JPS62135042U - - Google Patents

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JPS62135042U
JPS62135042U JP2121386U JP2121386U JPS62135042U JP S62135042 U JPS62135042 U JP S62135042U JP 2121386 U JP2121386 U JP 2121386U JP 2121386 U JP2121386 U JP 2121386U JP S62135042 U JPS62135042 U JP S62135042U
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JP
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clean air
passage
clean
tunnel
air blowing
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JP2121386U
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  • Ventilation (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係るクリーンルームにおける
空気清浄装置の一実施例を示す縦断面図、第２図
は従来の装置の縦断面図である。 Ａ…クリーンルーム、Ｂ…トンネル部、Ｃ…通
路部、１…清浄空気吹出空間部、２…清浄空気吹
出口、３…プレナムチヤンバ、４…送風機、５…
超高性能フイルタ、６…レターンチヤンバ、７…
管路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 相対する両側トンネル部間に通路部が配設され
    たクリーンルームにおいて、前記各トンネル部の
    頂部に、同トンネル部及び前記通路部に指向して
    開口する清浄空気吹出口を夫々下面並に側面に有
    する清浄空気吹出空間部を設け、通路部頂部に前
    記各清浄空気吹出空間部に対する清浄空気供給用
    の送風機及び超高性能フイルタを内蔵したプレナ
    ムチヤンバを設けるとともに、同チヤンバと前記
    清浄空気吹出空間部外側のレタンチヤンバとを管
    路で接続してなることを特徴とするクリーンルー
    ムにおける空気清浄装置。
JP2121386U 1986-02-17 1986-02-17 Expired JPH0240416Y2 (ja)

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JP2121386U JPH0240416Y2 (ja) 1986-02-17 1986-02-17

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JP2121386U JPH0240416Y2 (ja) 1986-02-17 1986-02-17

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Publication Number Publication Date
JPS62135042U true JPS62135042U (ja) 1987-08-25
JPH0240416Y2 JPH0240416Y2 (ja) 1990-10-29

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ID=30817448

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JP2121386U Expired JPH0240416Y2 (ja) 1986-02-17 1986-02-17

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JPH0240416Y2 (ja) 1990-10-29

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