な
材を使用したうえ，このHEPAフイルタ層の少なくとも
２辺に沿って，中央部よりも吹出面単位面積当りの材
面積が漸次変化する材層を設けたことを特徴とするも
のである。
フイルタをユニット化し，このユニットを必要な数だけ
組み合わせることによって，ラインに応じた高清浄域を
自由空間内に融通性よく形成させることかできる。この
ユニットは，方形の平面形状を有するHEPAフイルタ層を
下面に張り渡したボックスにおいて，空気抵抗の均一な
材を使用したうえ，このHEPAフイルタ層の少なくとも
２辺に沿って，中央部よりも吹出面単位面積当りの材
面積が漸次変化する材層を設けたことを特徴とするも
のである。
本発明においては,HEPAフイルタの材構造を従来のよ
うに均一にするのではなく，空気吹出面の単位面積当り
の材面積を材中央部と側部では異ならしめることに
よって，このHEPAフイルタから吹き出される空気流速を
中央部と側部では相違させるようにしたものであり，特
に高清浄域と自由空間との境界部分では所定の幅をもっ
て連続的に吹出流速が変化するようにした点に特徴があ
る。
うに均一にするのではなく，空気吹出面の単位面積当り
の材面積を材中央部と側部では異ならしめることに
よって，このHEPAフイルタから吹き出される空気流速を
中央部と側部では相違させるようにしたものであり，特
に高清浄域と自由空間との境界部分では所定の幅をもっ
て連続的に吹出流速が変化するようにした点に特徴があ
る。
以下に図面に従って本発明の内容を具体的に説明する。
第１図は，本発明に従う清浄空気吹出方式の一例を説明
するためのもので,1はクリーンルームの天井面,2は同床
面である。本発明においてはクリーンルーム内の自由空
間３内に，例えば産品の搬送通路となるような清浄度の
高い特定の高清浄域４を形成するものであるが，このた
めに，高清浄域４を覆うに十分な面積をもつHEPAフイル
タ層５を，この高清浄域に対応する天井面１に水平方向
に配置し，このHEPAフイルタ層５として，空気吹出面の
単位面積当りの材面積が，高清浄度域に対応する中央
部６と該自由空間に隣接する側部７とでは互いに相違す
る材構造のものを使用し，そして，このようなHEPAフ
イルタ層５の背後に形成した給気プレナム８からこのHE
PAフイルタ層５を通じて中央部６と側部７とでは吹出風
速が相違するようにして下方に給気するものである。
するためのもので,1はクリーンルームの天井面,2は同床
面である。本発明においてはクリーンルーム内の自由空
間３内に，例えば産品の搬送通路となるような清浄度の
高い特定の高清浄域４を形成するものであるが，このた
めに，高清浄域４を覆うに十分な面積をもつHEPAフイル
タ層５を，この高清浄域に対応する天井面１に水平方向
に配置し，このHEPAフイルタ層５として，空気吹出面の
単位面積当りの材面積が，高清浄度域に対応する中央
部６と該自由空間に隣接する側部７とでは互いに相違す
る材構造のものを使用し，そして，このようなHEPAフ
イルタ層５の背後に形成した給気プレナム８からこのHE
PAフイルタ層５を通じて中央部６と側部７とでは吹出風
速が相違するようにして下方に給気するものである。
第１図の例では,HEPAフイルタ層５の中央部６と側部７
とでは，空気吹出面の単位面積当りの材面積を，側部
７の方が中央部６よりも小さくした例を示している。そ
して，この側部７の幅内において，中央部６から離れる
に従って材面積が連続的に漸次小さくなっている。こ
の材面積を小さくする材構造については後述の第３
図で詳しく説明する。
とでは，空気吹出面の単位面積当りの材面積を，側部
７の方が中央部６よりも小さくした例を示している。そ
して，この側部７の幅内において，中央部６から離れる
に従って材面積が連続的に漸次小さくなっている。こ
の材面積を小さくする材構造については後述の第３
図で詳しく説明する。
HEPAフイルタ層５の背後に所定の圧力の給気プレナム８
を形成し，この給気プレナム８からHEPAフイルタ層５を
経て室内に給気すると，材面積が小さくなっている部
分からはそれだけそこを通過する空気量が少なくなるの
で、吹出流速は低下することになる。従って，第１図の
例では中央部６よりも側部７の方が吹出流速が小さくな
り，しかも、側部７では中央部６から離れるにしたがっ
て連続的に材面積が小さくしてあるので，縁部にゆく
にしたがって吹出流速が連続的に減少し，図示のような
気流パターンとなる。この気流パターンによると,HEPA
フイルタ層５から室内に空気が吹き出されても自由空間
３との境界において急激な空気流速の違いが現れない。
したがって，本発明によると空気流速の違いによる両帯
域の相互汚染（吹出流速の急激な変化によって発生する
誘引流による相互汚染）が軽減する。
を形成し，この給気プレナム８からHEPAフイルタ層５を
経て室内に給気すると，材面積が小さくなっている部
分からはそれだけそこを通過する空気量が少なくなるの
で、吹出流速は低下することになる。従って，第１図の
例では中央部６よりも側部７の方が吹出流速が小さくな
り，しかも、側部７では中央部６から離れるにしたがっ
て連続的に材面積が小さくしてあるので，縁部にゆく
にしたがって吹出流速が連続的に減少し，図示のような
気流パターンとなる。この気流パターンによると,HEPA
フイルタ層５から室内に空気が吹き出されても自由空間
３との境界において急激な空気流速の違いが現れない。
したがって，本発明によると空気流速の違いによる両帯
域の相互汚染（吹出流速の急激な変化によって発生する
誘引流による相互汚染）が軽減する。
なお，第１図において,9はHEPAフイルタ層５の背後に給
気プレナム８を形成するためのボックス,10はこのボッ
クス９に給気するフアン,11は一次フイルタを示してい
る。フアン10は，ボックス９内に収容されていてもよい
し，或いはボックス９には送気源からダクトで給気して
もよい。
気プレナム８を形成するためのボックス,10はこのボッ
クス９に給気するフアン,11は一次フイルタを示してい
る。フアン10は，ボックス９内に収容されていてもよい
し，或いはボックス９には送気源からダクトで給気して
もよい。
第２図は，本発明を適用するクリーンルームの例を平面
的に示した図であり，クリーンルーム内の自由空間３内
に，台車などが通過する搬送通路12を形成した例を示し
ている。13は機械設備などが存在する高清浄域であり，
このプロセス高清浄域13から各種の産品が搬送通路12を
経て搬送される。本発明ではこのような自由空間３内の
形成する搬送通路12に対応する天井面に第１図で説明し
たような材面積を異ならしめたHEPAフイルタ層を張り
渡たすことによって，自由空間３よりも高い清浄度に維
持される高清浄域を，搬送通路12がその中に含まれるよ
うに，形成する。第２図において斜線域で示した部分が
第１図のHEPAフイルタ層５を張り渡した部分に対応して
いる。
的に示した図であり，クリーンルーム内の自由空間３内
に，台車などが通過する搬送通路12を形成した例を示し
ている。13は機械設備などが存在する高清浄域であり，
このプロセス高清浄域13から各種の産品が搬送通路12を
経て搬送される。本発明ではこのような自由空間３内の
形成する搬送通路12に対応する天井面に第１図で説明し
たような材面積を異ならしめたHEPAフイルタ層を張り
渡たすことによって，自由空間３よりも高い清浄度に維
持される高清浄域を，搬送通路12がその中に含まれるよ
うに，形成する。第２図において斜線域で示した部分が
第１図のHEPAフイルタ層５を張り渡した部分に対応して
いる。
第３図は，第１図のHEPAフイルタ層における側部７の部
分を拡大して示した斜視図であり，材面積を変化させ
るフイルタ構造の例を説明するためのものである。一般
にHEPAフイルタは，シート状の高性能材15を波型に折
り返してガスケット16内にセットされる。そして，各折
り返し部の隙間にはこの波型形状を保持するようにサポ
ート部材17（スペーサー）が挿入される。このサポート
部材17もシート状の材料を波型に折り返したものである
が，そのシート面が空気の流れを遮る方向をもたないよ
うに，その折り返し目は材15のそれとは直交する方向
にある。材14の層厚は，その折り返し高さに対応する
ことになり，中央部では第３図のＨで示す層厚をもつ。
この中央部から幅Ｗをも側部において，この層厚を中央
部から離れるにしたがって漸次低下させると，その折り
返しピッチが等しければ，この幅Ｗの部分に存在する
材の面積は，漸次減少することになる。すなわち，一定
のピッチをもって折り返したシート材料からなる材15
を，その折り返し高さを変化させることによって，空気
吹出面の単位面積当りの材面積を変化させることがで
きる。空気抵抗がどの部分でも等しい均一材質からなる
材15の背後に一定圧力の給気が均等に供給された場合
には，材面積の多い部分からは少ない部分よりそれだ
け多くの空気が流れることになるから，空気吹出面の単
位面積当りでは，材面積の多い部分からは少ない部分
よりも風量が多くなり，その結果，その分だけ吹出流速
が早くなる。このようにして，折り返し目の高さを変化
させることによって，吹出流速を変化させることができ
るが，この折り返し目の高さは一定にして折り返しのピ
ッチを変化させても同様に吹出流速を変化させることが
できる。いずれにしても，本発明では，従来では吹出流
速は吹出面一様に一定にすることが通常であったHEPAフ
イルタの構造を改変して，中央部と側部では吹出流速に
変化を持たせたことに特徴がある。
分を拡大して示した斜視図であり，材面積を変化させ
るフイルタ構造の例を説明するためのものである。一般
にHEPAフイルタは，シート状の高性能材15を波型に折
り返してガスケット16内にセットされる。そして，各折
り返し部の隙間にはこの波型形状を保持するようにサポ
ート部材17（スペーサー）が挿入される。このサポート
部材17もシート状の材料を波型に折り返したものである
が，そのシート面が空気の流れを遮る方向をもたないよ
うに，その折り返し目は材15のそれとは直交する方向
にある。材14の層厚は，その折り返し高さに対応する
ことになり，中央部では第３図のＨで示す層厚をもつ。
この中央部から幅Ｗをも側部において，この層厚を中央
部から離れるにしたがって漸次低下させると，その折り
返しピッチが等しければ，この幅Ｗの部分に存在する
材の面積は，漸次減少することになる。すなわち，一定
のピッチをもって折り返したシート材料からなる材15
を，その折り返し高さを変化させることによって，空気
吹出面の単位面積当りの材面積を変化させることがで
きる。空気抵抗がどの部分でも等しい均一材質からなる
材15の背後に一定圧力の給気が均等に供給された場合
には，材面積の多い部分からは少ない部分よりそれだ
け多くの空気が流れることになるから，空気吹出面の単
位面積当りでは，材面積の多い部分からは少ない部分
よりも風量が多くなり，その結果，その分だけ吹出流速
が早くなる。このようにして，折り返し目の高さを変化
させることによって，吹出流速を変化させることができ
るが，この折り返し目の高さは一定にして折り返しのピ
ッチを変化させても同様に吹出流速を変化させることが
できる。いずれにしても，本発明では，従来では吹出流
速は吹出面一様に一定にすることが通常であったHEPAフ
イルタの構造を改変して，中央部と側部では吹出流速に
変化を持たせたことに特徴がある。
第４図は，空気吹出面の単位面積当りの材面積を，第
１図の例とは逆に，側部７の方を中央部６よりも大きく
した本発明方式を示す。第４図中の引用数字のうち第１
図と同じものは第１図で説明したものと同じものを表し
ている。第４図の例では，側部７では，中央部６から離
れるにしたがって漸次材面積を増大させたものであ
り，最側端では最も材面積が大きくなっている。この
ため,HEPAフイルタ層５の側端において最大の吹出流速
となり，中央部６に近づくにつれて吹出流速が低下し，
中央部６では最も低く且つ均等になっている。本例では
側端の最大吹出流速の気流がエアーカーテンの作用を供
し，このエアーカーテンの作用によって搬送通路などの
高清浄域４に自由空間３の空気が流入することが妨げら
れる。このエアーカーテン流が床部２に衝突してその跳
ね返りによる汚染を防止するために，吸引ボックス20を
設けてある。21はこの吸引ボックス20から排気する排気
フアンである。
１図の例とは逆に，側部７の方を中央部６よりも大きく
した本発明方式を示す。第４図中の引用数字のうち第１
図と同じものは第１図で説明したものと同じものを表し
ている。第４図の例では，側部７では，中央部６から離
れるにしたがって漸次材面積を増大させたものであ
り，最側端では最も材面積が大きくなっている。この
ため,HEPAフイルタ層５の側端において最大の吹出流速
となり，中央部６に近づくにつれて吹出流速が低下し，
中央部６では最も低く且つ均等になっている。本例では
側端の最大吹出流速の気流がエアーカーテンの作用を供
し，このエアーカーテンの作用によって搬送通路などの
高清浄域４に自由空間３の空気が流入することが妨げら
れる。このエアーカーテン流が床部２に衝突してその跳
ね返りによる汚染を防止するために，吸引ボックス20を
設けてある。21はこの吸引ボックス20から排気する排気
フアンである。
第４図のようにHEPAフイルタ層５の側部７における材
面積を増大させるには，第３図で示した材15の同ピッ
チの折り返し高さを第３図の場合とは逆に側端にゆくほ
ど高くすればよい。また同じ折り返し高さにしてピッチ
幅を側端にゆくほど小さくしてもよい。いずれの場合に
も，中央部から離れるにしたがって連続的に材面積を
変化させることができることは第３図で説明したとおり
である。この連続変化の場合には，高清浄域４内におい
て急激な吹出流速の差が発生することを避けることがで
きるので，誘引流によるコンタミネーションを防止でき
る。
面積を増大させるには，第３図で示した材15の同ピッ
チの折り返し高さを第３図の場合とは逆に側端にゆくほ
ど高くすればよい。また同じ折り返し高さにしてピッチ
幅を側端にゆくほど小さくしてもよい。いずれの場合に
も，中央部から離れるにしたがって連続的に材面積を
変化させることができることは第３図で説明したとおり
である。この連続変化の場合には，高清浄域４内におい
て急激な吹出流速の差が発生することを避けることがで
きるので，誘引流によるコンタミネーションを防止でき
る。
第５図〜第10図は，本発明に従ってクリーンルーム自由
空間内に高清浄域を形成するのに好適に使用できるHEPA
フイルタユニットの構成例を示すものである。
空間内に高清浄域を形成するのに好適に使用できるHEPA
フイルタユニットの構成例を示すものである。
第５図は，例えば搬送通路のように室内に長く延びる高
清浄域を形成するための,HEPAフイルタの組合せ例を示
している。この例では，基本的には二種類のHEPAフイル
タ，すなわち,HEPAフイルタ層の中央部を形成するため
の標準HEPAフイルタ23と,HEPAフイルタ層の側部を形成
するための変形HEPAフイルタ24,との組合せによって構
成される。標準HEPAフイルタ23は方形の形状を有し，そ
の方形面積内において空気吹出面の単位面積当りの材
面積は均一なものである。一方，変形HEPAフイルタ24
は，標準HEPAフイルタ23の両脇に設置される該材面積
が変化したものであり，図示の例では第３図で説明した
のと同様に材の折り返し高さが側端にゆくほど低くし
たもの（但し，折り返しピッチは等しい）である。この
ような同形の標準HEPAフイルタ23と同形の変形HEPAフイ
ルタ24とを数多く準備しておけば，この基本形の組合せ
によって，標準HEPAフイルタ23の少なくとも２辺に沿っ
て，この中央部の標準HEPAフイルタ23よりも吹出面単位
面積当りの材面積が漸次変化（減少）する材層（変
形HEPAフイルタ24）を必要な帯域に応じて自由に形成す
ることができる。そして，この標準HEPAフイルタ23と変
形HEPAフイルタ24とからなるフイルタ層の背後に均等な
正圧をもつ給気プレナムを形成すればよい。
清浄域を形成するための,HEPAフイルタの組合せ例を示
している。この例では，基本的には二種類のHEPAフイル
タ，すなわち,HEPAフイルタ層の中央部を形成するため
の標準HEPAフイルタ23と,HEPAフイルタ層の側部を形成
するための変形HEPAフイルタ24,との組合せによって構
成される。標準HEPAフイルタ23は方形の形状を有し，そ
の方形面積内において空気吹出面の単位面積当りの材
面積は均一なものである。一方，変形HEPAフイルタ24
は，標準HEPAフイルタ23の両脇に設置される該材面積
が変化したものであり，図示の例では第３図で説明した
のと同様に材の折り返し高さが側端にゆくほど低くし
たもの（但し，折り返しピッチは等しい）である。この
ような同形の標準HEPAフイルタ23と同形の変形HEPAフイ
ルタ24とを数多く準備しておけば，この基本形の組合せ
によって，標準HEPAフイルタ23の少なくとも２辺に沿っ
て，この中央部の標準HEPAフイルタ23よりも吹出面単位
面積当りの材面積が漸次変化（減少）する材層（変
形HEPAフイルタ24）を必要な帯域に応じて自由に形成す
ることができる。そして，この標準HEPAフイルタ23と変
形HEPAフイルタ24とからなるフイルタ層の背後に均等な
正圧をもつ給気プレナムを形成すればよい。
この給気プレナムの形成は，第５図の点線で示すよう
に，幾つかの単位をまとめて形成してもよいが，第６図
に示すように，単位毎に形成するのが都合がよい。すな
わち一つの標準HEPAフイルタ23とその両脇に設置した変
形HEPAフイルタ24とによって基本単位を構成し，この基
本単位を一つのボックス25内に収めて一ユニットとし，
このユニットを連設させ，各ユニット毎に給気を行なう
ようにするのが便宜である。第６図において,26は主給
気ダクト,27は各ユニットに通ずる分岐ダクトを示して
いる。
に，幾つかの単位をまとめて形成してもよいが，第６図
に示すように，単位毎に形成するのが都合がよい。すな
わち一つの標準HEPAフイルタ23とその両脇に設置した変
形HEPAフイルタ24とによって基本単位を構成し，この基
本単位を一つのボックス25内に収めて一ユニットとし，
このユニットを連設させ，各ユニット毎に給気を行なう
ようにするのが便宜である。第６図において,26は主給
気ダクト,27は各ユニットに通ずる分岐ダクトを示して
いる。
第７図は，標準的なユニット例を示したものであり，一
つの標準HEPAフイルタ23とその両脇に配置した変形HEPA
フイルタ24とによって方形の吹出面を構成し，その全体
を方形のボックス25の下面に設置し，このボックス25内
を給気プレナムとして利用するものである。
つの標準HEPAフイルタ23とその両脇に配置した変形HEPA
フイルタ24とによって方形の吹出面を構成し，その全体
を方形のボックス25の下面に設置し，このボックス25内
を給気プレナムとして利用するものである。
第８図は，一つの方形の標準HEPAフイルタ23の四辺にそ
って変形HEPAフイルタ24を配置することによって方形の
吹出面を構成し，その全体を方形のボックス25の下面に
設置し，その全体を方形のボックス25の下面に設置し，
このボックス25内を給気プレナムとして利用するもので
ある。この例では，スポット的な局部高清浄域を形成す
るためのクリーンブースの代用として使用できる。
って変形HEPAフイルタ24を配置することによって方形の
吹出面を構成し，その全体を方形のボックス25の下面に
設置し，その全体を方形のボックス25の下面に設置し，
このボックス25内を給気プレナムとして利用するもので
ある。この例では，スポット的な局部高清浄域を形成す
るためのクリーンブースの代用として使用できる。
第９図は，変形HEPAフイルタ24として，側端にゆくほど
空気吹出面の単位面積当りの材面積が増大するものを
使用した以外は，第７図の例と同様な標準的なユニット
の例を示す。
空気吹出面の単位面積当りの材面積が増大するものを
使用した以外は，第７図の例と同様な標準的なユニット
の例を示す。
また，第10図は，変形HEPAフイルタ24として，側端にゆ
くほど空気吹出面の単位面積当りの材面積が増大する
ものを使用した以外は，第８図と同様のユニットを示し
ている。
くほど空気吹出面の単位面積当りの材面積が増大する
ものを使用した以外は，第８図と同様のユニットを示し
ている。
なお，図示しないが，標準HEPAフイルタ23の三辺に沿っ
て変形HEPAフイルタ24を配置したユニットを構成するこ
ともでき，この場合には，搬送通路の終端に対応する箇
所などのユニットとして使用することができる。また，
場合によっては，標準HEPAフイルタ23の一辺だけに変形
HEPAフイルタ24を配置したユニットを構成することもで
きる。
て変形HEPAフイルタ24を配置したユニットを構成するこ
ともでき，この場合には，搬送通路の終端に対応する箇
所などのユニットとして使用することができる。また，
場合によっては，標準HEPAフイルタ23の一辺だけに変形
HEPAフイルタ24を配置したユニットを構成することもで
きる。
以上のようにして，本発明によると，アイリッド等によ
って自由空間と高清浄域とを区切るようなことなく，自
由空間内にこれより清浄度の高い高清浄域をラインに合
わせて自在に構成することができ，既述の目的が効果的
に達成できるものであり，クリーンルーム内に産品の搬
送通路などを形成する場合に特に効果を発揮する。そし
て，本発明に従うHEPAフイルタユニットは構造が単純で
あり，必要とする高清浄域のエリアに対応する長さや面
積に自由に組合せることができると共に，その設置位置
は自由空間内に存在するのが普通であるから自由空間の
どの方向からでもメインテナンス作業ができるし，設置
や取外し作業も簡単にできるので，製造性，メインテナ
ンス作業性および施工作業性の点でも有利である。
って自由空間と高清浄域とを区切るようなことなく，自
由空間内にこれより清浄度の高い高清浄域をラインに合
わせて自在に構成することができ，既述の目的が効果的
に達成できるものであり，クリーンルーム内に産品の搬
送通路などを形成する場合に特に効果を発揮する。そし
て，本発明に従うHEPAフイルタユニットは構造が単純で
あり，必要とする高清浄域のエリアに対応する長さや面
積に自由に組合せることができると共に，その設置位置
は自由空間内に存在するのが普通であるから自由空間の
どの方向からでもメインテナンス作業ができるし，設置
や取外し作業も簡単にできるので，製造性，メインテナ
ンス作業性および施工作業性の点でも有利である。
第１図は本発明に従ってクリーンルーム自由空間内に高
清浄域を形成するための基本原理を示す気流パターン
図，第２図は第１図の原理によってクリーンルーム内の
搬送通路を高清浄域に形成する状態を平面的に示した概
念図，第３図は本発明にしたがって空気吹出面の単位面
積当りの材面積を変化させるHEPAフイルタの構造例を
示す斜視図，第４図は本発明に従ってクリーンルーム自
由空間内に高清浄域を形成するための基本原理を示す他
の気流パターンを示す図，第５図は本発明に従うHEPAフ
イルタの設置例を示す略斜視図，第６図はユニット化し
た本発明に従うHEPAフイルタの連設状態を示す略斜視
図，第７図は本発明に従うHEPAフイルタユニットの例を
示す斜視図，第８図は本発明に従うHEPAフイルタユニッ
トの他の例を示す斜視図，第９図は本発明に従うHEPAフ
イルタユニットの更に他の例を示す斜視図，第10図は本
発明に従うHEPAフイルタユニットの更に他の例を示す斜
視図である。 １……天井面,2……床面,3……自由空間,4……高清浄
域,5……HEPAフイルタ層,6……HEPAフイルタ層の中央
部,7……HEPAフイルタ層の側部,8……給気プレナム,10
……フアン,11……一次フイルタ,12……搬送通路,15…
…材,17……サポート部材（スペーサー）,23……標準
HEPAフイルタ,24……変形HEPAフイルタ,25……ボック
ス,26……給気主ダクト,W……HEPAフイルタ層の側部の
幅。
清浄域を形成するための基本原理を示す気流パターン
図，第２図は第１図の原理によってクリーンルーム内の
搬送通路を高清浄域に形成する状態を平面的に示した概
念図，第３図は本発明にしたがって空気吹出面の単位面
積当りの材面積を変化させるHEPAフイルタの構造例を
示す斜視図，第４図は本発明に従ってクリーンルーム自
由空間内に高清浄域を形成するための基本原理を示す他
の気流パターンを示す図，第５図は本発明に従うHEPAフ
イルタの設置例を示す略斜視図，第６図はユニット化し
た本発明に従うHEPAフイルタの連設状態を示す略斜視
図，第７図は本発明に従うHEPAフイルタユニットの例を
示す斜視図，第８図は本発明に従うHEPAフイルタユニッ
トの他の例を示す斜視図，第９図は本発明に従うHEPAフ
イルタユニットの更に他の例を示す斜視図，第10図は本
発明に従うHEPAフイルタユニットの更に他の例を示す斜
視図である。 １……天井面,2……床面,3……自由空間,4……高清浄
域,5……HEPAフイルタ層,6……HEPAフイルタ層の中央
部,7……HEPAフイルタ層の側部,8……給気プレナム,10
……フアン,11……一次フイルタ,12……搬送通路,15…
…材,17……サポート部材（スペーサー）,23……標準
HEPAフイルタ,24……変形HEPAフイルタ,25……ボック
ス,26……給気主ダクト,W……HEPAフイルタ層の側部の
幅。
Claims (4)
- 【請求項１】清浄度の高い高清浄域をこれより清浄度の
低い自由空間内に形成する方法において，該高清浄域を
覆うに十分な面積をもつHEPAフイルタ層を，この高清浄
域に対応する天井面に水平方向に配置し，このHEPAフイ
ルタ層として，空気抵抗の均一な濾材を用いたうえ，空
気吹出面の単位面積当りの濾材面積が，高清浄度域に対
応する中央部と該自由空間に隣接する側部とでは互いに
相違する濾材構造としたものを使用し，そして，このHE
PAフイルタ層の背後に形成した給気プレナムからこのHE
PAフイルタ層を通じて中央部と側部とで吹出風速を相違
させながら下方に給気することを特徴とするクリーンル
ーム自由空間内に高清浄域を形成する方法。 - 【請求項２】HEPAフイルタ層の空気吸出面の単位面積当
りの濾材面積が，高清浄度域に対応する中央部の方が自
由空間に隣接する側部より大きく，該側部における||材
面積は縁部にゆくほど漸次減少している特許請求の範囲
第１項記載の方法。 - 【請求項３】HEPAフイルタ層の空気吹出面の単位面積当
りの濾材面積が，高清浄度域に対応する中央部の方が自
由空間に隣接する側部より小さく，該側部における濾材
面積は縁部にゆくほど漸次増大している特許請求の範囲
第１項記載の方法。 - 【請求項４】方形の平面形状を有するHEPAフイルタ層を
下面に張り渡したボックスにおいて，空気抵抗の均一な
濾材を使用したうえ，このHEPAフイルタ層の少なくとも
２辺に沿って，中央部よりも吹出面単位面積当りの濾材
面積が漸次変化する濾材層を設けたことを特徴とする，
クリーンルーム自由空間内に高清浄域を形成するための
HEPAフイルタユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62189568A JPH0753219B2 (ja) | 1987-07-29 | 1987-07-29 | クリ−ンル−ム自由空間内に高清浄域を形成する方法およびこの方法に使用するフイルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62189568A JPH0753219B2 (ja) | 1987-07-29 | 1987-07-29 | クリ−ンル−ム自由空間内に高清浄域を形成する方法およびこの方法に使用するフイルタユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6434420A JPS6434420A (en) | 1989-02-03 |
| JPH0753219B2 true JPH0753219B2 (ja) | 1995-06-07 |
Family
ID=16243512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62189568A Expired - Fee Related JPH0753219B2 (ja) | 1987-07-29 | 1987-07-29 | クリ−ンル−ム自由空間内に高清浄域を形成する方法およびこの方法に使用するフイルタユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0753219B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013181715A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Ohbayashi Corp | 空調システムおよび空調方法 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4825038B2 (ja) * | 2006-04-06 | 2011-11-30 | 株式会社日立産機システム | 空気清浄機及びこれを用いたクリーンルーム |
| JP5330805B2 (ja) * | 2008-11-07 | 2013-10-30 | パナソニック株式会社 | クリーンルーム |
| JP2011208884A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Okumura Corp | 吸引対象媒体捕集装置 |
| JP5484515B2 (ja) | 2011-07-08 | 2014-05-07 | 興研株式会社 | 局所空気清浄化装置 |
| JP5484421B2 (ja) * | 2011-07-29 | 2014-05-07 | 興研株式会社 | 局所空気清浄化装置 |
| JP6110054B2 (ja) * | 2011-08-22 | 2017-04-05 | 高砂熱学工業株式会社 | 空調装置 |
| JP5484516B2 (ja) | 2011-10-03 | 2014-05-07 | 興研株式会社 | 清浄空気吹出装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5950369A (ja) * | 1982-09-14 | 1984-03-23 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 電気量測定装置 |
| JPS607779U (ja) * | 1983-06-27 | 1985-01-19 | 永井 達雄 | 永式漬物容器 |
-
1987
- 1987-07-29 JP JP62189568A patent/JPH0753219B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013181715A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Ohbayashi Corp | 空調システムおよび空調方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6434420A (en) | 1989-02-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |