JPH067820U - フィルタ構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 枠部材の種類を低減させたフィルタ構造を提
供する。 【構成】 幅と長さを有し、各々の長さ方向両端部を連
結することにより４角筒状の枠体を構成する４つの枠部
材４５ａ，４５ｂと、枠体４５ａ，４５ｂの内側に配置
されるフィルタ部材と、連結に用いられる連結部材４９
とを備えたフィルタ構造において、枠部材４５ａ，４５
ｂに、連結部材４９が螺合するネジ穴４５５が枠部材４
５ａ，４５ｂの長さ方向に沿って形成されたネジ穴形成
部４５４と、当該ネジ穴形成部４５４にネジ穴４５５の
軸線と直交する方向の軸線を有し連結部材４９が挿通す
る挿通穴４５７とを設けた。 【効果】 １つの枠部材で横枠部材と縦枠部材を共用で
きるので、枠部材の種類を低減させることができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば半導体の製造に用いられるクリーンルームの天井に設けられ るフィルタの構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】

例えば、半導体を製造するためのクリーンルームを備える建家には、屋根の下 にクリーンルームの天井の一部を構成するフレーム装置が吊り下げられている。 このフレーム装置には、クリーンルーム内に流入するゴミやチリを除去するため のフィルタ部材が取り付けられている。

【０００３】 このフィルタ部材は、クリーンルームの進歩に伴い、効率の違いや取付方法等 により寸法や形状が異り種類がかなり増え、管理上、コスト上問題となっている 。

【０００４】 たとえば従来のフィルタ構造としては、図１０ないし図２０に示すようなもの がある。図１０（ａ），（ｂ）に示すようにフィルタ構造１１２は、四角筒状の 枠体１１３と、この枠体１１３内に設けられたフィルタ部材１１５とを有してい る。

【０００５】 枠体１１３は、同じ長さの一対の横枠部材１１３ａと、これより短い一対の縦 枠部材１１３ｂを有し、各々の両端部をビス１１７により締付けて（図１０にお いて４カ所〜）、四角筒状になるように連結されている。

【０００６】 図１１に示すようにフィルタ部材１１５は、蛇行するように配置される長い帯 状の濾紙１１５ａと、この蛇行する濾紙１１５ａの表裏両側から互い違いに配置 されるスペーサ１１５ｂとを有している。スペーサ１１５ｂは波形に形成されて 、蛇行する濾紙１１５ａの折曲り間隔を均等に保って、濾紙１１５ａが一部に片 寄るのを防止している。このようなフィルタ部材１１５は、枠体１１３の一方の 開口側から他方の開口側に通過する、空気のチリやホコリを除去して清浄化する ようになっている。

【０００７】 図１２は、枠体１１３の横枠部材１１３ａと縦枠部材１１３ｂとの連結部（図 １０中の）を詳細に示したものである。横枠部材１１３ａと縦枠部材１１３ｂ は幅と長さを有し、横枠部材１１３ａの長さ方向の両端部には、ビス１１７が挿 通するビス挿通穴１１３ｆが設けられている。縦枠部材１１３ｂには、その長さ 方向に沿ってネジ穴用リブ１１３ｅが設けられ、このリブ１１３ｅの両端部には 図１３に示すようにネジ穴１１３ｇが形成されている。

【０００８】 このようなフィルタ構造１１２は、図１４，図１５に示すように、クリーンル ームの天井（図示せず）のフレーム部材１１９の上に据付けられ、その据付部は 図１６に示すように、剛体で形成されたバックアップ部材１２１を介して枠体１ １３を載せて固定し、さらに枠体１１３とフレーム部材１１９との間の隙間に弾 性体で形成されたシール部材１２３を充填して、その据付部に気密性をもたせて いる。

【０００９】 ところで、フィルタ構造１１２は常に図１４に示すように、フレーム部材１１ ９の１マスにつき１つ据付けられるとは限らず、図１７，図１８に示すように、 フレーム部材１１９の１マスにつき２つ据付けられることもある。この場合は、 各々のフィルタ構造１１２の横枠部材１１３ａがフレーム部材１１９の１マスの 中央で突合わされることになり、その突合せ部のフレーム部材１１９側は図１９ に示すように、各々の横枠部材１１３ａの突合せ角部に段部１１３ｃを設け、こ の各々の段部１１３ｃが対向してできた凹部に、シール部材１２３と同様のシー ル部材１２５と、このシール部材１２５の漏れ止め用のバックアップ部材１２６ を設けて、突合せ部に気密性をもたせている。

【００１０】 図１７においては、フレーム部材１１９の１マスにつき２つのフィルタ構造１ １２が据付けられ、特に各々の枠体１１３の横枠部材１１３ａが突合わされてい たのに対し、図２０に示すように、各々の枠体１１３の縦枠部材１１３ｂが突合 わされて据付けられることもある。この場合は縦枠部材１１３ｂの突合せ角部に 段部１１３ｃと同様の段部（図示せず）を設けなければならない。

【００１１】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記のような従来のフィルタ構造にあっては、枠体１１３の 横枠部材１１３ａと縦枠部材１１３ｂとの構造が異なるため、それらを別々に作 らなければならないだけでなく、図１７に示す突合せ部の横枠部材１１３ａとそ れ以外の横枠部材１１３ａが段部１１３ｃの有無により互いに構造が異なり、さ らに図２０に示す突合せ部の縦枠部材１１３ｂとそれ以外の縦枠部材１１３ｂが やはり段部の有無により互いに構造が異なるという具合に、横枠部材１１３ａや 縦枠部材１１３ｂの種類が増えて前述のように管理上、コスト上問題となってい る。そこで本考案は、上記問題点を解決することを課題とするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するために本考案は、幅と長さを有し各々の長さ方向両端部を 連結することにより４角筒状の枠体を構成する４つの枠部材と、前記枠体の内側 に配置されるフィルタ部材と、前記連結に用いられる連結部材とを備えたフィル タ構造において、前記枠部材に、前記連結部材が螺合するネジ穴が前記枠部材の 長さ方向に沿って形成されたネジ穴形成部と、当該ネジ穴形成部に前記ネジ穴の 軸線と直交する方向の軸線を有し前記連結部材が挿通する挿通穴と、を設けたこ とを構成とし、また、前記４つの枠部材の側部に他のフィルタ構造の枠部材との 突合わせ時に気密手段を設けるための段部を形成したことを構成とするものであ る。

【００１３】

【作用】

このような構成のフィルタ構造によれば、１つの枠部材で横枠部材と縦枠部材 を共用できるので、枠部材の種類を低減させることができる。また、４つの枠部 材のすべての側部に段部を形成することにより、枠部材を突合せ部とそれ以外の ものに区別する必要がないため、１種類の枠部材で共用できてさらに枠部材の種 類を低減させることができる。

【００１４】

【実施例】

以下、本考案の実施例について図面に基づいて説明する。図１ないし図６は、 本考案によるフィルタ構造の一実施例を説明するための図である。

【００１５】 まず、図１によりいわゆる全面層流型クリーンルームの周囲の建築構造を説明 する。このクリーンルームを備える大きな建家は、雪や風等による影響を考慮し て、屋根が上下方向に多少変位してもその変位を許容するような構造になってい る。すなわち屋根のフレーム２１は、床２２から立設された壁部材２３の上端部 ２３ａと離れていて、この上端部２３ａとの間に隙間がある。屋根のフレーム２ １は、図示しない柱部材により直接支持されている。そして、屋根の上に雪が積 もって荷重がかかるとフレーム２１は下方に撓み、壁部材２３の上端部２３ａと の間の隙間を小さくし、あるいは零にして接触する。

【００１６】 フレーム２１にはロッド材２６を介してパネル部材２５が吊り下げられている 。パネル部材２５の下方には、多数の開口部２８ａを有するフレーム本体２８が 棒部材２７により吊り下げられている。またフレーム本体２８の上には、その開 口部２８ａを覆う多数のフィルタ３０が周縁部をシールされて載置されている。

【００１７】 パネル部材２５と壁部材２３との間はシール材３２により密封され、またフレ ーム本体２８と壁部材２３との間もシール材３３により密封されている。したが って、パネル部材２５とフレーム本体２８と壁部材２３とにより囲まれた空間３ １は、フィルタ３０の微細な孔を除けば密閉された空間となっている。

【００１８】 フレーム本体２８の下方はクリーンルーム３５になっており、このクリーンル ーム３５内で半導体の製造作業等著しくゴミやチリ等を嫌う作業が行われる。ク リーンルーム３５の床部３６には、その下方の空間３８とクリーンルーム３５と を連通させる多数の孔３６ａが形成されている。空間３１と３８は配管４０によ り連通しており、この配管４０の途中には送風ファン４２が設けられている。

【００１９】 このような建築構造においては、送風ファン４２が作動することにより、配管 ４０を通って空間３８から空間３１に空気が移動する。空間３１内の空気は、フ ィルタ３０を通過することによりゴミやチリを除去されて清浄化される。清浄化 された空気は、フレーム本体２８の開口部２８ａからクリーンルーム３５に流入 してこのクリーンルーム３５内を清浄な状態にしている。このようにして、送風 ファン４２の作動により、空気は空間３１、クリーンルーム３５、空間３８、配 管４０、空間３１の順で循環しており、クリーンルーム３５内の空気は常に清浄 な状態に保持されることとなる。

【００２０】 図１及び図２に示すように、開口部２８ａを有するフレーム本体２８はシステ ムフレームとも呼ばれており、吊りボルト等の棒部材２７によりパネル部材２５ から吊り下げられている。このフレーム本体２８の下面には、クリーンルーム３ ５内を照明する照明器具４３、或は化粧板や配管等が取付けられる。またフレー ム本体２８は、アルミニウム等により一体成形された複数のユニットフレーム本 体を互いに接続することにより一体化されて、クリーンルーム３５の天井全体に 渡って配設されている。

【００２１】 次に、クリーンルーム３５のフィルタ３０の構造についてさらに詳述する。図 ３（ａ），（ｂ）に示すように、フィルタ構造３０は、四角筒状の枠体４５と、 この枠体４５内に設けられたフィルタ部材４７とを有している。枠体４５は、同 じ長さの一対の横枠部材４５ａと、これより短い一対の縦枠部材４５ｂを有し、 各々の両端部をビス４９により締付けて（図３において４カ所〜）、四角筒 状になるように連結されている。

【００２２】 フィルタ部材４７は、従来のフィルタ構造において説明したフィルタ部材１１ ５（図１１参照）と同様に、蛇行するように配置される長い帯状の濾紙４７ａと 、この蛇行する濾紙４７ａの表裏両側から互い違いに配置されるスペーサ４７ｂ とを有している。

【００２３】 図４は、枠体４５の横枠部材４５ａと縦枠部材４５ｂとの連結部（図３参照 ）を詳細に示したものである。横枠部材４５ａは縦枠部材４５ｂと同じ幅を有す るが、前述のように、横枠部材４５ａは縦枠部材４５ｂよりも大きい長さを有し ている。横枠部材４５ａは図５に示すような形状を有しており、縦枠部材４５ｂ も一部を除いては横枠部材４５ａと基本的に同じ形状を有している。

【００２４】 図５に示すように横枠部材４５ａは、基板４５１がその幅と長さを形成してお り、その幅方向（図中左右方向）両端部には、その長さ方向に沿って伸びる断面 が先の曲がったカギ形のリブ４５２が形成されている。また基板４５１の幅方向 の内側には、互に間隔をおいて断面がＴ字状のリブ４５３が、基板４５１の長さ 方向に沿って伸びるよう形成されている。

【００２５】 リブ４５２とリブ４５３との間、及びリブ４５３の相互間には、ネジ穴用リブ ４５４（ネジ穴形成部）が基板４５１の長さ方向に沿って形成されており、この ネジ穴用リブ４５４の各両端部にはビス４９が螺合できるサイズのネジ穴４５５ が形成されている。図５（ａ）に示すように、ネジ穴用リブ４５４の各両端部に はビス４９が楽に通れる挿通穴４５７が形成されており、図６に示すように、こ の挿通穴４５７の軸線はネジ穴用リブ４５４のネジ穴４５５の軸線と直交する方 向となっている。 縦枠部材４５ｂは、挿通穴４５７が形成されてない点のみにおいて横枠部材４ ５ａと異なるだけである。

【００２６】 このような横枠部材４５ａと縦枠部材４５ｂは、図４に示すように配置して、 横枠部材４５ａの挿通穴４５７にビス４９を挿通させた後、ビス４９を縦枠部材 ４５ｂのネジ穴４５５に螺合させて締付けることにより、図３の連結部におけ る横枠部材４５ａと縦枠部材４５ｂとの連結を行うことができる。他の連結部 〜も同様にして、横枠部材４５ａと縦枠部材４５ｂとの連結を行うことができ る。

【００２７】 図７ないし図９は、本考案によるフィルタ構造の他の実施例を示す図である。 前記実施例においては図５（ｂ）に示すように、横枠部材４５ａに用いられる枠 部材が、基板４５１の幅方向両側にカギ形のリブ４５２を有していたのに対し、 この実施例の枠部材においては一方のリブ４５２の代りに、図７に示すように、 段部４５８ａを有するリブ４５８を設けると共に、基板４５１の内側（図中下側 ）にもリブ４６０を設けた点において異る。そして、図３の横枠部材４５ａ及び 縦枠部材４５ｂの４つの枠部材の全てにこのような枠部材を用いる。

【００２８】 このような枠部材を用いたフィルタ構造３０は、図１７あるいは図２０に示す 場合はもちろん、他のどのような突合せ状態においても、その突合せ部は必ず図 ８に示すようになり、各々の段部４５８ａが対向してできた凹部に従来と同様の シール材５３と、このシール部材５３の漏れ止め用のバックアップ部材５４を設 けることができる。

【００２９】 図９に示すように、このような枠部材がフレーム本体２８の上に来る場合は、 リブ４５８とフレーム本体２８との間にバックアップ部材５７を挾み、リブ４６ ０とフレーム本体２８との間にシール部材５６を挾んで設けることにより、フィ ルタ構造３０をフレーム本体２８の上に確実に載置でき、かつ気密性をもたせる ことができる。

【００３０】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、１つの枠部材で横枠部材と縦枠部材を共 用できるので、枠部材の種類を低減させることができる。また、４つの枠部材の すべての側部に段部を形成することにより、枠部材を突合せ部とそれ以外のもの に区別する必要がないため、１種類の枠部材で共用できてさらに枠部材の種類を 低減させることができる。このため、フィルタ構造の枠部材の管理上、コスト上 有利となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案によるフィルタ構造が用いられるクリー
ンルームの建築構造を示す断面図である。

【図２】図１に示すフレーム本体２８のII-II線矢視図
の半分を示す図である。

【図３】本考案によるフィルタ構造の一実施例に係るフ
ィルタ構造３０を詳細に示す図であり、図３（ａ）は平
面図、図３（ｂ）は側面図である。

【図４】横枠部材４５ａと縦枠部材４５ｂとの連結部を
詳細に示す拡大分解斜視図である。

【図５】横枠部材４５ａを説明する拡大図であり、図５
（ａ）は端部平面図、図５（ｂ）は図５（ａ）に示す横
枠部材４５ａのＢ−Ｂ線矢視図である。

【図６】挿通穴４５７が形成されたネジ穴用リブ４５４
の断面図である。

【図７】本考案によるフィルタ構造の他の実施例に係る
枠部材の正面図である。

【図８】図７に示す枠部材が用いられたフィルタ構造３
０の突合せ部の断面図である。

【図９】図７に示す枠部材が用いられたフィルタ構造３
０のフレーム本体２８上の枠部材の断面図である。

【図１０】従来のフィルタ構造を示す図であり、図１０
（ａ）は平面図、図１０（ｂ）は側面図である。

【図１１】図１０に示すフィルタ構造１１２の一部破断
斜視図である。

【図１２】図１０に示す横枠部材１１３ａと縦枠部材１
１３ｂとの連結部を詳細に示す拡大分解斜視図である。

【図１３】図１２に示すリブ１１３ｅのXIII-XIII線矢
視図である。

【図１４】フレーム部材１１９の上に載置されたフィル
タ構造１１２の平面図である。

【図１５】図１４に示すフィルタ構造１１２のXV-XV線
断面図である。

【図１６】図１５における矢印XVI部の拡大断面図であ
る。

【図１７】２つのフィルタ構造１１２がフレーム部材１
１９の１マス分の上に載置された状態を示す平面図であ
る。

【図１８】図１７に示すフィルタ構造１１２のXVIII-XV
III線断面図である。

【図１９】図１８における矢印XIX部の拡大断面図であ
る。

【図２０】２つのフィルタ構造１１２がフレーム部材１
１９の１マス分の上に載置された状態の他の例を示す平
面図である。

【符号の説明】

２１ フレーム ２２ 床 ２３ 壁部材 ２５ パネル部材 ２６ ロッド材 ２７ 棒部材 ２８ フレーム本体 ３０ フィルタ構造 ３１，３８ 空間 ３２，３３ シール材 ３５ クリーンルーム ３６ 床部 ４０ 配管 ４２ 送風ファン ４３ 照明器具 ４５ 枠体 ４５ａ 横枠部材 ４５ｂ 縦枠部材 ４７ フィルタ部材 ４７ａ 濾紙 ４７ｂ スペーサ ４９ ビス ５３，５６ シール部材 ５４，５７ バックアップ部材 ４５１ 基板 ４５２，４５３ リブ ４５４ ネジ穴用リブ ４５５ ネジ穴 ４５７ 挿通穴 ４５８，４６０ リブ ４５８ａ 段部

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 幅と長さを有し各々の長さ方向両端部を
   連結することにより４角筒状の枠体を構成する４つの枠
   部材と、 前記枠体の内側に配置されるフィルタ部材と、 前記連結に用いられる連結部材とを備えたフィルタ構造
   において、 前記枠部材に、 前記連結部材が螺合するネジ穴が前記枠部材の長さ方向
   に沿って形成されたネジ穴形成部と、 当該ネジ穴形成部に前記ネジ穴の軸線と直交する方向の
   軸線を有し前記連結部材が挿通する挿通穴と、 を設けたことを特徴とするフィルタ構造。
2. 【請求項２】 前記４つの枠部材の側部に他のフィルタ
   構造の枠部材との突合わせ時に気密手段を設けるための
   段部を形成したことを特徴とする請求項１のフィルタ構
   造。