JPS62186149A - クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置 - Google Patents
クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置Info
- Publication number
- JPS62186149A JPS62186149A JP61027965A JP2796586A JPS62186149A JP S62186149 A JPS62186149 A JP S62186149A JP 61027965 A JP61027965 A JP 61027965A JP 2796586 A JP2796586 A JP 2796586A JP S62186149 A JPS62186149 A JP S62186149A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- service area
- air
- tunnel
- clean air
- clean
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 12
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はクリーンルームにおける空気清浄装置に係るも
のである。
のである。
（従来の技術）
第２図は従来のクリーンルームのばイ方式等で使用され
ている空気清浄装置を示し、クリーンルーム（Ａ）Ｋお
ける両側トンネル部（Ｂ）（Ｂ）、及び間両トンネル部
（Ｂ）に挾まれた通路部（Ｃ）の各上方に、夫々超高性
能フィルタ（ａ）が内蔵されたトンネル部及び通路部の
空気清浄部００が個々に配設され、同各清浄部（Ｄ）（
Ｄ）、ｃＥｌの下面から清浄空気が吹出されている。
ている空気清浄装置を示し、クリーンルーム（Ａ）Ｋお
ける両側トンネル部（Ｂ）（Ｂ）、及び間両トンネル部
（Ｂ）に挾まれた通路部（Ｃ）の各上方に、夫々超高性
能フィルタ（ａ）が内蔵されたトンネル部及び通路部の
空気清浄部００が個々に配設され、同各清浄部（Ｄ）（
Ｄ）、ｃＥｌの下面から清浄空気が吹出されている。
図中（６）はファン、（Ｏ）は給気ダクト％ （ｄ）（
ａ）はレターンロ、（力は床下プレナム、■はサービス
域である。
ａ）はレターンロ、（力は床下プレナム、■はサービス
域である。
（発明が解決しようとする問題点）
前記従来の空気清浄装置においては、−双のトンネル部
とその中間に位置する通路部が夫々別の空気清浄システ
ムで空気の清浄化を図るように構成されているので、経
済性の面で問題があった。
とその中間に位置する通路部が夫々別の空気清浄システ
ムで空気の清浄化を図るように構成されているので、経
済性の面で問題があった。
（問題点を解決するだめの手段）
本発明はこのような問題点を解決するために提案された
もので、相対する両側トンネル部間に通路部が配設され
たクリーンルームにおいて、前記 ′各トンネル
部の頂部に、同トンネル部、及び前記通路部に指向して
開口する清浄空気吹出口を夫々下面並に側面に有する清
浄空気吹出空間部を配設するとともに、前記トンネル部
に隣接するサービス域の頂部には風導を配設し、同風導
の側部及び下部には夫々前記清浄空気吹出空間部並にサ
ービス域に対する清浄空気供給用の超高性能フィルタを
装着して々ることを特徴とするクリーンルームにおける
空気清浄装置妬係るものである。
もので、相対する両側トンネル部間に通路部が配設され
たクリーンルームにおいて、前記 ′各トンネル
部の頂部に、同トンネル部、及び前記通路部に指向して
開口する清浄空気吹出口を夫々下面並に側面に有する清
浄空気吹出空間部を配設するとともに、前記トンネル部
に隣接するサービス域の頂部には風導を配設し、同風導
の側部及び下部には夫々前記清浄空気吹出空間部並にサ
ービス域に対する清浄空気供給用の超高性能フィルタを
装着して々ることを特徴とするクリーンルームにおける
空気清浄装置妬係るものである。
（作用）
本発明は前記したように構成されているので、トンネル
部に隣接するサービス域の頂部に配設された風導の側部
に装着された超高性能フィルタによって、前記トンネル
部の頂部に配設された清浄空気吹出空間部に清浄空気が
供給され、同空間部の下面及び側面に配設された清浄空
気吹出口よシ清浄空気がトンネル部及び通路部に指向し
て吹出され、同トンネル部及び通路部の各空間が清浄化
される。
部に隣接するサービス域の頂部に配設された風導の側部
に装着された超高性能フィルタによって、前記トンネル
部の頂部に配設された清浄空気吹出空間部に清浄空気が
供給され、同空間部の下面及び側面に配設された清浄空
気吹出口よシ清浄空気がトンネル部及び通路部に指向し
て吹出され、同トンネル部及び通路部の各空間が清浄化
される。
また前記風導の下部に装着された超高性能フィルタによ
って、サービス域に清浄空気が供給され、同サービス域
が清浄化される。
って、サービス域に清浄空気が供給され、同サービス域
が清浄化される。
（発明の効果）
このように本発明によれば、クリーンルームにおけるト
ンネル部と通路部との各空間が、トンネル部頂部に配設
され、且つサービス域頂部に配設された風導よシ清浄空
気の供給を受ける清浄空気吹出空間部によって同時に清
浄化されるので、装置が簡略化され、コストが節減され
る。
ンネル部と通路部との各空間が、トンネル部頂部に配設
され、且つサービス域頂部に配設された風導よシ清浄空
気の供給を受ける清浄空気吹出空間部によって同時に清
浄化されるので、装置が簡略化され、コストが節減され
る。
また前記風導の下部にも超高性能フィルタが装着される
ことによって、サービス域にも清浄空気が供給され、同
サービス域が前記トンネル部及び通路部と同時に清浄化
されるものである。
ことによって、サービス域にも清浄空気が供給され、同
サービス域が前記トンネル部及び通路部と同時に清浄化
されるものである。
（実施例）
以下本発明を図示の実施例について説明する。
第１図において（Ａ）はクリーンルーム、（Ｂ）はその
両側に配設されたトンネル部、（Ｃ）は間両トンネル部
に挾まれた通路部である。
両側に配設されたトンネル部、（Ｃ）は間両トンネル部
に挾まれた通路部である。
前記各トンネル部（Ｂ）の頂部には夫々清浄空気吹出空
間部（１）が配設され、同空間部（１）のトンネル部■
）に対向する下面、及び通路部（Ｃ）に対向する側面に
亘って連続的に清浄空気吹出口（２）が配設されている
。
間部（１）が配設され、同空間部（１）のトンネル部■
）に対向する下面、及び通路部（Ｃ）に対向する側面に
亘って連続的に清浄空気吹出口（２）が配設されている
。
トンネル部（Ｂ）に隣接するサービス域（Ｆ′）の頂部
には、クリーンルーム内装用断熱パネル（３）によって
風導（４）が構成され、同風導（４）には給気ダクト（
図示せず）が接続されている。
には、クリーンルーム内装用断熱パネル（３）によって
風導（４）が構成され、同風導（４）には給気ダクト（
図示せず）が接続されている。
また前記風導（４）の側部及び下部には夫々前記清浄空
気吹出空間部（１）及びサービス域（ト）に対する清浄
空気供給用の超高性能フィルタ（５）（６）が装着され
ている。
気吹出空間部（１）及びサービス域（ト）に対する清浄
空気供給用の超高性能フィルタ（５）（６）が装着され
ている。
図中（７）及び（８）は夫々風導（４）及び床下プレナ
ムチャンバ（９）に接続するレターンロである。
ムチャンバ（９）に接続するレターンロである。
図示の実施例は前記したように構成されているので、前
記サービス域（ト）の頂部の風導（４）側部に装着され
た超高性能フィルタ（５）を経て前記トンネル部中）の
頂部の清浄空気吹出空間部（１）に供給された清浄空気
は、同空間部（１）の下面から側面に亘って連続して設
けられた清浄空気吹出口（２）より、トンネル部（Ｂ）
並に通路部（Ｃ）に吹出され、同各部（Ｂ）（Ｃ）の空
間を清浄化する。
記サービス域（ト）の頂部の風導（４）側部に装着され
た超高性能フィルタ（５）を経て前記トンネル部中）の
頂部の清浄空気吹出空間部（１）に供給された清浄空気
は、同空間部（１）の下面から側面に亘って連続して設
けられた清浄空気吹出口（２）より、トンネル部（Ｂ）
並に通路部（Ｃ）に吹出され、同各部（Ｂ）（Ｃ）の空
間を清浄化する。
この際、前記清浄空気吹出口（２）が清浄空気吹出空間
部（１）の下面から側面に亘って連続的に配設されてい
゛るので、トンネル部中）の高清浄度空間に通路部（Ｃ
）の低清浄度空間の空気が誘引されることがなく、更に
前記清浄空気吹出空間部（１）から吹出される空気流の
水平成分がトンネル部中）から通路部（Ｃ）に指向して
いるので、同通路部（Ｃ）で発生した塵埃のトンネル部
の）への侵入が防止される。
部（１）の下面から側面に亘って連続的に配設されてい
゛るので、トンネル部中）の高清浄度空間に通路部（Ｃ
）の低清浄度空間の空気が誘引されることがなく、更に
前記清浄空気吹出空間部（１）から吹出される空気流の
水平成分がトンネル部中）から通路部（Ｃ）に指向して
いるので、同通路部（Ｃ）で発生した塵埃のトンネル部
の）への侵入が防止される。
一方、前記風導（４）の下部に装着された超高性能フィ
ルタ（６）を介してサービス域■に清浄空気が供給され
、同サービス域（ト）も清浄化される。
ルタ（６）を介してサービス域■に清浄空気が供給され
、同サービス域（ト）も清浄化される。
かくして前記トンネル部（Ｂ）、通路部（Ｃ）及びサー
ビス域（ト）を清浄化した空気は、レターンロ（７１（
８）よシ床下プレナムチャンバ（９）に入シ、送風機側
に戻される。
ビス域（ト）を清浄化した空気は、レターンロ（７１（
８）よシ床下プレナムチャンバ（９）に入シ、送風機側
に戻される。
このように前記実施例によれば、クリーンルーム（Ａ）
におけるトンネル部（Ｂ）と通路部（Ｃ）との雨空間が
トンネル部中）の頂部に配設され、且つトンネル部（Ｂ
）に隣接するサービス域（ト）の頂部の風導（４）よジ
清浄空気の供給を受ける清浄空気吹出空間部（１）によ
って浄化されるので、装置が簡略化され、コストが節減
される。
におけるトンネル部（Ｂ）と通路部（Ｃ）との雨空間が
トンネル部中）の頂部に配設され、且つトンネル部（Ｂ
）に隣接するサービス域（ト）の頂部の風導（４）よジ
清浄空気の供給を受ける清浄空気吹出空間部（１）によ
って浄化されるので、装置が簡略化され、コストが節減
される。
一方、前記風導（４）の下部に装着された超高性能フィ
ルタ（６）を介してサービス域（Ｆ′）にも清浄空気が
供給され、同サービス域（Ｆ′）が前記トンネル部（Ｂ
）及び通路部じ）と同時に清浄化される。
ルタ（６）を介してサービス域（Ｆ′）にも清浄空気が
供給され、同サービス域（Ｆ′）が前記トンネル部（Ｂ
）及び通路部じ）と同時に清浄化される。
以上本発明を実施例について説明したが、本発明は勿論
このような実施例にだけ局限されるものではなく、本発
明の精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
このような実施例にだけ局限されるものではなく、本発
明の精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
第１図は本発明に係るクリーンルームにおける空気清浄
装置の一実施例を示す縦断面図、第２図は縦来のクリー
ンルームにおける空気清浄装置の縦断面図である。 （Ａ）・・・クリーンルーム （Ｂ）・・・トンネル部
（Ｃ）・・・通路部 停）・・・サービス域（
１）・・・清浄空気吹出空間部 （２）・・・清浄空気吹出口 （４）・・・風導（５）
・・・超高性能フィルタ（６）・・・超高性能フィルタ
第１図
装置の一実施例を示す縦断面図、第２図は縦来のクリー
ンルームにおける空気清浄装置の縦断面図である。 （Ａ）・・・クリーンルーム （Ｂ）・・・トンネル部
（Ｃ）・・・通路部 停）・・・サービス域（
１）・・・清浄空気吹出空間部 （２）・・・清浄空気吹出口 （４）・・・風導（５）
・・・超高性能フィルタ（６）・・・超高性能フィルタ
第１図
Claims (1)
- 相対する両側トンネル部間に通路部が配設されたクリー
ンルームにおいて、前記各トンネル部の頂部に、同トン
ネル部、及び前記通路部に指向して開口する清浄空気吹
出口を夫々下面並に側面に有する清浄空気吹出空間部を
配設するとともに、前記トンネル部に隣接するサービス
域の頂部には風導を配設し、同風導の側部及び下部には
夫々前記清浄空気吹出空間部並にサービス域に対する清
浄空気供給用の超高性能フィルタを装着してなることを
特徴とするクリーンルームにおける空気清浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61027965A JPS62186149A (ja) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61027965A JPS62186149A (ja) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62186149A true JPS62186149A (ja) | 1987-08-14 |
| JPH0252182B2 JPH0252182B2 (ja) | 1990-11-09 |
Family
ID=12235603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61027965A Granted JPS62186149A (ja) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62186149A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6430645A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPS6430644A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPS6430642A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430647A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430641A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430649A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPS6430643A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| US5487768A (en) * | 1994-01-31 | 1996-01-30 | Zytka; Donald J. | Minienvironment for material handling |
-
1986
- 1986-02-13 JP JP61027965A patent/JPS62186149A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6430645A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPS6430644A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPS6430642A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430647A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430641A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430649A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPS6430643A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| US5487768A (en) * | 1994-01-31 | 1996-01-30 | Zytka; Donald J. | Minienvironment for material handling |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0252182B2 (ja) | 1990-11-09 |
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