KR200319426Y1 - 클린 룸의 플로어 구조 - Google Patents

Abstract

본 고안은 클린 룸 내부의 기류를 직하향으로 유도하기 위한 클린 룸의 플로어 구조에 관한 것으로서, 좀더 자세하게는, 상부 팬 필터 유닛으로부터 토출되는 기류가 직하향으로 유도되도록 흡인하기 위한 하부 팬 유닛이 설치된 클린 룸의 플로어 구조에 관한 것이다.

따라서, 본 고안의 목적은, 하부 팬 유닛의 흡인력으로 클린 룸 내부의 직하향 기류 형성을 유도하여 원활한 공기 순환이 이루어지게 하며, 추가적인 하부의 공기 필터링으로 공기 청정도를 향상시켜서, 클린 룸의 청정 작업 효율을 개선시킨 클린 룸의 플로어 구조를 제공함에 있다.

Description

클린 룸의 플로어 구조{Structure of Floor for Clean Room}

본 고안은 클린 룸 내부의 기류를 직하향으로 유도하기 위한 클린 룸의 플로어 구조에 관한 것으로서, 좀더 자세하게는, 상부 팬 필터 유닛으로부터 토출되는기류가 직하향으로 유도되도록 흡인하기 위한 하부 팬 유닛이 설치된 클린 룸의 플로어 구조에 관한 것이다.

일반적으로, 무진 상태가 요구되는 전자기기 및 반도체 제조실, 병원의 수술실, 무균실, 세균 배양실 등에는 클린 룸 시스템이 사용되고 있으며, 이러한 클린 룸 시스템의 구성이 개략적으로 도 1에 도시되어 있다.

건물(1) 내의 클린 룸(11)은 다수의 지지 프레임들(7)로 구획되는 천장부(9) 및 다수의 지지대들(17)로 지지되는 액세스 플로어(15)를 구비하고 있으며, 상기 천장부의 내부 공간(5)에는 상부 팬 필터 유닛들(3)이 상기 지지 프레임들(7)에 각각 장착되어 있다.

이러한 구성의 클린 룸 시스템에서, 천장 내부(5)의 공기는 상기 상부 팬 필터 유닛(3)으로 흡입되어, 클린 룸 내부(11)로 공급되며, 상기 클린 룸 내부(11)를 통과한 공기는 액세스 플로어(15)를 통하여 하부로 유동하여, 리턴 통로(13)를 따라 유동하며, 다시 천장 내부(5)로 복귀되는 방식으로 순환한다.

그러나, 상기한 바와 같은 클린 룸 시스템에서는, 상부 팬 필터 유닛으로부터 토출되는 기류가 클린 룸 내부에서 수직 하방으로 유동하지 않고 임의의 방향으로 유동할 수 있으므로, 상기 클린 룸 내부에서 오염된 물체가 세정될 경우에 상기 물체의 오염 물질이 상기 기류를 타고 인접하는 물체에 전달될 수 있고, 클린 룸 내부, 예를 들어, 하부 모서리부에 오염 물질의 정체 영역이 형성될 수 있으며, 원활한 공기 순환이 이루어지지 못하여, 전체적으로 청정 작업 효율이 저하되는 문제점이 내재되어 있었다.

따라서, 본 고안의 목적은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 클린 룸 하부의 플로어 구조에 하부 팬 유닛을 장착하여, 상기 하부 팬 유닛의 흡인력으로 클린 룸 내부의 직하향 기류 형성을 유도하여 원활한 공기 순환이 이루어지게 하며, 추가적인 하부의 공기 필터링으로 공기 청정도를 향상시켜서, 클린 룸의 청정 작업 효율을 개선시킨 클린 룸의 플로어 구조를 제공함에 있다.

도 1은 종래의 클린 룸 시스템의 구성도,

도 2는 본 고안에 따른 클린 룸 플로어의 일부를 도시한 평면도,

도 3a는 상기 도 2의 입면도,

도 3b는 본 고안에 따라 하부 팬 유닛이 상기 플로어 구조에 설치되는 상태를 도시한 입면도,

도 4는 상기 도 2의 선 A-A를 따라 도시된 단면도.

＊ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ＊

11: 클린 룸 15: 액세스 플로어(access floor)

17: 지지대 100: 하부 팬 유닛

101: 제 1 플랜지 103: 제 2 플랜지

105: 씰링(sealing)재

상기한 목적을 실현하기 위하여 본 고안은, 액세스 플로어를 지지하기 위한 지지대가 일정하게 배열되어 이루어진 클린 룸의 플로어 구조에 있어서, 상기 이웃하여 배열되는 지지대들 사이에는, 천장에 배열된 상부 팬 필터 유닛으로부터 토출되는 기류가 직하향으로 유동하도록, 상기 기류를 흡인하는 하부 팬 유닛이, 상기 지지대들 사이의 공간을 막아 흡입 평면을 이루도록 배열되고, 상기 하부 팬 유닛에는, 상기 각각의 지지대에 안착 지지되는 좌우 한쌍의 제 1 플랜지 및 이웃하는 하부 팬 유닛의 플랜지들과 중첩되는 상하 한쌍의 제 2 플랜지가 형성된 것을 특징으로 한다.

이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 고안에 따른 클린 룸 플로어의 일부를 도시한 평면도이고, 도 3a는 상기 도 2의 입면도이며, 도 3b는 본 고안에 따라 하부 팬 유닛이 상기 플로어 구조에 설치되는 상태를 도시한 입면도이고, 도 4는 상기 도 2의 선 A-A를 따라 도시된 단면도이다.

도 2를 참조하면, 하부 팬 유닛(100)은 플로어의 지지대들(17)간의 공간을 막아 흡입 평면을 이루도록 일정한 배열 형태로 설치된다.

또한, 도 3a 및 3b를 참조하면, 액세스 플로어(15)를 지지하는 각각의 지지대(17)는 주각(柱脚, 17a)과 이 주각(17a)의 지지력을 보강하기 위한 H형 또는 SQ 빔(17b)이 상호 연결되어 이루어지며, 상기 H형 또는 SQ 빔(17b) 상면에는 각각의 하부 팬 유닛(100)의 제 1 플랜지(101)가 안착 지지된다.

그리고, 상기 H형 또는 SQ 빔(17b) 상면 및 상기 하부 팬 유닛(100)의 제 1 플랜지(101)의 접촉면 사이는 기류가 이를 통과하지 못하도록 접합되어야 하는데, 이 접합 방식은 당업자에 의해 공지된 다양한 방식이 이용될 수 있다.

또한, 도 2 및 4에 도시된 바와 같이, 서로 이웃하여 배열되는 하부 팬 유닛(100)의 제 2 플랜지들(103)은 상호 중첩되며, 상기 2개의 플랜지들(103)의 접촉면 사이로도 기류가 통과하지 못하도록 밀봉시키기 위한 씰링재(105)가 삽입되며, 효과적인 밀봉을 이루기 위해, 상기 2개의 플랜지들(103) 중 적어도 하나는 상기 씰링재(105)를 수용할 수 있는 형상으로 단부(103a)가 절곡형성되어 있다.

여기에서, 상기 씰링재(105)의 형상은 다양하게 이루어질 수 있으며, 재질은 탄성체인 것이 바람직하다.

이와 같이 구성되는 본 고안의 클린 룸 시스템에서의 공기 유동 과정을 설명하면 다음과 같다.

천장 내부(5)의 공기는 상부 팬 필터 유닛(3)으로 흡입되어 1차로 필터링되고, 클린 룸 내부(11)로 공급된다.

클린 룸(11) 내부로 공급되는 공기는 하부 팬 유닛(100)의 흡인력으로 인해 직하향 기류를 형성하여서, 상기 클린 룸(11)내에서의 기류 손실을 저하시키고, 이에 따라 고효율의 청정 작업이 이루어지게 한다.

더욱이, 상기 하부 팬 유닛(100)에 공지의 필터(일명, 여과재)를 일체형으로 상부 팬 필터 유닛(3)과 유사하게 마련하여 장착하게 되면, 상하방에서 보다 효과적인 청정 효율을 도모할 수 있게 된다.

이에 따라, 상기 클린 룸 내부(11)를 통과한 공기는 액세스 플로어(15)를 통과하여, 하부 팬 유닛(100)으로 흡입되고, 2차로 필터링되는 경우에는, 보다 높은 청정도를 가지게 된 후에, 리턴 통로(13)를 따라 상방으로 유동하여, 다시 천장 내부(5)로 복귀하는 방식으로 순환한다.

한편, 국부적으로 급속하게 청정도를 유지시켜야 하는 경우에는, 중앙제어실에서 해당 부분의 하부 팬 유닛(100)만을 개별 제어할 수 있도록 결선시킴으로써, 비상 또는 돌발 상황에 유연하게 대처할 수 있게 되는 것이다.

이와 같은 본 고안은, 하부 팬 유닛의 흡인력으로 클린 룸 내부의 직하향 기류 형성을 유도하여 원활한 공기 순환이 이루어지게 하며, 추가적인 하부의 공기 필터링으로 공기 청정도를 향상시켜서, 클린 룸의 청정 작업 효율을 향상시키는 효과를 가진다.

Claims (3)

1. 액세스 플로어를 지지하기 위한 지지대가 일정하게 배열되어 이루어진 클린 룸의 플로어 구조에 있어서,

   상기 이웃하여 배열되는 지지대들 사이에는, 천장에 배열된 상부 팬 필터 유닛으로부터 토출되는 기류가 직하향으로 유동하도록, 상기 기류를 흡인하는 하부 팬 유닛이, 상기 지지대들 사이의 공간을 막아 흡입 평면을 이루도록 배열되고,

   상기 하부 팬 유닛에는, 상기 각각의 지지대에 안착 지지되는 좌우 한쌍의 제 1 플랜지 및 이웃하는 하부 팬 유닛의 플랜지들과 중첩되는 상하 한쌍의 제 2 플랜지가 형성된 것을 특징으로 하는 클린 룸의 플로어 구조.
2. 제 1 항에 있어서, 상호 중첩되는 상기 각각의 하부 팬 유닛의 플랜지들 사이에는 기류의 침투를 차단시키기 위한 밀봉부가 구비된 것을 특징으로 하는 클린 룸의 플로어 구조.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 밀봉부는, 적어도 하나의 제 2 플랜지의 단부가 상기 밀봉부로 삽입되는 씰링재를 수용하는 형상으로 절곡되어 형성되는 것을 특징으로 하는 클린 룸의 플로어 구조.