JPS6138614A - 全面層流型クリ−ンル−ムの天井吊設フイルタ−システムに於けるフイルタ−フレ−ムから清浄空気を流す装置 - Google Patents
全面層流型クリ−ンル−ムの天井吊設フイルタ−システムに於けるフイルタ−フレ−ムから清浄空気を流す装置Info
- Publication number
- JPS6138614A JPS6138614A JP15893484A JP15893484A JPS6138614A JP S6138614 A JPS6138614 A JP S6138614A JP 15893484 A JP15893484 A JP 15893484A JP 15893484 A JP15893484 A JP 15893484A JP S6138614 A JPS6138614 A JP S6138614A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- frame
- frame material
- small
- ceiling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は全面層流型クリーンルームの天井吊設フィルタ
ーシステムに於いて、フィルターフレームを構成するフ
レーム枠材と、照明器具を取付ける照明器具取付枠材の
障害物を通してクリーンルームに清浄空気を流す装置に
関するものである。
ーシステムに於いて、フィルターフレームを構成するフ
レーム枠材と、照明器具を取付ける照明器具取付枠材の
障害物を通してクリーンルームに清浄空気を流す装置に
関するものである。
（従来の技術）
半導体の技術の進歩に伴いその製造に必要であるクリー
ンルームの清浄度も要求がかなり厳しくなってきており
、フィルター自体の効率アップもさることながら、フィ
ルター取付後のリーク防止等かなり精密になってきてお
り、部屋全体のクリーン度アップの条件として一定面積
の中でフィルターの占める割合（フィルター有効率）が
如何に多く取れるかが問題となり、現在ではそのフィル
ター有効率は８０〜８６％を占めるようになった。
ンルームの清浄度も要求がかなり厳しくなってきており
、フィルター自体の効率アップもさることながら、フィ
ルター取付後のリーク防止等かなり精密になってきてお
り、部屋全体のクリーン度アップの条件として一定面積
の中でフィルターの占める割合（フィルター有効率）が
如何に多く取れるかが問題となり、現在ではそのフィル
ター有効率は８０〜８６％を占めるようになった。
すなわち、従来の全面層流型クリーンルームの。
天井吊設フィルターシステムは第５図及び第６図に示す
ように、中空方形型材により形成されたフレーム枠材２
１と照明器具取付枠材２２とを夫々フィルター２３より
稍小さい方形空隙部２４を設けて接合固定して形成した
フィルターフレーム２５を、クリーンルームの周壁２６
にほぼ接するようにして天井に吊設し、照明器具取付枠
材２２の下面に照明器具２７を固設すると共に、フィル
ターフレーム２５の各方形空隙部２４上にフィルター２
３が載置固定されている。
ように、中空方形型材により形成されたフレーム枠材２
１と照明器具取付枠材２２とを夫々フィルター２３より
稍小さい方形空隙部２４を設けて接合固定して形成した
フィルターフレーム２５を、クリーンルームの周壁２６
にほぼ接するようにして天井に吊設し、照明器具取付枠
材２２の下面に照明器具２７を固設すると共に、フィル
ターフレーム２５の各方形空隙部２４上にフィルター２
３が載置固定されている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記従来の天井吊設フィルターシステム
には、フィルターフレーム２５を構成するフレーム枠材
２１及び照明器具取付枠材２２が機能上必要であり、そ
のため１００％のフィルター有効率はあり得ず、また照
度の関係、照明器具の形状等で制限があり、前記有効率
以上にアップすることができないという問題点があり、
また第６図のようにフィルターフレーム２５を構成する
フレーム枠材２１及び照明器具取付枠材２２の直下では
空気が循環しないデッドスペース２８が生ずるという問
題点があった。
には、フィルターフレーム２５を構成するフレーム枠材
２１及び照明器具取付枠材２２が機能上必要であり、そ
のため１００％のフィルター有効率はあり得ず、また照
度の関係、照明器具の形状等で制限があり、前記有効率
以上にアップすることができないという問題点があり、
また第６図のようにフィルターフレーム２５を構成する
フレーム枠材２１及び照明器具取付枠材２２の直下では
空気が循環しないデッドスペース２８が生ずるという問
題点があった。
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記問題点に着目してなされたもので、フィル
ターフレームからも清浄空気が流れるようにしてフィル
ター有効率を高め、デッドスペース部分を少なくして上
記問題点を解決しようとすることを目的とする。
ターフレームからも清浄空気が流れるようにしてフィル
ター有効率を高め、デッドスペース部分を少なくして上
記問題点を解決しようとすることを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は中空のフレーム枠材
１と下面に開口部２を有する照明器具取付枠材３とを全
面層流型フィルター４を装置する方形空隙部５を設けて
接合固定してフィルターフレーム６を形成する一方、フ
レーム枠材１の上板７に１個または複数個の長孔８を穿
設し、且底板９に多数の小孔１０を穿設すると共に、フ
レーム枠材１の長孔８上に小型フィルター１１を装置し
、更に照明器具取付枠材３の上板１２に１個または複数
個の長孔１３を穿設し、且多数の小孔１４を穿設した取
付板１５を前記開口部２に固定すると共に、取付板１５
の上下面に夫々安定器１７と照明器具１８を固着し、照
明器具取付枠材３の長孔１３上に小型フィルター１１を
装置したことを特徴としている。
１と下面に開口部２を有する照明器具取付枠材３とを全
面層流型フィルター４を装置する方形空隙部５を設けて
接合固定してフィルターフレーム６を形成する一方、フ
レーム枠材１の上板７に１個または複数個の長孔８を穿
設し、且底板９に多数の小孔１０を穿設すると共に、フ
レーム枠材１の長孔８上に小型フィルター１１を装置し
、更に照明器具取付枠材３の上板１２に１個または複数
個の長孔１３を穿設し、且多数の小孔１４を穿設した取
付板１５を前記開口部２に固定すると共に、取付板１５
の上下面に夫々安定器１７と照明器具１８を固着し、照
明器具取付枠材３の長孔１３上に小型フィルター１１を
装置したことを特徴としている。
（作用）
上記のように構成された本発明の作用は次の通りである
。
。
方形空隙部５上に装置されたフィルター４より清浄空気
がクリーンルーム内に流れ、それと同時にフィルターフ
レーム６上に装置された小型フィルター１１より清浄空
気がフィルターフレーム６の小孔１０．１４を通してク
リーンルーム内に流れ、これによってデッドスペース部
分が少なくなり、フィルター有効率が高められる。
がクリーンルーム内に流れ、それと同時にフィルターフ
レーム６上に装置された小型フィルター１１より清浄空
気がフィルターフレーム６の小孔１０．１４を通してク
リーンルーム内に流れ、これによってデッドスペース部
分が少なくなり、フィルター有効率が高められる。
（実施例）
本発明の実施の一例を図に就いて詳細に説明するに、中
空方形型材により形成されたフレーム枠゛材１と、下面
側に開口部２を有する方形型材により形成された照明器
具取付枠材３とを夫々フィルター４より稍小さい方形空
隙部５を設けて接合固定してフィルターフレーム６を形
成する。そして、フィルターフレーム６を構成するフレ
ーム枠材１の上板７にその長手方向に沿って１個または
複数個の長孔８を穿設すると共に、フレーム枠材１の底
板９の全面に亘って多数の小孔１０を穿設して、前記各
長孔８上にこれに被冠するように夫々小型フィルター１
１を装置して、該小型フィルター１１、長孔８及び小孔
１０を経て清浄空気をクリーンルーム内に送気する。
空方形型材により形成されたフレーム枠゛材１と、下面
側に開口部２を有する方形型材により形成された照明器
具取付枠材３とを夫々フィルター４より稍小さい方形空
隙部５を設けて接合固定してフィルターフレーム６を形
成する。そして、フィルターフレーム６を構成するフレ
ーム枠材１の上板７にその長手方向に沿って１個または
複数個の長孔８を穿設すると共に、フレーム枠材１の底
板９の全面に亘って多数の小孔１０を穿設して、前記各
長孔８上にこれに被冠するように夫々小型フィルター１
１を装置して、該小型フィルター１１、長孔８及び小孔
１０を経て清浄空気をクリーンルーム内に送気する。
また、照明器具取付枠材３の上板１２にその長手方向に
沿って１個または複数個の長孔１３を穿設し、且多数の
小孔１４を全面に亘り穿設した取付板１５を開口部２に
対向して突設された鍔突条１６に固定すると共に、取付
板１５の上下面に夫々安定器１７と照明器具１８を取付
け、前記各長孔１３上にこれに被冠するように小型フィ
ルター１１を装置して、該小型フィルター１１、長孔１
３及び小孔１４を経て清浄空気をクリーンルーム内に送
気する。
沿って１個または複数個の長孔１３を穿設し、且多数の
小孔１４を全面に亘り穿設した取付板１５を開口部２に
対向して突設された鍔突条１６に固定すると共に、取付
板１５の上下面に夫々安定器１７と照明器具１８を取付
け、前記各長孔１３上にこれに被冠するように小型フィ
ルター１１を装置して、該小型フィルター１１、長孔１
３及び小孔１４を経て清浄空気をクリーンルーム内に送
気する。
尚、図中１９はシール材で、フィルター４及び小型フィ
ルター１１とフィルターフレーム６の接合面に於いて塗
布する。
ルター１１とフィルターフレーム６の接合面に於いて塗
布する。
（発明の効果）
、 本発明は上述のようであるから、フィルターの他に
従来清浄空気送風機能を有しないフィルター。
従来清浄空気送風機能を有しないフィルター。
フレーム部分から小型フィルターを通して清浄空気をク
リーンルーム内に送気することができ、これにより従来
フィルターフレームの下方部分は空気が循環しないデッ
ドスペースと考えられていたものが、本発明により空気
の循環可能となり、フィルター有効率が高くなるのであ
る。
リーンルーム内に送気することができ、これにより従来
フィルターフレームの下方部分は空気が循環しないデッ
ドスペースと考えられていたものが、本発明により空気
の循環可能となり、フィルター有効率が高くなるのであ
る。
図は本発明の実施の一例を示すものにして、第１図は天
井吊設フィルターシステムの平面図、第２図は一フィル
ターフレームの平面図、第３図は第１図Ａ−Ａ線拡大断
面図、第４図は第１図Ｂ−Ｂ線拡大断面図、第５図は従
来の天井吊設フィルターシステムの底面図、第６図は同
縦断面図である。 図中、１はフレーム枠材、２は開口部、３は照明器具取
付枠材、４はフィルター、５は方形空隙部、６はフィル
ターフレーム、７は上板、８は長孔、９は底板、１０は
小孔、１１は小型フィルタ−、１２は上板、１３は長孔
、１４は小孔、１５は取付板、１７は安定器、１８は照
明器具である。 昭和５９年７月３１日 出 願 人 近藤工業 株式会社外１名 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図
井吊設フィルターシステムの平面図、第２図は一フィル
ターフレームの平面図、第３図は第１図Ａ−Ａ線拡大断
面図、第４図は第１図Ｂ−Ｂ線拡大断面図、第５図は従
来の天井吊設フィルターシステムの底面図、第６図は同
縦断面図である。 図中、１はフレーム枠材、２は開口部、３は照明器具取
付枠材、４はフィルター、５は方形空隙部、６はフィル
ターフレーム、７は上板、８は長孔、９は底板、１０は
小孔、１１は小型フィルタ−、１２は上板、１３は長孔
、１４は小孔、１５は取付板、１７は安定器、１８は照
明器具である。 昭和５９年７月３１日 出 願 人 近藤工業 株式会社外１名 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図
Claims (1)
- 中空のフレーム枠材と下面に開口部を有する照明器具取
付枠材とを全面層流型フィルター装置用の方形空隙部を
設けて接合固定してフィルターフレームを形成する一方
、フレーム枠材の上板に１個または複数個の長孔を穿設
し、且底板に多数の小孔を穿設すると共に、フレーム枠
材の長孔上に小型フィルターを装置し、更に照明器具取
付枠材の上板に１個または複数個の長孔を穿設し、且多
数の小孔を穿設した取付板を前記開口部に固定すると共
に、取付板の上下面に夫々安定器と照明器具を固着し、
照明器具取付枠材の長孔上に小型フィルターを装置した
ことを特徴とする全面層流型クリーンルームの天井吊設
フィルターシステムに於けるフィルターフレームから清
浄空気を流す装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15893484A JPS6138614A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 全面層流型クリ−ンル−ムの天井吊設フイルタ−システムに於けるフイルタ−フレ−ムから清浄空気を流す装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15893484A JPS6138614A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 全面層流型クリ−ンル−ムの天井吊設フイルタ−システムに於けるフイルタ−フレ−ムから清浄空気を流す装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6138614A true JPS6138614A (ja) | 1986-02-24 |
| JPH029253B2 JPH029253B2 (ja) | 1990-03-01 |
Family
ID=15682528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15893484A Granted JPS6138614A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 全面層流型クリ−ンル−ムの天井吊設フイルタ−システムに於けるフイルタ−フレ−ムから清浄空気を流す装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6138614A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6297427U (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-22 | ||
| JPS6357448U (ja) * | 1986-10-02 | 1988-04-16 | ||
| JPH03284730A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-16 | Hitachi Chem Co Ltd | 電気泳動表示装置用表示パネルの製造法 |
| JPH0443750U (ja) * | 1990-08-13 | 1992-04-14 | ||
| US6110244A (en) * | 1994-10-22 | 2000-08-29 | Howorth Airtech Limited | Clean air system |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP15893484A patent/JPS6138614A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6297427U (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-22 | ||
| JPS6357448U (ja) * | 1986-10-02 | 1988-04-16 | ||
| JPH03284730A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-16 | Hitachi Chem Co Ltd | 電気泳動表示装置用表示パネルの製造法 |
| JPH0443750U (ja) * | 1990-08-13 | 1992-04-14 | ||
| US6110244A (en) * | 1994-10-22 | 2000-08-29 | Howorth Airtech Limited | Clean air system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH029253B2 (ja) | 1990-03-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |