JPH0350179B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、電子関係の機械器具や部品あるい
はその他の機械器具や部品等を製作する垂直層流
式クリーンルームにおける全面吹出天井設備に関
するものである。

〔従来技術〕

従来、垂直層流式クリーンルームにおける吹出
天井設備としては、第８図および第９図に示すよ
うに、天井部において左右方向に延長する多数の
チヤンネル部材６と前後方向に延長する多数のチ
ヤンネル部材７とを継手８〜１１を介して連結し
て格子状フレーム１２を構成し、その格子状フレ
ーム１２を、天井のスラブによりターンバツクル
１３を有する多数の吊り材１４を介して吊下支持
し、かつ格子状フレーム１２における広巾フレー
ムにフイルター１５をセツトすると共に、前記格
子状フレーム１２における狭巾フレームに照明器
具１６をセツトした構造のものが知られている。

しかるに、この構造の吹出天井設備における天
井におけるフイルター面積率の最大限界値は約80
％であつて比較的小さく、また第１０図および第
１１図に示すように、チヤンネル部材６，７や照
明器具１６が気流の乱れを引き起こし、そのため
微細粉塵排出の大きな障害になつていた。

〔発明の目的、構成〕

この発明は前述の問題を有利に解決できる垂直
層流式クリーンルームにおける全面吹出天井設備
を提供することを目的とするものであつて、この
発明の要旨とするところは、多数のフイルターユ
ニツト１が前後方向および左右方向に並べられて
相互に接合され、下部が開放されている器具収容
用筒体２を下端に備えている支持部材３における
下部は、対向する４つのフイルターユニツト１の
隅部の間に介在され、前記支持部材３の上端部が
天井のスラブ４により支持されると共にフイルタ
ーユニツト１の隅部が支持部材３により支持さ
れ、前記器具収容用筒体２の周壁にはフイルター
ユニツト１よりも下方において通気孔５が設けら
れていることを特徴とする垂直層流式クリーンル
ームにおける全面吹出天井設備にある。

〔実施例〕

次にこの発明を図示の例によつて詳細に説明す
る。

第１図ないし第７図はこの発明の一実施例を示
すものであつて、鋼板１７の上面に複数のアンカ
ー部材１８が溶接により固着され、かつ前記鋼板
１７の下面の周囲に垂直な複数の螺杆１９の上端
部が溶接により固着されると共に、その螺杆１９
に上部ナツト２０および下部ナツト２１が螺合さ
れて、レベル調整取付金具２２が構成され、この
ように構成された多数のレベル調整取付金具２２
は前後方向および左右方向に直列に並ぶように配
置され、前記アンカー部材１８が天井のスラブ４
に埋設されると共に、前記鋼板１７がスラブ４の
下面に埋設されている。

垂直な４角形断面の管体２３の上端部に取付用
フランジ２４が溶接により固着され、管体２３の
上端部を閉塞する蓋板２７は取付用フランジ２４
に載置されて溶接により固着され、前記管体２３
の下端部外周に固着されたフランジの外周に、４
角形断面の器具収容用筒体２の上部が固着され、
かつその筒体２の下端部の外周に、上向きに開口
する支持溝２５が設けられて、鋼製支持部材３が
構成されている。また前記筒体２の周囲に複数の
通気孔５が設けられ、かつ筒体２内の下部にはア
クリル樹脂からなるルーバー２６が架設固定され
ている。

このように構成された多数の支持部材３はそれ
ぞれ前記鋼板１７の下部に位置するように配置さ
れ、かつ筒体２および管体２３における各平板状
即壁は支持部材３の列に対し45°の角度で配置さ
れ、前記鋼板１７の下部に配置された蓋板２７と
その下面に当接された前記取付用フランジ２４と
にわたつて螺杆１９が挿通され、さらに前記上部
ナツト２０が蓋板２７の上面に係合されると共
に、前記下部ナツト２１が取付用フランジ２４の
下面に係合され、前記上部ナツト２０および下部
ナツト２１により支持部材３が所定のレベルに固
定されている。

４隅に45°の角度の斜辺を有する４角形パンチ
ングメタルからなる通気性板体２８の周囲に、４
隅に45°の角度の斜辺を有する４角形のフレーム
２９が固定され、そのフレーム２９における斜辺
には、その長手方向に延長すると共に下向きに突
出する係止用フツク３０が連設されて、通気性天
井パネル３１が構成され、対向する４つの通気性
天井パネル３１の間に筒体２の下部が介在され、
天井パネル３１の隅部のフツク３０は筒体２の支
持溝２５に挿入され、その支持溝２５により天井
パネル３１の隅部が支持されている。

４隅に45°の角度の斜辺を有する４角形のフイ
ルター（例えば公知のHEPAフイルター）３２
の周囲に、４隅に45°の斜辺を有する４角形のフ
レーム３３が固定され、かつそのフレーム３３に
おける斜辺の下部に斜辺長手方向に延長する突条
３４が設けられてフイルターユニツト１が構成さ
れ、このように構成されたフイルターユニツト１
は前後方向および左右方向に並べられると共に相
互に接合され、対向する４つのフイルターユニツ
ト１の隅部に支持部材３における管体２３の下端
部が介在され、フイルターユニツト１におけるフ
レーム３３の斜辺が筒体２の上端部に載置される
と共に、突条３４の両側面と管体２３の外面およ
び筒体２の上端部内面との間にシリコンゴム製シ
ール等のシール材３５が介在されている。

隣り合うフイルターユニツト１の接合部の下面
に形成された溝に、凸形のシリコンゴム製シール
材３６における上部突条が嵌入されて、接着剤に
より固定され、かつ照明器具３７、放送用スピー
カ３８あるいは煙感知器は、適当位置の筒体２内
に予め取付けられる。なお煙感知器を収容する筒
体２には通気孔５を設けない。

天井の壁際にもフイルターユニツト１の隅部を
支持する支持部材３９が配置され、この支持部材
３９の断面は直角３角形になつているが、スラブ
４に対する支持部材３９のレベル調整取付構造お
よび支持部材３９によるフイルターユニツト１の
隅部の支持構造は前述の場合と同様である。

前記スラブ４と各フイルターユニツト１との間
に吸込まれた空気は、各フイルターユニツト１を
通過する際に浄化され、各フイルターユニツト１
を通過した洗浄空気は、各通気性天井パネル３１
と筒体２における通気孔５およびルーバー２６と
を通過して、天井のほぼ全面から層流状態で室内
に吹出される。この場合、隣り合うフイルターユ
ニツト１の接合部はシール材３６によりシールさ
れ、かつフイルターユニツト１と支持部材３との
間はシール材３５によりシールされているので、
隣り合うフイルターユニツト１の間およびフイル
ターユニツト１と支持部材３との間から空気が漏
洩することはない。

層流状態で室内に吹出された清浄空気は、室内
の微細粉塵を伴つてクリーンルームの床格子を通
過し、再びスラブ４とフイルターユニツト１との
間に吹込まれる。

前述のように隣り合うフイルターユニツト１の
各辺は相互に接合され、各フイルターユニツト１
における隅部のみが支持部材３により支持されて
いるので、フイルター面積率90％以上に大きくす
ることが可能であり、また工場の生産ラインにお
いて予め支持部材３における筒体２内に、照明器
具３７、スピーカ３８あるいは煙感知器等を組込
んでおくことにより、天井全面吹出設備の工事を
省力化して迅速に施工することができる。

この発明を実施する場合、前記蓋板２７を取付
用フランジ２４に対し溶接により固着しないで単
に載置してもよく、また取付用フランジ２４を省
略して蓋板２７を管体２３の全周にわたつて溶接
し、その蓋板２７における管体２３から突出した
部分を取付用フランジとしてもよい。さらにまた
筒体２および管体２３の断面を円形にしてもよ
く、この場合は、フイルターユニツト１および通
気性天井パネル３１の隅部を円弧状にする。

〔発明の効果〕

この発明によれば、多数のフイルターユニツト
１における隅部のみが支持部材３により支持さ
れ、隣り合うフイルターユニツト１の各辺は相互
に接合されているので、従来の場合に比べてフイ
ルター面積率を大きく垂直層流通過性を向上させ
ることができ、かつフイルターを通過した清浄空
気は通気孔５を備えている器具収容用筒体２内か
らも室内に吹出されるので、清浄空気を天井のほ
ぼ全面から室内に吹出すことができ、そのため吹
出清浄空気に乱流が殆んど発生しないので、室内
の微細粉塵を有効に排出することができる等の効
果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第７図はこの発明の一実施例を示
すものであつて、第１図は天井全面吹出設備の横
断平面図、第２図は第１図の中間部を拡大して示
す横断平面図、第３図は第１図の隅部を拡大して
示す横断平面図、第４図は第２図のＡ−Ａ線断面
図、第５図は第２図のＢ−Ｂ線拡大断面図、第６
図は第４図における照明器具設置部付近の拡大縦
断側面図、第７図は天井全面吹出設備の一部を示
す概略斜視図である。第８図は従来の天井吹出設
備を示す底面図、第９図は第８図のＣ−Ｃ線拡大
断面図、第１０図および第１１図は従来の天井吹
出設備における乱流発生状態を示す縦断側面図で
ある。 図において、１はフイルターユニツト、２は器
具収容用筒体、３は支持部材、４はスラブ、５は
通気孔、１７は鋼板、１８はアンカー部材、１９
は螺杆、２０は上部ナツト、２１は下部ナツト、
２２はレベル調整取付金具、２３は管体、２４は
取付用フランジ、２５は支持溝、２６はルーバ
ー、２８は通気性板体、２９はフレーム、３０は
フツク、３１は通気性天井パネル、３２はフイル
ター、３３はフレーム、３４は突条、３５および
３６はシール材、３７は照明器具、３８は放送用
スピーカ、３９は支持部材である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 多数のフイルターユニツト１が前後方向およ
   び左右方向に並べられて相互に接合され、下部が
   開放されている器具収容用筒体２を下端に備えて
   いる支持部材３における下部は、対向する４つの
   フイルターユニツト１の隅部の間に介在され、前
   記支持部材３の上端部が天井のスラブ４により支
   持されると共にフイルターユニツト１の隅部が支
   持部材３により支持され、前記器具収容用筒体２
   の周壁にはフイルターユニツト１よりも下方にお
   いて通気孔５が設けられていることを特徴とする
   垂直層流式クリーンルームにおける全面吹出天井
   設備。